JP7465321B2 - アイソレータ - Google Patents
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Description
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係るアイソレータを表す平面図である。
図2は、図1のA1-A2断面図である。
第1電極11、第2電極12、及び導電体50は、例えば金属を含む。第1電極11、第2電極12、及び導電体50は、例えば、銅及びアルミニウムからなる群より選択された少なくとも1つの金属を含む。信号を伝達する際の第1電極11及び第2電極12における発熱を抑制するために、これらの電極の電気抵抗は、低いことが好ましい。電気抵抗の低減の観点から、第1電極11及び第2電極12は、銅を含むことが好ましい。
誘電体部41及び42は、シリコン及び窒素を含む。例えば、誘電体部41及び42は、窒化シリコンを含む。
図3に表したように、第2電極12は、誘電体部31と誘電体部41との間に設けられる。誘電体部31は、第1誘電体層31pと、第2誘電体層31qと、第3誘電体層31rと、を含む。
図4~図6を参照して、第1実施形態に係るアイソレータの製造方法の一例を説明する。図4~図6は、図1のA1-A2線で示す位置における製造工程を表している。なお、以下の断面図では、第1電極11の外縁を明確に表すために、導電体50と第1電極11をつなぐ配線61の記載を省略している。
図16は、第2実施形態に係るアイソレータ200を示す模式断面図である。アイソレータ200では、第1電極11および第2電極12は、それぞれ平板状に設けられ、対向して配置される。アイソレータ200をZ方向に見た時、第1電極11および第2電極12は、例えば、円形、楕円形もしくは多角形の形状に設けられる。例えば、第1電極11と第2電極12は、第1電極11の上面と第2電極12の下面が平行となるように設けられる。
図17は、第3実施形態に係るアイソレータを表す平面図である。
図18は、第3実施形態に係るアイソレータの断面構造を表す模式図である。
図20は、図19のA1-A2断面図である。図21は、図19のB1-B2断面図である。
図22は、第3実施形態の第1変形例に係るアイソレータの断面構造を表す模式図である。
図24は、第3実施形態の第2変形例に係るアイソレータの断面構造を表す模式図である。
第3変形例に係るアイソレータ330は、第1構造体10-1、第2構造体10-2、第3構造体10-3、第4構造体10-4を含む。第1構造体10-1は、電極11-1及び電極12-1を含む。第2構造体10-2は、電極11-2及び電極12-2を含む。第3構造体10-3は、電極11-3及び電極12-3を含む。第4構造体10-4は、電極11-4及び電極12-4を含む。それぞれの電極は、コイルである。第1回路1は、差動ドライバ回路1a、容量C1、及び容量C2を含む。第2回路2は、差動受信回路2a、容量C3、及び容量C4を含む。
図27は、第4実施形態に係るパッケージの断面構造を表す模式図である。
Claims (10)
- 第1電極と、
前記第1電極の上に設けられる第1絶縁部と、
前記第1絶縁部の上に設けられる第2電極と、
前記第1電極から前記第2電極に向かう第1方向に垂直な第1面に沿って前記第2電極の周りに設けられ、前記第2電極に接する第2絶縁部と、
前記第2電極の上および前記第2絶縁部の上に設けられる第1誘電体部と、
前記第1絶縁部と前記第2絶縁部との間に設けられ、前記第2電極に接する第2誘電体部と、
を備え、
前記第2電極は、前記第1絶縁部に対向する底面と、前記第1誘電体部に対向する上面と、前記上面および前記底面につながった側面と、を有し、
前記第2誘電体部は、第1誘電体層と、第2誘電体層と、を含み、
前記第1誘電体層は、前記第1絶縁部に接し、前記第2誘電体層は、前記第1誘電体層と前記第2絶縁部との間に設けられ、
前記第1誘電体層の比誘電率は、前記第2誘電体層の比誘電率、前記第1絶縁部の比誘電率および前記第2絶縁部の比誘電率よりも大きく、
前記第2誘電体部は、前記第2誘電体層と前記第2絶縁部との間に設けられる第3誘電体層をさらに含み、
前記第3誘電体層の比誘電率は、前記第2絶縁部の前記比誘電率よりも大きく、
前記第1誘電体層は、前記第1絶縁部と前記第2電極との間に延在し、
前記第3誘電体層は、前記第2電極と前記第1誘電体層の間に延在し、前記第2電極の底面および前記第1誘電体層に接する、アイソレータ。 - 第1電極と、
前記第1電極の上に設けられる第1絶縁部と、
前記第1絶縁部の上に設けられる第2電極と、
前記第1電極から前記第2電極に向かう第1方向に垂直な第1面に沿って前記第2電極の周りに設けられ、前記第2電極に接する第2絶縁部と、
前記第2電極の上および前記第2絶縁部の上に設けられる第1誘電体部と、
前記第1絶縁部と前記第2絶縁部との間に設けられ、前記第2電極に接する第2誘電体部と、
を備え、
前記第2電極は、前記第1絶縁部に対向する底面と、前記第1誘電体部に対向する上面と、前記上面および前記底面につながった側面と、を有し、
前記第2誘電体部は、第1誘電体層と、第2誘電体層と、を含み、
前記第1誘電体層は、前記第1絶縁部に接し、前記第2誘電体層は、前記第1誘電体層と前記第2絶縁部との間に設けられ、
前記第1誘電体層の比誘電率は、前記第2誘電体層の比誘電率、前記第1絶縁部の比誘電率および前記第2絶縁部の比誘電率よりも大きく、
前記第2誘電体部は、前記第2誘電体層と前記第2絶縁部との間に設けられる第3誘電体層をさらに含み、
前記第3誘電体層の比誘電率は、前記第2絶縁部の前記比誘電率よりも大きく、
前記第2電極の底面は、前記第1絶縁部に接する、アイソレータ。 - 前記第2誘電体層は、前記第2電極の前記側面に接する、請求項2記載のアイソレータ。
- 第1電極と、
前記第1電極の上に設けられる第1絶縁部と、
前記第1絶縁部の上に設けられる第2電極と、
前記第1電極から前記第2電極に向かう第1方向に垂直な第1面に沿って前記第2電極の周りに設けられ、前記第2電極に接する第2絶縁部と、
前記第2電極の上および前記第2絶縁部の上に設けられる第1誘電体部と、
前記第1絶縁部と前記第2絶縁部との間に設けられ、前記第2電極に接する第2誘電体部と、
を備え、
前記第2電極は、前記第1絶縁部に対向する底面と、前記第1誘電体部に対向する上面と、前記上面および前記底面につながった側面と、を有し、
前記第2誘電体部は、第1誘電体層と、第2誘電体層と、を含み、
前記第1誘電体層は、前記第1絶縁部に接し、前記第2誘電体層は、前記第1誘電体層と前記第2絶縁部との間に設けられ、
前記第1誘電体層の比誘電率は、前記第2誘電体層の比誘電率、前記第1絶縁部の比誘電率および前記第2絶縁部の比誘電率よりも大きく、
前記第2電極の底面は、前記第1絶縁部に接する、アイソレータ。 - 前記第1誘電体層および前記第2誘電体層は、前記第2電極の前記側面に接する、請求項4記載のアイソレータ。
- 第1電極と、
前記第1電極の上に設けられる第1絶縁部と、
前記第1絶縁部の上に設けられる第2電極と、
前記第1電極から前記第2電極に向かう第1方向に垂直な第1面に沿って前記第2電極の周りに設けられ、前記第2電極に接する第2絶縁部と、
前記第2電極の上および前記第2絶縁部の上に設けられる第1誘電体部と、
前記第1絶縁部と前記第2絶縁部との間に設けられ、前記第2電極に接する第2誘電体部と、
を備え、
前記第2電極は、前記第1絶縁部に対向する底面と、前記第1誘電体部に対向する上面と、前記上面および前記底面につながった側面と、を有し、
前記第2電極の前記底面は、前記第1絶縁部に接し、
前記第2誘電体部は、第1誘電体層を含み、
前記第1誘電体層は、前記第1絶縁部および前記第2電極の前記側面に接し、
前記第1誘電体層の比誘電率は、前記第1絶縁部の比誘電率および前記第2絶縁部の比誘電率よりも大きい、アイソレータ。 - 第1電極と、
前記第1電極の上に設けられる第1絶縁部と、
前記第1絶縁部の上に設けられる第2電極と、
前記第1電極から前記第2電極に向かう第1方向に垂直な第1面に沿って前記第2電極の周りに設けられ、前記第2電極に接する第2絶縁部と、
前記第2電極の上および前記第2絶縁部の上に設けられる第1誘電体部と、
前記第1絶縁部と前記第2絶縁部との間に設けられ、前記第2電極に接する第2誘電体部と、
を備え、
前記第2電極は、前記第1絶縁部に対向する底面と、前記第1誘電体部に対向する上面と、前記上面および前記底面につながった側面と、を有し、
前記第2誘電体部は、第1誘電体層と、第2誘電体層と、を含み、
前記第1誘電体層は、前記第1絶縁部に接し、前記第2誘電体層は、前記第1誘電体層と前記第2絶縁部との間に設けられ、
前記第1誘電体層の比誘電率は、前記第2誘電体層の比誘電率、前記第1絶縁部の比誘電率および前記第2絶縁部の比誘電率よりも大きく、
前記第1誘電体層の底面および前記第2電極の底面は、前記第1絶縁部上においてつながり、前記第1面に平行な平面上に並ぶ、アイソレータ。 - 第1電極と、
前記第1電極の上に設けられる第1絶縁部と、
前記第1絶縁部の上に設けられる第2電極と、
前記第1電極から前記第2電極に向かう第1方向に垂直な第1面に沿って前記第2電極の周りに設けられ、前記第2電極に接する第2絶縁部と、
前記第2電極の上および前記第2絶縁部の上に設けられる第1誘電体部と、
前記第1絶縁部と前記第2絶縁部との間に設けられ、前記第2電極に接する第2誘電体部と、
を備え、
前記第2電極は、前記第1絶縁部に対向する底面と、前記第1誘電体部に対向する上面と、前記上面および前記底面につながった側面と、を有し、
前記第2誘電体部は、第1誘電体層と、第2誘電体層と、を含み、
前記第1誘電体層は、前記第1絶縁部に接し、前記第2誘電体層は、前記第1誘電体層と前記第2絶縁部との間に設けられ、
前記第1誘電体層の比誘電率は、前記第2誘電体層の比誘電率、前記第1絶縁部の比誘電率および前記第2絶縁部の比誘電率よりも大きく、
前記第1面に沿った第2方向において、前記第2電極の前記上面は、前記第2電極の前記底面よりも広い、アイソレータ。 - 前記第1誘電体層の底面および前記第2電極の底面は、前記第1絶縁部上においてつながり、前記第1面に平行な平面上に並ぶ、請求項2乃至6のいずれか1つに記載のアイソレータ。
- 前記第1面に沿った第2方向において、前記第2電極の前記上面は、前記第2電極の前記底面よりも広い、請求項1乃至6のいずれか1つに記載のアイソレータ。
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Citations (1)
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---|---|---|---|---|
JPH08181282A (ja) * | 1994-12-21 | 1996-07-12 | Sony Corp | 半導体装置製造方法 |
JPH10163709A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Murata Mfg Co Ltd | アイソレータ |
JP3164029B2 (ja) * | 1997-09-17 | 2001-05-08 | 株式会社村田製作所 | 非可逆回路素子 |
JP3528771B2 (ja) * | 2000-08-25 | 2004-05-24 | 株式会社村田製作所 | 中心電極組立体の製造方法 |
JP4348875B2 (ja) * | 2001-04-19 | 2009-10-21 | 株式会社村田製作所 | 非可逆回路素子及び通信装置 |
JP3649162B2 (ja) * | 2001-07-06 | 2005-05-18 | 株式会社村田製作所 | 中心電極組立体、非可逆回路素子、通信装置及び中心電極組立体の製造方法 |
CN1237654C (zh) * | 2002-06-27 | 2006-01-18 | 株式会社村田制作所 | 两端口型隔离器和通信装置 |
US8783577B2 (en) * | 2005-03-15 | 2014-07-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and electronic device having the same |
JP2007087551A (ja) | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Alps Electric Co Ltd | 垂直磁気記録ヘッドの製造方法 |
EP1939973B1 (en) * | 2005-10-21 | 2015-07-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Irreversible circuit element, its manufacturing method and communication apparatus |
JP4458149B2 (ja) | 2007-10-31 | 2010-04-28 | Tdk株式会社 | 磁気カプラ |
JP2010258372A (ja) | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Alps Green Devices Co Ltd | 磁気結合型アイソレータ |
JP5651936B2 (ja) * | 2009-08-25 | 2015-01-14 | 大日本印刷株式会社 | 容量素子具有配線板、容量素子具有配線板の製造方法 |
JP2011077255A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-14 | Kac Japan:Kk | 電源用薄形トランス |
JP5423814B2 (ja) * | 2010-01-21 | 2014-02-19 | 株式会社村田製作所 | 回路モジュール |
JP2013045953A (ja) * | 2011-08-25 | 2013-03-04 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2013092613A (ja) * | 2011-10-25 | 2013-05-16 | Japan Display East Co Ltd | 液晶表示装置及びその製造方法 |
US9183977B2 (en) | 2012-04-20 | 2015-11-10 | Infineon Technologies Ag | Method for fabricating a coil by way of a rounded trench |
US9214424B2 (en) | 2012-04-20 | 2015-12-15 | Infineon Technologies Austria Ag | Method for producing a conductor line |
US8786393B1 (en) * | 2013-02-05 | 2014-07-22 | Analog Devices, Inc. | Step up or step down micro-transformer with tight magnetic coupling |
WO2015029680A1 (ja) * | 2013-09-02 | 2015-03-05 | 株式会社村田製作所 | アイソレータ |
CN103884901B (zh) * | 2014-04-04 | 2016-06-08 | 哈尔滨理工大学 | 一种基于fp电压传感器的高电压测量系统及测量方法 |
US9941565B2 (en) * | 2015-10-23 | 2018-04-10 | Analog Devices Global | Isolator and method of forming an isolator |
US10204732B2 (en) * | 2015-10-23 | 2019-02-12 | Analog Devices Global | Dielectric stack, an isolator device and method of forming an isolator device |
ITUA20162049A1 (it) | 2016-03-25 | 2017-09-25 | St Microelectronics Srl | Dispositivo elettronico con isolamento galvanico integrato e metodo di fabbricazione dello stesso |
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US20180130867A1 (en) | 2016-11-09 | 2018-05-10 | Analog Devices Global | Magnetic isolators for increased voltage operations and related methods |
US11049639B2 (en) * | 2017-02-13 | 2021-06-29 | Analog Devices, Inc. | Coupled coils with lower far field radiation and higher noise immunity |
US10109574B1 (en) | 2017-04-04 | 2018-10-23 | Texas Instruments Incorporated | Structure and method for improving high voltage breakdown reliability of a microelectronic device |
US10236221B2 (en) * | 2017-05-19 | 2019-03-19 | Analog Devices Global | Forming an isolation barrier in an isolator |
JP7189427B2 (ja) * | 2017-12-22 | 2022-12-14 | セントラル硝子株式会社 | 表面処理剤及び表面処理体の製造方法 |
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