JP2007297263A - GaN結晶基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】結晶成長面10cの粗さRa(C)が10nm以下であり、結晶成長面10cの反対側の面である裏面10rの粗さRa(R)が0.5μm以上10μm以下であり、面粗さRa(C)に対する面粗さRa(R)の比Ra(R)/Ra(C)が50以上であるGaN結晶基板。
【選択図】図1
Description
図1を参照して、本発明にかかるGaN結晶基板の一実施形態は、結晶成長させる面10cの粗さRa(C)が10nm以下であり、結晶成長させる面10cの反対側の裏面10rの粗さRa(R)が0.5μm以上10μm以下であり、面粗さRa(C)に対する面粗さRa(R)の比Ra(R)/Ra(C)が50以上である。本実施形態のGaN結晶基板10は、その上に成長させる半導体層のモフォロジーを低下させることなく、基板の表裏を目視で容易に識別することができる。
図2を参照して、本発明にかかるGaN結晶基板の他の実施形態は、実施形態1のGaN結晶基板と同様に、結晶成長させる面10cの粗さRa(C)が10nm以下であり、結晶成長させる面10cの反対側の裏面10rの粗さRa(R)が0.5μm以上10μm以下であり、面粗さRa(C)に対する面粗さRa(R)の比Ra(R)/Ra(C)が50以上である。したがって、本実施形態のGaN結晶基板は、目視で容易に基板の表裏を識別することができる。
図3および図4を参照して、本発明にかかるGaN結晶基板のさらに他の実施形態は、マトリックス結晶領域11と、マトリックス結晶領域11の結晶に対して少なくとも1つの結晶軸が異なる結晶を含有する異方位結晶領域13とを含み、この異方位結晶領域13の形状は任意に特定される結晶方位10aを示すように形成されている。
図4〜図8を参照して、本発明にかかるGaN結晶基板のさらに他の実施形態は、実施形態3と同様に、マトリックス結晶領域11と、マトリックス結晶領域11の結晶に対して少なくとも1つの結晶軸が異なる結晶を含有する異方位結晶領域13とを含み、この異方位結晶領域13の形状は任意に特定される結晶方位10aを示すように形成されている。さらに、本実施形態のGaN結晶基板10は、異方位結晶領域13が基板の厚さ方向に貫通しており、基板の結晶成長させる面10cと裏面10rとにそれぞれ現われる異方位結晶領域13の第1と第2のパターンP1,P2が基板の外形に関して互いに異なっている。
図3〜図8および図9(a)を参照して、実施形態3または実施形態4のGaN結晶基板10において、異方位結晶領域13は、マトリックス結晶領域11の結晶に対してa軸方向が同じでありc軸方向が反転している結晶で形成されているc軸反転結晶領域13tであることが好ましい。
図3〜図8および図9(b)を参照して、実施形態3または実施形態4のGaN結晶基板10において、異方位結晶領域13は、マトリックス結晶領域11の結晶に対してa軸方向が異なりc軸方向が同じである結晶を複数含有する多結晶領域13mであることが好ましい。
HVPE法により、Ga原料ガスであるGaClガスの分圧が2.5kPa、N原料ガスであるNH3ガスの分圧が15kPaの条件で、下地基板である直径50.8mmで厚さ350μmのサファイア基板上に、直径50.8mmで厚さ3mmのGaN結晶を成長させた。このGaN結晶を下地基板の主面に平行にスライスして、図1に示す直径50mmで厚さ400μmのGaN結晶基板10を作製した。
図2を参照して、実施例1で得られたGaN結晶基板10の裏面10rに、CO2レーザを用いて、任意に特定される結晶方位10aとして<11−20>方向に平行に幅Wが100μmで深さDが25μmで長さLが10mmの直線状の溝であるレーザマーク12を形成した。本実施例のGaN結晶基板においては、目視による表裏の識別とともに、レーザマーク12により、目視によるGaN結晶基板10の結晶方位の識別が可能となった。
図3および図10を参照して、下地基板1である直径50.8mmで厚さ350μmのサファイア基板上に、スパッタ法およびフォトリソグラフィー法により、図3(a)と同様の形状にパターン化されたマスク層2として、幅Wが100μmで長さLが10mmの四角形状のアモルファスSiO2層を形成した。次に、上記の形状にパターン化されたアモルファスSiO2層(マスク層2)が形成されたサファイア基板(下地基板1)上に、HVPE法により、Ga原料ガスであるGaClガスの分圧が2.5kPa、N原料ガスであるNH3ガスの分圧が15kPaの条件で、直径50.8mmで厚さ3mmのGaN結晶5を成長させた。
図4および図10を参照して、下地基板1である直径50.8mmで厚さ350μmのサファイア基板上に、スパッタ法およびフォトリソグラフィー法により、図4(a)と同様の形状にパターン化されたマスク層2として、幅Wが100μmで長さL1が4mmの四角形状のアモルファスSiO2層と、幅Wが100μmで長さL3が9mmの四角形状のアモルファスSiO2層を形成した。ここで、上記2つのアモルファスSiO2層は、それらの長手方向に長さL2が2mmの間隔を有するようにした。次に、上記の形状にパターン化されたアモルファスSiO2層(マスク層2)が形成されたサファイア基板(下地基板1)上に、HVPE法により、Ga原料ガスであるGaClガスの分圧が2.5kPa、N原料ガスであるNH3ガスの分圧が15kPaの条件で、直径50.8mmで厚さ3mmのGaN結晶5を成長させた。
サファイア基板上に形成したマスク層をNi層とし、HVPE法によりGaN結晶を成長させる際の条件を、Ga原料ガスであるGaClガスの分圧が2.5kPa、N原料ガスであるNH3ガスの分圧が25kPaの条件としたこと以外は、実施例3と同様にして直径50.8mmで厚さ3mmのGaN結晶5を成長させた。
HVPE法によりGaN結晶を成長させる際の条件を、Ga原料ガスであるGaClガスの分圧が2.5kPa、N原料ガスであるNH3ガスの分圧が25kPaの条件としたこと以外は、実施例4と同様にして直径50.8mmで厚さ3mmのGaN結晶5を成長させた。
幅Wが95μmで長さL1が4mmの四角形状および幅Wが95μmで長さL3が9mmの四角形状の多結晶領域13mが成長した。ここで、上記2つの異方位結晶領域13(多結晶領域13m)は、それらの長手方向に長さL2が2mmの間隔を有していた。
図3、図10および図11を参照して、実施例3または実施例5と同様にして成長されたGaN結晶5から下地基板1の主面に平行な面10u,10dでスライスされたGaN結晶基板10においては、異方位結晶領域13が基板の厚さ方向に貫通しており、基板の結晶成長させる面10cと裏面10rとにそれぞれ現われる異方位結晶領域13の第1と第2のパターンP1,P2が、基板の外形に関して互いに同じである。このGaN結晶基板10の結晶成長させる面10cおよび裏面10rの処理を、粒径40μmのSiC砥粒をボンドで固定した固定砥粒を用いて研削し(研削工程)、粒径5μmのSiC砥粒を用いて研磨し(粗研磨工程)、粒径1μmのAl2O3砥粒を用いて研磨した(微研磨工程)。
図4、図10および図11を参照して、実施例4または実施例6と同様にして成長されたGaN結晶5から下地基板1の主面に平行な面10u,10dでスライスされたGaN結晶基板10においては、異方位結晶領域13が基板の厚さ方向に貫通しており、基板の結晶成長させる面10cと裏面10rとにそれぞれ現われる異方位結晶領域13の第1と第2のパターンP1,P2が、基板の外形に関して互いに異なっている。このGaN結晶基板10の結晶成長させる面10cおよび裏面10rの処理を、実施例7と同様に行なった。
図5および図10を参照して、下地基板1である直径50.8mmで厚さ350μmのサファイア基板上に、スパッタ法およびフォトリソグラフィー法により、図5(a)と同様の形状にパターン化されたマスク層2として、底辺幅Wが40μmで高さLが10mmの二等辺三角形状のアモルファスSiO2層を形成した。ここで、この二等辺三角形の長手方向の中心線13kが、任意に特定される結晶方位10aとして成長させるGaN結晶の<11−20>方向に平行になるように、アモルファスSiO2層が形成された。次に、上記の形状にパターン化されたアモルファスSiO2層(マスク層2)が形成されたサファイア基板(下地基板1)上に、HVPE法により、Ga原料ガスであるGaClガスの分圧が2.5kPa、N原料ガスであるNH3ガスの分圧が15kPaの条件で、直径50.8mmで厚さ3mmのGaN結晶5を成長させた。
図6および図10を参照して、下地基板1である直径50.8mmで厚さ350μmのサファイア基板上に、スパッタ法およびフォトリソグラフィー法により、図6(a)と同様の形状にパターン化されたマスク層2として、幅Wが30μmで長さLが5mmの四角形状のアモルファスSiO2層を形成した。ここで、この四角形の長手方向の中心線13kが、任意に特定される結晶方位10aとして成長させるGaN結晶の<1−100>方向に平行になるように、アモルファスSiO2層が形成された。次に、上記の形状にパターン化されたアモルファスSiO2層(マスク層2)が形成されたサファイア基板(下地基板1)上に、実施例9と同様にして、直径50.8mmで厚さ3mmのGaN結晶5を成長させた。
図7および図10を参照して、下地基板1である直径50.8mmで厚さ350μmのサファイア基板上に、スパッタ法およびフォトリソグラフィー法により、図7(a)と同様の形状にパターン化されたマスク層2として、幅W1が20μmの正方形状および幅W2が40μmの正方形状のアモルファスSiO2層を形成した。ここで、この2つのアモルファスSiO2層の中心間の距離Lは10mmであり、この2つのアモルファスSiO2層の中心を通る中心線中心線13kが、任意に特定される結晶方位10aとして成長させるGaN結晶の<1−100>方向に平行になるように、アモルファスSiO2層が形成された。次に、上記の形状にパターン化されたアモルファスSiO2層(マスク層2)が形成されたサファイア基板(下地基板1)上に、実施例9と同様にして、直径50.8mmで厚さ3mmのGaN結晶5を成長させた。
図8および図10を参照して、下地基板1である直径50.8mmで厚さ350μmのサファイア基板上に、スパッタ法およびフォトリソグラフィー法により、図8(a)と同様の形状にパターン化されたマスク層2として、直径W1が20μmの円状および直径W2が50μmの円状のアモルファスSiO2層を形成した。ここで、この2つのアモルファスSiO2層の中心間の距離Lは10mmであり、この2つのアモルファスSiO2層の中心を通る中心線13kが、任意に特定される結晶方位10aとして成長させるGaN結晶の<11−20>方向に平行になるように、アモルファスSiO2層が形成された。次に、上記の形状にパターン化されたアモルファスSiO2層(マスク層2)が形成されたサファイア基板(下地基板1)上に、実施例9と同様にして、直径50.8mmで厚さ3mmのGaN結晶5を成長させた。
Claims (6)
- 結晶成長させる面の粗さRa(C)が10nm以下であり、
前記結晶成長させる面の反対側の裏面の粗さRa(R)が0.5μm以上10μm以下であり、
前記面粗さRa(C)に対する前記面粗さRa(R)の比Ra(R)/Ra(C)が50以上であるGaN結晶基板。 - 前記裏面に形成されているレーザマークを含み、
前記レーザマークは、任意に特定される結晶方位を示すように形成されている請求項1に記載のGaN結晶基板。 - マトリックス結晶領域と、前記マトリックス結晶領域の結晶に対して少なくとも1つの結晶軸が異なる結晶を含有する異方位結晶領域とを含み、
前記異方位結晶領域の形状は、任意に特定される結晶方位を示すように形成されているGaN結晶基板。 - 前記異方位結晶領域は前記基板の厚さ方向に貫通しており、
前記基板の結晶成長させる面と裏面とにそれぞれ現われる前記異方位結晶領域の第1と第2のパターンが、前記基板の外形に関して互いに異なっている請求項3に記載のGaN結晶基板。 - 前記異方位結晶領域は、前記マトリックス結晶領域の結晶に対してa軸方向が同じでありc軸方向が反転している結晶で形成されているc軸反転結晶領域である請求項3に記載のGaN結晶基板。
- 前記異方位結晶領域は、前記マトリックス結晶領域の結晶に対してa軸方向が異なりc軸方向が同じである結晶を複数含有する多結晶領域である請求項3に記載のGaN結晶基板。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015025674A1 (ja) * | 2013-08-20 | 2015-02-26 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 結晶方位マーク付き処理基板、結晶方位検出方法及び結晶方位マーク読出装置 |
JP2015529626A (ja) * | 2012-08-28 | 2015-10-08 | シックスポイント マテリアルズ, インコーポレイテッド | Iii族窒化物ウエハおよびその生産方法 |
JP2017149634A (ja) * | 2016-02-23 | 2017-08-31 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Ramo4基板およびその製造方法 |
US10024809B2 (en) | 2006-04-07 | 2018-07-17 | Sixpoint Materials, Inc. | Group III nitride wafers and fabrication method and testing method |
US10316431B2 (en) | 2006-04-07 | 2019-06-11 | Sixpoint Materials, Inc. | Method of growing group III nitride crystals |
JP2021034670A (ja) * | 2019-08-29 | 2021-03-01 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素エピタキシャル基板および炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 |
US11370076B2 (en) | 2016-02-23 | 2022-06-28 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | RAMO4 substrate and manufacturing method thereof |
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---|---|---|---|---|
KR102185659B1 (ko) * | 2014-02-11 | 2020-12-03 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 웨이퍼 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09110589A (ja) * | 1995-10-19 | 1997-04-28 | Toshiba Corp | シリコンウェハ及びその製造方法 |
JP2002368261A (ja) * | 2001-06-05 | 2002-12-20 | Sharp Corp | 窒化物系化合物半導体発光素子 |
JP2004319950A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-11-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 表裏識別した矩形窒化物半導体基板 |
JP2007153712A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Hitachi Cable Ltd | 自立した窒化ガリウム単結晶基板とその製造方法、および窒化物半導体素子の製造方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61290708A (ja) * | 1985-06-18 | 1986-12-20 | Fujitsu Ltd | 半導体ウエハ− |
US5212151A (en) * | 1989-12-07 | 1993-05-18 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Superconducting thin film having a matrix and foreign phases |
JPH10256105A (ja) * | 1997-03-11 | 1998-09-25 | Super Silicon Kenkyusho:Kk | レーザマークを付けたウェーハ |
JP2002222746A (ja) * | 2001-01-23 | 2002-08-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 窒化物半導体ウェーハ及びその製造方法 |
JP2002356398A (ja) | 2001-06-01 | 2002-12-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 窒化ガリウムウエハ |
US6488767B1 (en) * | 2001-06-08 | 2002-12-03 | Advanced Technology Materials, Inc. | High surface quality GaN wafer and method of fabricating same |
US20040135232A1 (en) * | 2003-01-10 | 2004-07-15 | Bakel Henry Van | Semiconductor wafer and method of marking a crystallographic direction on a semiconductor wafer |
JP4518746B2 (ja) * | 2003-05-06 | 2010-08-04 | 住友電気工業株式会社 | GaN基板 |
KR100550491B1 (ko) * | 2003-05-06 | 2006-02-09 | 스미토모덴키고교가부시키가이샤 | 질화물 반도체 기판 및 질화물 반도체 기판의 가공 방법 |
JP4868114B2 (ja) * | 2005-08-11 | 2012-02-01 | 日立電線株式会社 | 窒化物系半導体基板およびその製造方法 |
JP4301251B2 (ja) * | 2006-02-15 | 2009-07-22 | 住友電気工業株式会社 | GaN結晶基板 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09110589A (ja) * | 1995-10-19 | 1997-04-28 | Toshiba Corp | シリコンウェハ及びその製造方法 |
JP2002368261A (ja) * | 2001-06-05 | 2002-12-20 | Sharp Corp | 窒化物系化合物半導体発光素子 |
JP2004319950A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-11-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 表裏識別した矩形窒化物半導体基板 |
JP2007153712A (ja) * | 2005-12-08 | 2007-06-21 | Hitachi Cable Ltd | 自立した窒化ガリウム単結晶基板とその製造方法、および窒化物半導体素子の製造方法 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10316431B2 (en) | 2006-04-07 | 2019-06-11 | Sixpoint Materials, Inc. | Method of growing group III nitride crystals |
US10024809B2 (en) | 2006-04-07 | 2018-07-17 | Sixpoint Materials, Inc. | Group III nitride wafers and fabrication method and testing method |
US10156530B2 (en) | 2006-04-07 | 2018-12-18 | Sixpoint Materials, Inc. | Group III nitride wafers and fabrication method and testing method |
JP2015529626A (ja) * | 2012-08-28 | 2015-10-08 | シックスポイント マテリアルズ, インコーポレイテッド | Iii族窒化物ウエハおよびその生産方法 |
US10186489B2 (en) | 2013-08-20 | 2019-01-22 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Process substrate with crystal orientation mark, method of detecting crystal orientation, and reading device of crystal orientation mark |
JPWO2015025674A1 (ja) * | 2013-08-20 | 2017-03-02 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 結晶方位マーク付き処理基板、結晶方位検出方法及び結晶方位マーク読出装置 |
WO2015025674A1 (ja) * | 2013-08-20 | 2015-02-26 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 結晶方位マーク付き処理基板、結晶方位検出方法及び結晶方位マーク読出装置 |
JP2017149634A (ja) * | 2016-02-23 | 2017-08-31 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Ramo4基板およびその製造方法 |
JP2018108932A (ja) * | 2016-02-23 | 2018-07-12 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Ramo4基板 |
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