JP2021102495A5 - - Google Patents

Description

本発明の搬送装置は、第１の方向に沿って複数のコイルが配置された固定子と、前記複数のコイルに沿って移動する可動子と、を備え、前記固定子は、前記第１の方向に沿って配置され、一方向に着磁された複数の第１の磁石をさらに有し、前記可動子は、前記複数のコイルに対向するように複数の第２の磁石と、前記複数の第１の磁石と対向するように配置され、前記複数の第１の磁石と反発する方向に着磁された複数の第３の磁石と、を有することを特徴とする。
また、本発明の搬送装置は、固定子と、当該固定子に対して所定の搬送方向に移動可能な可動子と、を備え、前記固定子は、搬送方向に沿って配置された複数のコイルと、前記搬送方向に沿って配置された複数の第１の磁石を有し、前記可動子は、前記固定子の前記複数のコイルに対向し、当該コイルとの間に発生する力により可動子を搬送方向に移動させるための複数の第２の磁石と、前記固定子の前記複数の第１の磁石と対向し、前記固定子に対して前記可動子を浮上させる方向に力を発生させる複数の第３の磁石と、を有することを特徴とする。

Claims (16)

1. 第１の方向に沿って複数のコイルが配置された固定子と、
   前記複数のコイルに沿って移動する可動子と、を備え、
   前記固定子は、前記第１の方向に沿って配置され、一方向に着磁された複数の第１の磁石をさらに有し、
   前記可動子は、
   前記複数のコイルに対向するように配置された複数の第２の磁石と、
   前記複数の第１の磁石と対向するように配置され、前記複数の第１の磁石と反発する方向に着磁された複数の第３の磁石と、
   を有することを特徴とする搬送装置。
2. 前記複数の第１の磁石と、前記複数の第３の磁石との間に、重力の方向に反発しあう力を生じさせることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記複数の第３の磁石は、前記可動子の下面側に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の搬送装置。
4. 前記複数の第３の磁石は、前記可動子の上面に対向する位置に配置されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれか一項に記載の搬送装置。
5. 前記複数の第１の磁石の前記第１の方向と交差する第２の方向における中心と、前記複数の第３の磁石の前記第２の方向における中心は、前記第２の方向においてずれていることを特徴とする請求項１乃至４いずれか一項に記載の搬送装置。
6. 前記複数の第３の磁石の少なくとも１つは、湾曲した形状であることを特徴とする請求項１乃至４いずれか一項に記載の搬送装置。
7. 前記複数の第３の磁石の少なくとも１つは、Ｖ字状に配置されていることを特徴とする請求項１乃至４いずれか一項に記載の搬送装置。
8. 前記可動子は、側面に前記第１の方向に沿って配置され一方向に着磁された複数の第４の磁石をさらに有し、
   前記固定子は、前記複数の第４の磁石と対向可能な位置に、前記複数の第４の磁石と反発する方向に着磁された複数の第５の磁石を有することを特徴とする請求項１乃至７いずれか一項に記載の搬送装置。
9. 固定子と、当該固定子に対して所定の搬送方向に移動可能な可動子と、を備え、
   前記固定子は、搬送方向に沿って配置された複数のコイルと、前記搬送方向に沿って配置された複数の第１の磁石を有し、
   前記可動子は、
   前記固定子の前記複数のコイルに対向するように配置され、当該コイルとの間に発生する力により可動子を搬送方向に移動させるための複数の第２の磁石と、
   前記固定子の前記複数の第１の磁石と対向するように配置され、前記固定子に対して前記可動子を浮上させる方向に力を発生させる複数の第３の磁石と、
   を有することを特徴とする搬送装置。
10. 前記複数の第２の磁石は、前記可動子の上面側に配置されており、
    前記複数の第３の磁石は、前記可動子の下面側に配置されており、
    前記複数の第３磁石は、前記固定子の前記複数の第１の磁石との間に、重力の方向と反発する方向に力を発生させることを特徴とする請求項９に記載の搬送装置。
11. 前記複数の第１の磁石の前記搬送方向と交差する第２の方向における中心と、前記複数の第３の磁石の前記第２の方向における中心は、前記第２の方向においてずれていることを特徴とする請求項９又は１０に記載の搬送装置。
12. 前記複数の第３の磁石は、前記第２の方向において前記可動子の中心を挟んで、前記搬送方向に沿ってそれぞれ１列に配置されており、
    前記複数の第１の磁石は、前記第２の方向において前記可動子の中心を挟んで、前記搬送方向に沿ってそれぞれ１列に配置されていることを特徴とする請求項１１に記載の搬送装置。
13. 前記複数の第１の磁石の前記第２の方向における中心と、前記複数の第３の磁石の前記第２の方向における中心とが、前記第２の方向においてずれて配置されていることによって、前記第２の方向における前記可動子の位置を制御可能であることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の搬送装置。
14. 請求項１乃至１３いずれか一項に記載の搬送装置により搬送されたワークに加工を行ない、物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
15. 請求項１乃至１３のいずれか一項に記載に搬送装置と、蒸着源と、を備える蒸着装置であって、
    前記蒸着源が、前記複数の第１の磁石及び前記複数の第３磁石よりも下方に設けられていることを特徴とする蒸着装置。
16. 前記可動子は、前記蒸着源と、前記複数のコイルとの間を移動可能であることを特徴とする請求項１５に記載の蒸着装置。