JP7467093B2 - 搬送システムおよび物品の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、図面を参照して本発明の第一の実施形態について図1A乃至図6を用いて説明する。
Y=(Y112bR+ Y112fR)/2 ---式(5a)
Wz=(Y112bR - Y112fR)/(2*a2) ---式(5b)
と計算することが出来る。
Z=(Z113bL + Z113fL + Z113cR)/3 ---式(5c)
Wx=(Z113cR -(Z113bL + Z113fL)/2)/(2*b) ---式(5d)
Wy=(Z113bL - Z113fL)/(2*a) ---式(5e)
で計算することが出来る。
T=(TX,Ty,Tz,TwX,Twy,Twz) …式(6)
まず、所望の力Tが満足すべき一般式を示す。
j番目のコイルに印加する電流の大きさをIjで表す。
j番目のコイルの座標を(Xj,Yj)とする。
jを1から18まで変化させた場合の総和をΣで表すと、
TX=ΣIj*Fx(j,x) ---式(7a)
Ty=ΣIj*Fy(j,x) ---式(7b)
Tz=ΣIj*Fz(j,x) ---式(7c)
TwX=-ΣIj*Fz(j,x)*Yj ---式(7d)
Twy=ΣIj*Fz(j,x)*Xj ---式(7e)
Twz=ΣIj*Fx(j,x)*Yj-ΣIj*Fy(j,x)*Xj ---式(7f)
で表すことが出来る。
FxbL:コイル103a1L、103a2L、103a3Lから生成されるX方向の力
FzbL:コイル103a1L、103a2L、103a3Lから生成されるZ方向の力
FycL:コイル103b1・4L(コイル103b1Lと・103b4L)、103b2・5L(コイル103b2Lと・103b5L)、103b3・6L(コイル103b3Lと・103b3L)から生成されるY方向の力
FxfL:コイル103c1L、103c2L、103c3Lから生成されるX方向の力
FzfL:コイル103c1L、103c2L、103c3Lから生成されるZ方向の力
FxbR:コイル103a1R、103a2R、103a3Rから生成されるX方向の力
FzbR:コイル103a1R、103a2R、103a3Rから生成されるZ方向の力
FycR:コイル103b1・4R(コイル103b1Rと103b4R)、103b2・5(R103b2Rと103b5R)、103b3・6R(103b3Rと103b6R)から生成されるY方向の力
FxfR:コイル103c1R、103c2R、103c3Rから生成されるX方向の力
FzfR:コイル103c1R、103c2R、103c3Rから生成されるZ方向の力
力ベクトルFを
F=(FxbL、FzbL、FycL、FxfL、FzfL、FxbR、FzbR、FycR、FxfR、FzfR)で定義する。
力T(TX、Ty、Tz、TwX、Twy、Twz)
は、それぞれ次式(8a)、(8b)、(8c)、(8d)、(8e)及び(8f)により算出される。
TX=FxfR+FxbR+FxfL+FxbL …式(8a)
Ty=FycL+FycR …式(8b)
Tz=FzbR+FzbL+FzfR+FzfL …式(8c)
TwX={(FzfL+FzbL)-(FzfR+FzbR)}*2*rx3 …式(8d)
Twy={(FzfL+FzfR)-(FzbL+FzbR)}*2*ry3 …式(8e)
Twz={(FxfL+FxbL)-(FxfR+FxbR)}*2*rx3 …式(8f)
力ベクトルFには10個の自由度があるので、6自由度の力Tから算出するにはさらに4個の制限を導入すればよい。
FxfR=FxbR …式(8g)
FxfL=FxbL …式(8h)
FycL=FycR …式(8i)
また、Y軸周りの回転力をL側、R側に均等に配分するように以下の制限を導入する。
FzfR-FzbR=FzfL-FzbL …式(8j)
ここまでで式8a~8jまでの10式により力ベクトルTが決定されれば力ベクトルFを決定することが出来る。
FxbL=Fx(a1L,x)*IL1+Fx(a2L,x)*Ia1L+Fx(a3L,x)*Ia3L …式(9a)
FzbL=Fz(a1L,x)*Ia1L+Fz(a2L,x)*Ia2L+Fz(a3L,x)*Ia3L …式(9b)
ここで、
Ia1L+Ia2L+Ia3L=0 …式(9c)
の制限を導入すればIa1L,Ia2L,Ia3Lの未知数に対して3個の独立した条件が得られるので各電流値(Ia1L,Ia2L,Ia3L)を一意に決定できる。
FxfL=Fx(c1L,x)*Ic1L+Fx(c2L,x)*Ic2L+Fx(c3L,x)*Ic3L …式(10a)
FzbL=Fz(c1L,x)*Ic1L+Fz(c2L,x)*Ic2L+Fz(c3L,x)*Ic3L …式(10b)
Ic1L+Ic2L+Ic3L=0 ---式10c
Fxbr=Fx(a1R,x)*Ia1R+Fx(a2R,x)*Ia2R+Fx(a3R,x)*Ia3R …式(11a)
Fzbr=Fz(a1R,x)*Ia1R+Fz(a2R,x)*Ia2R+Fz(a3R,x)*Ia3R …式(11b)
Ia1R+Ia2R+Ia3R=0 ---式11c
FxfR=Fx(c1R,x)*Ic1R+Fx(c2R,x)*Ic2R+Fx(c3R,x)*Ic3R …式(12a)
FzbR=Fz(c1R,x)*Ic1R+Fz(c2R,x)*Ic2R+Fz(c3R,x)*Ic3R …式(12b)
Ic1R+Ic2R+Ic3R=0 ---式12c
FycL= Fy((b1・4L),x)*I(b1・4L)+Fy((b2・5L),x)*I(b2・5L)+Fy((b3・6L),x)*I(b3・6L) …式(13a)
に追加して
I(b1・4L)+I(b2・5L)+I(b3・6L)=0 ---式13b
I(b1・4L):I(b2・5L):I(b3・6L)=Fy((b1・3L),x):Fy((b2・5L),x):Fy((b3・6L),x)
すなわち、
I(b3・6L)*Fy((b1・4L),x)= I(b2・5L)* Fy((b2・5L),x)= I(b1・4L)* Fy((b3・6L),x) ---式13c
により各電流値(I(b1・4L),I(b2・5L),I(b3・6L))を一意に決定できる。
FycR= Fy((b1・4R),x)*I(b1・4R)+Fy((b2・5R),x)*I(b2・5R)+Fy((b3・6R),x)*I(b3・6R) …式13d
に追加して
I(b1・4R)+I(b2・5R)+I(b3・6R)=0 ---式13e
I(b1・4R):I(b2・5R):I(b3・6R)=Fy((b1・4R),x):Fy((b2・5R),x):Fy((b3・6R),x)
すなわち、
I(b3・6R)*Fy((b1・4R),x)= I(b2・5R)* Fy((b2・5R),x)= I(b1・4R)* Fy((b3・6R),x) ---式13f
により各電流値(I(b1・4R),I(b2・5R),I(b3・6R))を一意に決定できる。
第二の実施形態について、図4Bを用いて説明する。図4Bは、本実施形態による搬送システム1を制御する制御システムを示す概略図である。なお、上記第一の実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し又は簡略にする。
本発明は、上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
102 ワーク
103 コイル
201 固定子
203 永久磁石
Claims (7)
- 第1の方向に沿って配置された複数の第1のコイルよりなる第1のコイル群と、前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って配置された複数の第2のコイルよりなる第2のコイル群とを有する可動子と、
前記第1のコイル群及び前記第2のコイル群に対向可能に前記第1の方向に沿って1列に配置された隣り合う磁極が異なる複数の磁性体と、を有し、
前記可動子は、前記第1のコイル群又は前記第2のコイル群に電流が流されることによって、前記1列に配置された隣り合う磁極が異なる複数の磁性体との間に発生する力により姿勢が制御されつつ、前記第1の方向に移動可能であり、
前記第1のコイル群は、電流が流されることにより、前記1列に配置された隣り合う磁極が異なる複数の磁性体との間に、前記第1の方向および前記第1の方向に交差する鉛直方向に印加される力を発生し、
前記第2のコイル群は、電流が流されることにより、前記1列に配置された隣り合う磁極が異なる複数の磁性体との間に、前記第1の方向および前記鉛直方向に交差する前記第2の方向に印加される力を発生する
ことを特徴とする搬送システム。 - 前記第1のコイル群又は前記第2のコイル群は、前記磁性体との間に前記第1の方向とは異なる方向に力を発生させる
ことを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。 - 前記可動子は、前記第1の方向に沿った上面を有し、
前記第1のコイル群及び前記第2のコイル群は、前記上面に配置されている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の搬送システム。 - 前記第1のコイル群及び前記第2のコイル群は、前記上面に配置され、
前記第1のコイル群及び前記第2のコイル群は、
前記磁性体の間に引力が働きうるコアを有し、
前記コアは、前記1列に配置された隣り合う磁極が異なる複数の磁性体と対向可能に配置されている
ことを特徴とする請求項3に記載の搬送システム。 - 前記第2のコイル群のうち、隣り合う2つのコイルは、前記1列に配置された隣り合う磁極が異なる複数の磁性体と対向可能な位置に配置されており、
前記第2のコイル群のうちの隣り合う2つのコイルに流れる電流は、互いに方向が異なる
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の搬送システム。 - 前記第2の方向は、前記第1の方向と直交する水平方向である
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の搬送システム。 - 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の搬送システムを用いて物品を製造する物品の製造方法であって、
前記可動子によりワークを搬送する工程と、
前記ワークに対して加工作業を施す工程と、を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022264287A1 (ja) * | 2021-06-15 | 2022-12-22 | 株式会社日立ハイテク | ステージ装置、荷電粒子線装置および真空装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004343105A (ja) | 2003-05-01 | 2004-12-02 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
CN105119463A (zh) | 2015-07-22 | 2015-12-02 | 北京顿一科技有限公司 | 新型有铁芯直线电机、电机伺服系统及铁芯的制备方法 |
US20180212505A1 (en) | 2015-07-06 | 2018-07-26 | Guangdong Jixun Precision Equipment Co., Ltd. | Displacement device |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2879934B2 (ja) | 1990-04-27 | 1999-04-05 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ装置 |
US6208045B1 (en) * | 1998-11-16 | 2001-03-27 | Nikon Corporation | Electric motors and positioning devices having moving magnet arrays and six degrees of freedom |
JP4590846B2 (ja) | 2003-09-01 | 2010-12-01 | 株式会社ニコン | 磁気浮上式ステージ装置及び露光装置 |
JP4566697B2 (ja) * | 2004-11-08 | 2010-10-20 | キヤノン株式会社 | 位置決め装置およびそれを用いた露光装置、デバイス製造方法 |
KR100726711B1 (ko) * | 2005-12-30 | 2007-06-12 | 한국전기연구원 | 자기부상방식의 대면적 스테이지 장치 |
KR20120019298A (ko) * | 2010-08-25 | 2012-03-06 | 주식회사 져스텍 | 리니어 모터를 이용하는 반송 장치 및 그 반송 장치의 제어 방법. |
KR101829030B1 (ko) * | 2011-10-27 | 2018-03-29 | 더 유니버시티 오브 브리티쉬 콜롬비아 | 변위 장치 및 변위 장치의 제조, 사용 그리고 제어를 위한 방법 |
JP7066333B2 (ja) * | 2017-05-17 | 2022-05-13 | キヤノン株式会社 | 搬送システム、加工システム、物品の製造方法、搬送システムの制御方法及び可動機構 |
-
2019
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2020
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004343105A (ja) | 2003-05-01 | 2004-12-02 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
US20180212505A1 (en) | 2015-07-06 | 2018-07-26 | Guangdong Jixun Precision Equipment Co., Ltd. | Displacement device |
CN105119463A (zh) | 2015-07-22 | 2015-12-02 | 北京顿一科技有限公司 | 新型有铁芯直线电机、电机伺服系统及铁芯的制备方法 |
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