KR20190087984A - 캐리어를 운송하기 위한 장치, 기판을 진공 프로세싱하기 위한 시스템, 및 진공 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 방법 - Google Patents

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Abstract

진공 챔버(102)에서 캐리어(10)를 운송하기 위한 장치(100)가 제공된다. 장치(100)는 운송 방향(T)으로 제1 운송 경로(T1)를 따라 제공되고, 하부 트랙 섹션(121) 및 상부 트랙 섹션(122)을 포함하는 제1 운송 시스템(112), 및 경로 스위칭 방향(S)으로 제1 운송 경로(T1)로부터 멀어지게 캐리어를 이동시키도록 구성된 경로 스위칭 조립체(150)를 포함한다. 장치는 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 제1 거리를 갖는 운송 포지션(I)과, 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 제2 거리를 갖는 경로 스위칭 포지션(II) 사이의 스위칭을 위한 액추에이터(125)를 더 포함하며, 제1 거리는 제2 거리보다 더 작다. 추가로, 진공 챔버에서 캐리어를 운송하는 방법 뿐만 아니라 경로 스위칭 조립체를 포함하는 시스템이 설명된다.

Description

캐리어를 운송하기 위한 장치, 기판을 진공 프로세싱하기 위한 시스템, 및 진공 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 방법
[0001] 본 개시내용의 실시예들은 진공 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 장치, 기판을 진공 프로세싱하기 위한 시스템, 및 진공 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 방법에 관한 것이다. 본 개시내용의 실시예들은 특히, 증착 장치 및 제1 운송 경로와 제2 운송 경로 사이에서 캐리어를 이동시키도록 구성된 경로 스위칭 조립체를 갖는 진공 시스템에 관한 것이다. 구체적으로, 진공 챔버에서 캐리어의 트랙을 변경하기 위한 방법들이 설명된다.
[0002] 기판 상의 층 증착을 위한 기법들은, 예컨대, 스퍼터 증착, 증발, 및 화학 기상 증착(CVD)을 포함한다. 스퍼터 증착 프로세스는 기판 상에 재료 층, 이를테면 절연성 재료 또는 전도체 재료의 층을 증착하기 위해 사용될 수 있다.
[0003] 다층 스택(stack)을 증착하기 위해, 프로세싱 모듈들의 인-라인 어레인지먼트(arrangement)가 사용될 수 있다. 인-라인 프로세싱 시스템은 복수의 후속 프로세싱 모듈들, 이를테면 증착 모듈들, 그리고 선택적으로, 추가적인 프로세싱 모듈들, 예컨대 세정 모듈들 및/또는 에칭 모듈들을 포함하며, 여기서, 복수의 기판들이 인-라인 프로세싱 시스템에서 연속적으로 또는 준-연속적으로 프로세싱될 수 있도록, 프로세싱 모듈들에서 프로세싱 양상들이 후속하여 실시된다.
[0004] 기판은 캐리어, 즉 기판을 운반하기 위한 운반 디바이스에 의해 운반될 수 있다. 전형적으로, 캐리어는 운송 시스템을 사용하여 진공 시스템을 통해 운송된다. 운송 시스템은 하나 또는 그 초과의 운송 경로들을 따라, 기판이 상부에 포지셔닝된 캐리어를 수송하도록 구성될 수 있다. 적어도 2개의 운송 경로들, 예컨대, 순방향으로 캐리어를 운송하기 위한 제1 운송 경로, 및 순방향과 반대인 리턴 방향으로 캐리어를 운송하기 위한 제2 운송 경로가 진공 시스템에 서로 나란히 제공될 수 있다.
[0005] 운송 시스템은, 캐리어들을 지지하고 운송 경로들을 따라 그리고/또는 하나의 운송 경로로부터 다른 운송 경로로 수송하도록 구성된 롤러들 또는 다른 지지부들을 가질 수 있다. 캐리어의 운송 동안의 캐리어와 캐리어 지지부 사이의 마찰은 진공 시스템 내부의 진공 조건들에 악영향을 미칠 수 있는 입자들을 생성할 수 있다. 입자들은 기판들 상에 증착된 층들을 오염시킬 수 있고, 그리고 증착된 층들의 품질이 감소될 수 있다.
[0006] 상기된 바를 고려하여, 진공 챔버 내의 입자 생성을 감소시키는, 새로운, 진공 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 장치들, 기판을 진공 프로세싱하기 위한 시스템들, 및 진공 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 방법들이 필요하다. 또한, 진공 챔버 내의 입자들의 생성을 감소시키면서, 진공 챔버에서 적어도 2개의 운송 경로들 사이에 용이한 경로 스위칭을 제공하는 새로운 장치들, 시스템들, 및 방법들이 필요하다.
[0007] 상기된 바를 고려하여, 진공 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 장치, 기판을 진공 프로세싱하기 위한 시스템, 및 진공 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 방법이 제공된다. 본 개시내용의 추가적인 양상들, 이익들, 및 특징들은 청구항들, 상세한 설명, 및 첨부 도면들로부터 명백하다.
[0008] 본 개시내용의 양상에 따르면, 진공 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 장치가 제공된다. 장치는 운송 방향으로 제1 운송 경로를 따라 제공된 제1 운송 시스템을 포함하며, 여기서, 제1 운송 시스템은 하부 트랙 섹션 및 상부 트랙 섹션을 포함한다. 장치는 경로 스위칭 방향으로 제1 운송 경로로부터 멀어지게 캐리어를 이동시키도록 구성된 경로 스위칭 조립체, 및 제1 운송 시스템의 하부 트랙 섹션과 상부 트랙 섹션 사이의 거리를 변경하기 위한 액추에이터를 더 포함한다.
[0009] 액추에이터는 하부 트랙 섹션과 상부 트랙 섹션 사이의 제1 거리를 갖는 운송 포지션과, 하부 트랙 섹션과 상부 트랙 섹션 사이의 제2 거리를 갖는 경로 스위칭 포지션 사이의 스위칭을 위한 액추에이터를 더 포함하며, 제1 거리는 제2 거리보다 더 작다.
[0010] 일부 실시예들에서, 제1 운송 시스템은 운송 방향으로 제1 운송 경로를 따라 캐리어를 비접촉식으로 운송하도록 구성될 수 있다. 캐리어는 하부 트랙 섹션과 상부 트랙 섹션 사이의 캐리어 운송 공간에서, 예컨대 자기 부상 시스템에 의해, 비접촉식으로 운송될 수 있다. 특히, 제1 운송 시스템은 자기 부상 시스템일 수 있다.
[0011] 본 개시내용의 다른 양상에 따르면, 기판을 진공 프로세싱하기 위한 시스템이 제공된다. 시스템은 진공 챔버, 및 증착 소스들, 스퍼터 소스들, 증발 소스들, 표면 처리 툴들, 가열 디바이스들, 세정 디바이스들, 에칭 툴들, 및 이들의 조합들로 구성된 그룹으로부터 선택되는, 상기 진공 챔버에 배열된 하나 또는 그 초과의 프로세싱 툴들을 포함한다. 시스템은 본원에서 설명되는 실시예들 중 임의의 실시예에 따른 장치를 더 포함한다.
[0012] 본 개시내용의 또 다른 양상에 따르면, 진공 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 방법이 제공된다. 방법은 제1 운송 시스템의 하부 트랙 섹션과 상부 트랙 섹션 사이에서 운송 방향으로 제1 운송 경로를 따라 캐리어를 운송하는 단계, 하부 트랙 섹션과 상부 트랙 섹션 사이의 거리를 증가시키는 단계, 및 운송 방향을 횡단하는 경로 스위칭 방향으로 제1 운송 경로로부터 멀어지게 캐리어를 이동시키는 단계를 포함한다.
[0013] 본 개시내용의 또 다른 양상에 따르면, 진공 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 방법이 제공된다. 방법은 운송 방향으로 제1 운송 경로를 따라 캐리어를 운송하는 단계, 및 캐리어를 하강시키는 것, 경로 스위칭 방향으로 캐리어를 이동시키는 것, 및 캐리어를 리프팅하는 것을 포함하는, 제1 운송 경로로부터 수평으로 오프셋된 제2 운송 경로로 캐리어를 이동시키는 단계를 포함한다.
[0014] 실시예들은 또한, 개시되는 방법들을 수행하기 위한 장치들에 관한 것이고, 그리고 각각의 설명되는 방법 양상을 수행하기 위한 장치 파트들을 포함한다. 이들 방법 양상들은 하드웨어 컴포넌트들에 의해, 적절한 소프트웨어에 의해 프로그래밍된 컴퓨터에 의해, 이들 둘의 임의의 조합에 의해, 또는 임의의 다른 방식으로 수행될 수 있다. 게다가, 본 개시내용에 따른 실시예들은 또한, 설명되는 장치를 동작시키기 위한 방법들에 관한 것이다. 설명되는 장치를 동작시키기 위한 방법들은 장치의 모든 각각의 기능을 수행하기 위한 방법 양상들을 포함한다.
[0015] 본 개시내용의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 개시내용의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있다. 첨부 도면들은 본 개시내용의 실시예들에 관련되고, 아래에서 설명된다.
도 1a는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 캐리어를 운송하기 위한 장치의 개략도를 도시한다.
도 1b는 경로 스위칭 포지션에 있는 도 1의 장치의 개략도를 도시한다.
도 2는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 캐리어를 운송하기 위한 장치를 포함하는 시스템의 개략적인 평면도를 도시한다.
도 3a 내지 도 3h는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 장치를 이용하여 캐리어를 운송하기 위한 방법의 다양한 스테이지들을 도시한다.
도 4a 및 도 4b는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 장치를 이용하여 캐리어를 운송하기 위한 방법의 후속 스테이지들을 도시한다.
도 5a 내지 도 5d는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 장치를 이용하여 캐리어를 운송하기 위한 방법의 다양한 스테이지들을 도시한다.
도 6은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 캐리어를 운송하기 위한 방법을 예시하는 흐름도이다.
도 7은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 캐리어를 운송하기 위한 방법을 예시하는 흐름도이다.
[0016] 이제, 본 개시내용의 다양한 실시예들이 상세히 참조될 것이고, 그 다양한 실시예들의 하나 또는 그 초과의 예들이 도면들에 예시된다. 도면들의 아래의 설명 내에서, 동일한 참조 번호들은 동일한 컴포넌트들을 지칭한다. 일반적으로, 개별적인 실시예들에 대한 차이들만이 설명된다. 각각의 예는 본 개시내용의 설명으로서 제공되고, 본 개시내용의 제한으로서 의도되지 않는다. 추가로, 일 실시예의 부분으로서 예시 또는 설명되는 특징들은 더 추가적인 실시예를 생성하기 위해 다른 실시예들과 함께 또는 다른 실시예들에 대해 사용될 수 있다. 본 설명이 그러한 변형들 및 변화들을 포함하는 것으로 의도된다.
[0017] 진공 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 장치는 하나 또는 그 초과의 운송 경로들을 제공할 수 있고, 여기서, 캐리어는 운송 경로들을 따라 이동 또는 전달될 수 있다. 제1 운송 경로(T1)는, 예컨대 제1 운송 경로(T1)에 본질적으로 평행한 제2 운송 경로(T2)와 나란히 연장될 수 있다. 제1 운송 경로(T1) 및/또는 제2 운송 경로(T2)는 본질적으로 수평 방향일 수 있는 운송 방향(T)으로 연장될 수 있다.
[0018] 제1 운송 경로(T1) 및 제2 운송 경로(T2)는 경로 스위칭 방향(S)으로 서로 수평으로 오프셋될 수 있다. 경로 스위칭 방향(S)으로 제1 운송 경로(T1)와 제2 운송 경로(T2) 사이의 거리는 10 cm 또는 그 초과, 구체적으로는 20 cm 또는 그 초과, 그리고/또는 100 cm/또는 그 미만, 구체적으로는 50 cm또는 그 미만일 수 잇다.
[0019] 예컨대, 운송을 위한 장치는 프로세싱 시스템, 이를테면 인-라인 프로세싱 시스템에 포함될 수 있고, 그에 따라, 기판이 연속적으로 또는 준-연속적으로 프로세싱될 수 있다. 장치는 제1 운송 경로(T1)로부터 제2 운송 경로(T2), 및 기판이 프로세싱될 수 있는 프로세싱 포지션(T3)으로 캐리어를 변위 또는 이동시키도록 구성될 수 있다. 구체적으로, 장치는 제1 트랙에 의해 제공되는 제1 포지션으로부터, 제1 트랙에서 떨어져 있는 제2 포지션으로 기판 캐리어를 측방향으로 변위시킬 수 있다. 경로 스위칭 방향(S)은 운송 방향(T)을 횡단하는, 특히 운송 방향(T)에 본질적으로 수직일 수 있다. 캐리어가 경로 스위칭 방향(S)으로 하나의 운송 경로로부터 다른 운송 경로로 이동되는 경우에, 상기 이동은 또한, “경로 스위칭” 또는 “트랙 스위칭”이라고 지칭될 수 있다.
[0020] 일부 실시예들에서, 캐리어는 운송 방향(T)으로 제1 운송 경로(T1)를 따라 운송된다.
[0021] 장치는 운송 시스템을 포함할 수 있다. 운송 시스템은, 예컨대 자기력을 사용하여, 제1 및/또는 제2 운송 경로를 따라 캐리어를 비접촉식으로 운송하도록 구성될 수 있다. 다시 말하면, 장치는 기판을 이동시키기 위해 어떠한 기계력도 사용하지 않는다. 대신에, 장치는 기판 캐리어를 새로운 포지션 쪽으로 자기적으로 푸시 또는 폴링한다. 본 개시내용의 전체에 걸쳐 사용되는 바와 같은 “비접촉식” 및 “비접촉식으로 이동하는”이라는 용어들은, 기판 캐리어가 기판 캐리어와 장치 사이의 기계적 접촉을 사용하여 이동되는 것이 아니라, 밀어내는 자기력에 의해 자기적으로 이동되는 의미로 이해될 수 있다. 일부 구현들에서, 장치와 캐리어 사이에 기계적인 접촉이 전혀 존재하지 않는다.
[0022] 운송 시스템은 일부 실시예들에서 자기 부상 시스템일 수 있다. 자기 부상 시스템은 상부 트랙 및 하부 트랙을 포함할 수 있다. 상부 트랙은 하부 트랙 위에 배열될 수 있다. 자석들 및/또는 구동 유닛들은 상부 트랙 및/또는 하부 트랙에 배열될 수 있다. 예컨대, 캐리어를 홀딩하도록 구성된 능동 자석 유닛들은 상부 트랙에 배열될 수 있다.
[0023] 기판 캐리어를 비접촉식으로 이동시키는 것은, 기판 캐리어의 운송 동안에, 장치의 섹션들, 이를테면 롤러들과 기판 캐리어 사이의 기계적 접촉으로 인해, 감소된 수의 입자들이 생성되거나 또는 심지어 입자들이 전혀 생성되지 않는 점에서 유익하다. 따라서, 진공 챔버 내의 진공 조건들은 기판 캐리어의 이동에 의해 영향을 받지 않는다. 비접촉식 운송을 사용하는 경우에, 특히 입자 생성이 최소화되거나 또는 심지어 방지되기 때문에, 기판 상에 증착되는 층들의 순도가 개선될 수 있다.
[0024] 도 1a는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 운송 포지션(I)에 있는, 진공 챔버(101)에서 캐리어(10)를 운송하기 위한 장치(100)의 개략도이다. 운송 포지션(I)에서, 캐리어(10)는 운송 방향(T)으로 제1 운송 경로(T1)를 따라 운송될 수 있다. 비접촉식 운송 동안에, 캐리어와 상부 트랙 섹션 사이에 그리고 캐리어와 하부 트랙 섹션 사이에 (작은) 갭이 제공될 수 있다.
[0025] 도 1b는 경로 스위칭 포지션(II)에 있는 도 1의 장치의 개략도이다. 경로 스위칭 포지션(II)에서, 캐리어(10)는 경로 스위칭 방향(S)으로 제1 운송 경로(T1)로부터 벗어나게, 예컨대 제2 운송 경로(T2) 쪽으로 이동될 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 장치(100)는 진공 프로세싱 시스템, 예컨대 스퍼터 증착 시스템 또는 증발 증착 시스템의 일부일 수 있다.
[0026] 캐리어(10)는 기판(11)을 운반하도록 구성된 기판 캐리어일 수 있다. 예컨대, 캐리어(10)는 캐리어(10)의 홀딩 표면 쪽으로 기판(11)을 척킹하기 위한 척킹 디바이스, 예컨대 자기 척 또는 정전 척을 포함할 수 있다. 다른 실시예들에서, 캐리어는 상이한 물건, 예컨대 마스크 또는 차폐부를 운반하도록 구성될 수 있다. 캐리어(10)는 본질적인 수직 배향으로 기판(11)을 홀딩하도록 구성될 수 있다. 다시 말하면, 캐리어(10)의 운송 동안에, 기판(11)의 주 표면과 중력 벡터 사이의 각도는 전형적으로, 20° 미만이다. 예컨대, 기판의 주 표면과 중력 벡터 사이의 각도는 -10° 내지 +10°, 구체적으로는 -1° 내지 -5°일 수 있으며, 여기서, 음의 각도들은 기판들이 하방을 향하는 것을 나타내는 것으로 의도된다.
[0027] 캐리어는 대면적 기판, 특히 디스플레이 제조를 위한 대면적 기판을 운반하도록 구성될 수 있다. 실시예들에서, 기판은 1 m2 또는 그 초과, 구체적으로는 5 m2 또는 그 초과, 또는 심지어 10 m2 또는 그 초과의 프로세싱될 표면적을 가질 수 있다. 따라서, 캐리어는 1 m2 또는 그 초과, 구체적으로는 5 m2 또는 그 초과, 또는 심지어 10 m2 또는 그 초과의 사이즈를 갖는 기판 홀딩 표면을 가질 수 있다. 예컨대, 캐리어(10)의 높이는 1 m 또는 그 초과, 구체적으로는 2 m 또는 그 초과일 수 있고, 그리고/또는 캐리어의 폭은 1 m 또는 그 초과, 구체적으로는 2 m 또는 그 초과일 수 있다. 캐리어(10)는 본질적인 수직 배향으로 기판을 운반하도록 구성될 수 있다.
[0028] 장치(100)는 운송 방향(T)으로 제1 운송 경로(T1)를 따라 캐리어(10)를 운송하도록 구성된 제1 운송 시스템(112), 특히 캐리어를 비접촉식으로 운송하도록 구성된 운송 시스템을 포함한다. 제1 운송 시스템(112)은 제1 운송 경로(T1)를 따라 캐리어를 비접촉식으로 운송하도록 구성된 제1 자기 부상 시스템일 수 있다. 제1 운송 시스템(112)은 하부 트랙 섹션(121) 및 상부 트랙 섹션(122)을 포함한다. 캐리어는 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 캐리어 운송 공간에서 운송될 수 있다. 제1 운송 시스템(112)의 자기 유닛들은 하부 트랙 섹션(121) 및/또는 상부 트랙 섹션(122)에 배열될 수 있다. 예컨대, 복수의 능동적으로 제어되는 자기 유닛들이 상부 트랙 섹션(122) 아래에 캐리어(10)를 비접촉식으로 홀딩하기 위해 상부 트랙 섹션(122)에 배열될 수 있다.
[0029] 장치(100)는 경로 스위칭 조립체(150)를 더 포함한다. 경로 스위칭 조립체(150)는 경로 스위칭 방향(S)으로 제1 운송 경로(T1)로부터 벗어나게 캐리어를 이동시키도록 구성될 수 있다. 특히, 경로 스위칭 조립체(150)는 운송 방향(T)에 본질적으로 수직인 경로 스위칭 방향(S)으로 제1 운송 경로(T1)로부터 제2 운송 경로(T2)로 캐리어를 이동시키도록 구성될 수 있다. 대안적으로 또는 부가적으로, 경로 스위칭 조립체(150)는, 캐리어가 프로세싱, 예컨대 코팅되는 프로세싱 포지션(T3)으로 캐리어를 이동시키도록 구성될 수 있다. 프로세스 포지션(T3)은 제1 및 제2 운송 경로들로부터 수평으로 오프셋될 수 있다.
[0030] 도 1a 및 도 1b에 개략적으로 도시된 바와 같이, 캐리어가 프로세싱 포지션(T3)에 배열되는 경우에, 캐리어(10)에 의해 홀딩된 기판(11)을 프로세싱하기 위해, 프로세싱 툴(105)이 진공 챔버에 배열될 수 있다. 프로세싱 툴(105)은 기판 상에 코팅 재료를 증착하도록 구성된 증착 소스일 수 있다.
[0031] 장치(100)는 도 1a에 도시된 운송 포지션(I)과 도 1b에 도시된 경로 스위칭 포지션(II) 사이에서 스위칭하기 위한 액추에이터(125)를 더 포함한다. 운송 포지션(I)에서, 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122)은 서로 제1 거리로 배열되고, 경로 스위칭 포지션(II)에서, 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122)은 서로 제2 거리로 배열된다. 제1 거리는 제2 거리보다 더 작다.
[0032] 다시 말하면, 본원에서 설명되는 실시예들에 따르면, 제1 운송 시스템(112)의 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 거리는 조정될 수 있는데, 특히 증가 및/또는 감소될 수 있다. 제1 거리(작은 거리)는 운송 방향으로 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이에서 캐리어를 비접촉식으로 운송하는 데 적합할 수 있다. 경로 스위칭 방향으로 제1 운송 경로(T1)로부터 벗어나게 캐리어를 이동시키는 것은, 하부 및 상부 트랙 섹션들이 작은 상대적 거리로 제공되는 경우에, 어려울 수 있다. 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 제2 거리(큰 거리)는 경로 스위칭 방향으로 제1 운송 경로로부터 벗어나게, 즉 제2 운송 경로(T2) 및/또는 프로세싱 포지션(T3)으로 캐리어를 이동시키는 데 적합할 수 있다.
[0033] 일부 실시예들에서, 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 제1 거리는 1 m 또는 그 초과, 구체적으로는 2 m 또는 그 초과일 수 있다. 예컨대, 제1 거리는, 하부 트랙 섹션과 상부 트랙 섹션 사이에서 캐리어가 비접촉식으로 운송될 수 있도록, 캐리어의 수직 치수보다 약간 더 클 수 있다. 제2 거리는 제1 거리보다 수 밀리미터 또는 센티미터 더 클 수 있다. 특히, 제1 거리와 제2 거리 사이의 차이는 5 mm 또는 그 초과, 20 mm 또는 그 초과, 40 mm 또는 그 초과, 또는 심지어 100 mm 또는 그 초과일 수 있다. 다시 말하면, 액추에이터(125)는 하부 트랙 섹션과 상부 트랙 섹션 사이의 거리를 5 mm 또는 그 초과, 20 mm 또는 그 초과, 40 mm 또는 그 초과, 또는 심지어 100 mm 또는 그 초과만큼 변경하도록 구성될 수 있다.
[0034] 다시 말하면, 액추에이터(125)는, 경로 스위칭 조립체(150)가 배열되어 있는, 제1 운송 경로(T1)의 부분을 따라, 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 거리를 증가시키기 위해 제공될 수 있다. 액추에이터는 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 거리를 증가시키기 위한 구동 디바이스, 예컨대 모터, 유압식 디바이스, 또는 공압식 디바이스를 포함할 수 있다. 일부 실시예들에서, 액추에이터(125)는 상부 트랙 섹션(122)과 하부 트랙 섹션(121) 사이의 거리를 증가시키기 위해, 예컨대 수직 방향으로, 그리고 특히 하방 방향으로, 상부 트랙 섹션(122)으로부터 멀어지게 하부 트랙 섹션(121)을 이동시키도록 구성될 수 있다. 일부 실시예들에서, 액추에이터(125)는 상부 트랙 섹션(122)과 하부 트랙 섹션(121) 사이의 거리를 증가시키기 위해, 예컨대 수직 방향으로, 특히 상방 방향으로, 하부 트랙 섹션(121)으로부터 멀어지게 상부 트랙 섹션(122)을 이동시키도록 구성될 수 있다.
[0035] 제1 운송 경로(T1)로부터 벗어나는 캐리어의 경로 스위칭은, 제1 운송 시스템(112)이 도 1a에 도시된 운송 포지션(I)으로 제공되는 동안에, 운송 방향(T)으로 제1 운송 경로를 따라 캐리어를 운송하는 것을 포함할 수 있다. 캐리어는 정지될 수 있고, 제1 운송 시스템(112)은, 상부 트랙 섹션과 하부 트랙 섹션 사이의 더 큰 거리를 갖는, 도 1b에 도시된 경로 스위칭 포지션(II)으로 이동될 수 있다. 그러면, 캐리어는 경로 스위칭 방향(S)으로 제1 운송 경로(T1)로부터 벗어나게 이동될 수 있다.
[0036] 경로 스위칭 방향(S)으로 제1 운송 경로(T1)로부터 벗어나게 캐리어를 이동시키는 것은 여러 이유들로 인해 경로 스위칭 포지션에서 더 용이할 수 있다. 예컨대, 상부 및 하부 트랙 섹션들로부터 캐리어 상에 작용할 수 있는, 영구 자석들의 자기력 효과는 상부 및 하부 트랙 섹션들을 서로 멀어지게 이동시킴으로써 감소될 수 있다. 추가로, 경로 스위칭 포지션(II)에서, 상부 및/또는 하부 트랙 섹션들에 연결된 측면 가이딩 레일들이 캐리어를 방해하지 않을 수 있다. 추가로, 경로 스위칭 포지션에서, 상부 트랙 섹션과 하부 트랙 섹션 사이에 더 큰 공간이 제공되고, 그에 따라, 경로 스위칭 조립체에 의한 캐리어의 측방향 이송이 용이하게 될 수 있고, 더 콤팩트한(compact) 경로 스위칭 조립체가 제공될 수 있다. 경로 스위칭 동안의 캐리어와 트랙들 사이의 접촉들이 방지될 수 있다.
[0037] 일부 실시예들에서, 도 1a에 도시된 운송 포지션(I)과 도 1b에 도시된 경로 스위칭 포지션(II) 사이의 스위칭은 액추에이터를 사용하여 하방 방향으로 하부 트랙 섹션(121)을 이동시키는 것을 포함할 수 있다. 예컨대, 하부 트랙 섹션(121)은 20 mm 또는 그 초과, 구체적으로는 40 mm 또는 그 초과, 더 구체적으로는 80 mm 또는 그 초과의 거리만큼 하방으로 이동될 수 있다. 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 수직 공간이 경로 스위칭 이동을 용이하게 하기 위해 증가될 수 있다.
[0038] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 경로 스위칭 조립체(150)는 캐리어 홀딩 부분(152)을 포함하며, 그 캐리어 홀딩 부분(152)은 캐리어 홀딩 부분(152)에 의해 홀딩된 캐리어(10)를 경로 스위칭 방향(S)으로 이송하기 위해 경로 스위칭 방향(S)으로 이동가능하다. 예컨대, 캐리어(10)는 캐리어 홀딩 부분(152) 상에 기계적으로 지지될 수 있다. 도 1b에 도시된 실시예에서, 캐리어(10)는 아래로부터 캐리어 홀딩 부분(152)에 의해 지지되는데, 즉, 캐리어(10)는 캐리어 홀딩 부분(152)의 상단 상에 배치될 수 있다. 다른 실시예들에서, 캐리어 홀딩 부분은 측면으로부터 또는 위로부터 캐리어를 홀딩할 수 있다. 예컨대, 캐리어 홀딩 부분(152)은 캐리어 홀딩 부분(152)에 캐리어를 척킹하기 위한 자기 척을 포함할 수 있다.
[0039] 제1 운송 경로(T1)로부터 제2 운송 경로(T2)와 프로세싱 포지션(T3) 중 적어도 하나로 캐리어를 이송하기 위하여, 경로 스위칭 방향(S)으로 캐리어 홀딩 부분(152)을 이동시키기 위해, 구동 디바이스(본원에서 “횡단 구동부(cross drive)”라고 또한 지칭됨)가 제공될 수 있다. 구동 디바이스(도면들에서 도시되지 않음)는 진공 챔버(101) 외부에 배열될 수 있고, 캐리어 홀딩 부분(152)은 진공 챔버(101)의 벽을 통해 연장될 수 있다. 대안적으로, 구동 디바이스는 진공 챔버(101) 내부에 배열될 수 있다.
[0040] 구동 디바이스는 경로 스위칭 방향(S)으로 10 cm 또는 그 초과, 구체적으로는 20 cm 또는 그 초과의 거리만큼 제1 운송 경로(T1)로부터 제2 운송 경로(T2)로 캐리어 홀딩 부분(152)을 이동시키도록 구성될 수 있다. 예컨대, 제1 운송 경로(T1)와 제2 운송 경로(T2) 사이의 거리는 25 cm 또는 그 초과 및 100 cm 또는 그 미만일 수 있다.
[0041] 도 1b에 도시된 실시예의 캐리어 홀딩 부분(152)은 캐리어 지지 표면을 포함하며, 그 캐리어 지지 표면은 캐리어 지지 표면 상에 캐리어를 포지셔닝하기 위한 것이다. 예컨대, 캐리어(10)는 하부 트랙 섹션(121)에 의해 하방 방향으로 이동될 수 있고, 캐리어 홀딩 부분(152)의 지지 표면 상에 포지셔닝될 수 있다. 그러면, 경로 스위칭 조립체(150)는 제1 운송 경로(T1)로부터 벗어나게 캐리어를 이송하기 위해 경로 스위칭 방향(S)으로 캐리어 홀딩 부분(152)을 이동시킬 수 있다.
[0042] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 제2 운송 경로(T2)를 따라 캐리어(10)를 운송하기 위해 제2 운송 시스템(114)이 제공될 수 있다. 제2 운송 시스템(114)은 제2 운송 경로(T2)를 따라 제공되는 제2 자기 부상 시스템일 수 있다. 제2 운송 경로(T2)는 제1 운송 경로(T1)로부터 수평으로 오프셋될 수 있다. 경로 스위칭 조립체(150)는 제1 운송 경로(T1)로부터 제2 운송 경로(T2)와 프로세싱 포지션(T3) 중 적어도 하나로 경로 스위칭 방향(S)으로 이동가능할 수 있다.
[0043] 특히, 경로 스위칭 조립체(150)의 캐리어 홀딩 부분(152)은 제1 운송 경로(T1)로부터 제2 운송 경로(T2)로, 그리고/또는 제1 및 제2 운송 경로들 둘 모두로부터 수평으로 오프셋된 프로세싱 포지션(T3)으로 캐리어(10)를 이송하기 위해 경로 스위칭 방향(S)으로 이동가능할 수 있다.
[0044] 제1 운송 시스템(112)가 유사하게, 제2 운송 시스템(114)은 제2 하부 트랙 섹션(123) 및 제2 상부 트랙 섹션(124)을 포함할 수 있으며, 여기서, 캐리어는 제2 하부 트랙 섹션(123)과 제2 상부 트랙 섹션(124) 사이에서 제2 운송 경로(T2)를 따라 운송될 수 있다.
[0045] 일부 실시예들에서, 제2 하부 트랙 섹션(123)과 제2 상부 트랙 섹션(124) 사이의 거리를 증가 및/또는 감소시키기 위해 액추에이터가 제공될 수 있다. 일부 실시예들에서, 제1 운송 시스템(112)의 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 거리와, 제2 운송 시스템(114)의 제2 하부 트랙 섹션(123)과 제2 상부 트랙 섹션(124) 사이의 거리 둘 모두를 증가 및/또는 감소시키기 위해, 하나의 단일 액추에이터(예컨대, 액추에이터(125))가 제공될 수 있다. 다른 실시예들에서, 제1 운송 시스템(112)의 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 거리를 증가 및/또는 감소시키기 위해 제1 액추에이터가 제공될 수 있고, 제2 운송 시스템(114)의 제2 하부 트랙 섹션(123)과 제2 상부 트랙 섹션(124) 사이의 거리를 증가 및/또는 감소시키기 위해 제2 액추에이터가 제공될 수 있다.
[0046] 특히, 일부 실시예들에서, 제2 운송 시스템(114)의 제2 하부 트랙 섹션(123)은 수직 방향(V)으로, 특히, 하방 방향으로 경로 스위칭 포지션(II)으로, 그리고 상방 방향으로 운송 포지션(I)으로 이동가능할 수 있다.
[0047] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 함께 구성될 수 있는 일부 실시예들에서, 제1 운송 시스템(112)의 하부 트랙 섹션(121)은 제2 운송 시스템(114)의 제2 하부 트랙 섹션(123)과 독립적으로 수직 방향(V)으로 이동가능하다. 도 1a는 제1 및 제2 운송 경로들을 따르는 캐리어의 운송이 가능한 운송 포지션(I)에 대응하는 상부 포지션에 있는 하부 트랙 섹션(121) 및 제2 하부 트랙 섹션(123)을 도시한다. 도 1b는 운송 경로들 사이의 경로 스위칭이 가능한 경로 스위칭 포지션(II)에 대응하는 하부 포지션에 있는 하부 트랙 섹션(121) 및 제2 하부 트랙 섹션(123)을 도시한다.
[0048] 도 1a에 개략적으로 도시된 바와 같이, 운송 포지션(I)에서, 제2 자기 부상 시스템의 상부 측면 가이드(141) 및/또는 하부 측면 가이드(142)가 제1 운송 경로(T1)로부터 제2 운송 경로(T2) 쪽으로의 캐리어의 경로 스위칭을 방지할 수 있다. 도 1b에 도시된 경로 스위칭 포지션(II)으로 스위칭된 후에, 상부 및 하부 트랙 섹션들 사이의 증가된 거리들로 인해, 캐리어는 경로 스위칭 방향(S)으로 상부 측면 가이드(141)를 지나서 그리고 하부 측면 가이드(142)를 지나서 이동될 수 있다.
[0049] 도 2는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 캐리어를 운송하기 위한 장치를 포함하는 시스템(200)의 개략적인 평면도를 도시한다. 장치는 도 1a 및 도 1b에 도시된 장치(100)에 대응할 수 있고, 그에 따라, 여기서 반복되지 않는 위의 설명들이 참조될 수 있다.
[0050] 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 기판을 진공 프로세싱하기 위한 시스템(200)은 진공 챔버(101), 본원에서 설명되는 실시예들 중 임의의 실시예에 따른 장치(100), 및 진공 챔버(101)에 배열된 하나 또는 그 초과의 프로세싱 툴들(105)을 포함한다. 하나 또는 그 초과의 프로세싱 툴들은 증착 소스들, 스퍼터 소스들, 증발 소스들, 표면 처리 툴들, 가열 디바이스들, 세정 디바이스들, 에칭 툴들, 및 이들의 조합들로 구성된 그룹으로부터 선택될 수 있다.
[0051] 제1 운송 경로(T1), 및 제1 운송 경로(T1)로부터 수평으로 오프셋된 제2 운송 경로(T2)가 진공 챔버(101)를 통해 연장된다. 선택적으로, 기판이 프로세싱될 수 있는 프로세싱 포지션(T3)이 제1 운송 경로(T1) 및 제2 운송 경로(T2)로부터 수평으로 오프셋되어 제공된다. 일부 실시예들에서, 캐리어(10)의 프로세싱 포지션(T3)과 프로세싱 툴(105) 사이에 마스크(12)가 제공된다. 예컨대, 마스크(12)는 에지 배제 마스크 또는 미세 금속 마스크일 수 있다. 예컨대, 마스크(12)는 기판의 일부가 코팅되는 것을 방지할 수 있고, 그리고/또는 마스크는 기판 상에 증착될 재료 패턴에 대응하는 개구 패턴을 가질 수 있다.
[0052] 장치(100)는 제1 운송 경로(T1)를 따라 캐리어(10)를 비접촉식으로 운송하기 위한 제1 운송 시스템(112), 제2 운송 경로(T2)를 따라 캐리어(10)를 비접촉식으로 운송하기 위한 제2 운송 시스템(114), 및 경로 스위칭 방향(S)으로 제1 운송 경로(T1)로부터 제2 운송 경로(T2) 및/또는 프로세싱 포지션(T3)으로 캐리어(10)를 이송하도록 구성된 경로 스위칭 조립체(150)를 포함한다. 경로 스위칭 조립체(150)는 캐리어 홀딩 부분(152)을 포함할 수 있으며, 그 캐리어 홀딩 부분(152)은 캐리어(10)를 홀딩 및/또는 지지하도록 구성되고, 경로 스위칭 방향(S)으로 이동가능하다.
[0053] 제1 운송 시스템(112)은 하부 트랙 섹션(121)(도 2에서 파선으로 개략적으로 표시됨), 및 수직 방향으로 하부 트랙 섹션(121)을 이동시키도록 구성된 액추에이터를 포함할 수 있다. 운송 방향(T)의 하부 트랙 섹션(121)의 길이는 운송 방향(T)의 캐리어(10)의 길이보다 더 클 수 있거나 또는 그와 동일할 수 있다. 하부 트랙 섹션(121)은, 경로 스위칭 조립체(150)가 배열되어 있는, 제1 운송 경로의 섹션을 따라 제공될 수 있다. 따라서, 하부 트랙 섹션(121)은, 경로 스위칭 조립체가 경로 스위칭 방향(S)으로 제1 운송 경로(T1)로부터 벗어나게 캐리어(10)를 이송할 수 있게 하기 위해, 하방 방향으로 이동될 수 있다.
[0054] 일부 실시예들에서, 제2 운송 시스템(114)은 제2 하부 트랙 섹션(123)(도 2에서 파선으로 개략적으로 표시됨), 및 수직 방향으로 제2 하부 트랙 섹션(123)을 이동시키도록 구성된 액추에이터를 포함할 수 있다. 운송 방향(T)의 제2 하부 트랙 섹션(123)의 길이는 운송 방향(T)의 캐리어(10)의 길이보다 더 클 수 있거나 또는 그와 동일할 수 있다. 제2 하부 트랙 섹션(123)은, 경로 스위칭 조립체(150)가 배열되어 있는, 제2 운송 경로의 섹션을 따라 연장될 수 있다. 따라서, 제2 하부 트랙 섹션(123)은, 경로 스위칭 조립체가 경로 스위칭 방향(S)으로 제2 운송 경로(T2) 상으로 또는 제2 운송 경로(T2)를 횡단하여 캐리어(10)를 이송할 수 있게 하기 위해, 하방 방향으로 이동될 수 있다.
[0055] 도 3a 내지 도 3h는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 장치(300)를 이용하여 캐리어를 운송하기 위한 방법의 다양한 스테이지들을 도시한다. 장치(300)는 도 1a 및 도 1b에 도시된 장치(100)와 유사할 수 있고, 그에 따라, 여기서 반복되지 않는 위의 설명들이 참조될 수 있다.
[0056] 장치(300)는 제1 운송 경로(T1)를 따라 캐리어(10)를 비접촉식으로 운송하기 위한 제1 운송 시스템(112), 및 제1 운송 경로(T1)로부터 수평으로 오프셋된 제2 운송 경로(T2)를 따라 캐리어(10)를 비접촉식으로 운송하기 위한 제2 운송 시스템(114)을 포함한다.
[0057] 추가로, 제1 운송 경로(T1)로부터 제2 운송 경로(T2) 및/또는 프로세싱 포지션(T3)으로 캐리어(10)를 이송하기 위해 경로 스위칭 조립체(150)가 제공된다. 프로세싱 포지션(T3)은 도 3e에만 도시되며, 선택적이다. 다시 말하면, 캐리어를 제1 운송 경로(T1)로부터 프로세싱 포지션(T3)으로 이송한 후에 제2 운송 경로(T2)로 이송하는 대신에, 캐리어를 경로 스위칭 방향으로 제1 운송 경로로부터 직접적으로 제2 운송 경로로 이송하는 것이 마찬가지로 가능하다. 대안적으로, 제2 운송 경로(T2)로 캐리어를 이송하는 대신에, 캐리어는 도 3e에 도시된 프로세싱 포지션(T3)으로부터 제1 운송 경로(T1)로 되돌려 이송될 수 있다.
[0058] 경로 스위칭 조립체(150)는 캐리어를 홀딩 및/또는 지지하도록 구성된 캐리어 홀딩 부분(152)을 포함할 수 있으며, 여기서, 캐리어 홀딩 부분(152)은 캐리어와 함께 경로 스위칭 방향(S)으로 이동가능할 수 있다. 경로 스위칭 조립체는 경로 스위칭 방향(S)으로 캐리어를 이동시키도록 구성된다.
[0059] 제1 운송 시스템(112)은 수직 방향(V)으로 이동가능할 수 있는 하부 트랙 섹션(121)을 포함하고, 그리고/또는 제2 운송 시스템(114)은 수직 방향(V)으로 이동가능할 수 있는 제2 하부 트랙 섹션(123)을 포함할 수 있다. 하부 트랙 섹션(121)과 제2 하부 트랙 섹션(123)은 서로 나란히 그리고 평행하게 배열될 수 있고, 그에 따라, 특히 캐리어(10)의 배향을 변경하지 않고도, 경로 스위칭 방향(S)으로 하부 트랙 섹션(121)과 제2 하부 트랙 섹션(123) 사이에서 캐리어가 이송될 수 있다. 다시 말하면, 경로 스위칭 동안에, 캐리어는 운송 방향(T)을 따라 정렬된 본질적인 수직 배향을 유지할 수 있다.
[0060] 도 3a에서, 캐리어는 제1 운송 시스템(112)에 의해 운송 방향(T)으로 제1 운송 경로(T1)를 따라 운송된다. 운송은 비접촉식 운송일 수 있다. 다시 말하면, 캐리어(10)는, 자기력들, 예컨대, 아래로부터 작용하는 밀어내는 자기력들 및/또는 위로부터 작용하는 끌어당기는 자기력들에 의해, 하부 트랙 섹션(121) 위로 일정 거리(예컨대, 약 2 mm의 거리)에 홀딩될 수 있다. 도 3a에서, 제1 운송 경로(T1)를 따라 비접촉식으로 운송하도록 구성된 운송 포지션(I)이 도시되며, 여기서, 제1 운송 시스템(112)의 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이에 제1 거리가 제공된다.
[0061] 캐리어(10)는, 경로 스위칭 조립체(150)가 배열되어 있는, 도 3a에 도시된 제1 운송 경로(T1)를 따르는 포지션으로 운송된다.
[0062] 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 경로 스위칭 조립체(150)는 캐리어(10)의 상부 부분을 홀딩 및/또는 안정화하도록 구성된 상부 홀딩 디바이스(154)를 포함한다. 상부 홀딩 디바이스(154)는 경로 스위칭 방향(S)으로 이동가능할 수 있다. 선택적으로, 상부 홀딩 디바이스(154)는 또한, 수직 방향(V)으로 이동가능할 수 있다. 상부 홀딩 디바이스(154)는, 자기 부상이 스위칭 오프되는 경우에, 캐리어의 기울어짐 이동을 방지하도록 구성될 수 있다.
[0063] 일부 실시예들에서, 상부 홀딩 디바이스(154)는 캐리어(10)의 상부 단부 부분과 접촉하도록 구성될 수 있고, 그리고/또는 캐리어(10)의 상부 단부 부분과 접촉하도록 수직 방향(V)으로 이동가능할 수 있다. 예컨대, 상부 홀딩 디바이스(154)는 위로부터 캐리어와 접촉하고 캐리어를 파지하도록 구성된 핑거(finger)들 또는 다른 홀딩 디바이스들을 포함할 수 있다. 특히, 상부 홀딩 디바이스(154)는, 제1 운송 시스템(112)에 의해 제공되는 자기 부상이 스위칭 오프되는 경우에, 캐리어를 홀딩 및/또는 안정화하도록 구성된 스프링 탑재 핑거들을 포함할 수 있다. 예컨대, 경로 스위칭 방향(S)의 측면 안정화가 상부 홀딩 디바이스(154)에 의해 제공될 수 있다. 도 3b에 개략적으로 표시된 바와 같이, 상부 홀딩 디바이스(154)는 경로 스위칭 방향의 캐리어의 측면 안정화를 제공하고, 그리고 기울어지는(tipping) 이동을 방지한다.
[0064] 일부 실시예들에서, 캐리어(10)가 하부 트랙 섹션(121)과 기계적으로 접촉하게 되고 하부 트랙 섹션(121) 상에 지지되도록, 제1 운송 시스템(112)의 자기 부상력이 감소될 수 있거나 또는 스위칭 오프될 수 있다. 예컨대, 캐리어는, 제1 자기 부상 시스템의 자기 부상력을 점진적으로 감소시킴으로써, 하부 트랙 섹션(121) 상에 부드럽게 배치될 수 있다.
[0065] 하부 트랙 섹션(121) 상에 캐리어를 포지셔닝하기 위해 제1 운송 시스템(112)에 의해 제공되는 자기 부상력의 감소는 도 4a 및 도 4b에 더 상세히 도시된다. 도 4a에서, 캐리어는 제1 운송 시스템(112)에 의해 하부 트랙 섹션(121) 위로 일정 거리에 비접촉식으로 홀딩된다. 예컨대, 상부 트랙 섹션(122)에 배열된 능동 자기 유닛들(301)은 하부 트랙 섹션(121) 위로 일정 거리에 캐리어(10)를 비접촉식으로 홀딩할 수 있다. 도 4b에서, 캐리어의 상부 부분이 상부 홀딩 디바이스(154)에 의해 안정화되고, 그리고 하부 트랙 섹션(121)의 기판 지지 표면 상에 캐리어를 배치하기 위해 자기 부상력이 감소되거나 또는 스위칭 오프된다. 이어서, 하부 트랙 섹션(121)이 하강될 수 있다.
[0066] 독립 청수항의 내용으로 이루어질 수 있는 본 개시내용의 추가적인 양상에 따르면, 액추에이터(125)는 경로 스위칭 조립체의 캐리어 홀딩 부분(152) 상에 캐리어를 배치하기 위해, 캐리어(10)가 상부에 지지된 하부 트랙 섹션(121)을 하강시키도록 구성된다.
[0067] 도 3b로 돌아가면, 액추에이터는 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 거리가 증가되도록, 상부 트랙 섹션(122)으로부터 멀어지게 하방 방향으로 하부 트랙 섹션(121)을 이동시키도록 구성될 수 있다. 하부 트랙 섹션(121) 상에 지지된 캐리어(10)는, 캐리어가 캐리어 홀딩 부분(152) 상에 배치될 때까지, 캐리어 홀딩 부분(152) 쪽으로 하강된다. 예컨대, 하부 트랙 섹션(121)은 20 mm 또는 그 초과, 구체적으로는 40 mm 또는 그 초과의 거리만큼 제1 레벨(L1)로부터 캐리어 홀딩 부분(152)의 레벨에 이르기까지 아래로 하강될 수 있다.
[0068] 도 3b 및 도 3c에 개략적으로 도시된 바와 같이, 경로 스위칭 조립체(150)의 캐리어 홀딩 부분(152) 및 하부 트랙 섹션(121)은 아래로부터 캐리어(10)를 지지하도록 구성될 수 있다. 다시 말하면, 캐리어(10)의 하단 표면은 먼저 하부 트랙 섹션(121) 상에 배치될 수 있고(도 3b), 이어서 캐리어 홀딩 부분(152) 상에 배치될 수 있다(도 3c).
[0069] 도 3b에 추가로 도시된 바와 같이, 캐리어가 상부에 지지된 하부 트랙 섹션(121)은, 캐리어(10)가 캐리어 홀딩 부분(152) 상에 포지셔닝될 때까지, 상부 트랙 섹션(122)으로부터 멀어지게 하방 방향으로 이동될 수 있다. 도 3c에 개략적으로 도시된 바와 같이, 하부 트랙 섹션은, 하부 트랙 섹션(121)이 제2 레벨(L2)에, 예컨대, 캐리어 홀딩 부분(152)의 레벨 아래에 포지셔닝될 때까지, 계속 하방으로 이동할 수 있다. 제1 레벨(L1)과 제2 레벨(L2) 사이의 거리는 40 mm 또는 그 초과, 구체적으로는 80 mm 또는 그 초과일 수 있다. 따라서, 제1 거리(즉, 운송 포지션(I)에서의 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 거리)와 제2 거리(즉, 경로 스위칭 포지션(II)에서의 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 거리) 사이의 차이는 40 mm 또는 그 초과, 구체적으로는 80 mm 또는 그 초과일 수 있다.
[0070] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에 따르면, 제1 운송 시스템(112)은, 특히 캐리어 상에 작용하는 자기력들을 통해, 운송 포지션(I)에서 하부 트랙 섹션(121) 위에 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하도록 구성된 자기 부상 시스템이다. 추가로, 하부 트랙 섹션(121)은 아래로부터 캐리어를 기계적으로 지지하기 위한 캐리어 지지부를 포함할 수 있다. 특히, 비접촉식 운송 동안에, 캐리어는 하부 트랙 섹션 위로 비접촉식으로 부유할 수 있고, 그리고 경로 스위칭 동안에, 캐리어는 하부 트랙 섹션과 접촉할 수 있고, 하부 트랙 섹션 상에 지지될 수 있다.
[0071] 하부 트랙 섹션(121) 상에 지지된 캐리어(10)의 하방 이동으로 인해, 캐리어(10)와 상부 트랙 섹션(122) 사이의 거리가 증가될 수 있다. 캐리어 홀딩 부분(152)에 의해 지지된 캐리어(10)에 대한 하부 트랙 섹션(121)의 하방 이동으로 인해, 캐리어와 하부 트랙 섹션(121) 사이의 거리가 증가될 수 있다. 따라서, 경로 스위칭 방향(S)으로의 캐리어의 이송 이동이 용이하게 될 수 있는데, 이는 경로 스위칭 동안의 캐리어(10) 위의 그리고 캐리어 아래의 자유 공간이 증가될 수 있기 때문이다.
[0072] 도 3d 및 도 3e에 개략적으로 도시된 바와 같이, 캐리어(10)가 상부에 지지된 캐리어 홀딩 부분(152)은 경로 스위칭 방향(S)으로 제1 운송 경로(T1)로부터 제2 운송 경로(T2)로 이동될 수 있고(도 3d), 그리고/또는 프로세싱 툴(105)에 의해 기판이 프로세싱될 수 있는 프로세싱 포지션으로 이동될 수 있다(도 3e).
[0073] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 캐리어(10)는 제2 운송 경로(T2)로 이송된다. 일부 실시예들에서, 제2 운송 경로(T2)를 따라 제공된 제2 운송 시스템(114)은 수직 방향으로 이동가능한 제2 하부 트랙 섹션(123)을 포함할 수 있다.
[0074] 도 3f에 개략적으로 도시된 바와 같이, 제2 하부 트랙 섹션(123)은, 캐리어가 제2 하부 트랙 섹션(123)과 접촉하게 되고, 제2 하부 트랙 섹션(123)에 의해 캐리어 홀딩 부분(152)으로부터 위로 리프팅될 때까지, 경로 스위칭 포지션으로부터 상방 방향으로 이동될 수 있다. 예컨대, 제2 하부 트랙 섹션(123)은 캐리어 홀딩 부분(152)의 레벨 아래의 제2 레벨(L2)로부터 캐리어 홀딩 부분(152)의 레벨 위의 제1 레벨(L1)로 상방 방향으로 이동될 수 있다.
[0075] 도 3g에 개략적으로 도시된 바와 같이, 상방 방향으로 제2 하부 트랙 섹션(123)을 이동시킴으로써, 제2 운송 시스템(114)의 제2 상부 트랙 섹션(124)과 제2 하부 트랙 섹션(123) 사이의 거리는, 운송 포지션(I)에 도달될 때까지, 감소될 수 있다. 운송 포지션(I)은 도 3h에 도시된다.
[0076] 도 3h에 도시된 운송 포지션(I)에서, 제2 하부 트랙 섹션(123)과 제2 상부 트랙 섹션(124) 사이에 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하기 위해, 제2 운송 시스템(114)의 자기 부상이 스위칭 온될 수 있다. 이어서, 캐리어는 제2 운송 경로(T2)를 따라, 예컨대 운송 방향(T)으로 비접촉식으로 운송될 수 있다.
[0077] 경로 스위칭 조립체(150)의 캐리어 홀딩 부분(152)은 경로 스위칭 방향(S)으로 제1 운송 경로(T1) 쪽으로 되돌려 이동될 수 있으며, 그 제1 운송 경로(T1)에서 제2 캐리어에 대해 경로 스위칭이 수행될 수 있다.
[0078] 도 5a 내지 도 5d는 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 장치(400)를 이용하여 캐리어를 운송하기 위한 방법의 다양한 스테이지들을 도시한다. 장치(400)는 도 3a 내지 도 3h에 도시된 장치(300)와 유사할 수 있고, 그에 따라, 여기서 반복되지 않는 위의 설명들이 참조될 수 있다.
[0079] 도 4a의 장치(400)는 캐리어(10)의 본질적으로 일정한 배향을 유지하면서, 제1 운송 경로(T1)로부터 제2 운송 경로(T2) 및/또는 프로세싱 포지션(T3)으로 캐리어(10)를 이송하도록 구성된 경로 스위칭 조립체(150)를 포함한다.
[0080] 경로 스위칭 조립체(150)는 경로 스위칭 방향(S)으로 이동가능한 캐리어 홀딩 부분(152) 및 경로 스위칭 방향(S)으로 이동가능한 상부 홀딩 디바이스(154)를 포함할 수 있다.
[0081] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 상부 홀딩 디바이스(154)는, 특히 자기 부상 시스템들의 자기 부상력이 감소되거나 또는 스위칭 오프되는 경우에, 캐리어(10)의 상부 부분을 홀딩 및/또는 안정화하도록 구성된다. “캐리어의 상부 부분”은 상부 50 %를 포함하는 수직으로 배향된 캐리어의 상부 부분, 특히 수직으로 배향된 캐리어의 상부 20 %로서 이해될 수 있다. 특히, 상부 홀딩 디바이스는 캐리어의 상부 단부를 안정화할 수 있다.
[0082] 상부 홀딩 디바이스(154)는, 예컨대, 캐리어의 2개의 대향 측면들 상에 반대로 지향되는 안정화 힘들을 가함으로써, 경로 스위칭 방향(S)으로 캐리어를 안정화할 수 있다.
[0083] 상부 홀딩 디바이스(154)는 경로 스위칭 방향(S)으로 캐리어의 상부 부분 상에 밀어내는 자기력을 가하기 위한 적어도 하나의 자석 유닛을 포함할 수 있다. 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 상부 홀딩 디바이스(154)는 제1 측면으로부터 캐리어(10)의 상부 부분 상에 밀어내는 자기력을 가하기 위한 제1 자석 유닛(302), 및 제1 측면과 대향하는 제2 측면으로부터 캐리어(10)의 상부 부분 상에 밀어내는 자기력을 가하기 위한 제2 자석 유닛(304)을 포함한다.
[0084] 자기 카운터-유닛들이, 이를테면, 제1 자석 유닛(302) 및 제2 자석 유닛(304)과 각각 자기적으로 상호작용하기 위해, 캐리어(10)의 상부 부분에 고정될 수 있다. 특히, 상부 홀딩 디바이스(154)의 제1 자석 유닛(302)은 캐리어의 제1 측면에 고정된 제1 자기 카운터-유닛 상에 밀어내는 자기력을 가할 수 있고, 그리고/또는 상부 홀딩 디바이스(154)의 제2 자석 유닛(304)은 제1 측면과 대향하는 캐리어의 제2 측면에 고정된 제2 자기 카운터-유닛 상에 밀어내는 자기력을 가할 수 있다. 캐리어는 제1 자석 유닛(302)과 제2 자석 유닛(304) 사이의 중앙 영역에서 비접촉식으로 안정화될 수 있다.
[0085] 상부 홀딩 디바이스(154)는, 예컨대 트랙들 사이에서 캐리어를 이송하기 위해, 캐리어 홀딩 부분(152)과 동기적으로 그리고 캐리어 홀딩 부분(152)과 함께 경로 스위칭 방향(S)으로 이동가능할 수 있다.
[0086] 일부 실시예들에서, 상부 홀딩 디바이스(154)는 제1 암(311) 및 제2 암(312)을 포함할 수 있으며, 여기서, 제1 암(311)은 경로 스위칭 방향(S)으로 제2 암(312)과 독립적으로 이동가능할 수 있다. 예컨대, 제1 측면 안정화 유닛, 이를테면 제1 자석 유닛(302)은 제1 암(311)에 고정될 수 있고, 제2 측면 안정화 유닛, 이를테면 제2 자석 유닛(304)은 제2 암(312)에 고정될 수 있다. 캐리어의 자기 부상을 스위칭 오프하기 전에, 제1 암과 제2 암 사이에서 캐리어를 안정화하기 위해, 제1 암(311)은 제1 측면으로부터 캐리어 쪽으로 이동될 수 있고, 제2 암(312)은 제2 측면으로부터 캐리어 쪽으로 이동될 수 있다.
[0087] 특히, 상부 홀딩 디바이스(154)는, 캐리어의 경로 스위칭 동안에 캐리어의 상부 부분이 비접촉식으로 안정화될 수 있도록, 경로 스위칭 방향(S)으로 이동가능할 수 있다.
[0088] 일부 실시예들에서, 상부 홀딩 디바이스(154)는 경로 스위칭 방향(S)으로 이동가능하지만, 수직 방향(V)으로는 이동가능하지 않다. 다른 실시예들에서, 상부 홀딩 디바이스(154)는 경로 스위칭 방향(S) 및 수직 방향(V)으로 이동가능하다.
[0089] 본원에서 설명되는 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일부 실시예들에서, 상부 홀딩 디바이스(154)는 상부 홀딩 디바이스(154)에 대한 캐리어의 수직 이동 동안에 캐리어의 측면 안정화를 제공하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 상부 홀딩 디바이스(154)는 상부 홀딩 디바이스(154)에 대한 제1 수직 포지션, 및 상부 홀딩 디바이스(154)에 대한 제2 수직 포지션에 배열된 캐리어의 측면 안정화를 제공할 수 있다. 제1 수직 포지션과 제2 수직 포지션은, 예컨대 30 mm 또는 그 초과, 구체적으로는 50 mm 또는 그 초과의 거리만큼 수직으로 서로 오프셋될 수 있다. 특히, 상부 홀딩 디바이스는, 상부 홀딩 디바이스를 수직으로 이동시키지 않고도, 제1 수직 레벨 및 제2 수직 레벨에 제공된 캐리어에 대해 측면 안정화를 제공할 수 있다.
[0090] 일부 실시예들에서, 상부 홀딩 디바이스(154)의 적어도 하나의 자석 유닛, 및/또는 캐리어(10)의 적어도 하나의 자기 카운터-유닛은 30 mm 또는 그 초과, 구체적으로는 40 mm 또는 그 초과, 더 구체적으로는 50 mm 또는 그 초과의 수직 치수를 가질 수 있다. 따라서, 적어도 하나의 자석 유닛은, 자기-카운터-유닛이, 예컨대 30 mm 또는 그 초과의 거리만큼 자석 유닛에 대하여 수직으로 시프트되는 경우에, 적어도 하나의 자기 카운터-유닛과 자기적으로 상호작용할 수 있다.
[0091] 도 5a에서, 캐리어(10)가 제1 운송 경로(T1) 상에서 제1 수직 레벨에 배열된다. 제1 자기 부상 시스템으로서 구성된 제1 운송 시스템(112)은 수직 방향 및 트랙-스위칭 방향으로 캐리어를 안정화한다.
[0092] 도 5b에서, 상부 홀딩 디바이스(154)는 2개의 대향 측들로부터 경로 스위칭 방향(S)으로 캐리어 쪽으로 이동된다. 캐리어는 상부 홀딩 디바이스(154)의 제1 자석 유닛(302)과 제2 자석 유닛(304) 사이에서 비접촉식으로 안정화될 수 있다.
[0093] 이어서, 제1 운송 시스템(112)의 자기 부상이 스위칭 오프될 수 있다.
[0094] 도 5c에서, 캐리어(10)는, 예컨대 20 mm, 40 mm 또는 그 초과의 거리만큼, 제2 수직 레벨로 상부 홀딩 디바이스에 대하여 하방 방향으로 이동된다. 예컨대, 캐리어가 상부에 지지된 하부 트랙 섹션(121)은 하방 방향으로 이동될 수 있다. 상부 홀딩 디바이스(154)는 상부 홀딩 디바이스에 대한 캐리어의 수직 이동 동안에 캐리어가 안정화되도록 구성된다. 예컨대, 제1 자석 유닛(302) 및 제2 자석 유닛(304)은 30 mm 또는 그 초과, 구체적으로는 40 mm 또는 그 초과의 거리에 걸쳐 수직 방향(V)으로 연장될 수 있다.
[0095] 이어서, 캐리어(10)는, 예컨대, 경로 스위칭 방향으로 상부 홀딩 디바이스(154)와 함께 그리고 상부 홀딩 디바이스(154)와 본질적으로 동기적으로 캐리어 홀딩 부분(152)을 이동시킴으로써, 경로 스위칭 방향(S)으로 이동될 수 있다.
[0096] 상부 홀딩 디바이스(154)는, 캐리어가 제1 또는 제2 운송 시스템에 의해 홀딩 및 안정화되는 경우, 예컨대, 제2 운송 경로(T2) 쪽으로의 경로 스위칭 및 제2 자기 부상 시스템의 활성화 후에, 캐리어로부터 멀어지게 이동될 수 있다.
[0097] 본원에서 설명되는 추가적인 양상에 따르면, 진공 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 방법이 설명된다.
[0098] 도 6은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른 제1 방법을 예시하는 흐름도이다.
[0099] 박스(610)에서, 캐리어(10)가 운송 방향(T)으로 제1 운송 경로(T1)를 따라 운송된다. 운송 동안에, 캐리어(10)는 제1 운송 시스템(112)의 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 캐리어 운송 공간에 배열된다. 캐리어는 하부 트랙 섹션과 상부 트랙 섹션 사이의 캐리어 운송 공간에서, 예컨대 자기 부상 시스템에 의해, 비접촉식으로 운송될 수 있다.
[00100] 박스(620)에서, 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 거리가 증가된다. 예컨대, 하부 트랙 섹션은 상부 트랙 섹션으로부터 멀어지게 하방으로, 예컨대 수직 방향으로 이동된다. 대안적으로 또는 부가적으로, 상부 트랙 섹션은 하부 트랙 섹션으로부터 멀어지게 상방으로, 예컨대 수직 방향으로 이동된다. 하부 트랙 섹션을 하강시키기 위해 액추에이터가 제공될 수 있다.
[00101] 박스(630)에서, 캐리어는 운송 방향(T)을 횡단하는 경로 스위칭 방향(S)으로, 제1 운송 경로(T1)로부터 벗어나게, 특히 제2 운송 경로(T2) 및/또는 프로세싱 포지션(T3)으로 이동된다. 특히, 캐리어는 경로 스위칭 조립체의 캐리어 홀딩 부분 상에 기계적으로 지지되고 그리고/또는 그 캐리어 홀딩 부분에 의해 홀딩되어 있으면서, 경로 스위칭 방향(S)으로 이동될 수 있다. 캐리어 홀딩 부분은 캐리어 홀딩 부분 상에 지지된 캐리어와 함께 경로 스위칭 방향으로 이동가능할 수 있다.
[00102] 캐리어가 경로 스위칭 방향(S)으로 이동되는 경우에, 제2 운송 시스템(114)의 제2 하부 트랙 섹션(123)과 제2 상부 트랙 섹션(124) 사이의 거리가 큰 거리로 세팅될 수 있다. 이는 캐리어가 제2 운송 경로(T2)에 진입하는 것을 가능하게 할 수 있다.
[00103] 캐리어가 제2 운송 경로(T2) 상에 포지셔닝되는 경우에, 제2 운송 시스템(114)의 제2 하부 트랙 섹션(123)과 제2 상부 트랙 섹션(124) 사이의 거리가 감소되어, 제2 자기 부상 시스템을 통해 제2 운송 경로를 따라 캐리어가 운송될 수 있게 할 수 있다.
[00104] 박스들(610 및 620) 사이에 그리고/또는 박스들(620 및 630) 사이에 하나 또는 그 초과의 추가적인 운송 스테이지들이 제공될 수 있다. 예컨대, 도 3a 내지 도 3h를 참조하여 설명된 운송 방법이 참조된다. 위의 설명들은 여기서 반복되지 않는다.
[00105] 도 7은 본원에서 설명되는 실시예들에 따른, 진공 챔버에서 캐리어를 운송하는 제2 방법을 예시하는 흐름도이다.
[00106] 박스(710)에서, 캐리어(10)가, 특히 제1 자기 부상 시스템에 의해, 운송 방향(T)으로 제1 운송 경로(T1)를 따라 비접촉식으로 운송된다.
[00107] 이어서, 캐리어는 제1 운송 경로(T1)로부터 수평으로 오프셋된 제2 운송 경로(T2)로 이동된다.
[00108] 제2 운송 경로로 캐리어를 이동시키는 것은, 박스(720)에서의, 제1 운송 경로(T1) 상에서 캐리어를 하강시키는 것, 박스(730)에서의, 제2 운송 경로(T2)로 경로 스위칭 방향(S)으로 캐리어를 이동시키는 것, 및 박스(740)에서의, 제2 운송 경로(T2) 상에서 캐리어를 리프팅하는 것을 포함한다.
[00109] 박스(720)에서, 캐리어는, 특히 제1 운송 시스템에 의해 제공되는 자기 부상력을 감소시키거나 또는 스위칭 오프함으로써, 제1 운송 시스템(112)의 하부 트랙 섹션(121) 상에 배치될 수 있다.
[00110] 캐리어가 상부에 지지된 하부 트랙 섹션(121)은 하방 방향으로 이동될 수 있다. 수직 방향으로, 특히 제1 운송 시스템의 상부 트랙 섹션(122)으로부터 멀어지게 하부 트랙 섹션(121)을 이동시키기 위해 액추에이터가 제공될 수 있다. 따라서, 액추에이터를 통해, 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이의 거리가 증가될 수 있다.
[00111] 박스(720)에서, 캐리어는 경로 스위칭 조립체(150)의 캐리어 홀딩 부분(152) 상으로 하강될 수 있고, 그 캐리어 홀딩 부분(152)은 캐리어 홀딩 부분(152) 상에 지지된 캐리어를 경로 스위칭 방향(S)으로 이동시킨다. 경로 스위칭 방향(S)으로 캐리어 홀딩 부분(152)을 이동시키기 위해, 구동 디바이스, 특히 횡단 디바이스가 제공될 수 있다.
[00112] 박스(750)에서, 제2 운송 경로(T2)를 따라 제공된 제2 운송 시스템(114)의 제2 하부 트랙 섹션(123)이 상방 방향으로 이동될 수 있다. 제2 하부 트랙 섹션(123)은, 캐리어가 캐리어 홀딩 부분(152)으로부터 위로 리프팅되고, 캐리어 홀딩 부분(152) 위의 미리 결정된 레벨에 배열될 때까지, 상방 방향으로 이동될 수 있다. 특히, 제2 하부 트랙 섹션(123)은 제2 운송 시스템의 제2 상부 트랙 섹션 쪽으로 이동될 수 있다. 제2 상부 트랙 섹션과 제2 하부 트랙 섹션 사이의 거리가 그에 따라 감소될 수 있다.
[00113] 이어서, 캐리어는 제2 운송 경로(T2)를 따라 비접촉식으로 운송될 수 있다.
[00114] 전술한 바가 본 개시내용의 실시예들에 관한 것이지만, 본 개시내용의 다른 및 추가적인 실시예들이 본 개시내용의 기본적인 범위로부터 벗어나지 않으면서 고안될 수 있고, 본 개시내용의 범위는 다음의 청구항들에 의해 결정된다.

Claims (16)

  1. 진공 챔버(101)에서 캐리어(10)를 운송하기 위한 장치(100)로서,
    운송 방향(T)으로 제1 운송 경로(T1)를 따라 제공되고, 하부 트랙 섹션(121) 및 상부 트랙 섹션(122)을 포함하는 제1 운송 시스템(112);
    경로 스위칭 방향(S)으로 상기 제1 운송 경로(T1)로부터 벗어나게 상기 캐리어를 이동시키기 위한 경로 스위칭 조립체(150); 및
    상기 하부 트랙 섹션(121)과 상기 상부 트랙 섹션(122) 사이의 거리를 변경하기 위한 액추에이터(125)
    를 포함하는,
    캐리어를 운송하기 위한 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 경로 스위칭 조립체(150)는 캐리어 홀딩 부분(152)을 포함하며, 상기 캐리어 홀딩 부분(152)은 상기 캐리어 홀딩 부분(152)에 의해 홀딩된 상기 캐리어(10)를 상기 경로 스위칭 방향(S)으로 이송하기 위해 상기 경로 스위칭 방향(S)으로 이동가능한,
    캐리어를 운송하기 위한 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 액추에이터(125)는 상기 캐리어 홀딩 부분(152) 상에 상기 캐리어를 배치하기 위해, 상기 캐리어(10)가 상부에 지지된 상기 하부 트랙 섹션(121)을 하강시키도록 구성되는,
    캐리어를 운송하기 위한 장치.
  4. 제1 항 내지 제3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 운송 경로(T1)로부터 수평으로 오프셋된 제2 운송 경로(T2)를 따라 제공된 제2 운송 시스템(114)을 더 포함하며,
    상기 경로 스위칭 조립체(150)의 캐리어 홀딩 부분(152)은 상기 제1 운송 경로(T1)로부터 상기 제2 운송 경로(T2)와 프로세싱 포지션(T3) 중 적어도 하나로 상기 경로 스위칭 방향(S)으로 이동가능하고, 상기 프로세싱 포지션(T3)은 상기 제1 운송 경로 및 상기 제2 운송 경로로부터 수평으로 오프셋되는,
    캐리어를 운송하기 위한 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 제2 운송 시스템(114)은 수직 방향(V)으로 이동가능한 제2 하부 트랙 섹션(123)을 포함하는,
    캐리어를 운송하기 위한 장치.
  6. 제1 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 액추에이터(125)는 상기 상부 트랙 섹션(122)으로부터 멀어지게 하방 방향으로 상기 하부 트랙 섹션(121)을 이동시키도록 구성되고, 그리고/또는 상기 액추에이터(125)는 상기 하부 트랙 섹션(121)으로부터 멀어지게 상방 방향으로 상기 상부 트랙 섹션(122)을 이동시키도록 구성되는,
    캐리어를 운송하기 위한 장치.
  7. 제1 항 내지 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 운송 시스템(112)은 상기 하부 트랙 섹션(121) 위로 일정 거리에 상기 캐리어를 비접촉식으로 홀딩하도록 구성된 제1 자기 부상 시스템이며, 상기 하부 트랙 섹션(121)은 상기 캐리어 지지부 상에 상기 캐리어를 기계적으로 지지하기 위한 캐리어 지지부를 더 포함하는,
    캐리어를 운송하기 위한 장치.
  8. 제1 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 경로 스위칭 조립체(150)는 상기 캐리어(10)의 상부 부분을 홀딩 및/또는 안정화하도록 구성된 상부 홀딩 디바이스(154)를 포함하며, 상기 상부 홀딩 디바이스(154)는 적어도 상기 경로 스위칭 방향(S)으로 이동가능한,
    캐리어를 운송하기 위한 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 상부 홀딩 디바이스(154)는 제1 측면으로부터 상기 캐리어(10)의 상부 부분 상에 밀어내는 자기력을 가하기 위한 제1 자석 유닛(302), 및 상기 제1 측면과 대향하는 제2 측면으로부터 상기 캐리어(10)의 상부 부분 상에 밀어내는 자기력을 가하기 위한 제2 자석 유닛(304)을 포함하는,
    캐리어를 운송하기 위한 장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 경로 스위칭 조립체(150)의 상기 캐리어 홀딩 부분(152) 및 상기 하부 트랙 섹션(121)은 아래로부터 상기 캐리어(10)를 지지하도록 구성되는,
    캐리어를 운송하기 위한 장치.
  11. 기판을 진공 프로세싱하기 위한 시스템으로서,
    진공 챔버(101);
    제1 항 내지 제10 항 중 어느 한 항에 기재된 장치(100); 및
    증착 소스들, 스퍼터 소스들, 증발 소스들, 표면 처리 툴들, 가열 디바이스들, 세정 디바이스들, 에칭 툴들, 및 이들의 조합들로 구성된 그룹으로부터 선택되는, 상기 진공 챔버(101)에 배열된 하나 또는 그 초과의 프로세싱 툴들(105)
    을 포함하는,
    기판을 진공 프로세싱하기 위한 시스템.
  12. 진공 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 방법으로서,
    제1 운송 시스템(112)의 하부 트랙 섹션(121)과 상부 트랙 섹션(122) 사이에서 운송 방향(T)으로 제1 운송 경로(T1)를 따라 캐리어(10)를 운송하는 단계;
    상기 하부 트랙 섹션(121)과 상기 상부 트랙 섹션(122) 사이의 거리를 증가시키는 단계; 및
    상기 운송 방향(T)을 횡단하는 경로 스위칭 방향(S)으로 상기 제1 운송 경로(T1)로부터 벗어나게 상기 캐리어를 이동시키는 단계
    를 포함하는,
    캐리어를 운송하기 위한 방법.
  13. 프로세싱 챔버에서 캐리어를 운송하기 위한 방법으로서,
    운송 방향(T)으로 제1 운송 경로(T1)를 따라 캐리어(10)를 운송하는 단계; 및
    상기 캐리어를 하강시키는 것, 경로 스위칭 방향(S)으로 상기 캐리어를 이동시키는 것, 및 상기 캐리어를 리프팅하는 것을 포함하는, 상기 제1 운송 경로(T1)로부터 수평으로 오프셋된 제2 운송 경로(T2)로 상기 캐리어를 이동시키는 단계
    를 포함하는,
    캐리어를 운송하기 위한 방법.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 캐리어(10)를 하강시키는 것은,
    상기 제1 운송 경로(T1)를 따라 제공된 제1 운송 시스템(112)의 하부 트랙 섹션(121) 상에 상기 캐리어를 배치하는 단계; 및
    하방 방향으로 상기 하부 트랙 섹션(121)을 이동시키는 단계
    를 포함하는,
    캐리어를 운송하기 위한 방법.
  15. 제13 항 또는 제14 항에 있어서,
    상기 캐리어는 경로 스위칭 조립체(150)의 캐리어 홀딩 부분(152) 상으로 하강되고, 상기 캐리어 홀딩 부분(152)은 상기 캐리어 홀딩 부분(152) 상에 지지된 상기 캐리어를 상기 경로 스위칭 방향(S)으로 이동시키는,
    캐리어를 운송하기 위한 방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 캐리어를 위로 리프팅하는 것은,
    상기 캐리어가 상기 캐리어 홀딩 부분(152)으로부터 위로 리프팅되고, 상기 캐리어 홀딩 부분(152) 위의 미리 결정된 레벨에 배열될 때까지, 상방 방향으로 상기 제2 운송 경로(T2)를 따라 제공된 제2 운송 시스템(114)의 제2 하부 트랙 섹션(123)을 이동시키는 단계를 포함하는,
    캐리어를 운송하기 위한 방법.
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