JP5287187B2 - Iii族窒化物半導体基板の製造方法、及びiii族窒化物半導体基板 - Google Patents
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Description
(III族窒化物半導体基板の製造方法)
図2は、本発明の実施の形態に係るIII族窒化物半導体基板の製造フローの一例を示す。
まず、一例として、c面を有するGaN単結晶基板のGa極性面又はN極性面上に、Hydride Vapor Phase Epitaxy(HVPE)法を用いてGaNの厚膜を形成することにより、GaN単結晶のGaNインゴットを製造する(ステップ100。以下、ステップを「S」とする)。また、サファイア基板表面にEpitaxial Lateral Overgrowth(ELO)法等を用いて前処理を施してもよい。そして、HVPE法により窒化物半導体としてのGaNの厚膜を形成する。次に、機械研磨又はレーザー剥離法によりサファイア基板を除去する。これにより、GaN単結晶からなるバルク結晶としてのGaNインゴットを製造することもできる。
次に、得られたGaNインゴットを、切断(以下、「スライス」ということがある)する。具体的には、第1の硬度を有する一の結晶面としての第1の結晶面と、第1の硬度より小さな第2の硬度を有する他の結晶面としての第2の結晶面とをGaNインゴットは含んでおり、本実施の形態においては、第2の結晶面の側から第1の結晶面の側に向けてスライスする(S110)。例えば、本実施の形態においては、GaNインゴットのN極性面からGa極性面に向けてスライスする。スライスは、例えば、ピアノ線(鋼線)等のワイヤを備えるワイヤソーにより実施することができる。また、スライスは、2mm/h以上のスライス速度で実施することができる。これにより、スライスされたGaN基板(以下、「アズスライスウエハ」と呼ぶことがある。)が作製される。
続いて、アズスライスウエハの両面、すなわち、アズスライスウエハの表面及び裏面を鏡面研磨する(S120)。この研磨工程においては、アズスライスウエハの表面からアズスライスウエハの内部に向かって切断工程により生じた結晶欠陥等のダメージを含む層であるダメージ層を除去する。ダメージ層の深さは、本実施の形態において50μm以下であるので、研磨工程においては少なくともアズスライスウエハの表面から50μm程度の深さまでを研磨、除去する。これにより、ダメージ層が除去されて露出した研磨面を有する本実施の形態に係る研磨済GaN基板が作製される。
本実施の形態に係るIII族窒化物半導体基板の製造方法によれば、他の結晶面から、他の結晶面の硬度より大きな硬度を有する一の結晶面に向けてバルク結晶をスライスするので、スライスされた基板のダメージ層の厚さ、すなわち、基板表面からの結晶欠陥が生じた部分を含む領域端部までの深さを低減できる。例えば、Si、GaAs等の半導体結晶に比べて硬くて脆いGaN単結晶からなるバルク結晶を用いてスライス速度を高めたとしても、ダメージ層の厚さを低減することができる。これにより、ダメージ層の厚さを低減できると共に、スライス速度を向上させることができる。
まず、実施例1と同様にして厚さが20mmのGaNインゴットを製造した。次に、GaNインゴットをc軸に平行な方向、すなわち、[000−1]方向に沿って、Ga極性面側からN極性面側に向かってスライスした。その他のスライス条件は実施例1と同様にした。但し、GaNインゴットのスライス中にワイヤが大きく撓んだことに起因して20mmの厚さのGaNインゴットを完全に切断するまでに約10時間を要した。すなわち、比較例1においては、スライス速度が実質的には2mm/hであった。これにより、比較例1に係るGaNのアズスライスウエハ(サイズ:20mm×40mm、厚さ:0.6mm)が得られた。なお、アズスライスウエハの切断面を目視で観察したところ、ソーマークが明瞭に観察された。
まず、実施例1と同様にして厚さが24.5mmのGaNインゴットを製造した。次に、GaNインゴットを(11−22)面に平行な方向に沿って、Ga極性面側からN極性面側に向かってスライスした。その他のスライス条件は実施例1と同様にした。但し、ワイヤソーのスライス速度は、2mm/hに設定した。但し、GaNインゴットのスライス中にワイヤが大きく撓んだことに起因して24.5mmの厚さのGaNインゴットを完全に切断するまでに約20時間を要した。すなわち、比較例2においては、実質的にスライス速度が1.2mm/hであったことになる。これにより、比較例2に係るGaNのアズスライスウエハ(サイズ:23.5mm×40mm、厚さ:0.6mm)が得られた。なお、アズスライスウエハの切断面を目視で観察したところ、ソーマークが明瞭に観察された。
Claims (9)
- 一の結晶面と前記一の結晶面の硬度より小さい硬度の他の結晶面とを含むIII族窒化物
半導体単結晶からなるバルク結晶を準備するバルク結晶準備工程と、
準備した前記バルク結晶の前記他の結晶面側から前記一の結晶面側に向けて前記バルク
結晶を切断する切断工程と
を備えるIII族窒化物半導体基板の製造方法。 - 前記切断工程は、切断方向と[0001]方向とのなす角度が0度以上90度未満であ
る請求項1に記載のIII族窒化物半導体基板の製造方法。 - 前記切断工程は、切断方向と[0001]方向とのなす角度が0度以上45度以下であ
る請求項2に記載のIII族窒化物半導体基板の製造方法。 - 前記切断工程は、2mm/h以上の速度で前記バルク結晶を切断する請求項1に記載の
III族窒化物半導体基板の製造方法。 - III族窒化物半導体単結晶を切断して形成されるIII族窒化物半導体基板であって、
一の結晶面と前記一の結晶面の硬度より小さい硬度の他の結晶面とを含むIII族窒化物
半導体単結晶からなるバルク結晶を、前記他の結晶面側から前記一の結晶面側に向けて切
断されて形成されるIII族窒化物半導体基板。 - 前記切断後に露出する前記III族窒化物半導体基板の表面に位置する前記切断によって
生じるダメージ層の深さが表面から50μm以下である請求項5に記載のIII族窒化物半
導体基板。 - 前記ダメージ層を研磨した後に露出する研磨面に平行な一の方向に沿った前記研磨面の
一の表面粗さと、前記一の方向とは異なる他の方向に沿った前記研磨面の他の表面粗さと
の差の絶対値が、10nm以下である請求項6に記載のIII族窒化物半導体基板。 - 前記研磨面内における結晶方位分布が、中心値±0.05°以下である請求項7に記載
のIII族窒化物半導体基板。 - 前記切断は鉄を含むワイヤソーにより実施され、
基板中の鉄濃度が1×1016cm-3以下である請求項8に記載のIII族窒化物半導体基板。
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