JP6719567B2 - キャリアを搬送するための装置、基板を真空処理するためのシステム、及び真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法 - Google Patents

キャリアを搬送するための装置、基板を真空処理するためのシステム、及び真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法 Download PDF

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Description

本開示の実施形態は、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための装置、基板を真空処理するためのシステム、及び真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法に関する。本開示の実施形態は、特に、堆積装置、及び第１の搬送経路と第２の搬送経路との間でキャリアを移動させるように構成された経路切り替えアセンブリを有する、真空システムに関する。具体的には、真空チャンバ内でキャリアのトラックを変更するための方法が説明される。
基板上での層堆積のための技術は、例えば、スパッタ堆積、蒸散（evaporation）、及び化学気相堆積（CVD）を含む。スパッタ堆積プロセスは、基板上に絶縁材料又は導電性材料の層などの材料層を堆積させるために使用され得る。
多重層スタックを堆積させるために、処理モジュールのインライン構成が使用され得る。インライン処理システムは、堆積モジュールなどの複数の後続の処理モジュール、任意選択的に、更なる処理モジュール、例えば、洗浄モジュール及び／又はエッチングモジュールを含む。複数の処理態様が、次から次へ処理モジュール内で行われる。それによって、複数の基板が、インライン処理システム内で連続的に又は準連続的に処理され得る。
基板は、キャリア、すなわち、基板を運搬するための運搬デバイスによって運搬され得る。キャリアは、通常、搬送システムを使用して真空システムを通して搬送される。搬送システムは、１以上の搬送経路に沿ってキャリア上に位置付けられた基板を有するキャリアを運ぶように構成され得る。真空システム内には、少なくとも２つの搬送経路が、互いの隣りに設けられ得る。例えば、キャリアを前方向へ搬送するための第１の搬送経路、及びキャリアを前方向とは反対の戻る方向へ搬送するための第２の搬送経路である。
搬送システムは、搬送経路に沿って且つ／又は（「経路切り替え」若しくは「トラック切り替え」とも称される）１つの搬送経路から別の１つの搬送経路へ、キャリアを支持し運ぶように構成されたローラ又は他の支持体を有し得る。キャリア搬送中のキャリアとキャリア支持体との間の摩擦は、真空システムの内側の真空状態に悪影響を与え得る粒子を生成し得る。粒子は、基板上に堆積した層を汚染し、堆積した層の品質が低減され得る。
上述した観点から、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための新しい装置、基板を真空処理するための新しいシステム、及び真空チャンバ内での粒子の生成を低減させる真空チャンバ内でキャリアを搬送するための新しい方法が必要である。真空チャンバ内での粒子の生成を低減させる一方で、真空チャンバ内の少なくとも２つの搬送経路の間の容易にされた経路切り替えを提供する、新しい装置、システム、及び方法も必要とされる。
上述のことに照らして、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための装置、基板を真空処理するためのシステム、及び真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法が提供される。本開示の更なる態様、利点、及び特徴は、特許請求の範囲、明細書の説明、及び添付図面から明らかになる。
本開示の一態様によれば、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための装置が提供される。装置は、第１の搬送経路に沿って搬送方向に設けられた第１の搬送システムを含む。第１の搬送システムは、下側トラックセクションと上側トラックセクションを含む。装置は、更に、第１の搬送経路から離れるように経路切り替え方向へ、キャリアを移動させるように構成された経路切り替えアセンブリ、及び、第１の搬送システムの下側トラックセクションと上側トラックセクションとの間の距離を変更するためのアクチュエータを含む。
該アクチュエータは、下側トラックセクションと上側トラックセクションとの間に第１の距離を有する搬送位置と、下側トラックセクションと上側トラックセクションとの間に第２の距離を有する経路切り替え位置と、の間で切り替えを行うように構成され得る。第１の距離は、第２の距離よりも小さい。
ある実施形態では、第１の搬送システムが、第１の搬送経路に沿って搬送方向にキャリアを非接触方式で搬送するように構成され得る。キャリアは、特に、上側トラックセクションと下側トラックセクションとの間のキャリア搬送スペース内において、搬送中に垂直配向に保持され得る。特に、第１の搬送システムは、磁気浮揚システムであり得る。
本開示の別の一態様によれば、基板を真空処理するためのシステムが提供される。該システムは、真空チャンバ、並びに、堆積源、スパッタ源、蒸発源、表面処理ツール、加熱デバイス、洗浄デバイス、エッチングツール、及びそれらの組み合わせから成る群から選択された、真空チャンバ内に配置された１以上の処理ツールを含む。該システムは、本明細書で説明される実施形態の何れかによる装置を更に含む。
本開示の更に別の一態様によれば、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法が提供される。該方法は、第１の搬送システムの下側トラックセクションと上側トラックセクションとの間で第１の搬送経路に沿って搬送方向にキャリアを搬送すること、下側トラックセクションと上側トラックセクションとの間の距離を増加させること、及び第１の搬送経路から離れるように搬送方向を横切る経路切り替え方向へ、キャリアを移動させることを含む。
本開示の更に別の一態様によれば、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法が提供される。該方法は、第１の搬送経路に沿って搬送方向にキャリアを搬送すること、及び第１の搬送経路から水平方向にオフセットされた第２の搬送経路へキャリアを移動させることを含む。キャリアを移動させることは、キャリアを下げること、経路切り替え方向にキャリアを移動させること、及びキャリアを持ち上げることを含む。
実施形態は、本開示の方法を実行するための装置も対象としており、各説明される方法態様を実行するための装置部分を含む。これらの方法態様は、ハードウェア構成要素を用いて、適切なソフトウェアによってプログラミングされたコンピュータを用いて、これらの２つの任意の組合せによって、又はそれ以外の任意のやり方で実行され得る。更に、本開示による実施形態は、説明される装置を操作するための方法も対象とする。説明される装置を操作するための方法は、装置のあらゆる機能を実施するための方法態様を含む。
本開示の上記の特徴を詳細に理解することができるように、実施形態を参照することによって、上で簡単に概説した本開示のより具体的な説明を得ることができる。添付の図面は本開示の実施形態に関連し、以下の記述において説明される。
本明細書で説明される実施形態による、キャリアを搬送するための装置の概略図を示す。 経路切り替え位置にある図１の装置の概略図を示す。 本明細書で説明される実施形態による、キャリアを搬送するための装置を含むシステムの概略上面図を示す。 本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の様々な段階のうちの１つを示す。 本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の様々な段階のうちの１つを示す。 本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の様々な段階のうちの１つを示す。 本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の様々な段階のうちの１つを示す。 本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の様々な段階のうちの１つを示す。 本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の様々な段階のうちの１つを示す。 本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の様々な段階のうちの１つを示す。 本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の様々な段階のうちの１つを示す。 本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の後続の段階のうちの１つを示す。 本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の後続の段階のうちの１つを示す。 本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の様々な段階のうちの１つを示す。 本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の様々な段階のうちの１つを示す。 本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の様々な段階のうちの１つを示す。 本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の様々な段階のうちの１つを示す。 本明細書で説明される実施形態による、キャリアを搬送するための方法を示すためのフロー図である。 本明細書で説明される実施形態による、キャリアを搬送するための方法を示すためのフロー図である。
次に、本開示の様々な実施形態が詳細に参照されることになり、それらの１以上の実施例が図示される。図面に関する以下の説明の中で、同じ参照番号は同じ構成要素を指している。概して、個々の実施形態に対する相違のみが説明される。本開示の説明として各実施例が与えられているが、これは本開示を限定することを意図しているわけではない。更に、一実施形態の一部として図示且つ説明されている特徴を、他の実施形態で用いてもよく、或いは他の実施形態と併用してもよい。それにより、更に別の実施形態が生み出される。本説明には、このような修正例及び変形例が含まれることが意図されている。
真空チャンバ内でキャリアを搬送するための装置は、１つ、２つ、又はそれ以上の搬送経路を設けることができる。キャリアは、搬送経路に沿って移動され又は運ばれ得る。第１の搬送経路Ｔ１は、例えば、第１の搬送経路Ｔ１に本質的に平行な第２の搬送経路Ｔ２の隣りで延在し得る。第１の搬送経路Ｔ１及び／又は第２の搬送経路Ｔ２は、本質的に水平方向であり得る搬送方向Ｔに延在し得る。
第１の搬送経路Ｔ１と第２の搬送経路Ｔ２は、経路切り替え方向Ｓにおいて互いから水平方向にオフセットされ得る。経路切り替え方向Ｓにおける第１の搬送経路Ｔ１と第２の搬送経路Ｔ２との間の距離は、１０ｃｍ以上、特に、２０ｃｍ以上、且つ／又は、１００ｃｍ以下、特に、５０ｃｍ以下であり得る。
本明細書で説明されるキャリアを搬送するための装置は、インライン処理システムなどの真空処理システムの一部分であり得る。それによって、基板は、連続的又は準連続的に処理され得る。装置は、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように、第２の搬送経路Ｔ２と基板が処理され得る処理位置Ｔ３のうちの少なくとも一方へ、キャリアを動かし又は移動させるように構成され得る。具体的には、装置が、第１の搬送経路Ｔ１上の第１の位置から、第１のトラックから離れた第２の位置へ、経路切り替え方向Ｓにキャリアを横に動かし得る。経路切り替え方向Ｓは、搬送方向Ｔを横切り、特に、搬送方向Ｔと本質的に垂直であり得る。１つの搬送経路から別の１つの搬送経路へ経路切り替え方向Ｓにキャリアが移動されたときに、前記移動は、「経路切り替え」又は「トラック切り替え」とも称され得る。
ある実施形態では、キャリアが、第１の搬送経路Ｔ１に沿って搬送方向Ｔに搬送され、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように経路切り替え方向Ｓに、処理位置Ｔ３へ移動される。処理位置Ｔ３では、基板が処理され、経路切り替え方向Ｓに第２の搬送経路Ｔ２へ移動され、第２の搬送経路Ｔ２に沿って搬送される。
装置は、搬送システムを含み得る。搬送システムは、例えば、磁力を使用して、第１及び／又は第２の搬送経路に沿ってキャリアを非接触方式で搬送するように構成され得る。言い換えると、搬送システムは、キャリアを搬送するために機械的な力を使用し得ない。代わりに、搬送システムは、新しい位置に向けてキャリアを磁気的に押し又は引き付け得る。本開示の全体を通して使用される際に、「非接触方式で」及び「非接触方式で移動させる」という用語は、キャリアが、キャリアと搬送システムとの間の機械的な接触を使用して移動しないが、反発する及び／又は引き付ける磁力によって磁気的に移動するという意味において理解され得る。ある実施態様では、第１及び／又は第２の搬送経路に沿った搬送中に、装置とキャリアとの間に機械的な接触が全く存在しない。
ある実施形態では、搬送システムが、磁気浮揚システムであり得る。磁気浮揚システムは、上側トラックと下側トラックを含み得る。キャリアは、上側トラックと下側トラックとの間で本質的に垂直配向で搬送され得る。上側トラックは、下側トラックの上方に配置され得る。磁気浮揚システムの磁石及び／又は駆動ユニットは、上側トラック及び／又は下側トラックに配置され得る。例えば、上側トラックの下方にキャリアを非接触方式で保持するように構成されたアクティブ磁気ユニットが、上側トラックに配置され得る。そして、トラックに沿ってキャリアを移動させるように構成された駆動ユニットが、下側トラックに配置され得る。
キャリアを非接触方式で搬送することは、有益である。何故ならば、キャリアの搬送中に、キャリアとローラなどの搬送システムのセクションとの間の機械的な接触により、低減された数の粒子が生成されるからである。したがって、真空チャンバ内での真空状態は、キャリアの搬送によって悪影響を受けない。基板上に堆積した層の純度が、改良され得る。何故ならば、とりわけ、非接触方式で搬送するように構成された搬送システムを使用するときに、粒子の生成が最小化され又は完全に避けられさえするからである。
図１Ａは、本明細書で説明される実施形態による、搬送位置（Ｉ）にある真空チャンバ１０１内でキャリア１０を搬送するための装置１００の概略図である。搬送位置（Ｉ）では、キャリア１０が、第１の搬送経路Ｔ１に沿って搬送方向Ｔに搬送され得る。非接触方式での搬送中に、キャリアと上側トラックセクションとの間、及びキャリアと下側トラックセクションとの間に、（小さい）間隙が設けられ得る。
図１Ｂは、経路切り替え位置（ＩＩ）にある図１Ａの装置の概略図である。経路切り替え位置（ＩＩ）では、キャリア１０が、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように経路切り替え方向Ｓへ、例えば、第２の搬送経路Ｔ２に向けて移動され得る。ある実施形態によれば、装置１００は、真空処理システムの一部分、例えば、スパッタ堆積システム又は蒸発堆積システムであり得る。
キャリア１０は、基板１１を運搬するように構成された基板キャリアであり得る。例えば、キャリア１０は、チャッキングデバイス、例えば、基板１１をキャリア１０の保持面に向けてチャッキングするための磁気チャック又は静電チャックを含み得る。他の実施形態では、キャリアが、異なる物体、例えば、マスク又はシールドを運搬するように構成され得る。キャリア１０は、基板１１を本質的に垂直配向で保持するように構成され得る。言い換えると、基板１１の主要面と重力ベクトルとの間の角度は、通常、キャリア１０の搬送中に２０度未満である。例えば、基板の主要面と重力ベクトルとの間の角度は、−１０度から＋１０度、特に、−１度から−５度であり得る。負の角度は、下向きに面する基板を示していることを意味する。
キャリアは、大面積基板、特に、ディスプレイ製造のための大面積基板を運搬するように構成され得る。実施形態では、基板が、１ｍ２以上、特に、５ｍ２以上、又は１０ｍ２以上でさえある処理されるべき表面積を有し得る。したがって、キャリアは、１ｍ２以上、特に、５ｍ２以上、又は１０ｍ２以上でさえあるサイズを有する基板保持表面を有し得る。例えば、キャリア１０の高さが、１ｍ以上、特に、２ｍ以上であってよく、且つ／又は、キャリアの幅が、１ｍ以上、特に、２ｍ以上であってもよい。キャリア１０は、基板を本質的に垂直配向で運搬するように構成され得る。
装置１００は、第１の搬送経路Ｔ１に沿って搬送方向Ｔにキャリア１０を搬送するように構成された第１の搬送システム１１２、特に、キャリアを非接触方式で搬送するように構成された搬送システムを含む。第１の搬送システム１１２は、第１の搬送経路Ｔ１に沿ってキャリアを非接触方式で搬送するように構成された第１の磁気浮揚システムであり得る。第１の搬送システム１１２は、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２を含む。キャリアは、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間のキャリア搬送スペース内で搬送され得る。第１の搬送システム１１２の磁気ユニットは、下側トラックセクション１２１及び／又は上側トラックセクション１２２に配置され得る。例えば、上側トラックセクション１２２の下方で、キャリア１０を非接触方式で保持するために、複数の動的に制御される磁気ユニットが、上側トラックセクション１２２に配置され得る。
装置１００は、経路切り替えアセンブリ１５０を更に含む。経路切り替えアセンブリ１５０は、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように経路切り替え方向Ｓへ、キャリアを移動させるように構成され得る。特に、経路切り替えアセンブリ１５０は、第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２へ、搬送経路Ｔに本質的に垂直な経路切り替え方向Ｓに、キャリアを移動させるように構成され得る。代替的に又は付加的に、経路切り替えアセンブリ１５０は、キャリアが処理される、例えば、被覆される処理位置Ｔ３へキャリアを移動させるように構成され得る。処理位置Ｔ３は、第１及び第２の搬送経路から水平方向にオフセットされ得る。
図１Ａ及び図１Ｂで概略的に描かれているように、キャリアが処理位置Ｔ３に配置されたときに、キャリア１０によって保持された基板１１を処理するために、処理ツール１０５が、真空チャンバ内に配置され得る。処理ツール１０５は、基板上に被覆材料を堆積させるように構成され得る。
装置１００は、図１Ａで描かれている搬送位置（Ｉ）と、図１Ｂで描かれている経路切り替え位置（ＩＩ）と、の間で切り替えを行うためのアクチュエータ１２５を更に含む。搬送位置（Ｉ）では、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２が、互いから第１の距離で配置され、経路切り替え位置（ＩＩ）では、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２が、互いから第２の距離で配置されている。第１の距離は、第２の距離よりも小さい。
言い換えると、本明細書で説明される実施形態によれば、第１の搬送システム１１２の下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離は、調整され、特に、増加及び／又は低減され得る。第１の距離（小さい距離）は、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間で搬送方向に、キャリアを非接触方式で搬送するために適切であり得る。下側及び上側トラックセクションが、小さい相対距離で設けられているときに、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように経路切り替え方向へ、キャリアを移動させることは困難であり得る。下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の第２の距離（大きい距離）は、第１の搬送経路から離れるように経路切り替え方向へ、すなわち、第２の搬送経路Ｔ２及び／又は処理位置Ｔ３へ、キャリアを移動させるために適切であり得る。
ある実施形態では、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の第１の距離が、１ｍ以上、特に、２ｍ以上であり得る。例えば、第１の距離は、キャリアの垂直寸法よりもわずかに大きくなり得る。それによって、キャリアは、下側トラックセクションと上側トラックセクションとの間で、非接触方式で搬送され得る。第２の距離は、第１の距離よりも数ミリメートル又は数センチメートルほど大きくなり得る。特に、第１の距離と第２の距離との間の差は、５ｍｍ以上、２０ｍｍ以上、４０ｍｍ以上、又は１００ｍｍ以上でさえあり得る。言い換えると、アクチュエータ１２５は、下側トラックセクションと上側トラックセクションとの間の距離を、５ｍｍ以上、２０ｍｍ以上、４０ｍｍ以上、又は更に１００ｍｍ以上だけ変更するように構成され得る。
言い換えると、アクチュエータ１２５は、経路切り替えアセンブリ１５０が配置された第１の搬送経路Ｔ１の一部分に沿って、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離を増加させるために設けられ得る。アクチュエータは、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離を増加させるための駆動デバイス、例えば、モータ、液圧デバイス、又は空気圧デバイスを含み得る。ある実施形態では、上側トラックセクション１２２と下側トラックセクション１２１との間の距離を増加させるために、アクチュエータ１２５が、上側トラックセクション１２２から離れるように、例えば、垂直方向へ、特に、下向きの方向へ下側トラックセクション１２１を移動させるように構成され得る。ある実施形態では、上側トラックセクション１２２と下側トラックセクション１２１との間の距離を増加させるために、アクチュエータ１２５が、下側トラックセクション１２１から離れるように、例えば、垂直方向へ、特に、上向きの方向へ上側トラックセクション１２２を移動させるように構成され得る。
第１の搬送経路Ｔ１から離れるキャリアの経路切り替えは、第１の搬送システム１１２が図１Ａで描かれている搬送位置（Ｉ）に設けられている間に、第１の搬送経路に沿って搬送方向Ｔにキャリアを搬送することを含み得る。キャリアは停止し得る。そして、上側トラックセクションと下側トラックセクションとの間により大きな距離を有する、図１Ｂで描かれている経路切り替え位置（ＩＩ）に、第１の搬送システム１１２が移動され得る。その後、キャリアは、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように経路切り替え方向Ｓへ移動され得る。
第１の搬送経路Ｔ１から離れるように経路切り替え方向Ｓへキャリアを移動させることは、幾つかの理由で、経路切り替え位置においてより容易であり得る。例えば、上側トラックセクションと下側トラックセクションからキャリアに作用し得る永久磁石の磁力の効果は、互いから離れるように上側トラックセクションと下側トラックセクションを移動させることによって低減され得る。更に、経路切り替え位置（ＩＩ）では、上側及び／又は下側トラックセクションに連結された側部ガイドレールが、キャリアと干渉し得ない。更に、経路切り替え位置では、上側トラックセクションと下側トラックセクションとの間に、より大きなスペースが設けられているので、経路切り替えアセンブリによるキャリアの側方移動が容易になり、よりコンパクトな経路切り替えアセンブリが設けられ得る。経路の切り替え中に、キャリアとトラックとの間の接触が避けられ得る。
ある実施形態では、図１Ａで描かれている搬送位置（Ｉ）と図１Ｂで描かれている経路切り替え位置（ＩＩ）との間の切り替えが、アクチュエータを使用して下側トラックセクション１２１を下向きの方向へ移動させることを含み得る。例えば、下側トラックセクション１２１は、２０ｍｍ以上、特に、４０ｍｍ以上、更に特に、８０ｍｍ以上の距離だけ、下向きに移動され得る。下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の垂直スペースは、経路切り替え動作を容易にするために増加され得る。
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態によれば、経路切り替えアセンブリ１５０は、キャリア保持部分１５２によって保持されたキャリア１０を経路切り替え方向Ｓに移動するために、経路切り替え方向Ｓに可動なキャリア保持部分１５２を含む。例えば、キャリア１０は、キャリア保持部分１５２上に機械的に支持され得る。図１Ｂで描かれている実施形態では、キャリア１０が、キャリア保持部分１５２によって下方から支持されている。すなわち、キャリア１０は、キャリア保持部分１５２の上端上に配置され得る。他の実施形態では、キャリア保持部分が、側方から又は上方からキャリアを保持し得る。例えば、キャリア保持部分１５２は、キャリア保持部分１５２にキャリアをチャッキングするための磁気チャックを含み得る。
第１の搬送経路Ｔ１から、第２の搬送経路Ｔ２と処理位置Ｔ３のうちの少なくとも一方へ、キャリアを移動するために、キャリア保持部分１５２を経路切り替え方向Ｓへ移動させるために、（本明細書で「交差駆動」とも称される）駆動デバイスが設けられ得る。（図面では描かれていない）駆動デバイスは、真空チャンバ１０１の外側に配置され得る。そして、キャリア保持部分１５２は、真空チャンバ１０１の壁を通って延在し得る。代替的に、駆動デバイスが、真空チャンバ１０１の内側に配置され得る。
駆動デバイスは、第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２へ、１０ｃｍ以上、特に、２０ｃｍ以上の距離だけ、キャリア保持部分１５２を経路切り替え方向Ｓへ移動させるように構成され得る。例えば、第１の搬送経路Ｔ１と第２の搬送経路Ｔ２との間の距離は、２５ｃｍ以上且つ１００ｃｍ以下であり得る。
図１Ｂで描かれている実施形態のキャリア保持部分１５２は、キャリアをキャリア支持面に位置付けるためのキャリア支持面を含む。例えば、キャリア１０は、下側トラックセクション１２１によって下向きの方向に移動され、キャリア保持部分１５２の支持面上に位置付けられ得る。その後、第１の搬送経路Ｔ１から離れるようにキャリアを移動するために、経路切り替えアセンブリ１５０が、キャリア保持部分１５２を経路切り替え方向Ｓに移動させ得る。
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態では、第２の搬送経路Ｔ２に沿ってキャリア１０を搬送するために、第２の搬送システム１１４が設けられ得る。第２の搬送システム１１４は、第２の搬送経路Ｔ２に沿って設けられた第２の磁気浮揚システムであり得る。第２の搬送経路Ｔ２は、第１の搬送経路Ｔ１から水平方向にオフセットされ得る。経路切り替えアセンブリ１５０は、第１の搬送経路Ｔ１から、第２の搬送経路Ｔ２と処理位置Ｔ３のうちの少なくとも一方へ、経路切り替え方向Ｓに可動であり得る。
特に、第１の搬送経路Ｔ１から、第２の搬送経路Ｔ２及び／又は第１と第２の搬送経路の両方から水平方向にオフセットされた処理位置Ｔ３へ、キャリア１０を移動するために、経路切り替えアセンブリ１５０のキャリア保持部分１５２が、経路切り替え方向Ｓに可動であり得る。
第１の搬送システム１１２と同様に、第２の搬送システム１１４は、第２の下側トラックセクション１２３と第２の上側トラックセクション１２４を含み得る。キャリアは、第２の下側トラックセクション１２３と第２の上側トラックセクション１２４との間で、第２の搬送経路Ｔ２に沿って搬送され得る。
ある実施形態では、第２の下側トラックセクション１２３と第２の上側トラックセクション１２４との間の距離を増加させ且つ／又は低減させるためのアクチュエータが設けられ得る。ある実施形態では、第１の搬送システム１１２の下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離、及び、第２の搬送システム１１４の第２の下側トラックセクション１２３と第２の上側トラックセクション１２４との間の距離、の両方を増加させ且つ／又は低減させるために、１つの単一のアクチュエータ（例えば、アクチュエータ１２５）が設けられ得る。ある実施形態では、第１の搬送システム１１２の下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離を増加させ且つ／又は低減させるために、第１のアクチュエータが設けられ、第２の搬送システム１１４の第２の下側トラックセクション１２３と第２の上側トラックセクション１２４との間の距離を増加させ且つ／又は低減させるために、第２のアクチュエータが設けられ得る。
特に、ある実施形態では、第２の搬送システム１１４の第２の下側トラックセクション１２３が、垂直方向Ｖに、特に、経路切り替え位置（ＩＩ）まで下向きの方向に、搬送位置（Ｉ）まで上向きの方向に可動であり得る。
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態では、第１の搬送システム１１２の下側トラックセクション１２１が、第２の搬送システム１１４の第２の下側トラックセクション１２３から独立して、垂直方向Ｖに可動である。図１Ａは、第１及び第２の搬送経路に沿ったキャリアの搬送が可能な搬送位置（Ｉ）に対応した上側位置にある下側トラックセクション１２１と第２の下側トラックセクション１２３を示している。図１Ｂは、搬送経路の間での経路切り替えが可能な搬送位置（ＩＩ）に対応した下側位置にある下側トラックセクション１２１と第２の下側トラックセクション１２３を示している。
図１Ａで概略的に描かれているように、搬送位置（Ｉ）では、第２の磁気浮揚システムの上側ガイド１４１及び／又は下側ガイド１４２が、第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２に向けてキャリアの経路切り替えが行われることを妨げ得る。図１Ｂで描かれている経路切り替え位置（ＩＩ）へ切り替えが行われた後で、上側トラックセクションと下側トラックセクションとの間の距離が増加したおかげで、キャリアが、上側ガイド１４１と下側ガイド１４２を通過して経路切り替え方向Ｓに移動され得る。
図２は、本明細書で説明される実施形態による、キャリアを搬送するための装置を含むシステム２００の概略上面図を示している。装置は、図１Ａ及び図１Ｂで描かれている装置１００に対応し得る。したがって、上述の説明が参照され、ここで上述の説明は繰り返されない。
本明細書で説明される実施形態による、基板を真空処理するためのシステム２００が、真空チャンバ１０１、本明細書で説明される実施形態の何れかによる装置１００、及び真空チャンバ１０１内に配置される１以上の処理ツール１０５を含む。１以上の処理ツールは、堆積源、スパッタ源、蒸発源、表面処理ツール、加熱デバイス、洗浄デバイス、エッチングツール、及びそれらの任意の組み合わせから成る群から選択され得る。
第１の搬送経路Ｔ１と、第１の搬送経路Ｔ１から水平方向にオフセットされた第２の搬送経路Ｔ２とが、真空チャンバ１０１を通って延在する。任意選択的に、第１の搬送経路Ｔ１と第２の搬送経路Ｔ２から水平方向にオフセットされた、基板が処理され得る処理位置Ｔ３が設けられる。ある実施形態では、キャリア１０の処理位置Ｔ３と処理ツール１０５との間に、マスク１２が設けられる。マスク１２は、例えば、端部除外マスク又はファインメタルマスクであり得る。例えば、マスク１２は、基板の一部分が被覆されることを妨げ、且つ／又は、マスクは、基板上に堆積されるべき材料パターンに対応した開口パターンを有し得る。
装置１００は、第１の搬送経路Ｔ１に沿ってキャリア１０を非接触方式で搬送するための第１の搬送システム１１２、第２の搬送経路Ｔ２に沿ってキャリア１０を非接触方式で搬送するための第２の搬送システム１１４、及び、第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２及び／又は処理位置Ｔ３へ、経路切り替え方向Ｓにキャリア１０を移動するように構成された経路切り替えアセンブリ１５０を含む。経路切り替えアセンブリ１５０は、経路切り替え方向Ｓに可動である、キャリア１０を保持及び／又は支持するように構成されたキャリア保持部分１５２を含み得る。
第１の搬送システム１１２は、（図２で破線として概略的に示されている）下側トラックセクション１２１、及び垂直方向に下側トラックセクション１２１を移動させるように構成されたアクチュエータを含み得る。搬送方向Ｔにおける下側トラックセクション１２１の長さは、搬送方向Ｔにおけるキャリア１０の長さ以上であり得る。下側トラックセクション１２１は、経路切り替えアセンブリ１５０が配置されている第１の搬送経路のセクションに沿って設けられ得る。したがって、経路切り替えアセンブリが、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように経路切り替え方向Ｓへ、キャリア１０を移動することを可能にするために、下側トラックセクション１２１が、下向きの方向へ移動され得る。
ある実施形態では、第２の搬送システム１１４は、（図２で破線として概略的に示されている）第２の下側トラックセクション１２３、及び垂直方向に第２の下側トラックセクション１２３を移動させるように構成されたアクチュエータを含み得る。搬送方向Ｔにおける第２の下側トラックセクション１２３の長さは、搬送方向Ｔにおけるキャリア１０の長さ以上であり得る。第２の下側トラックセクション１２３は、経路切り替えアセンブリ１５０が配置されている第２の搬送経路のセクションに沿って延在し得る。したがって、経路切り替えアセンブリが、第２の搬送経路Ｔ２上に又は第２の搬送経路Ｔ２を横断して経路切り替え方向Ｓへ、キャリア１０を移動することを可能にするために、第２の下側トラックセクション１２３が、下向きの方向へ移動され得る。
図３Ａ〜図３Ｈは、本明細書で説明される実施形態による装置３００を用いてキャリアを搬送するための方法の様々な段階を示している。装置３００は、図１Ａ及び図１Ｂで描かれている装置１００に類似し得る。したがって、上述の説明が参照され、ここで上述の説明は繰り返されない。
装置３００は、第１の搬送経路Ｔ１に沿ってキャリア１０を非接触方式で搬送するための第１の搬送システム１１２、及び第１の搬送経路Ｔ１から水平方向にオフセットされた第２の搬送経路Ｔ２に沿ってキャリア１０を非接触方式で搬送するための第２の搬送システム１１４を含む。
更に、第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２及び／又は処理位置Ｔ３へ、キャリア１０を移動するための経路切り替えアセンブリ１５０が設けられている。処理位置Ｔ３は、図３Ｅのみで描かれており、任意選択的なものである。言い換えると、第１の搬送経路Ｔ１から処理位置Ｔ３へ、その後、第２の搬送経路Ｔ２へ、キャリアを移動する代わりに、第１の搬送経路から直接的に第２の搬送経路へ経路切り替え方向に、キャリアを移動することが可能なようである。代替的に、第２の搬送経路Ｔ２へキャリアを移動する代わりに、キャリアは、図３Ｅで描かれている処理位置Ｔ３から、第１の搬送経路Ｔ１へ戻るように移動され得る。
経路切り替えアセンブリ１５０は、キャリアを保持及び／又は支持するように構成されたキャリア保持部分１５２を含み得る。キャリア保持部分１５２は、キャリアと共に経路切り替え方向Ｓに可動であり得る。経路切り替えアセンブリは、経路切り替え方向Ｓにキャリアを移動させるように構成されている。
第１の搬送システム１１２は、垂直方向Ｖに可動であり得る下側トラックセクション１２１を含み、且つ／又は、第２の搬送システム１１４は、垂直方向Ｖに可動であり得る第２の下側トラックセクション１２３を含み得る。下側トラックセクション１２１と第２の下側トラックセクション１２３は、互いに対して隣りに且つ平行に配置され得る。それによって、キャリアは、特に、キャリア１０の配向を変更することなしに、下側トラックセクション１２１と第２の下側トラックセクション１２３との間で経路切り替え方向Ｓに移動され得る。言い換えると、経路切り替え中に、キャリアは、搬送方向Ｔに沿って整列した本質的に垂直配向を維持し得る。
図３Ａでは、第１の搬送システム１１２によって、第１の搬送経路Ｔ１に沿って搬送方向Ｔにキャリアが搬送される。搬送は、非接触方式の搬送であり得る。言い換えると、キャリア１０は、磁力、例えば、下方から作用する反発する磁力及び／又は上方から作用する引き付ける磁力によって、下側トラックセクション１２１の上方へ距離（例えば、約２ｍｍの距離）をおいて保持され得る。図３Ａでは、第１の搬送経路Ｔ１に沿って非接触方式で搬送するように構成された搬送位置（Ｉ）が示されている。第１の搬送システム１１２の下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間に、第１の距離が設けられている。
キャリア１０は、経路切り替えアセンブリ１５０が配置されている、図３Ａで描かれている第１の搬送経路Ｔ１に沿った位置へ搬送される。
他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態では、経路切り替えアセンブリ１５０が、キャリア１０の上側部分を保持及び／又は安定化するように構成された、上側保持デバイス１５４を備える。上側保持デバイス１５４は、経路切り替え方向Ｓに可動であり得る。上側保持デバイス１５４は、任意選択的に、垂直方向Ｖにも可動であり得る。上側保持デバイス１５４は、磁気浮揚がスイッチオフされたときに、キャリアが傾くように動くことを妨げるように構成され得る。
ある実施形態では、上側保持デバイス１５４が、キャリア１０の上側端部分と接触するように構成され、且つ／又はキャリア１０の上側端部分と接触するように垂直方向に可動であり得る。例えば、上側保持デバイス１５４は、上方からキャリアと接触しキャリアを掴むように構成された、フィンガ（指部）又は他の保持デバイスを含み得る。特に、上側保持デバイス１５４は、第１の搬送システム１１２によって提供される磁気浮揚がスイッチオフされたときに、キャリアを保持及び／又は安定化するように構成された、バネが取り付けられたフィンガを含み得る。例えば、経路切り替え方向Ｓにおける側方安定化が、上側保持デバイス１５４によって提供され得る。図３Ｂで概略的に示されているように、上側保持デバイス１５４は、経路切り替え方向におけるキャリアの側方安定化を提供し、傾斜動作を妨げる。
ある実施形態では、第１の搬送システム１１２の磁気浮揚力が、低減又はスイッチオフされ得る。それによって、キャリア１０は、下側トラックセクション１２１と機械的に接触するようになり、下側トラックセクション１２１上に支持される。例えば、キャリアは、第１の磁気浮揚システムの磁気浮揚力を徐々に低減させることによって、下側トラックセクション１２１上に滑らかに配置され得る。
下側トラックセクション１２１上にキャリアを位置付けるために、第１の搬送システム１１２によって提供される磁気浮揚力を低減させることが、図４Ａ及び図４Ｂでより詳細に描かれている。図４Ａでは、第１の搬送システム１１２によって、キャリアが、下側トラックセクション１２１の上方へ距離をおいて非接触方式で保持されている。例えば、上側トラックセクション１２２に配置された動的な磁気ユニット３０１が、下側トラックセクション１２１の上方へ距離をおいて、非接触方式でキャリア１０を保持し得る。図４Ｂでは、キャリアの上側部分が、上側保持デバイス１５４によって安定化されている。そして、下側トラックセクション１２１の基板支持面上にキャリアを配置するために、磁気浮揚力が低減又はスイッチオフされている。その後、下側トラックセクション１２１は、下げられ得る。
独立請求項の主題を成し得る、本開示の更なる一態様によれば、経路切り替えアセンブリのキャリア保持部分１５２上にキャリアを配置するために、下側トラックセクション１２１上に支持されたキャリア１０を有する下側トラックセクション１２１を下げるように、アクチュエータ１２５が構成されている。
図３Ｂに戻って参照すると、アクチュエータは、上側トラックセクション１２２から離れるように下向きの方向へ、下側トラックセクション１２１を移動させるように構成され得る。それによって、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離が増加される。下側トラックセクション１２１上に支持されたキャリア１０は、キャリアがキャリア保持部分１５２上に配置されるまで、キャリア保持部分１５２に向けて下げられる。例えば、下側トラックセクション１２１は、第１の高さＬ１から下へキャリア保持部分１５２の高さまで、２０ｍｍ以上、特に、４０ｍｍ以上の距離だけ下げられ得る。
図３Ｂ及び図３Ｃで概略的に描かれているように、下側トラックセクション１２１と経路切り替えアセンブリ１５０のキャリア保持部分１５２とは、下方からキャリア１０を支持するように構成され得る。言い換えると、キャリア１０の底面は、先ず、下側トラックセクション１２１上に配置され（図３Ｂ）、その後、キャリア保持部分１５２上に配置され得る（図３Ｃ）。
図３Ｂで更に描かれているように、下側トラックセクション１２１上に支持されたキャリアを有する下側トラックセクション１２１は、キャリア１０がキャリア保持部分１５２上に位置付けられるまで、上側トラックセクション１２２から離れるように下向きの方向へ移動され得る。図３Ｃで概略的に描かれているように、下側トラックセクションは、下側トラックセクション１２１が第２の高さＬ２に位置付けられるまで、例えば、キャリア保持部分１５２の高さの下方へ、下向きの動きを継続し得る。第１の高さＬ１と第２の高さＬ２との間の距離は、４０ｍｍ以上、特に、８０ｍｍ以上であり得る。したがって、第１の距離（すなわち、搬送位置（Ｉ）にある下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離）と、第２の距離（すなわち、経路切り替え位置（ＩＩ）にある下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離）と、の間の差は、４０ｍｍ以上、特に、８０ｍｍ以上であり得る。
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態によれば、第１の搬送システム１１２は、特に、キャリアに作用する磁力を介して、搬送位置（Ｉ）にある下側トラックセクション１２１の上方でキャリアを非接触方式で保持するように構成された磁気浮揚システムである。更に、下側トラックセクション１２１は、下方からキャリアを機械的に支持するためのキャリア支持体を含み得る。特に、非接触方式の搬送中に、キャリアは、下側トラックセクションの上方に非接触方式で浮かび、経路切り替え中に、キャリアは、下側トラックセクションと接触し、下側トラックセクション上に支持され得る。
下側トラック１２１上に支持されたキャリア１０の下向きの動きのおかげで、キャリア１０と上側トラックセクション１２２との間の距離は増加し得る。キャリア保持部分１５２によって支持されたキャリア１０に対する下側トラックセクション１２１の下向きの動きのおかげで、キャリアと下側トラックセクション１２１との間の距離は増加し得る。したがって、経路切り替え中のキャリア１０の上方及びキャリアの下方の自由スペースが増加され得るので、経路切り替え方向Ｓにおけるキャリアの移動動作が容易にされ得る。
図３Ｄ及び図３Ｅで概略的に描かれているように、キャリア保持部分１５２上に支持されたキャリア１０を有するキャリア保持部分１５２は、第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２（図３Ｄ）及び／又は処理位置（図３Ｅ）へ経路切り替え方向に移動され得る。処理位置では、基板が、処理ツール１０５によって処理され得る。
本明細書で説明される他の実施形態と組み合わされ得る、ある実施形態によれば、キャリア１０は、第２の搬送経路Ｔ２に移動される。ある実施形態では、第２の搬送経路Ｔ２に沿って設けられた第２の搬送システム１１４が、垂直方向に可動な第２の下側トラックセクション１２３を含み得る。
図３Ｆで概略的に描かれているように、第２の下側トラックセクション１２３は、キャリアが、第２の下側トラックセクション１２３と接触し、第２の下側トラックセクション１２３によってキャリア保持部分１５３から持ち上げられるまで、経路切り替え位置から上向きの方向へ移動され得る。例えば、第２の下側トラックセクション１２３は、キャリア保持部分１５２の高さの下方の第２の高さＬ２から、キャリア保持部分１５２の高さの上方の第１の高さＬ１まで、上向きの方向へ移動され得る。
第２の下側トラックセクション１２３を上向きの方向へ移動させることによって、図３Ｇによって概略的に描かれているように、搬送位置（Ｉ）に至るまで、第２の搬送システム１１４の第２の下側トラックセクション１２３と第２の上側トラックセクション１２４との間の距離が低減される。搬送位置（Ｉ）が、図３Ｈにおいて描かれている。
図３Ｈで描かれている搬送位置（Ｉ）では、第２の搬送システム１１４の磁気浮揚がスイッチオンされ、第２の下側トラックセクション１２３と第２の上側トラックセクション１２４との間で、キャリアが非接触方式で保持され得る。その後、キャリアは、第２の搬送経路Ｔ２に沿って、例えば、搬送方向Ｔに非接触方式で搬送され得る。
経路切り替えアセンブリ１５０のキャリア保持部分１５２は、第１の搬送経路Ｔ１へ向けて戻るように経路切り替え方向Ｓに移動され、その後、第２のキャリアで経路切り替えが実行され得る。
図５Ａ〜図５Ｄは、本明細書で説明される実施形態による装置４００を用いてキャリアを搬送するための方法の様々な段階を示している。装置４００は、図３Ａ〜図３Ｈで描かれている装置３００に類似し得る。したがって、上述の説明が参照され、ここで上述の説明は繰り返されない。
図５Ａの装置４００は、キャリア１０の本質的に一定な配向を維持している間に、第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２及び／又は処理位置Ｔ３へ、キャリア１０を移動するように構成された経路切り替えアセンブリ１５０を含む。
経路切り替えアセンブリ１５０は、経路切り替え方向Ｓに可動なキャリア保持部分１５２、及び経路切り替え方向Ｓに可動な上側保持デバイス１５４を含み得る。
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態では、上側保持デバイス１５４が、特に、磁気浮揚システムの磁気浮揚力が低減され又はスイッチオフされたときに、キャリア１０の上側部分を保持及び／又は安定化するように構成されている。「キャリアの上側部分」は、上側５０％を含む垂直配向のキャリアの上側部分として、特に、垂直配向のキャリアの上側２０％として理解され得る。特に、上側保持デバイスは、キャリアの上側端を安定化し得る。
上側保持デバイス１５４は、例えば、キャリアの両側に、反対側に向けられた安定化のための力を加えることによって、経路切り替え方向Ｓにおいてキャリアを安定化し得る。
上側保持デバイス１５４は、経路切り替え方向Ｓにおけるキャリアの上側部分に反発する磁力を加えるための少なくとも１つの磁石ユニットを含み得る。本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態では、第１のサイドからキャリア１０の上側部分に反発する磁力を加えるための第１の磁石ユニット３０２と第１のサイドとは反対側の第２のサイドからキャリア１０の上側部分に反発する磁力を加えるための第２の磁石ユニット３０４を、上側保持デバイス１５４が含む。
それぞれ、第１の磁石ユニット３０２及び第２の磁石ユニット３０４と磁気的に相互作用するためなどに、キャリア１０の上側部分に、磁気カウンターユニット（対応する磁気ユニット）が固定され得る。特に、上側保持デバイス１５４の第１の磁石ユニット３０２は、キャリアの第１のサイドに固定された第１の磁気カウンターユニットに反発する磁力を加え得る。且つ／又は、上側保持デバイス１５４の第２の磁石ユニット３０４は、第１のサイドとは反対側のキャリアの第２のサイドに固定された第２の磁気カウンターユニットに反発する磁力を加え得る。キャリアは、第１の磁石ユニット３０２と第２の磁石ユニット３０４との間の中央エリア内で非接触方式で安定化され得る。
上側保持デバイス１５４は、例えば、トラックの間でキャリアを移動するために、キャリア保持部分１５２と共に且つキャリア保持部分１５２と同調して、経路切り替え方向Ｓに可動であり得る。
ある実施形態では、上側保持デバイス１５４が、第１のアーム３１１と第２のアーム３１２を含み得る。第１のアーム３１１は、第２のアーム３１２から独立して、経路切り替え方向Ｓに可動であり得る。例えば、第１の磁石ユニット３０２などの第１のサイドの安定化ユニットが、第１のアーム３１１に固定され得る。そして、第２の磁石ユニット３０４などの第２のサイドの安定化ユニットが、第２のアーム３１２に固定され得る。キャリアの磁気浮揚をスイッチオフする前に、第１のアームと第２のアームとの間でキャリアを安定化させるために、第１のアーム３１１が、第１のサイドからキャリアに向けて移動され、第２のアーム３１２が、第２のサイドからキャリアに向けて移動され得る。
特に、上側保持デバイス１５４は、経路切り替え方向Ｓに可動であり得る。それによって、キャリアの上側部分は、キャリアの経路切り替え中に非接触方式で安定化され得る。
ある実施形態では、上側保持デバイス１５４が、経路切り替え方向Ｓに可動であるが、垂直方向Ｖに可動ではない。他の実施形態では、上側保持デバイス１５４が、経路切り替え方向Ｓと垂直方向Ｖに可動である。
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態によれば、上側保持デバイス１５４は、上側保持デバイス１５４に対するキャリアの垂直方向の動きの間に、キャリアの側方安定化を提供するように構成され得る。例えば、上側保持デバイス１５４は、上側保持デバイス１５４に対する第１の垂直方向位置と上側保持デバイス１５４に対する第２の垂直方向位置に配置されたキャリアの側方安定化を提供し得る。第１の垂直方向位置と第２の垂直方向位置は、例えば、３０ｍｍ以上、特に、５０ｍｍ以上の距離だけ互いから垂直方向にオフセットされ得る。特に、上側保持デバイスは、上側保持デバイスを垂直方向に動かすことなしに、第１の垂直高さと第２の垂直高さに設けられたキャリアのための側方安定化を提供し得る。
ある実施形態では、上側保持デバイス１５４の少なくとも１つの磁石ユニット及び／又はキャリア１０の少なくとも１つの磁気カウンターユニットが、３０ｍｍ以上、特に、４０ｍｍ以上、更に特に、５０ｍｍ以上の垂直方向の寸法を有し得る。したがって、磁石カウンターユニットが、磁石ユニットに対して、例えば、３０ｍｍ以上の距離だけ垂直方向にシフトされたときに、少なくとも１つの磁石ユニットは、少なくとも１つの磁気カウンターユニットと磁気的に相互作用し得る。
図５Ａでは、キャリア１０が、第１の垂直高さにおいて第１の搬送経路Ｔ１に配置されている。第１の磁気浮揚システムとして構成された第１の搬送システム１１２が、垂直方向に且つトラック切り替え方向にキャリアを安定化させる。
図５Ｂでは、上側保持デバイス１５４が、２つの逆側から経路切り替え方向Ｓへキャリアに向けて移動される。上側保持デバイス１５４の第１の磁石ユニット３０２と第２の磁石ユニット３０４との間で、キャリアが非接触方式で安定化され得る。
その後、第１の搬送システム１１２の磁気浮揚は、スイッチオフされ得る。
図５Ｃでは、キャリア１０が、上側保持デバイスに対して下向きの方向に第２の垂直高さへ、例えば、２０ｍｍ、４０ｍｍ、又はそれ以上の距離だけ移動され得る。例えば、下側トラックセクション１２１上に支持されたキャリアを有する下側トラックセクション１２１は、下向きの方向へ移動され得る。上側保持デバイスに対するキャリアの垂直方向の動きの間に、キャリアが安定化されるように、上側保持デバイス１５４が構成されている。例えば、第１の磁石ユニット３０２と第２の磁石ユニット３０４が、３０ｍｍ以上、特に、４０ｍｍ以上の距離を越えて、垂直方向Ｖに延在し得る。
その後、キャリア１０は、例えば、上側保持デバイス１５４と共に且つ上側保持デバイス１５４と同調して経路切り替え方向に、キャリア保持部分１５２を移動させることによって、経路切り替え方向Ｓに移動され得る。
例えば、第２の搬送経路Ｔ２に向かう経路切り替え及び第２の磁気浮揚システムの起動の後で、キャリアが第１又は第２の搬送システムによって保持され且つ安定化されたときに、上側保持デバイス１５４は、キャリアから離れるように移動され得る。
本明細書で説明される更なる一態様によれば、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法が提供される。
図６は、本発明で説明される実施形態による第１の方法を示しているフロー図である。
ボックス６１０では、キャリア１０が、第１の搬送経路Ｔ１に沿って搬送方向Ｔに搬送される。搬送中に、キャリア１０は、第１の搬送システム１１２の下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間のキャリア搬送スペース内に配置されている。キャリアは、下側トラックセクションと上側トラックセクションとの間のキャリア搬送スペース内で、例えば、磁気浮揚システムによって非接触方式で搬送され得る。
ボックス６２０では、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離が増加される。例えば、下側トラックセクションが、上側トラックセクションから離れるように、例えば、垂直方向において、下向きに移動される。代替的に又は付加的に、上側トラックセクションが、下側トラックセクションから離れるように、例えば、垂直方向において、上向きに移動される。トラックセクションを下げるために、アクチュエータが設けられ得る。
ボックス６３０では、キャリアが、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように搬送方向Ｔを横切る経路切り替え方向Ｓへ、特に、第２の搬送経路Ｔ２及び／又は処理位置Ｔ３まで移動される。特に、キャリアは、経路切り替えアセンブリのキャリア保持部分上に且つ／又は経路切り替えアセンブリのキャリア保持部分によって機械的に支持されている間に、経路切り替え方向Ｓに移動され得る。キャリア保持部分上に支持されたキャリアを有するキャリア保持部分は、経路切り替え方向に可動であり得る。
キャリアが、経路切り替え方向Ｓに移動されているときに、第２の搬送システム１１４の第２の下側トラックセクション１２３と第２の上側トラックセクション１２４の間の距離は、大きな距離に設定され得る。これは、キャリアが、第２の搬送経路Ｔ２に入ることを可能にし得る。
キャリアが、第２の搬送経路Ｔ２に位置付けられているときに、第２の搬送システム１１４の第２の下側トラックセクション１２３と第２の上側トラックセクション１２４との間の距離は低減され、第２の磁気浮揚システムを介して第２の搬送経路に沿ってキャリアを搬送することを可能にし得る。
１以上の更なる搬送段階が、ボックス６１０と６２０の間、及び／又は、ボックス６２０と６３０との間に設けられ得る。例えば、図３Ａ〜図３Ｈを参照しながら説明された搬送方法に対して参照が行われる。上述の説明は、ここでは繰り返さない。
図７は、本明細書で説明される実施形態による、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための第２の方法を示しているフロー図である。
ボックス７１０では、特に、第１の磁気浮揚システムによって、第１の搬送経路Ｔ１に沿って搬送方向Ｔに、キャリア１０が非接触方式で搬送される。
その後、キャリアは、第１の搬送経路Ｔ１から水平方向にオフセットされた第２の搬送経路Ｔ２へ移動される。
第２の搬送経路にキャリアを移動させることが、ボックス７２０で、第１の搬送経路Ｔ１上にキャリアを下げることを含み、ボックス７３０で、第２の搬送経路Ｔ２まで経路切り替え方向Ｓにキャリアを移動させることを含み、ボックス７４０で、第２の搬送経路Ｔ２上でキャリアを持ち上げることを含む。
ボックス７２０では、特に、第１の搬送システムによって提供される磁気浮揚力を低減させ又はスイッチオフすることによって、第１の搬送システム１１２の下側トラックセクション１２１上にキャリアが配置され得る。
下側トラックセクション１２１上に支持されたキャリアを有する下側トラックセクション１２１は、下向きの方向へ移動され得る。特に、第１の搬送システムの上側トラックセクション１２２から離れるように、下側トラックセクション１２１を垂直方向に移動させるための、アクチュエータが設けられ得る。したがって、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離は、アクチュエータを介して増加され得る。
ボックス７２０では、キャリアが、経路切り替えアセンブリ１５０のキャリア保持部分１５２上に下げられ得る。経路切り替えアセンブリ１５０は、キャリア保持部分１５２上に支持されたキャリアを、経路切り替え方向Ｓに移動させる。キャリア保持部分１５２を経路切り替え方向Ｓに移動させるための駆動デバイス、特に、交差駆動が設けられ得る。
ボックス７４０では、第２の搬送経路Ｔ２に沿って設けられた第２の搬送システム１１４の第２の下側トラックセクション１２３が、上向きの方向へ移動され得る。第２の下側トラックセクション１２３は、キャリアが、キャリア保持部分１５２から持ち上げられ、キャリア保持部分１５２の上方の所定の高さに配置されるまで、上向きの方向へ移動され得る。特に、第２の下側トラックセクション１２３は、第２の搬送システムの第２の上側トラックセクションに向けて移動され得る。第２の下側トラックセクションと第２の上側トラックセクションとの間の距離は、したがって、低減され得る。
その後、キャリアは、第２の搬送経路Ｔ２に沿って、非接触方式で搬送され得る。
以上の説明は本開示の実施形態を対象としているが、本開示の基本的な範囲を逸脱することなく本開示の他の更なる実施形態を考案することができ、本開示の範囲は、以下の特許請求の範囲によって定められる。

Claims (15)

  1. 真空チャンバ（１０１）内でキャリア（１０）を搬送するための装置（１００）であって、
    第１の搬送経路（Ｔ１）に沿って搬送方向（Ｔ）に設けられ、下側トラックセクション（１２１）と上側トラックセクション（１２２）を備えた、第１の搬送システム（１１２）であって、前記第１の搬送経路に沿って前記搬送方向に前記キャリアを非接触方式で搬送するように構成された、第１の搬送システム（１１２）、
    前記第１の搬送経路（Ｔ１）から離れるように経路切り替え方向（Ｓ）へ前記キャリアを移動させるための経路切り替えアセンブリ（１５０）、及び
    前記下側トラックセクション（１２１）と前記上側トラックセクション（１２２）との間の距離を変更するためのアクチュエータ（１２５）を備え、
    前記非接触方式の搬送の間、前記キャリア（１０）と前記上側トラックセクション（１２２）との間、及び、前記キャリア（１０）と前記下側トラックセクション（１２１）との間に、間隙が設けられる、装置。
  2. 前記経路切り替えアセンブリ（１５０）が、キャリア保持部分（１５２）であって、前記キャリア保持部分（１５２）によって保持された前記キャリア（１０）を前記経路切り替え方向（Ｓ）に移動するために前記経路切り替え方向（Ｓ）に可動である、キャリア保持部分（１５２）を備える、請求項１に記載の装置。
  3. 前記アクチュエータ（１２５）が、前記キャリア保持部分（１５２）上に前記キャリアを配置するために前記下側トラックセクション（１２１）上に支持された前記キャリア（１０）を有する前記下側トラックセクション（１２１）を下げること、前記上側トラックセクション（１２２）から離れるように下向きの方向へ前記下側トラックセクション（１２１）を移動させること、及び前記下側トラックセクション（１２１）から離れるように上向きの方向へ前記上側トラックセクション（１２２）を移動させること、から成る群から選択された少なくとも１つを行うように構成されている、請求項２に記載の装置。
  4. 前記第１の搬送経路（Ｔ１）から水平方向にオフセットされた第２の搬送経路（Ｔ２）に沿って設けられた第２の搬送システム（１１４）を更に備え、前記経路切り替えアセンブリ（１５０）のキャリア保持部分（１５２）が、前記第１の搬送経路（Ｔ１）から前記第２の搬送経路（Ｔ２）と前記第１及び第２の搬送経路から水平方向にオフセットされた処理位置（Ｔ３）のうちの少なくとも一方へ、前記経路切り替え方向（Ｓ）に可動である、請求項１から３のいずれか一項に記載の装置。
  5. 前記第２の搬送システム（１１４）が、垂直方向（Ｖ）に可動な第２の下側トラックセクション（１２３）を備える、請求項４に記載の装置。
  6. 前記第１の搬送システム（１１２）が、前記下側トラックセクション（１２１）の上方へ距離をおいて前記キャリアを非接触方式で保持するように構成された第１の磁気浮揚システムであり、前記下側トラックセクション（１２１）が、キャリア支持体であって、前記キャリア支持体上に前記キャリアを機械的に支持するための、キャリア支持体を更に備える、請求項１から５のいずれか一項に記載の装置。
  7. 前記経路切り替えアセンブリ（１５０）が、前記キャリア（１０）の上側部分を保持すること及び安定化することから成る群のうちの少なくとも一方を行うように構成された上側保持デバイス（１５４）であって、少なくとも前記経路切り替え方向（Ｓ）に可動である、上側保持デバイス（１５４）を備える、請求項１から６のいずれか一項に記載の装置。
  8. 前記上側保持デバイス（１５４）が、第１のサイドから前記キャリア（１０）の前記上側部分に反発する磁力を加えるための第１の磁石ユニット（３０２）、及び前記第１のサイドとは反対側の第２のサイドから前記キャリア（１０）の前記上側部分に反発する磁力を加えるための第２の磁石ユニット（３０４）を備える、請求項７に記載の装置。
  9. 前記下側トラックセクション（１２１）と前記経路切り替えアセンブリ（１５０）のキャリア保持部分（１５２）が、下方から前記キャリア（１０）を支持するように構成されている、請求項２から８のいずれか一項に記載の装置。
  10. 基板を真空処理するためのシステムであって、
    真空チャンバ（１０１）、
    請求項１から９のいずれか一項に記載の装置（１００）、並びに
    堆積源、スパッタ源、蒸発源、表面処理ツール、加熱デバイス、洗浄デバイス、エッチングツール、及びそれらの組み合わせから成る群から選択された、前記真空チャンバ（１０１）内に配置された１以上の処理ツール（１０５）を備える、システム。
  11. 真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法であって、
    第１の搬送システム（１１２）の下側トラックセクション（１２１）と上側トラックセクション（１２２）との間で第１の搬送経路（Ｔ１）に沿って搬送方向（Ｔ）にキャリア（１０）を非接触方式で搬送すること、
    前記下側トラックセクション（１２１）と前記上側トラックセクション（１２２）との間の距離を増加させること、及び
    前記第１の搬送経路（Ｔ１）から離れるように前記搬送方向（Ｔ）を横切る経路切り替え方向（Ｓ）へ、前記キャリアを移動させることを含み、
    前記非接触方式の搬送の間、前記キャリア（１０）と前記上側トラックセクション（１２２）との間、及び、前記キャリア（１０）と前記下側トラックセクション（１２１）との間に、間隙が設けられる、方法。
  12. 真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法であって、
    第１の搬送経路（Ｔ１）に沿って搬送方向（Ｔ）にキャリア（１０）を非接触方式で搬送すること、並びに
    前記キャリアを下げること、経路切り替え方向（Ｓ）に前記キャリアを移動させること、及び前記キャリアを持ち上げることを含む、前記第１の搬送経路（Ｔ１）から水平方向にオフセットされた第２の搬送経路（Ｔ２）へ前記キャリアを移動させることを含み、
    前記非接触方式の搬送の間、前記キャリア（１０）と上側トラックセクション（１２２）との間、及び、前記キャリア（１０）と下側トラックセクション（１２１）との間に、間隙が設けられる、方法。
  13. 前記キャリア（１０）を下げることが、
    前記第１の搬送経路（Ｔ１）に沿って設けられた第１の搬送システム（１１２）の下側トラックセクション（１２１）上に前記キャリアを配置すること、及び
    前記下側トラックセクション（１２１）を下向きの方向へ移動させることを含む、請求項１２に記載の方法。
  14. 前記キャリアが、経路切り替えアセンブリ（１５０）のキャリア保持部分（１５２）上に下げられ、前記経路切り替えアセンブリ（１５０）が、前記キャリア保持部分（１５２）上に支持された前記キャリアを前記経路切り替え方向（Ｓ）に移動させる、請求項１２又は１３に記載の方法。
  15. 前記キャリアを持ち上げることが、
    前記キャリアが、前記キャリア保持部分（１５２）から持ち上げられ、前記キャリア保持部分（１５２）の上方の所定の高さに配置されるまで、前記第２の搬送経路（Ｔ２）に沿って設けられた第２の搬送システム（１１４）の第２の下側トラックセクション（１２３）を上向きの方向へ移動させることを含む、請求項１４に記載の方法。
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