JP2021093781A5 - - Google Patents
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Description
本発明の搬送システムは、第1の方向に沿って配置された第1のコイル群と、前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って配置された第2のコイル群とを有する可動子と、前記第1のコイル群及び前記第2のコイル群に対向可能に前記第1の方向に沿って配置された磁性体と、を有し、前記可動子は、前記第1のコイル群又は前記第2のコイル群に電流を流すことによって、前記磁性体との間に発生する力により姿勢が制御されつつ、前記第1の方向に移動可能であることを特徴とする。
Claims (10)
- 第1の方向に沿って配置された第1のコイル群と、前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って配置された第2のコイル群とを有する可動子と、
前記第1のコイル群及び前記第2のコイル群に対向可能に前記第1の方向に沿って配置された磁性体と、を有し、
前記可動子は、前記第1のコイル群又は前記第2のコイル群に電流を流すことによって、前記磁性体との間に発生する力により姿勢が制御されつつ、前記第1の方向に移動可能である
ことを特徴とする搬送システム。 - 前記第1のコイル群又は前記第2のコイル群は、前記磁性体との間に前記第1の方向とは異なる方向に力を発生させる
ことを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。 - 前記可動子は、前記第1の方向に沿った上面を有し、
前記第1のコイル群及び前記第2のコイル群は、前記上面に配置されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送システム。 - 前記第1のコイル群及び前記第2のコイル群は、前記上面に配置され、
前記第1のコイル群及び前記第2のコイル群は、
前記磁性体の間に引力が働きうるコアを有し、
前記コアは、前記磁性体と対向可能に配置されている
ことを特徴とする請求項3に記載の搬送システム。 - 上面、側面、および下面を有し、
前記上面には、第1の方向に沿って配置された第1のコイル群と、
前記第1の方向と交差する方向に沿って配置された第2のコイル群とを備える
ことを特徴とする可動子。 - 前記側面には、第1の方向に沿って配置された案内部材を有することを特徴とする請求項5に記載の可動子。
- 前記下面にワークを保持するための保持機構をさらに有することを特徴とする請求項5または6に記載の可動子。
- 第1の方向に沿って配置された第1のコイル群と、前記第1の方向と交差する方向に沿って配置された第2のコイル群とを有する可動子を、前記第1のコイル群及び前記第2のコイル群に対向可能に前記第1の方向に沿って配置された磁性体に沿って移動させる制御装置であって、
前記第1のコイル群に印加する電流を制御することにより、前記第1の方向への前記可動子の搬送を制御する搬送制御手段と、
前記第1のコイル群又は前記第2のコイル群に印加する電流を制御することにより、前記可動子の姿勢を制御する姿勢制御手段と
を有することを特徴とする制御装置。 - 第1の方向に沿って配置された第1のコイル群と、前記第1の方向と交差する方向に沿って配置された第2のコイル群とを有する可動子を、前記第1のコイル群及び前記第2のコイル群に対向可能に前記第1の方向に沿って配置された磁性体に沿って移動させる制御方法であって、
前記第1のコイル群に印加する電流を制御することにより、前記第1の方向への前記可動子の搬送を制御し、
前記第1のコイル群又は前記第2のコイル群に印加する電流を制御することにより、前記可動子の姿勢を制御する
ことを特徴とする制御方法。 - 請求項1に記載の搬送装置を用いて物品を製造する物品の製造方法であって、
前記可動子によりワークを搬送する工程と、
前記ワークに対して加工作業を施す工程と、を含むことを特徴とする物品の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019221444A JP7467093B2 (ja) | 2019-12-06 | 2019-12-06 | 搬送システムおよび物品の製造方法 |
US17/104,978 US11843299B2 (en) | 2019-12-06 | 2020-11-25 | Conveyance system, movable element, control apparatus, control method, and method of manufacturing articles |
KR1020200167172A KR20210071844A (ko) | 2019-12-06 | 2020-12-03 | 반송 시스템, 가동 요소, 제어 장치, 제어 방법 및 물품의 제조 방법 |
CN202011400657.9A CN112928886B (zh) | 2019-12-06 | 2020-12-04 | 输送系统、可移动元件、控制装置、控制方法以及物品的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019221444A JP7467093B2 (ja) | 2019-12-06 | 2019-12-06 | 搬送システムおよび物品の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021093781A JP2021093781A (ja) | 2021-06-17 |
JP2021093781A5 true JP2021093781A5 (ja) | 2022-12-07 |
JP7467093B2 JP7467093B2 (ja) | 2024-04-15 |
Family
ID=76162652
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019221444A Active JP7467093B2 (ja) | 2019-12-06 | 2019-12-06 | 搬送システムおよび物品の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11843299B2 (ja) |
JP (1) | JP7467093B2 (ja) |
KR (1) | KR20210071844A (ja) |
CN (1) | CN112928886B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022264287A1 (ja) * | 2021-06-15 | 2022-12-22 | 株式会社日立ハイテク | ステージ装置、荷電粒子線装置および真空装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2879934B2 (ja) * | 1990-04-27 | 1999-04-05 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ装置 |
US6208045B1 (en) * | 1998-11-16 | 2001-03-27 | Nikon Corporation | Electric motors and positioning devices having moving magnet arrays and six degrees of freedom |
US7245047B2 (en) | 2003-05-01 | 2007-07-17 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP4590846B2 (ja) | 2003-09-01 | 2010-12-01 | 株式会社ニコン | 磁気浮上式ステージ装置及び露光装置 |
JP4566697B2 (ja) * | 2004-11-08 | 2010-10-20 | キヤノン株式会社 | 位置決め装置およびそれを用いた露光装置、デバイス製造方法 |
KR100726711B1 (ko) * | 2005-12-30 | 2007-06-12 | 한국전기연구원 | 자기부상방식의 대면적 스테이지 장치 |
KR20120019298A (ko) * | 2010-08-25 | 2012-03-06 | 주식회사 져스텍 | 리니어 모터를 이용하는 반송 장치 및 그 반송 장치의 제어 방법. |
EP2759047B1 (en) * | 2011-10-27 | 2022-03-16 | The University Of British Columbia | Displacement devices and methods for fabrication, use and control of same |
NL2015092B1 (en) | 2015-07-06 | 2017-01-30 | Ding Chenyang | Displacement device. |
CN105119463A (zh) | 2015-07-22 | 2015-12-02 | 北京顿一科技有限公司 | 新型有铁芯直线电机、电机伺服系统及铁芯的制备方法 |
JP7066333B2 (ja) * | 2017-05-17 | 2022-05-13 | キヤノン株式会社 | 搬送システム、加工システム、物品の製造方法、搬送システムの制御方法及び可動機構 |
-
2019
- 2019-12-06 JP JP2019221444A patent/JP7467093B2/ja active Active
-
2020
- 2020-11-25 US US17/104,978 patent/US11843299B2/en active Active
- 2020-12-03 KR KR1020200167172A patent/KR20210071844A/ko not_active Application Discontinuation
- 2020-12-04 CN CN202011400657.9A patent/CN112928886B/zh active Active
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