JP7445363B2 - 多重化された選択線を有するメモリアレイ - Google Patents

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Description

クロスリファレンス
本特許出願は、2021年3月18日に出願された、「MEMORY ARRAY WITH MULTIPLEXED SELECT LINES」という名称の、Vimercatiによる国際特許出願番号PCT/US2021/022897の国内段階出願であり、それは、2020年3月26日に出願された、「MEMORY ARRAY WITH MULTIPLEXED SELECT LINES」という名称の、Vimercatiによる米国特許出願第16/831,116号の優先権を主張するものであり、その各々は、本発明の譲受人に譲渡され、参照によりその全体が本明細書に明示的に組み込まれる。
以下は、一般に、1つまたは複数のメモリシステムに関し、より詳細には、多重化された選択線を有するメモリアレイに関する。
メモリデバイスは、コンピュータ、無線通信デバイス、カメラ、デジタルディスプレイなどのさまざまな電子デバイスに情報を記憶するために広く使用される。情報は、メモリデバイス内のメモリセルをさまざまな状態にプログラムすることによって記憶される。たとえば、バイナリメモリセルは、多くの場合は論理1または論理0によって示される、2つのサポートされる状態のうちの1つにプログラムされてよい。いくつかの実施例では、単一のメモリセルが3つ以上の状態をサポートすることがあり、そのいずれか1つが記憶されることがある。記憶された情報にアクセスするために、デバイスのコンポーネントは、メモリデバイス内の少なくとも1つの記憶された状態を読み出し得る、すなわち感知し得る。情報を記憶するために、デバイスのコンポーネントは、メモリデバイスに状態を書き込み得る、すなわちプログラムし得る。
磁気ハードディスク、ランダムアクセスメモリ(RAM)、読み出し専用メモリ(ROM)、ダイナミックRAM(DRAM)、同期型ダイナミックRAM(SDRAM)、強誘電体RAM(FeRAM)、磁気RAM(MRAM)、抵抗RAM(RRAM)、フラッシュメモリ、相変化メモリ(PCM)などを含む、さまざまなタイプのメモリデバイスが存在する。メモリデバイスは、揮発性であってもよいし、不揮発性であってもよい。不揮発性メモリ、たとえばFeRAMは、外部電源の不在下ですら、延長された時間の期間にわたって、記憶された論理状態を維持し得る。揮発性メモリデバイス、たとえば、DRAMは、外部電源から接続解除されたとき、記憶された状態を失い得る。FeRAMは、揮発性メモリに類似した密度を達成することを可能にし得るが、記憶デバイスとしての強誘電体キャパシタの使用により、不揮発性の性質を有し得る。
メモリデバイスを改善することは、一般的に、さまざまなメトリクスの中でもとりわけ、メモリセル密度を増加させること、読み出し/書き込み速度を増加させること、信頼性を増加させること、データ保持を増加させること、電力消費量を減少させること、または製造コストを減少させることを含み得る。メモリアレイ内の空間を節約するための、メモリセル密度を増加させるための、またはメモリアレイの全体的な電力使用量を減少させるための改善された解決策が望ましいことがある。
本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイをサポートするシステムの一実施例を示す図である。 本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイをサポートするメモリダイの一実施例を示す図である。 本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイをサポートする回路図の一実施例を示す図である。 本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイの一部分の断側面図の一実施例を示す図である。 本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイの一部分の断側面図の一実施例を示す図である。 本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイの一部分の断側面図の一実施例を示す図である。 本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイの一部分の断側面図の一実施例を示す図である。 本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイをサポートするメモリデバイスのブロック図である。 本明細書で開示される実施例による多重化された選択線を有するメモリアレイをサポートする1つまたは複数の方法を示すフローチャートである。
いくつかのメモリデバイスは、ディジット線と結合されたメモリセルのアレイを含むことがある。メモリセルは、メモリセルに対してアクセス動作(たとえば、書き込み動作または読み出し動作)を実施するために、ディジット線を使用してセンスコンポーネントと結合されてよい。アレイの密度を増加させるためにディジット線間の距離が減少するにつれて、何らかの望ましくない効果(たとえば、ノイズ)が増加することがある。たとえば、ディジット線がアクセス動作中にアクティブ化される(たとえば、選択され、メモリセルと結合される)とき、アクティブ化されたディジット線と関連づけられる電圧変化は、隣接する選択されていないディジット線に部分的に伝達される(たとえば、容量結合される)ことがある。その結果、ノイズは、メモリアレイの選択されていない部分を通って、アクセス動作中に選択されたディジット線に導入されることがある。メモリアレイは、そのような望ましくない影響を軽減するために1つまたは複数のシャントトランジスタを含むことがある。シャントトランジスタは、選択されたディジット線と選択されていないディジット線との間のじょう乱(disturbance)を減少させるために使用され得る。しかしながら、シャントトランジスタおよび関連づけられたシャント線は、メモリアレイによって使用されるメモリダイ面積の大きさを増加させ、メモリアレイの全体的な電力使用量を増加させることがある。
アクセス動作中の選択されたディジット線と選択されていないディジット線との間のじょう乱を軽減し、メモリアレイ内で使用されるシャント線またはシャントトランジスタ(または両方)の量を減少させるためのシステム、デバイス、および技法が、本明細書において説明される。たとえば、メモリデバイスのセンスコンポーネントは、選択線のセットと結合されることがある。そのような場合、選択線のセットは、センスコンポーネントの入力とともに多重化されることがある。たとえば、セットの各選択線は、セットのその特定の選択線をセンスコンポーネントと選択的に結合するように構成されたトランジスタと結合されることがある-たとえば、センスコンポーネントと関連づけられた多重化された選択線。さらに、選択線は、メモリセルの選択コンポーネントのトランジスタおよびセンスコンポーネントのうちの1つまたは複数と結合されることがある。そのような実施例では、センスコンポーネントは、複数のディジット線と関連づけられたメモリセルにアクセスするように構成されることがある。そのような場合、単一の選択線は、選択されたディジット線と選択されていないディジット線とを含む、一度に少なくとも2つのディジット線をセンスコンポーネントと結合するように構成され、それによって、他の解決策と比較してメモリアレイによって使用されるダイ面積の大きさを減少させることがある。いくつかの場合、センスコンポーネントは、選択されたディジット線からの信号と選択されていないディジット線からの信号の両方を使用して、読み出し動作を実施するように構成され、それによって、メモリアレイの全体的な電力使用量を減少させることがある。
本開示の特徴は、最初に、図1~図2を参照して説明されるメモリシステムおよびメモリダイの文脈で説明される。本開示の特徴は、図3~図4を参照して説明される文脈的な回路図およびメモリセル構造で説明される。本開示のこれらおよび他の特徴は、図5~図6を参照して説明される多重化された選択線を有するメモリアレイに関係する装置図およびフローチャートによってさらに示され、これらを参照しながら、説明される。
図1は、本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイをサポートするシステム100の一実施例を示す。システム100は、ホストデバイス105と、メモリデバイス110と、ホストデバイス105をメモリデバイス110と結合する複数のチャネル115とを含んでよい。システム100は、1つまたは複数のメモリデバイス110を含んでよいが、1つまたは複数のメモリデバイス110の態様は、単一のメモリデバイス(たとえば、メモリデバイス110)の文脈で説明され得る。
システム100は、コンピューティングデバイス、モバイルコンピューティングデバイス、ワイヤレスデバイス、グラフィックス処理デバイス、車両、または他のシステムなどの電子デバイスの一部分を含んでよい。たとえば、システム100は、コンピュータ、ラップトップコンピュータ、タブレットコンピュータ、スマートフォン、セルラー電話、ウェアラブルデバイス、インターネット接続デバイス、車両制御装置などの態様を示してよい。メモリデバイス110は、システム100の1つまたは複数の他のコンポーネントのためのデータを記憶するように動作可能なシステムのコンポーネントであってよい。
システム100の少なくとも一部分は、ホストデバイス105の実施例であってよい。ホストデバイス105は、さまざまな実施例の中でもとりわけ、プロセッサ、またはコンピューティングデバイス、モバイルコンピューティングデバイス、ワイヤレスデバイス、グラフィックス処理デバイス、コンピュータ、ラップトップコンピュータ、タブレットコンピュータ、スマートフォン、セルラー電話、ウェアラブルデバイス、インターネット接続デバイス、車両制御装置、もしくは何らかの他の固定された電子デバイスもしくはポータブル電子デバイスの中など、メモリを使用してプロセスを実行するデバイス内の他の回路の実施例であってよい。いくつかの実施例では、ホストデバイス105は、ハードウェア、ファームウェア、ソフトウェア、または外部メモリコントローラ120の機能を実装するそれらの組み合わせを指すことがある。いくつかの実施例では、外部メモリコントローラ120は、ホストまたはホストデバイス105と呼ばれることがある。
メモリデバイス110は、システム100によって使用または参照され得る物理メモリアドレス/空間を提供するように動作可能な独立したデバイスまたはコンポーネントであってよい。いくつかの実施例では、メモリデバイス110は、1つまたは複数の異なるタイプのホストデバイスと協働するように構成可能であってよい。ホストデバイス105とメモリデバイス110との間のシグナリングは、信号を変調する変調スキーム、信号を通信するためのさまざまなピン構成、ホストデバイス105およびメモリデバイス110の物理的パッケージングのためのさまざまなフォームファクタ、ホストデバイス105とメモリデバイス110との間のクロックシグナリングおよび同期、タイミング慣例、または他の要因、のうちの1つまたは複数をサポートするように動作可能であってよい。
メモリデバイス110は、ホストデバイス105のコンポーネントのためのデータを記憶するように動作可能であってよい。いくつかの実施例では、メモリデバイス110は、ホストデバイス105に対するスレーブタイプデバイスとして作用する(たとえば、外部メモリコントローラ120を通じてホストデバイス105によって提供されるコマンドに応答し、そのコマンドを実行する)ことがある。そのようなコマンドとしては、書き込み動作のための書き込みコマンド、読み出し動作のための読み出しコマンド、リフレッシュ動作のためのリフレッシュコマンド、または他のコマンド、のうちの1つまたは複数があり得る。
ホストデバイス105は、外部メモリコントローラ120、プロセッサ125、基本入力/出力システム(BIOS)コンポーネント130、または1つもしくは複数の周辺コンポーネントまたは1つもしくは複数の入力/出力コントローラなどの他のコンポーネント、のうちの1つまたは複数を含んでよい。ホストデバイスのコンポーネントは、バス135を使用して互いと結合されてよい。
プロセッサ125は、システム100の少なくとも一部分またはホストデバイス105の少なくとも一部分に制御または他の機能を提供するように動作可能であってよい。プロセッサ125は、汎用プロセッサ、デジタル信号プロセッサ(DSP)、特定用途向け集積回路(ASIC)、フィールドプログラマブルゲートアレイ(FPGA)もしくは他のプログラマブル論理デバイス、ディスクリートゲートもしくはトランジスタ論理、ディスクリートハードウェアコンポーネント、またはこれらのコンポーネントの組み合わせであってよい。そのような実施例では、プロセッサ125は、さまざまな実施例の中でもとりわけ、中央処理ユニット(CPU)、グラフィックス処理ユニット(GPU)、汎用GPU(GPGPU)、またはシステムオンチップ(SoC)の一実施例であってよい。いくつかの実施例では、外部メモリコントローラ120は、プロセッサ125によって実装されてもよいし、その一部であってもよい。
BIOSコンポーネント130は、ファームウェアとして動作されるBIOSを含むソフトウェアコンポーネントであってよく、これは、システム100またはホストデバイス105のさまざまなハードウェアコンポーネントを初期化および稼働し得る。BIOSコンポーネント130はまた、プロセッサ125とシステム100またはホストデバイス105のさまざまなコンポーネントとの間のデータフローを管理し得る。BIOSコンポーネント130は、読み出し専用メモリ(ROM)、フラッシュメモリ、または他の不揮発性メモリのうちの1つまたは複数に記憶された、プログラムまたはソフトウェアを含んでよい。
メモリデバイス110は、デバイスメモリコントローラ155と、データ記憶のための所望の容量または指定容量をサポートする1つまたは複数のメモリダイ160(たとえば、メモリチップ)とを含んでよい。各メモリダイ160は、ローカルメモリコントローラ165(たとえば、ローカルメモリコントローラ165-a、ローカルメモリコントローラ165-b、ローカルメモリコントローラ165-N)と、メモリアレイ170(たとえば、メモリアレイ170-a、メモリアレイ170-b、メモリアレイ170-N)とを含んでよい。メモリアレイ170は、メモリセルの集合(たとえば、1つまたは複数のグリッド、1つまたは複数のバンク、1つまたは複数のタイル、1つまたは複数のセクション)であってよく、各メモリセルは、データの少なくとも1つのビットを記憶するように動作可能である。2つ以上のメモリダイを含むメモリデバイス110は、マルチダイメモリ、またはマルチダイパッケージ、またはマルチチップメモリ、またはマルチチップパッケージと呼ばれることがある。
いくつかの場合、メモリアレイ170は、各々が記憶コンポーネントを含む1つまたは複数のメモリセルを含み得る。メモリセルは、ワード線と結合された第1のトランジスタと、選択線と結合された第2のトランジスタも含み得る。メモリセルを選択するために、メモリセルの第1のトランジスタと第2のトランジスタの両方が同時にアクティブ化され、それによって、少なくとも2つのディジット線(たとえば、選択されたディジット線と選択されていないディジット線を含む)が一度にセンスコンポーネントと結合され得るようにシャント線の量を減少させ得る。
デバイスメモリコントローラ155は、メモリデバイス110の動作を制御するように動作可能である、回路、論理、またはコンポーネントを含んでよい。デバイスメモリコントローラ155は、ハードウェア、ファームウェア、またはメモリデバイス110がさまざまな動作を実施することを可能にする命令を含んでよく、メモリデバイス110のコンポーネントに関連するコマンド、データ、または制御情報を受け取る、送る、または実行するように動作可能であってよい。デバイスメモリコントローラ155は、外部メモリコントローラ120、1つもしくは複数のメモリダイ160、またはプロセッサ125、のうちの1つまたは複数と通信するように動作可能であってよい。いくつかの実施例では、デバイスメモリコントローラ155は、本明細書においてメモリダイ160のローカルメモリコントローラ165に関連して説明されるメモリデバイス110の動作を制御し得る。
いくつかの場合、デバイスメモリコントローラ155は、ワード線と結合されたメモリセルの第1のトランジスタをアクティブ化するためにワード線をバイアスし、選択線と結合されたメモリセルの第2のトランジスタをアクティブ化するために選択線をバイアスし得る。デバイスメモリコントローラ155は、メモリセルの記憶コンポーネントをディジット線と結合し、ディジット線と結合された第3のトランジスタおよび第2のディジット線と結合された第4のトランジスタをアクティブ化するために第2の選択線をバイアスし得る。そのような場合、デバイスメモリコントローラ155は、ディジット線および第2のディジット線をセンスコンポーネントと結合し得る。センスコンポーネントは、ディジット線から受け取られた信号および第2のディジット線から受け取られた信号に基づいて、メモリセル上に記憶される論理状態を決定し得る。
いくつかの実施例では、メモリデバイス110は、データまたはコマンドまたは両方をホストデバイス105から受け取り得る。たとえば、メモリデバイス110は、メモリデバイス110がホストデバイス105のためのデータを記憶するべきであることを示す書き込みコマンド、またはメモリデバイス110はメモリダイ160に記憶されたデータをホストデバイス105に提供するべきであることを示す読み出しコマンドを受け取り得る。
ローカルメモリコントローラ165(たとえば、メモリダイ160のローカルにある)は、メモリダイ160の動作を制御するように動作可能であってよい。いくつかの実施例では、ローカルメモリコントローラ165は、デバイスメモリコントローラ155と通信する(たとえば、データまたはコマンドまたは両方を受け取るまたは送る)ように動作可能であってよい。いくつかの実施例では、メモリデバイス110は、デバイスメモリコントローラ155と、ローカルメモリコントローラ165とを含まないことがある、または外部メモリコントローラ120は、本明細書において説明されるさまざまな機能を実施することがある。したがって、ローカルメモリコントローラ165は、デバイスメモリコントローラ155と通信するように動作可能であってもよいし、他のローカルメモリコントローラ165と通信するように動作可能であってもよいし、外部メモリコントローラ120、またはプロセッサ125、またはそれらの組み合わせと直接的に通信するように動作可能であってもよい。デバイスメモリコントローラ155またはローカルメモリコントローラ165または両方に含まれ得るコンポーネントの実施例は、信号を(たとえば、外部メモリコントローラ120から)受け取るための受信機、信号を(たとえば、外部メモリコントローラ120に)送るための送信機、受け取った信号を復号もしくは復調するためのデコーダ、送られることになる信号を符号化もしくは変調するためのエンコーダ、またはデバイスメモリコントローラ155もしくはローカルメモリコントローラ165もしくは両方の説明される動作をサポートするように動作可能なさまざまな他の回路もしくはコントローラを含んでよい。
外部メモリコントローラ120は、システム100またはホストデバイス105のコンポーネント(たとえば、プロセッサ125)とメモリデバイス110との間の情報、データ、またはコマンドのうちの1つまたは複数の通信を可能にするように動作可能であってよい。外部メモリコントローラ120は、ホストデバイス105のコンポーネントとメモリデバイス110との間で交換される通信を変換または変形してよい。いくつかの実施例では、外部メモリコントローラ120またはシステム100もしくはホストデバイス105の他のコンポーネント、あるいは本明細書において説明されるその機能は、プロセッサ125によって実装されてよい。たとえば、外部メモリコントローラ120は、ハードウェア、ファームウェア、またはソフトウェアであってもよいし、プロセッサ125またはシステム100もしくはホストデバイス105の他のコンポーネントによって実装されるそれらの何らかの組み合わせであってもよい。外部メモリコントローラ120は、メモリデバイス110の外部にあると示されているが、いくつかの実施例では、外部メモリコントローラ120、または本明細書において説明されるその機能は、メモリデバイス110の1つまたは複数のコンポーネント(たとえば、デバイスメモリコントローラ155、ローカルメモリコントローラ165)によって実装されてもよいし、またはその逆であってもよい。
ホストデバイス105のコンポーネントは、1つまたは複数のチャネル115を使用してメモリデバイス110と情報を交換し得る。チャネル115は、外部メモリコントローラ120とメモリデバイス110との間の通信をサポートするように動作可能であってよい。各チャネル115は、ホストデバイス105とメモリデバイスとの間で情報を搬送する伝送媒体の実施例であってよい。各チャネル115は、システム100のコンポーネントと関連づけられた端子間の1つまたは複数の信号経路または伝送媒体(たとえば、導体)を含んでよい。信号経路は、信号を搬送するように動作可能な導電性経路の実施例であってよい。たとえば、チャネル115は、ホストデバイス105における1つまたは複数のピンまたはパッドとメモリデバイス110における1つまたは複数のピンまたはパッドとを含む第1の端子を含んでよい。ピンは、システム100のデバイスの導電性入力点または出力点の実施例であってよく、ピンは、チャネルの一部として作用するように動作可能であってよい。
チャネル115(ならびに関連づけられた信号経路および端子)は、1つまたは複数のタイプの情報を通信することに専用であってよい。たとえば、チャネル115は、1つもしくは複数のコマンドおよびアドレス(CA)チャネル186、1つもしくは複数のクロック信号(CK)チャネル188、1つもしくは複数のデータ(DQ)チャネル190、1つもしくは複数の他のチャネル192、またはそれらの組み合わせを含んでよい。いくつかの実施例では、シグナリングは、シングルデータレート(SDR)シグナリングまたはダブルデータレート(DDR)シグナリングを使用して、チャネル115上で通信されることがある。SDRシグナリングでは、信号の1つの変調シンボル(たとえば、信号レベル)が、クロックサイクルごとに(たとえば、クロック信号の立ち上がりエッジまたは立ち下がりエッジ上で)登録され得る。DDRシグナリングでは、信号の2つの変調シンボル(たとえば、信号レベル)が、クロックサイクルごとに(たとえば、クロック信号の立ち上がりエッジと立ち下がりエッジの両方で)登録され得る。
図2は、本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイをサポートするメモリダイ200の一実施例を示す。メモリダイ200は、図1を参照して説明されるメモリダイ160の一実施例であってよい。いくつかの実施例では、メモリダイ200は、メモリチップ、メモリデバイス、または電子メモリ装置と呼ばれることがある。メモリダイ200は、各々が異なる論理状態(たとえば、2つ以上の可能な状態のセットのうちのプログラムされた状態)を記憶するようにプログラム可能であってよい1つまたは複数のメモリセル205を含んでよい。たとえば、メモリセル205は、情報の1ビット(たとえば、論理0または論理1)を一度に記憶するように動作可能であってよい。いくつかの実施例では、メモリセル205(たとえば、マルチレベルメモリセル)は、情報の複数のビット(たとえば、論理00、論理01、論理10、論理11)を一度に記憶するように動作可能であってよい。いくつかの実施例では、メモリセル205は、図1を参照して説明されるメモリアレイ170など、配列をなして配置されてよい。
メモリセル205は、プログラム可能な状態を表す状態(たとえば、分極状態または誘電電荷)をキャパシタに記憶し得る。DRAMアーキテクチャは、プログラム可能な状態を表す電荷を記憶するために誘電材料を含むキャパシタを含み得る。他のメモリアーキテクチャでは、他の記憶デバイスおよびコンポーネントも可能である。たとえば、非線形誘電材料が用いられることがある。いくつかの場合、そのようなキャパシタは、あるいは、容器(またはセル容器)と呼ばれることがある。
読み出しおよび書き込みなどの動作は、ワード線210、ディジット線215、および/またはプレート線220などのアクセス線をアクティブ化または選択することによって、メモリセル205に対して実施されてよい。ワード線210、ディジット線215、およびプレート線220をバイアスする(たとえば、ワード線210、ディジット線215、またはプレート線220に電圧を印加する)ことによって、それらの交点にある単一のメモリセル205アクセスされ得る。ワード線210、ディジット線215、またはプレート線220をアクティブ化または選択することは、それぞれの線に電圧を印加することを含んでよい。
メモリダイ200は、グリッド状パターンなどのパターンをなして配置されたアクセス線(たとえば、ワード線210、ディジット線215、およびプレート線220)を含んでよい。アクセス線は、メモリセル205と結合された導電線であってよく、メモリセル205に対してアクセス動作を実施するために使用されてよい。いくつかの実施例では、ワード線210は、行線と呼ばれることがある。いくつかの実施例では、ディジット線215は、列線またはビット線と呼ばれることがある。アクセス線、行線、列線、ワード線、ディジット線、ビット線、もしくはプレート線、またはそれらの類似物への言及は、理解または動作を失うことなく交換可能である。メモリセル205は、ワード線210、ディジット線215、および/またはプレート線220の交点に位置決めされてよい。
メモリセル205にアクセスすることは、行デコーダ225、列デコーダ230、およびプレートドライバ235を通じて制御されてよい。たとえば、行デコーダ225は、ローカルメモリコントローラ265から行アドレスを受け取り、受け取った行アドレスに基づいてワード線210をアクティブ化してよい。列デコーダ230は、ローカルメモリコントローラ265から列アドレスを受け取り、受け取った列アドレスに基づいてディジット線215をアクティブ化する。プレートドライバ235は、ローカルメモリコントローラ265からプレートアドレスを受け取ってよく、受け取ったプレートアドレスに基づいてプレート線220をアクティブ化する。たとえば、メモリダイ200は、WL_1~WL_Mとラベル付与された複数のワード線210と、DL_1~DL_Nとラベル付与された複数のディジット線215とを含むことがあり、ここで、MおよびNはメモリアレイの大きさに依存する。したがって、ワード線210およびディジット線215、たとえば、WL_1およびDL_3をアクティブ化することによって、それらの交点にあるメモリセル205がアクセスされ得る。2次元構成または3次元構成のどちらかにおける、ワード線210とディジット線215の交点は、メモリセル205のアドレスと呼ばれることがある。
メモリセル205は、記憶コンポーネント240(たとえば、キャパシタ、容器)と、選択コンポーネント245(スイッチングコンポーネントと呼ばれることがある)とを含んでよい。選択コンポーネント245は、1つまたは複数のトランジスタ(たとえば、直列構成で接続された2つのトランジスタ)を含んでもよいし、2つのコンポーネント間の電子通信を選択的に確立または確立解除する、他の任意のタイプのスイッチデバイスを含んでもよい。記憶コンポーネント240の第1のノードは、選択コンポーネント245と結合されてよく、記憶コンポーネント240の第2のノードは、電圧源と結合されてよい。いくつかの場合、電圧源は、Vplなどのセルプレート基準電圧であってもよいし、Vssなど、接地されてもよい。いくつかの場合、電圧源は、プレート線ドライバと結合されたプレート線220の一実施例であってよい。選択コンポーネント245は、図1ではコンポーネントを示すことの明快さを改善するために省略されている選択線とさらに結合されてよい。そのような場合、選択線は、メモリセル205をディジット線215と選択的に結合するように構成され得る。選択コンポーネント245のための構成の実施例は、図3および図4A~図4Dを参照して説明される。
メモリセル205を選択または選択解除することは、選択コンポーネント245をアクティブ化または非アクティブ化することによって達成され得る。言い換えれば、記憶コンポーネント240は、選択コンポーネント245を使用してディジット線215と電子通信し得る。たとえば、記憶コンポーネント240は、選択コンポーネント245が非アクティブ化されているとき、ディジット線215から絶縁されてよく、記憶コンポーネント240は、選択コンポーネント245がアクティブ化されているとき、ディジット線215と結合されてよい。いくつかの場合、選択コンポーネント245は少なくともトランジスタを含み、その動作は、トランジスタゲートに電圧を印加することによって制御されてよく、トランジスタゲートとトランジスタソースとの間の電圧差動は、トランジスタの閾値電圧よりも大きくてもよいし、小さくてもよい。いくつかの場合、選択コンポーネント245は、p型トランジスタを含んでもよいし、n型トランジスタを含んでもよい。いくつかの場合、選択コンポーネント245は、少なくとも縦型トランジスタを含むことがある。ワード線210は、選択コンポーネント245のゲートと電子通信することがあり、電圧がワード線210に印加されたことに基づいて選択コンポーネント245をアクティブ化/非アクティブ化し得る。
いくつかの場合、メモリセル205の選択コンポーネント245は、2つのトランジスタ(たとえば、第1のトランジスタおよび第2のトランジスタ)を含むことがある。そのような場合、メモリセル205を選択することは、選択コンポーネント245の第1のトランジスタと結合されたワード線210をバイアスすることを含んでよい。ワード線210をバイアスすることはまた、バイアスされたワード線210と結合された追加のメモリセル205を選択することがある。さらに、選択されたメモリセル205をディジット線215と結合することは、選択コンポーネント245の第2のトランジスタと結合された選択線をバイアスすることを含むことがある。このようにして、メモリセル205を選択して、選択されたメモリセル205を結合することは、選択コンポーネント245の第1のトランジスタおよび第2のトランジスタをアクティブ化することを含むことがある。言い換えれば、バイアスされたワード線210によって選択されている(たとえば、選択コンポーネント245の第1のトランジスタがアクティブ化される)追加のメモリセル205は、それぞれのディジット線215と結合解除されたままであることがある(たとえば、選択コンポーネント245の第2のトランジスタが非アクティブ化される)。
ワード線210は、メモリセル205に対してアクセス動作を実施するために使用されるメモリセル205と電子通信する導電線であってよい。いくつかのアーキテクチャでは、ワード線210は、メモリセル205の選択コンポーネント245のゲート(たとえば、第1のトランジスタのゲート)と電子通信することがあり、メモリセルの選択コンポーネント245を制御するように動作可能であることがある。いくつかのアーキテクチャでは、ワード線210は、メモリセル205のキャパシタのノードと電子通信することがあり、メモリセル205は、選択コンポーネントを含まないことがある。
ディジット線215は、センスコンポーネント250とメモリセル205を接続する導電線であってよい。いくつかのアーキテクチャでは、メモリセル205は、アクセス動作の一部分の間にディジット線215と選択的に結合されてよい。たとえば、メモリセル205のワード線210および選択コンポーネント245は、メモリセル205の記憶コンポーネント240およびディジット線215を選択的に結合および/または絶縁するように動作可能であってよい。いくつかのアーキテクチャでは、メモリセル205は、ディジット線215と電子通信(たとえば、絶え間ない)してよい。
プレート線220は、メモリセル205に対してアクセス動作を実施するために使用される、メモリセル205と電子通信する導電線であってよい。プレート線220は、記憶コンポーネント240のノード(たとえば、セル底部)と電子通信してよい。プレート線220は、ディジット線215と協調して、メモリセル205のアクセス動作中に記憶コンポーネント240をバイアスしてもよい。
センスコンポーネント250は、メモリセル205の記憶コンポーネント240上に記憶される状態(たとえば、分極状態または電荷)を決定し、検出された状態に基づいてメモリセル205の論理状態を決定し得る。センスコンポーネント250は、メモリセル205の信号出力を増幅する1つまたは複数のセンス増幅器を含んでよい。センスコンポーネント250は、ディジット線215にわたってメモリセル205から受け取った信号を基準信号255(たとえば、基準電圧)と比較し得る。メモリセル205の検出された論理状態は、センスコンポーネント250の出力として(たとえば、入力/出力260に)提供されてよく、検出された論理状態を、メモリダイ200を含むメモリデバイス110の別のコンポーネントに示してよい。読み出し動作中、メモリセル205のキャパシタは、その対応するディジット線215に信号を出力する(たとえば、電荷を放電する)ことがある。信号は、ディジット線215の電圧を変化させ得る。センスコンポーネント250は、ディジット線215にわたってメモリセル205から受け取った信号を基準信号255(たとえば、基準電圧)と比較するように構成し得る。センスコンポーネント250は、比較に基づいてメモリセル205の記憶される状態を決定し得る。
たとえば、ディジット線215が基準信号255よりも高い電圧を有する場合、センスコンポーネント250は、メモリセル205の記憶される状態が論理1であることを決定し得、ディジット線215が基準信号255よりも低い電圧を有する場合、センスコンポーネント250は、メモリセル205の記憶される状態が論理0であることを決定し得る。いくつかの場合、基準信号255は、選択されていないディジット線を使用して生成されることがあり、これは、センスコンポーネント250に、選択されたディジット線からの信号および選択されていないディジット線からの信号を使用して差動センシングの一形態を実施させ得る。センスコンポーネント250は、信号の差を検出および増幅するためにさまざまなトランジスタまたは増幅器を含んでよい。いくつかの場合、センスコンポーネント250は、別のコンポーネント(たとえば、列デコーダ230、行デコーダ225)の一部であってよい。いくつかの場合、センスコンポーネント250は、行デコーダ225または列デコーダ230と電子通信することがある。いくつかの場合、センスコンポーネント250は、読み出し動作中にディジット線215のセットと選択的に結合するように構成されることがある。
ローカルメモリコントローラ265は、さまざまなコンポーネント(たとえば、行デコーダ225、列デコーダ230、プレートドライバ235、およびセンスコンポーネント250)を通じてメモリセル205の動作を制御し得る。ローカルメモリコントローラ265は、図1を参照して説明されるローカルメモリコントローラ165の一実施例であってよい。いくつかの実施例では、行デコーダ225、列デコーダ230、およびプレートドライバ235、およびセンスコンポーネント250、のうちの1つまたは複数は、ローカルメモリコントローラ265と同じ場所に設置されてよい。ローカルメモリコントローラ265は、1つまたは複数の異なるメモリコントローラ(たとえば、ホストデバイス105と関連づけられた外部メモリコントローラ120、メモリダイ200と関連づけられた別のコントローラ)からコマンドまたはデータのうちの1つまたは複数を受け取り、そのコマンドまたはデータ(または両方)を、メモリダイ200によって使用可能な情報に変形し、メモリダイ200に対して1つまたは複数の動作を実施し、この1つまたは複数の動作を実施することに基づいてメモリダイ200からホストデバイス105にデータを通信するように動作可能であってよい。ローカルメモリコントローラ265は、ターゲットワード線210、ターゲットディジット線215、およびターゲットプレート線220をアクティブ化するために、行信号および列アドレス信号を生成し得る。ローカルメモリコントローラ265はまた、メモリダイ200の動作中に使用されるさまざまな電圧または電流を生成および制御し得る。一般に、本明細書において論じられる印加される電圧または電流の振幅、形状、または持続時間は変化してよく、メモリダイ200を動作させる際に論じられるさまざまな動作に関して異なってよい。
ローカルメモリコントローラ265は、メモリダイ200の1つまたは複数のメモリセル205に対して1つまたは複数のアクセス動作を実施するように動作可能であってよい。アクセス動作の実施例としては、とりわけ、書き込み動作、読み出し動作、リフレッシュ動作、プリチャージ動作、またはアクティブ化動作があり得る。いくつかの実施例では、アクセス動作は、さまざまなアクセスコマンド(たとえば、ホストデバイス105からの)に応答してローカルメモリコントローラ265によって実施されてもよいし、これによって協調されてもよい。ローカルメモリコントローラ265は、本明細書において列挙されていない他のアクセス動作またはメモリセル205にアクセスすることに直接的に関連しないメモリダイ200の動作に関係する他の動作を実施するように動作可能であってよい。
ローカルメモリコントローラ265は、メモリダイ200の1つまたは複数のメモリセル205に対して書き込み動作(たとえば、プログラミング動作)を実施するように動作可能であってよい。書き込み動作中、メモリダイ200のメモリセル205は、所望の論理状態を記憶するようにプログラムされてよい。ローカルメモリコントローラ265は、それに対して書き込み動作を実施するターゲットメモリセル205を識別し得る。ローカルメモリコントローラ265は、ターゲットメモリセル205と結合されたターゲットワード線210、ターゲットディジット線215、およびターゲットプレート線220を識別し得る。ローカルメモリコントローラ265は、ターゲットメモリセル205にアクセスするために、ターゲットワード線210、ターゲットディジット線215、およびターゲットプレート線220をアクティブ化し(たとえば、ワード線210、ディジット線215、またはプレート線220に電圧を印加し)得る。ローカルメモリコントローラ265は、メモリセル205の記憶コンポーネント240に特定の状態(たとえば、電荷)を記憶するために、書き込み動作中にディジット線215に特定の信号(たとえば、書き込みパルス)を印加し得る。書き込み動作の一部として使用されるパルスは、持続時間にわたって1つまたは複数の電圧レベルを含んでよい。
ローカルメモリコントローラ265は、メモリダイ200の1つまたは複数のメモリセル205に対して読み出し動作(たとえば、センス動作)を実施するように動作可能であってよい。読み出し動作中、メモリダイ200のメモリセル205に記憶された論理状態が決定され得る。ローカルメモリコントローラ265は、それに対して読み出し動作を実施するターゲットメモリセル205を識別し得る。ローカルメモリコントローラ265は、ターゲットメモリセル205と結合されたターゲットワード線210、ターゲットディジット線215、およびターゲットプレート線220を識別し得る。ローカルメモリコントローラ265は、ターゲットメモリセル205にアクセスするために、ターゲットワード線210、ターゲットディジット線215、およびターゲットプレート線220をアクティブ化し(たとえば、ワード線210、ディジット線215、またはプレート線220に電圧を印加し)得る。ターゲットメモリセル205は、アクセス線をバイアスすることに応答して、センスコンポーネント250に信号を転送し得る。センスコンポーネント250は、信号を増幅し得る。ローカルメモリコントローラ265は、センスコンポーネント250をアクティブ化し(たとえば、センスコンポーネントをラッチし)、それによって、メモリセル205から受け取った信号を基準信号255と比較し得る。その比較に基づいて、センスコンポーネント250は、メモリセル205上に記憶される論理状態を決定してよい。
図3は、本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイをサポートする回路図300の一実施例を示す。回路図300は、メモリセル305(図2を参照して説明されるメモリセル205の実施例であってよい)と、ディジット線310(図2を参照して説明されるディジット線215の実施例であってよい)と、プレート線315(図2を参照して説明されるプレート線220の実施例であってよい)と、トランジスタ320(図2を参照して説明される実施例選択コンポーネント245であってよい)と、ワード線325(図2を参照して説明されるワード線210の一実施例であってよい)と、選択線330と、センスコンポーネント335(図2を参照して説明されるセンスコンポーネント250の一実施例であってよい)とを含む。回路図300は、40のメモリセルと8つのディジット線310と5つのワード線325と1つのプレート線315とを含むメモリアレイを示し得る。
メモリセル305は、メモリセル305の論理状態を記憶するように構成された記憶コンポーネント(図2を参照して説明される記憶コンポーネント240の一実施例であってよい)を含んでよい。いくつかの場合、メモリセル305は、ディジット線310およびプレート線315と結合されることがある。たとえば、メモリセル305-aは、ディジット線310-aおよびプレート線315-aと結合されることがある。別の実施例では、メモリセル305-bは、ディジット線310-bおよびプレート線315-bと結合されることがある。いくつかの場合、メモリセル305は、複数のトランジスタ320を含み得る。たとえば、メモリセル305-aは、2つのトランジスタ(たとえば、トランジスタ320-aおよびトランジスタ320-b)を含むことがある。トランジスタ320-aとトランジスタ320-bは、直列構成で構成されてよい。トランジスタ320-aのゲートは、メモリセル305-aの記憶コンポーネントおよびワード線325とさらに結合されてよい。そのような場合、ワード線325は、アクセス動作のためにメモリセル305-aを選択するように構成されることがある。トランジスタ320-bのゲートは、ディジット線310-aおよび選択線330-aとさらに結合されることがある。そのような場合、選択線330-aは、メモリセル305-aをディジット線310-aと選択的に結合するように構成されることがある。一実施例では、トランジスタ320-aおよびトランジスタ320-bは、記憶コンポーネントとディジット線310-aとの間にあることがある。他の実施例では、トランジスタ320-aは、記憶コンポーネントとディジット線310-aとの間にあることがあり、トランジスタ320-bは、記憶コンポーネントとプレート線315との間にあることがある。
他の実施例では、トランジスタ320-dとトランジスタ320-cが直列構成で構成され得る場合、メモリセル305-bは、2つのトランジスタ(たとえば、トランジスタ320-dおよびトランジスタ320-c)を含み得る。トランジスタ320-dのゲートは、メモリセル305-bの記憶コンポーネントおよびワード線325とさらに結合されてよい。トランジスタ320-cのゲートは、ディジット線310-bおよび選択線330-bとさらに結合されることがある。いくつかの場合、トランジスタ320-cは、ディジット線310-bをセンスコンポーネント335と選択的に結合するように構成されることがある。一実施例では、トランジスタ320-cおよびトランジスタ320-dは、記憶コンポーネントとディジット線310-bとの間にあることがある。他の実施例では、トランジスタ320-dは、記憶コンポーネントとディジット線310-bとの間にあることがあり、トランジスタ320-cは、記憶コンポーネントとプレート線315との間にあることがある。
メモリアレイは、たとえば、メモリセル305-aに対して読み出し動作を実施する命令を含むコマンドを受け取り得る。メモリセル305-aの記憶コンポーネントは、両方のトランジスタ-たとえば、ワード線325によってアクティブ化されるトランジスタ320-aおよび選択線330-aによってアクティブ化されるトランジスタ320-b-がアクティブ化されるとき、ディジット線310-aと結合され得る。トランジスタ320-aとトランジスタ320-bの場所は交換可能であってよい。バイアスされたワード線325は、バイアスされたワード線325と結合されたメモリセル305(たとえば、ワード線325が、バイアスされたワード線325と結合されたトランジスタ320-aをアクティブ化するためにバイアスされたときは、メモリセル305-a、ワード線325が、バイアスされたワード線325と結合されたトランジスタ320-dをアクティブ化するためにバイアスされたときは、メモリセル305-b)をアクティブ化または選択し得る。そのような場合、トランジスタ320-bは、ワード線と選択線の両方がメモリセル305-aをディジット線310-aと結合するためにバイアスされるように、メモリセル305-aに関する追加の自由度を提供し得る。
たとえば、選択されたメモリセルの1つ(たとえば、メモリセル305-a)は、トランジスタ320-bをアクティブ化するために選択線の1つ(たとえば、選択線330-a)をバイアス(たとえば、アクティブ化)し、ワード線の1つ(たとえば、ワード線325)をバイアス(たとえば、アクティブ化)することによって、それぞれのディジット線(たとえば、ディジット線310-a)と結合され得るが、ワード線325と結合された他のメモリセル(たとえば、メモリセル305-b)は、選択線の1つ(たとえば、選択線330-b)をバイアスすることに基づいてディジット線310-bから結合解除されたままであり得る。たとえば、メモリセル305-bは、選択線330-bのバイアスに基づいて、ディジット線310-bから絶縁されたままであることがある。いくつかの場合、選択線330-bは、トランジスタ320-cのゲートと結合され、メモリセル305-bをセンスコンポーネント335と結合するように構成されることがある。選択線330-aはディジット線310-aと平行であってよく、選択線330-bはディジット線310-bと平行であってよい。いくつかの場合、トランジスタ320-bおよびトランジスタ320-cによって提供される追加の自由度は、センスコンポーネント335を複数のディジット線310と共有することを容易にし得る。たとえば、センスコンポーネント335は、ディジット線310-aおよびディジット線310-bによって共有されることがある。
ワード線325または選択線330のいずれもバイアスされない場合、メモリセル305は、ディジット線310から絶縁され、それによって、分極の消失を防止し得る。ワード線325または選択線330の一方がバイアスされる場合、メモリセル305は、引き続きディジット線310から絶縁され得る。しかしながら、ワード線325と選択線330の両方がメモリセル305(たとえば、メモリセル305-a)のために同時にバイアスされる場合、メモリセル305は、ディジット線310と結合され、それによって、アクセス動作(たとえば、読み出し動作または書き込み動作)を容易にするためにバイアスされ得る。
回路図300は、ディジット線310およびセンスコンポーネント335と結合され、1つまたは複数のディジット線310をセンスコンポーネント335と選択的に結合するように構成された1つまたは複数のトランジスタ320を含み得る。たとえば、シャントトランジスタ345-aは、ディジット線310-aをセンスコンポーネント335と選択的に結合することがある。回路図300は、シャント線340も含み得る。いくつかの場合、シャント線340は、選択線と呼ばれることがある。シャント線340は、シャントトランジスタ345-aのゲートおよびシャントトランジスタ345-bのゲートと結合され得る。いくつかの場合、シャントトランジスタ345-bは、ディジット線310-bおよびセンスコンポーネント335と結合されることがあり、その場合、シャントトランジスタ345-bがディジット線310-bをセンスコンポーネント335と選択的に結合し得る。シャント線340は、センスコンポーネント335の第1のノードをディジット線310-aと、センスコンポーネント335の第2のノードをディジット線310-bと結合し得る。シャント線340は、ディジット線310-aと結合されたシャントトランジスタ345-aをアクティブ化し、ディジット線310-bと結合されたシャントトランジスタ345-bをアクティブ化するためにアクティブ化され(たとえば、バイアスされ)得る。そのような場合、センスコンポーネント335がディジット線310-aおよびディジット線310-aに結合され得るように、シャント線340を介してシャントトランジスタ345-aのゲートおよびシャントトランジスタ345-bのゲートに電圧が印加されてよい。したがって、単一の選択線(たとえば、シャント線340)は、複数の異なるディジット線310をセンスコンポーネント335に結合し、それによって、メモリアレイ内の選択線330の量を減少させるように構成され得る。
センスコンポーネント335は、ディジット線310-aから受け取られる信号およびディジット線310-bから受け取られる信号に基づいて、メモリセル305-aに記憶される論理状態を決定し得る。選択線330-bは、その関連づけられたトランジスタを非アクティブ化させるためにバイアスされるので、ディジット線310-bから受け取られる信号は、ディジット線310-bが1つまたは複数のメモリセル305から結合解除されることに基づいてよい。ディジット線310-aから受け取られる信号は、ワード線325および選択線330-aがそれらのそれぞれのトランジスタをアクティブ化させるためにバイアスされることに基づいてメモリセル305-aに記憶される状態に基づいてよい。そのような場合、センスコンポーネント335は、差動センス動作の一実施例を実施してよい。たとえば、センスコンポーネント335は、シャント線340を使用して、選択されたディジット線(たとえば、ディジット線310-a)と選択されていないディジット線(たとえば、ディジット線310-b)の両方を使用して論理状態を決定し得る。選択されていないディジット線からの信号を基準信号として使用することは、基準信号が、メモリデバイス内のプロセス変化または消耗関連の変化を追跡し、それによって、より信頼性の高いセンス動作を提供することを可能にし得る。センスコンポーネント335は、センスコンポーネント335によって論理状態を決定することに基づいて、メモリセル305-aの記憶コンポーネントに記憶される論理状態を出力し得る。
センスコンポーネント335の1つまたは複数の入力は、選択線(たとえば、シャント線340)を使用する多重化技法を使用して複数のディジット線310の1つと選択的に結合され得る。いくつかの場合、単一の選択線(たとえば、シャント線340)は、各ディジット線に対して1つである2つのトランジスタを使用して2つのディジット線をセンスコンポーネント335と結合するように構成されることがある。たとえば、シャント線340は、シャントトランジスタ345-aを使用してセンスコンポーネント335の第1の入力をディジット線310-aと、シャントトランジスタ345-bを使用してセンスコンポーネント335の第2の入力をディジット線310-bと結合するように構成されることがある。いくつかの場合、選択線330のセットの間でセンスコンポーネント335を共有することは、センシング回路によって占められる全体的な回路面積を減少させ得る。そのような面積減少は、メモリデバイスの総面積を減少させ得、これは、メモリセル305を含むメモリアレイをサポートする基板内で異なる機能回路(たとえば、サブワード線ドライバ)を追加することを容易にし得る。いくつかの場合、センス回路の大きさを減少させることは、一般的に、より高度な機能-たとえば、全電荷抽出機能、閾値電圧補償機能-をセンスコンポーネント335に組み込むことを容易にし得る。いくつかの場合、多重化された選択線330を有するセンスコンポーネント335は、多重化された選択線を有するそのようなセンスコンポーネントを利用し得る異なるメモリ技術(たとえば、FeRAM、DRAM、3D XPoint(商標)メモリ)の間の交差学習を活用することを容易にすることがある。
さらに、センスコンポーネント335が多重化された選択線330のセットと結合されていることによって提供される追加の自由度は、メモリアレイ内のシャント線(たとえばシャント線340)またはシャントトランジスタ(たとえば、シャントトランジスタ345-aおよびシャントトランジスタ345-b)を使用してアクセス動作中の選択されたディジット線と選択されていないディジット線との間のじょう乱を軽減することに関係するいくつかの問題を緩和し得る。いくつかの場合、メモリアレイ内でシャント線(たとえばシャント線340)またはシャントトランジスタ(たとえば、シャントトランジスタ345-aおよびシャントトランジスタ345-b)を実装することは、アレイの増加された大きさ、読み出しディスターブの発生の増加、および全体的な電力使用量の増加をもたらすことがある。メモリアレイを含むメモリデバイスの文脈では、読み出しディスターブは、ディジット線310-a(たとえば、選択されていないディジット線310-bの隣のディジット線)がアクティブ化される(たとえば、センスコンポーネント335を使用してメモリセル305-aに記憶された論理状態を読み出すためにメモリセル305-aと結合される)とき、選択されていないディジット線310と結合されたメモリセル305に記憶された論理状態に対する悪影響を指すことがある。ディジット線310-aと関連づけられた電圧変化の一部は、ディジット線310-bに(たとえば、容量結合を通じて)結合されるが、他のメモリセル305に記憶される論理状態は、そのような電圧変化から保護されてよい。
いくつかのメモリシステムでは、シャント線(たとえばシャント線340)およびシャントトランジスタ(たとえば、シャントトランジスタ345-aおよびシャントトランジスタ345-b)は、アクセス動作中にディジット線間の結合またはディジット線とプレート線との間の結合によって引き起こされるメモリセル上でのじょう乱を軽減するために使用されることがある。シャント線(たとえばシャント線340)およびシャントトランジスタ(たとえば、シャントトランジスタ345-aおよびシャントトランジスタ345-b)は、ダイ面積を使い果たし、メモリアレイの追加のメモリセルなどの他の回路に使用されてもよい電力を消費する。シャント線(たとえばシャント線340)およびシャントトランジスタ(たとえば、シャントトランジスタ345-aおよびシャントトランジスタ345-b)の量を減少させるために、メモリセルは、それぞれワード線325および選択線330と結合された2つのトランジスタとともに構成されてよく、シャント線340は、2つのディジット線310をセンスコンポーネント335と一度に結合するように構成されてよい。このようにして、読み出しディスターブは、2つのトランジスタを含むメモリセル305によって、およびシャント線(たとえばシャント線340)またはシャントトランジスタ(たとえば、シャントトランジスタ345-aおよびシャントトランジスタ345-b)の量を減少させ、それによって、メモリアレイによって占められる面積を減少させ、メモリアレイのコストを減少させ、シャント電力を除去することによって軽減され得る。そのような場合、選択線(たとえば、シャント線340)は、センスコンポーネント335が選択線330を基準電圧として使用し得るように、シャント線またはシャントトランジスタが存在し得るときの距離と比較して、センスコンポーネント335により近くてよい。
図4Aは、本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイの一部分の断側面図400-aの一実施例を示す。断側面図400-aは、2つのトランジスタを含むメモリセルの構成の一実施例を示す。断側面図400-aは、ディジット線410-a(図2および図3を参照して説明されるディジット線215またはディジット線310の実施例であってよい)、プレート線415-a(図2および図3を参照して説明されるプレート線220またはプレート線315の一実施例であってよい)、トランジスタ420-aおよびトランジスタ420-b(図2および図3を参照して説明される選択コンポーネント245またはトランジスタ320の実施例であってよい)、ワード線425-a(図2および図3を参照して説明されるワード線210またはワード線325の一実施例であってよい)、ならびに選択線430-a(図3を参照して説明される選択線330の一実施例であってよい)を示す。さらに、断側面図400-aは、メモリセル(図2および図3を参照して説明されるメモリセル205またはメモリセル305の一実施例であってよい)に含まれる記憶コンポーネント405-a(たとえば、容器)を示す。
記憶コンポーネント405-aは、第1の端435-aと、第2の端440-aとを含み得る。第1の端435-aは、プレート線415-aと結合されてよい。第2の端440-aは、トランジスタ420-aと結合されてよい。そのような場合、メモリセルの記憶コンポーネント405-aは、プレート線415-aの上面に対して下に凹であってよい。メモリセルの形状(たとえば、記憶コンポーネント405-aの凹状)は、隣接するメモリセルからメモリセルを絶縁するように構成されてよい。たとえば、メモリセルの形状は、ディジット線410-aをプレート線415-aから絶縁するように構成されることがある。いくつかの実施例では、メモリセルの形状(たとえば、記憶コンポーネント405-aの凹状)は、メモリセルを一緒に短絡させるように構成されることがある。
メモリアレイの部分は、2つのトランジスタ(たとえば、トランジスタ420-aおよびトランジスタ420-b)を含み得る。トランジスタ420-aと420-bは、直列構成で配置されてよい。たとえば、トランジスタ420-aは、記憶コンポーネント405-aと結合されてよく、トランジスタ420-bは、ディジット線410-bと結合されてよい。そのような場合、第1のトランジスタ(たとえば、トランジスタ420-a)および第2のトランジスタ(たとえば、トランジスタ420-b)は、記憶コンポーネント405-aとディジット線410-aの間にあってよい。トランジスタ420-aのゲートは、ワード線425-aと結合されてよい。トランジスタ420-bのゲートは、選択線430-aと結合されてよい。
両方のトランジスタ(たとえば、トランジスタ420-aおよびトランジスタ420-b)が記憶コンポーネント405-aの一方の側にあるとき、メモリセルの動作は、一方のトランジスタが記憶コンポーネント405-aの一方の側にあり、他方のトランジスタが記憶コンポーネント405-aの他方の側にあるときとは異なることがある。たとえば、リフレッシュ動作は、キャパシタに電荷を記憶し得るメモリセルで発生し得る。漏れおよびディスターブを介してメモリセルから電荷を放電する仕組みは、1つのトランジスタが記憶コンポーネント405-aの一方の側にあり、1つのトランジスタが記憶コンポーネント405-aの他方の側にある場合とは異なる仕組みであることがある。
いくつかの実施例では、ディジット線410-aは、選択線430-aと平行な方向に延びることがある(たとえば、図4Aによって示されるようにページの内外に延びることがある)。ディジット線410-aおよび選択線430-aは、ワード線425-aおよびプレート線415-aに垂直な方向に延びることがある(たとえば、図4Aに示されるようにページにわたって延びることがある)。ワード線425-aは、プレート線415-aと平行な方向に延びることがある。
図4Bは、本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイの一部分の断側面図400-bの一実施例を示す。断側面図400-bは、2つのトランジスタを含むメモリセルの構成の一実施例を示す。断側面図400-bは、ディジット線410-b(図2および図3を参照して説明されるディジット線215またはディジット線310の実施例であってよい)、プレート線415-b(図2および図3を参照して説明されるプレート線220またはプレート線315の一実施例であってよい)、トランジスタ420-cおよびトランジスタ420-d(図2および図3を参照して説明される選択コンポーネント245またはトランジスタ320の実施例であってよい)、ワード線425-b(図2および図3を参照して説明されるワード線210またはワード線325の一実施例であってよい)、ならびに選択線430-b(図3を参照して説明される選択線330の一実施例であってよい)を示す。さらに、断側面図400-bは、メモリセル(図2および図3を参照して説明されるメモリセル205またはメモリセル305の一実施例であってよい)に含まれる記憶コンポーネント405-b(たとえば、容器)を示す。
記憶コンポーネント405-bは、第1の端435-bと、第2の端440-bとを含み得る。第1の端435-bは、トランジスタ420-cと結合されてよい。第2の端440-bは、プレート線415-bと結合されてよい。そのような場合、メモリセルの記憶コンポーネント405-bは、プレート線415-bの上面に対して上に凹であってよい。メモリセルの形状(たとえば、記憶コンポーネント405-bの凹状)は、メモリセルを、隣接するメモリセルから絶縁するように構成されることがある。たとえば、メモリセルの形状は、ディジット線410-bをプレート線415-bから絶縁するように構成されることがある。いくつかの実施例では、メモリセルの形状(たとえば、記憶コンポーネント405-bの凹状)は、メモリセルを一緒に短絡させるように構成されることがある。
メモリアレイの部分は、2つのトランジスタ(たとえば、トランジスタ420-cおよびトランジスタ420-d)を含み得る。トランジスタ420-cと420-dは、直列構成で配置されてよい。たとえば、トランジスタ420-cは、記憶コンポーネント405-bと結合されてよく、トランジスタ420-dは、ディジット線410-bと結合されてよい。そのような場合、第1のトランジスタ(たとえば、トランジスタ420-c)および第2のトランジスタ(たとえば、トランジスタ420-d)は、記憶コンポーネント405-bとディジット線410-bの間にあってよい。トランジスタ420-cのゲートは、ワード線425-bと結合されてよい。トランジスタ420-dのゲートは、選択線430-bと結合されてよい。
両方のトランジスタ(たとえば、トランジスタ420-cおよびトランジスタ420-d)が記憶コンポーネント405-bの一方の側にあるとき、メモリセルの動作は、一方のトランジスタが記憶コンポーネント405-bの一方の側にあり、他方のトランジスタが記憶コンポーネント405-bの他方の側にあるときとは異なることがある。たとえば、リフレッシュ動作は、キャパシタに電荷を記憶し得るメモリセルで発生し得る。漏れおよびディスターブを介してメモリセルから電荷を放電する仕組みは、1つのトランジスタが記憶コンポーネント405-bの一方の側にあり、1つのトランジスタが記憶コンポーネント405-bの他方の側にある場合とは異なる仕組みであることがある。
いくつかの実施例では、ディジット線410-bは、選択線430-bと平行な方向に延びることがある(たとえば、図4Bに示されるようにページの内外に延びることがある)。ディジット線410-bおよび選択線430-bは、ワード線425-bおよびプレート線415-bに垂直な方向に延びることがある(たとえば、図4Bに示されるようにページにわたって延びることがある)。ワード線425-bは、プレート線415-bと平行な方向に延びることがある。
図4Cは、本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイの一部分の断側面図400-cの一実施例を示す。断側面図400-bは、2つのトランジスタを含むメモリセルの構成の一実施例を示す。断側面図400-cは、ディジット線410-c(図2および図3を参照して説明されるディジット線215またはディジット線310の実施例であってよい)、プレート線415-c(図2および図3を参照して説明されるプレート線220またはプレート線315の一実施例であってよい)、トランジスタ420-eおよびトランジスタ420-f(図2および図3を参照して説明される選択コンポーネント245またはトランジスタ320の実施例であってよい)、ワード線425-c(図2および図3を参照して説明されるワード線210またはワード線325の一実施例であってよい)、ならびに選択線430-c(図3を参照して説明される選択線330の一実施例であってよい)を示す。さらに、断側面図400-cは、メモリセル(図2および図3を参照して説明されるメモリセル205またはメモリセル305の一実施例であってよい)に含まれる記憶コンポーネント405-c(たとえば、容器)を示す。
記憶コンポーネント405-cは、第1の端435-cと、第2の端440-cとを含み得る。第1の端435-cは、トランジスタ420-fと結合されてよい。第2の端440-cは、トランジスタ420-eと結合されてよい。そのような場合、メモリセルの記憶コンポーネント405-cは、プレート線415-cの上面に対して下に凹であってよい。メモリセルの形状(たとえば、記憶コンポーネント405-cの凹状)は、隣接するメモリセルからメモリセルを絶縁するように構成されてよい。たとえば、メモリセルの形状は、ディジット線410-cをプレート線415-cから絶縁するように構成されることがある。いくつかの実施例では、メモリセルの形状(たとえば、記憶コンポーネント405-cの凹状)は、メモリセルを一緒に短絡させるように構成されることがある。
メモリアレイの部分は、2つのトランジスタ(たとえば、トランジスタ420-eおよびトランジスタ420-f)を含み得る。トランジスタ420-eは、第1のノード445-aと、第2のノード450-aとを含み得る。トランジスタ420-eの第1のノード445-aは、記憶コンポーネント405-cと結合され得る。第2のノード450-aは、ディジット線410-cと結合され得る。そのような場合、トランジスタ420-eは、記憶コンポーネント405-cとディジット線410-cとの間に結合され得る。トランジスタ420-fは、第1のノード445-bと、第2のノード450-bとを含み得る。トランジスタ420-fの第1のノード445-bは、プレート線415-cと結合され得る。第2のノード450-bは、記憶コンポーネント405-cと結合され得る。そのような場合、トランジスタ420-fは、記憶コンポーネント405-cとプレート線415-cとの間に結合され得る。トランジスタ420-eのゲートは、ワード線425-cと結合されてよい。トランジスタ420-fのゲートは、選択線430-cと結合されてよい。
両方のトランジスタ(たとえば、トランジスタ420-eおよびトランジスタ420-f)が記憶コンポーネント405-cの一方の側にあるとき、メモリセルの動作は、一方のトランジスタが記憶コンポーネント405-cの一方の側にあり、他方のトランジスタが記憶コンポーネント405-cの他方の側にあるとき、異なることがある。たとえば、リフレッシュ動作は、キャパシタに電荷を記憶し得るメモリセルで発生し得る。漏れおよびディスターブを介してメモリセルから電荷を放電する仕組みは、両方のトランジスタが記憶コンポーネント405-cの一方の側にある場合とは異なる仕組みであることがある。
いくつかの実施例では、ディジット線410-cは、選択線430-cと平行な方向に延びることがある(たとえば、図4Cによって示されるようにページの内外に延びることがある)。ディジット線410-cおよび選択線430-cは、ワード線425-cおよびプレート線415-cに垂直な方向に延びることがある(たとえば、図4Cに示されるようにページにわたって延びることがある)。ワード線425-cは、プレート線415-cと平行な方向に延びることがある。
図4Dは、本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイの一部分の断側面図400-dの一実施例を示す。断側面図400-dは、2つのトランジスタを含むメモリセルの構成の一実施例を示す。断側面図400-dは、ディジット線410-d(図2および図3を参照して説明されるディジット線215またはディジット線310の実施例であってよい)、プレート線415-d(図2および図3を参照して説明されるプレート線220またはプレート線315の一実施例であってよい)、トランジスタ420-gおよびトランジスタ420-h(図2および図3を参照して説明される選択コンポーネント245またはトランジスタ320の実施例であってよい)、ワード線425-d(図2および図3を参照して説明されるワード線210またはワード線325の一実施例であってよい)、ならびに選択線430-d(図3を参照して説明される選択線330の一実施例であってよい)を示す。さらに、断側面図400-dは、メモリセル(図2および図3を参照して説明されるメモリセル205またはメモリセル305の一実施例であってよい)に含まれる記憶コンポーネント405-d(たとえば、容器)を示す。
記憶コンポーネント405-dは、第1の端435-dと、第2の端440-dとを含み得る。第1の端435-dは、トランジスタ420-gと結合されてよい。第2の端440-dは、トランジスタ420-hと結合されてよい。そのような場合、メモリセルの記憶コンポーネント405-dは、プレート線415-dの上面に対して上に凹であってよい。メモリセルの形状(たとえば、記憶コンポーネント405-dの凹状)は、隣接するメモリセルからメモリセルを絶縁するように構成されてよい。たとえば、メモリセルの形状は、ディジット線410-dをプレート線415-dから絶縁するように構成されることがある。いくつかの実施例では、メモリセルの形状(たとえば、記憶コンポーネント405-dの凹状)は、メモリセルを一緒に短絡させるように構成されることがある。
メモリアレイの部分は、2つのトランジスタ(たとえば、トランジスタ420-gおよびトランジスタ420-h)を含み得る。トランジスタ420-gは、第1のノード445-cと、第2のノード450-cとを含み得る。トランジスタ420-gの第1のノード445-cは、記憶コンポーネント405-dと結合され得る。第2のノード450-cは、ディジット線410-dと結合され得る。そのような場合、トランジスタ420-gは、記憶コンポーネント405-dとディジット線410-dとの間に結合され得る。トランジスタ420-hは、第1のノード445-dと、第2のノード450-dとを含み得る。トランジスタ420-hの第1のノード445-dは、プレート線415-dと結合され得る。第2のノード450-dは、記憶コンポーネント405-dと結合され得る。そのような場合、トランジスタ420-gは、記憶コンポーネント405-dとプレート線415-dとの間に結合され得る。トランジスタ420-gのゲートは、ワード線425-dと結合されてよい。トランジスタ420-hのゲートは、選択線430-dと結合されてよい。
両方のトランジスタ(たとえば、トランジスタ420-gおよびトランジスタ420-h)が記憶コンポーネント405-dの一方の側にあるとき、メモリセルの動作は、一方のトランジスタが記憶コンポーネント405-dの一方の側にあり、他方のトランジスタが記憶コンポーネントの他方の側にあるとき、異なることがある。たとえば、リフレッシュ動作は、キャパシタに電荷を記憶し得るメモリセルで発生し得る。漏れおよびディスターブを介してメモリセルから電荷を放電する仕組みは、両方のトランジスタが記憶コンポーネント405-dの一方の側にある場合とは異なる仕組みであることがある。
いくつかの実施例では、ディジット線410-dは、選択線430-dと平行な方向に延びることがある(たとえば、図4Dによって示されるようにページの内外に延びることがある)。ディジット線410-dおよび選択線430-dは、ワード線425-dおよびプレート線415-dに垂直な方向に延びることがある(たとえば、図4Dに示されるようにページにわたって延びることがある)。ワード線425-dは、プレート線415-dと平行な方向に延びることがある。
図5は、本明細書で開示される実施例による、多重化された選択線を有するメモリアレイをサポートするメモリデバイス505のブロック図500を示す。メモリデバイス505は、図1~図4を参照して説明されるメモリデバイスの態様の実施例であってよい。メモリデバイス505は、記憶コンポーネントカプラ510と、コマンドコンポーネント515と、論理状態コンポーネント520と、第1のトランジスタアクティベータ525と、第2のトランジスタアクティベータ530と、第3のトランジスタアクティベータ535と、センスコンポーネントカプラ540と、バイアシングコンポーネント545とを含んでよい。これらのモジュールの各々は、互いと(たとえば、1つまたは複数のバスを介して)直接的または間接的に通信してよい。
記憶コンポーネントカプラ510は、ワード線および第1の選択線をバイアスすることに基づいて、メモリセルの記憶コンポーネントを第1のディジット線と結合し得る。
論理状態コンポーネント520は、センスコンポーネントを使用して、第1のディジット線から受け取られた第1の信号および第2のディジット線から受け取られた第2の信号に基づいて、メモリセル上に記憶される論理状態を決定し得る。いくつかの実施例では、論理状態コンポーネント520は、センスコンポーネントによって、センスコンポーネントによって論理状態を決定することに基づいて、メモリセルの記憶コンポーネントに記憶される論理状態を出力し得る。
第1のトランジスタアクティベータ525は、ワード線と結合されたメモリセルの第1のトランジスタをアクティブ化するためにワード線をバイアスし得る。
第2のトランジスタアクティベータ530は、第1の選択線と結合されたメモリセルの第2のトランジスタをアクティブ化するために第1の選択線をバイアスし得る。
第3のトランジスタアクティベータ535は、第1のディジット線と結合された第3のトランジスタおよび第2のディジット線と結合された第4のトランジスタをアクティブ化するために第2の選択線をバイアスし得る。いくつかの実施例では、第3のトランジスタアクティベータ535は、第3のトランジスタの第1のゲートおよび第4のトランジスタの第2のゲートに電圧を印加し得る。
センスコンポーネントカプラ540は、第2の選択線をバイアスすることに基づいて、第1のディジット線をセンスコンポーネントと、第2のディジット線をセンスコンポーネントと結合し得る。いくつかの実施例では、センスコンポーネントカプラ540は、電圧を印加することに基づいて、センスコンポーネントの第1のノードを第1のディジット線と結合し、センスコンポーネントの第2のノードを第2のディジット線と結合し得る。
コマンドコンポーネント515は、メモリセルに対する読み出し動作を実施する命令を含むコマンドを受け取り得、ワード線、第1の選択線、および第2の選択線をバイアスすることは、コマンドを受け取ることに基づく。
バイアシングコンポーネント545は、第2の選択線をバイアスすることに基づいて1つまたは複数のメモリセルを第2のディジット線から結合解除するために第3の選択線をバイアスし得、第2の信号は、第2のディジット線が1つまたは複数のメモリセルから結合解除されることに基づく。
図6は、本明細書で開示される実施例による多重化された選択線を有するメモリアレイをサポートする1つまたは複数の方法600を示すフローチャートである。方法600の動作は、本明細書において説明されるメモリデバイスまたはそのコンポーネントによって実装されてよい。たとえば、方法600の動作は、図5を参照して説明されるメモリデバイスによって実施されてよい。いくつかの実施例では、メモリデバイスは、説明された機能を実施するようにメモリデバイスの機能要素を制御するために、命令のセットを実行してよい。追加的または代替的に、メモリデバイスは、特殊目的ハードウェアを使用する説明された機能の態様を実施してよい。
605では、メモリデバイスは、ワード線と結合されたメモリセルの第1のトランジスタをアクティブ化するためにワード線をバイアスし得る。605の動作は、本明細書において説明される方法により実施されてよい。いくつかの実施例では、605の動作の態様は、図5を参照して説明される第1のトランジスタアクティベータによって実施され得る。
610では、メモリデバイスは、第1の選択線と結合されたメモリセルの第2のトランジスタをアクティブ化するために第1の選択線をバイアスし得る。610の動作は、本明細書において説明される方法により実施されてよい。いくつかの実施例では、610の動作の態様は、図5を参照して説明される第2のトランジスタアクティベータによって実施され得る。
615では、メモリデバイスは、ワード線および第1の選択線をバイアスすることに基づいて、メモリセルの記憶コンポーネントを第1のディジット線と結合し得る。615の動作は、本明細書において説明される方法により実施されてよい。いくつかの実施例では、615の動作の態様は、図5を参照して説明される記憶コンポーネントカプラによって実施され得る。
620では、メモリデバイスは、第1のディジット線と結合された第3のトランジスタおよび第2のディジット線と結合された第4のトランジスタをアクティブ化するために第2の選択線をバイアスし得る。620の動作は、本明細書において説明される方法により実施されてよい。いくつかの実施例では、620の動作の態様は、図5を参照して説明される第3のトランジスタアクティベータによって実施され得る。
625では、メモリデバイスは、第2の選択線をバイアスすることに基づいて、第1のディジット線をセンスコンポーネントと、第2のディジット線をセンスコンポーネントと結合し得る。625の動作は、本明細書において説明される方法により実施されてよい。いくつかの実施例では、625の動作の態様は、図5を参照して説明されるセンスコンポーネントカプラによって実施され得る。
630では、メモリデバイスは、センスコンポーネントを使用して、第1のディジット線から受け取られる第1の信号および第2のディジット線から受け取られる第2の信号に基づいて、メモリセル上に記憶される論理状態を決定し得る。630の動作は、本明細書において説明される方法により実施されてよい。いくつかの実施例では、630の動作の態様は、図5を参照して説明される論理状態コンポーネントによって実施され得る。
いくつかの実施例では、本明細書において説明される装置は、方法600などの1つまたは複数の方法を実施し得る。この装置は、ワード線と結合されたメモリセルの第1のトランジスタをアクティブ化するためにワード線をバイアスし、第1の選択線と結合されたメモリセルの第2のトランジスタをアクティブ化するために第1の選択線をバイアスし、ワード線および第1の選択線をバイアスすることに基づいて、メモリセルの記憶コンポーネントを第1のディジット線と結合し、第1のディジット線と結合された第3のトランジスタおよび第2のディジット線と結合された第4のトランジスタをアクティブ化するために第2の選択線をバイアスし、第2の選択線をバイアスすることに基づいて、第1のディジット線をセンスコンポーネントと、第2のディジット線をセンスコンポーネントと結合し、センスコンポーネントを使用して、第1のディジット線から受け取られる第1の信号および第2のディジット線から受け取られる第2の信号に基づいて、メモリセル上に記憶される論理状態を決定するための特徴、手段、または命令(たとえば、プロセッサによって実行可能な命令を記憶する非一時的なコンピュータ可読媒体)を含んでよい。
方法600および本明細書において説明される装置のいくつかの実施例は、第2の選択線をバイアスすることに基づいて1つまたは複数のメモリセルを第2のディジット線から結合解除するために第3の選択線をバイアスするためであって、第2の信号は、第2のディジット線が1つまたは複数のメモリセルから結合解除されることに基づいてよい、バイアスするための動作、特徴、手段、または命令をさらに含んでよい。
方法600および本明細書において説明される装置のいくつかの実施例は、センスコンポーネントによって、センスコンポーネントによって論理状態を決定することに基づいて、メモリセルの記憶コンポーネントに記憶された論理状態を出力するための動作、特徴、手段、または命令をさらに含んでよい。
方法600および本明細書において説明される装置のいくつかの実施例は、第3のトランジスタの第1のゲートおよび第4のトランジスタの第2のゲートに電圧を印加し、電圧を印加することに基づいて、センスコンポーネントの第1のノードを第1のディジット線と結合し、センスコンポーネントの第2のノードを第2のディジット線と結合するための動作、特徴、手段、または命令をさらに含んでよい。
方法600および本明細書において説明される装置のいくつかの実施例は、メモリセルに対して読み出し動作を実施する命令を含むコマンドを受け取るためであって、ワード線、第1の選択線、および第2の選択線をバイアスすることは、コマンドを受け取ることに基づいてよい、受け取るための動作、特徴、手段、または命令をさらに含んでよい。
本明細書において説明される方法は可能な実施例であること、動作およびステップは、並べ替えられてもよいし、修正されてもよいこと、ならびに他の実施例も可能であることが留意されるべきである。そのうえ、方法のうちの2つ以上からの部分が組み合わされてもよい。
装置が説明される。この装置はメモリセルのアレイと、このメモリセルのアレイと結合され、ワード線と結合されたメモリセルの第1のトランジスタをアクティブ化するためにワード線をバイアスし、第1の選択線と結合されたメモリセルの第2のトランジスタをアクティブ化するために第1の選択線をバイアスし、ワード線および第1の選択線をバイアスすることに基づいて、メモリセルの記憶コンポーネントを第1のディジット線と結合し、第1のディジット線と結合された第3のトランジスタおよび第2のディジット線と結合された第4のトランジスタをアクティブ化するために第2の選択線をバイアスし、第2の選択線をバイアスすることに基づいて、第1のディジット線をセンスコンポーネントと、第2のディジット線をセンスコンポーネントと結合し、センスコンポーネントを使用して、第1のディジット線から受け取られる第1の信号および第2のディジット線から受け取られる第2の信号に基づいて、メモリセル上に記憶される論理状態を決定するように動作可能であるコントローラとを含んでよい。
いくつかの実施例は、第2の選択線をバイアスすることに基づいて1つまたは複数のメモリセルを第2のディジット線から結合解除するために第3の選択線をバイアスすることであって、第2の信号は、第2のディジット線が1つまたは複数のメモリセルから結合解除されることに基づいてよい、バイアスすることをさらに含んでよい。
いくつかの実施例は、センスコンポーネントによって、センスコンポーネントによって論理状態を決定することに基づいて、メモリセルの記憶コンポーネントに記憶された論理状態を出力することをさらに含んでよい。
いくつかの実施例は、第3のトランジスタの第1のゲートおよび第4のトランジスタの第2のゲートに電圧を印加することと、電圧を印加することに基づいて、センスコンポーネントの第1のノードを第1のディジット線と結合し、センスコンポーネントの第2のノードを第2のディジット線と結合することとをさらに含んでよい。
いくつかの実施例は、メモリセルに対して読み出し動作を実施する命令を含むコマンドを受け取ることであって、ワード線、第1の選択線、および第2の選択線をバイアスすることは、コマンドを受け取ることに基づいてよい、受け取ることをさらに含んでよい。
本明細書において説明される情報および信号は、多種多様な技術および技法のうちのいずれかを使用して表されてよい。たとえば、上記の説明全体を通じて言及され得るデータ、命令、コマンド、情報、信号、ビット、シンボル、およびチップは、電圧、電流、電磁波、磁場もしくは磁性粒子、光場もしくは光学粒子、またはそれらの任意の組み合わせによって表されてよい。いくつかの図面は、単一の信号として信号を示すことがある。しかしながら、信号が信号のバスを表してよく、バスはさまざまなビット幅を有してよいことは、当業者によって理解されよう。
「電子通信」、「導電接触」、「接続される」、および「結合される」という用語は、構成要素間の信号の流れをサポートする、構成要素間の関係を指すことがある。構成要素は、構成要素間の信号の流れをいつでもサポートすることができる導電性経路が構成要素間にある場合、互いと電子通信する(または、互いと導電接触する、または互いと接続される、または互いと結合される)と考えられる。所与の時間において、互いと電子通信する(または互いと導電接触する、または互いと接続された、または互いと結合された)構成要素間の導電性経路は、接続された構成要素を含むデバイスの動作に基づいて、開回路であってもよいし、閉回路であってもよい。接続された構成要素間の導電性経路は、構成要素間の直接的な導電性経路であってもよいし、接続された構成要素間の導電性経路は、スイッチ、トランジスタ、または他の構成要素などの中間構成要素を含んでよい間接的な導電性経路であってもよい。いくつかの実施例では、接続された構成要素間の信号の流れは、たとえば、スイッチまたはトランジスタなどの1つまたは複数の中間構成要素を使用して、ある時間にわたって中断されることがある。
「結合」という用語は、信号が現在導電性経路上において構成要素間で通信されることが可能でない、構成要素間の開回路関係から、導電性経路上において構成要素間で通信信号が可能である、構成要素間の閉回路関係に移る条件を指す。コントローラなどの構成要素が、他の構成要素を一緒に結合するとき、構成要素は、以前は信号が流れることを可能にしなかった導電性経路上の他の構成要素間で信号が流れることを可能にする変化を開始する。
「絶縁される」という用語は、信号が構成要素間で現在流れることが可能でない、構成要素間の関係を指す。構成要素は、それらの間に開回路がある場合、互いから絶縁される。たとえば、構成要素間に位置決めされるスイッチによって分離される2つの構成要素は、スイッチが開いているとき、互いから絶縁される。コントローラが2つの構成要素を互いから絶縁するとき、コントローラは、以前は信号が流れることが可能であった導電性経路を使用して信号が構成要素間を流れるのを防止する変化に影響する。
メモリアレイを含む、本明細書において論じられるデバイスは、シリコン、ゲルマニウム、シリコン-ゲルマニウム合金、ガリウムヒ素、窒化ガリウムなどの半導体基板上に形成されてよい。いくつかの実施例では、基板は、半導体ウェハである。他の場合には、基板は、シリコン・オン・ガラス(SOG)またはシリコン・オン・サファイア(SOS)などのシリコン・オン・インシュレータ(SOI)基板であってもよいし、別の基板上の半導体材料のエピタキシャル層であってもよい。基板または基板のサブ領域の導電性は、限定するものではないが、リン、ホウ素、またはヒ素を含む、さまざまな化学種を使用して、ドーピングを通じて制御され得る。ドーピングは、基板の初期形成または成長中に、イオン注入によって、または他の任意のドーピング手段によって、実施されてよい。
本明細書において論じられるスイッチングコンポーネントまたはトランジスタは、電界効果トランジスタ(FET)を表すことがあり、ソースとドレインとゲートとを含む3端子デバイスを備える。端子は、導電材料たとえば金属を通じて他の電子要素に接続されてよい。ソースおよびドレインは、導電性であってよく、高濃度にドープされた、たとえば縮退した、半導体領域を備えてよい。ソースおよびドレインは、高濃度にドープされた半導体領域またはチャネルによって分離されてよい。チャネルがn型である(すなわち、多数キャリアが電子である)場合、FETは、n型FETと呼ばれることがある。チャネルがp型である(すなわち、多数キャリアが正孔である)場合、FETは、p型FETと呼ばれることがある。チャネルは、絶縁ゲート酸化膜によってキャップされてよい。チャネル導電性は、ゲートに電圧を印加することによって制御されてよい。たとえば、n型FETまたはp型FETに正の電圧または負の電圧をそれぞれ印加することは、チャネルが導電性になることをもたらすことがある。トランジスタは、トランジスタのしきい電圧よりも大きいまたはこれに等しい電圧がトランジスタゲートに印加されるとき、「オン」にされ得るまたは「アクティブ化され」得る。トランジスタは、トランジスタのしきい電圧よりも小さい電圧がトランジスタゲートに印加されるとき、「オフ」にされ得るまたは「非アクティブ化され」得る。
添付の図面に関連して本明細書に記載される説明は、例示的な構成を説明し、実装され得るまたは特許請求の範囲に含まれるすべての実施例を表すとは限らない。本明細書において使用される「例示的な」という用語は、「実施例、事例、または例示として働く」ことを意味し、「好ましい」または「他の実施例より有利である」ことを意味しない。詳細な説明は、説明される技法の理解を提供するために、具体的な詳細を含む。しかしながら、これらの技法は、これらの具体的な詳細なしに実践され得る。いくつかの事例では、よく知られている構造およびデバイスが、説明される実施例の概念を不明瞭にすることを回避するために、ブロック図形式で示される。
添付の図では、類似の構成要素または特徴は、同じ参照ラベルを有してよい。さらに、同じタイプのさまざまな構成要素は、参照ラベルの後にダッシュと、類似構成要素を区別する第2のラベルを続けることによって、区別され得る。第1の参照ラベルだけが本明細書で使用される場合、説明は、第2の参照ラベルには関係なく同じ第1の参照ラベルを有する類似した構成要素のいずれか1つに適用可能である。
本明細書において説明される情報および信号は、多種多様な技術および技法のうちのいずれかを使用して表されてよい。たとえば、上記の説明全体を通じて言及され得るデータ、命令、コマンド、情報、信号、ビット、シンボル、およびチップは、電圧、電流、電磁波、磁場もしくは磁性粒子、光場もしくは光学粒子、またはそれらの任意の組み合わせによって表されてよい。
本明細書における開示に関連して説明されるさまざまな例示的なブロックおよびモジュールは、汎用プロセッサ、DSP、ASIC、FPGAもしくは他のプログラマブル論理デバイス、ディスクリートゲートもしくはトランジスタ論理、ディスクリートハードウェア構成要素、または本明細書において説明される機能を実施するように設計されたそれらの任意の組み合わせを用いて、実装または実施されてよい。汎用プロセッサは、マイクロプロセッサであってよいが、代替形態では、プロセッサは、任意のプロセッサ、コントローラ、マイクロコントローラ、または状態機械であってよい。プロセッサはまた、コンピューティングデバイスの組み合わせ(たとえば、DSPとマイクロプロセッサの組み合わせ、複数のマイクロプロセッサ、DSPコアに関連する1つもしくは複数のマイクロプロセッサ、または他の任意のそのような構成)として実装されてよい。
本明細書において説明される機能は、ハードウェア、プロセッサによって実行されるソフトウェア、ファームウェア、またはそれらの任意の組み合わせにおいて実装されてよい。これらの機能は、プロセッサによって実行されるソフトウェアにおいて実装される場合、コンピュータ可読媒体上に1つまたは複数の命令またはコードとして記憶されてもよいし、送信されてもよい。他の実施例(example)および実施例(implementation)は、本開示および添付の特許請求の範囲に含まれる。たとえば、ソフトウェアの性質により、上記で説明された機能は、プロセッサによって実行されるソフトウェア、ハードウェア、ファームウェア、ハードワイヤリング、またはこれらのいずれかの組み合わせを使用して実装可能である。機能を実装する特徴はまた、機能の一部分が異なる物理的場所で実装されるように分散されることを含めて、さまざまな位置に物理的に設置されてよい。また、特許請求の範囲内を含めて本明細書で使用されるとき、項目のリスト(たとえば、「のうちの少なくとも1つ」または「のうちの1つまたは複数」などの句で始められる項目のリスト)内で使用される「または」は、たとえば、A、B、またはCのうちの少なくとも1つというリストが、AまたはBまたはCまたはABまたはACまたはBCまたはABC(すなわち、AおよびBおよびC)を意味するような、包括的なリストを示す。また、本明細書において使用されるとき、「に基づいて」という句は、条件の閉集合への言及と解釈されないものとする。たとえば、「条件Aに基づいた」と説明される例示的なステップは、本開示の範囲から逸脱することなく、条件Aと条件Bの両方に基づいてよい。言い換えれば、本明細書において使用されるとき、「に基づいて」という句は、「に少なくとも部分的に基づいて」という句と同じ様式で解釈されるものとする。
コンピュータ可読媒体は、ある場所から別の場所へのコンピュータプログラムの転送を容易にする任意の媒体を含めて、非一時的なコンピュータ記憶媒体と通信媒体の両方を含む。非一時的な記憶媒体は、汎用コンピュータまたは特殊目的コンピュータによってアクセス可能な任意の利用可能な媒体であってよい。限定ではなく、例として、非一時的なコンピュータ可読媒体は、RAM、ROM、電気的消去可能プログラマブル読み出し専用メモリ(EEPROM)、コンパクトディスク(CD)ROMもしくは他の光ディスクストレージ、磁気ディスクストレージもしくは他の磁気記憶デバイス、あるいは命令もしくはデータ構造の形をした所望のプログラムコード手段を運ぶまたは記憶するために使用可能であり、汎用コンピュータもしくは特殊目的コンピュータまたは汎用プロセッサもしくは特殊目的プロセッサによってアクセス可能である他の任意の非一時的な媒体を含むことができる。また、あらゆる接続は、コンピュータ可読媒体と呼ばれるのが適切である。たとえば、ソフトウェアが、同軸ケーブル、光ファイバケーブル、ツイストペア、デジタル加入者線(DSL)、または赤外線、無線、およびマイクロ波などのワイヤレス技術を使用して、ウェブサイト、サーバ、または他のリモートソースから送信される場合、同軸ケーブル、光ファイバケーブル、ツイストペア、デジタル加入者線(DSL)、または赤外線、無線、およびマイクロ波などのワイヤレス技術は、媒体の定義に含まれる。本明細書において使用されるとき、ディスク(disk)およびディスク(disc)は、CD、レーザディスク(disc)、光ディスク(disc)、デジタル多用途ディスク(disc)(DVD)、フロッピーディスク(disk)、およびブルーレイディスク(disc)を含み、ディスク(disk)は通常、磁気的にデータを再生し、ディスク(disc)は、レーザを用いて光学的にデータを再生する。上記の組み合わせも、コンピュータ可読媒体の範囲内に含められる。
本明細書における説明は、当業者が本開示を作成または使用することを可能にするために提供される。本開示のさまざまな修正形態は、当業者には明らかであろう。本明細書において定義される一般的な原理は、本開示の範囲から逸脱することなく、他の変形形態に適用され得る。したがって、本開示は、本明細書において説明される実施例および設計に限定されず、本明細書で開示される原理および新規な特徴と合致する最も広い範囲が与えられるべきである。

Claims (22)

  1. 第1のディジット線およびプレート線と結合されたメモリセルであって、前記メモリセルは、記憶コンポーネントと、第1のトランジスタと、第2のトランジスタとを備え、前記記憶コンポーネントは、前記プレート線の上面に対して下方に凹んでいる、メモリセルと、
    前記第1のトランジスタの第1のゲートと結合され、アクセス動作のために前記メモリセルを選択するように構成されたワード線と、
    前記第2のトランジスタの第2のゲートと結合され、前記メモリセルを前記第1のディジット線と選択的に結合するように構成された第1の選択線と、
    前記第1のディジット線およびセンスコンポーネントと結合され、前記第1のディジット線を前記センスコンポーネントと選択的に結合するように構成された第3のトランジスタと、
    前記第3のトランジスタの第3のゲートおよび第4のトランジスタの第4のゲートと結合された第2の選択線であって、前記第3のトランジスタの前記第3のゲートおよび前記第4のトランジスタの前記第4のゲートに電圧を印加することに少なくとも部分的に基づいて、前記センスコンポーネントの第1のノードを前記第1のディジット線と結合すると共に、前記センスコンポーネントの第2のノードを第2のディジット線と結合するように構成された第2の選択線と
    を備えるメモリデバイスであって、
    前記メモリデバイスは、前記第2のディジット線の基準信号に少なくとも部分的に基づいて、1つ以上の処理変化、1つ以上の消耗関連の変化、又はそれらの両方を追跡するように構成される、メモリデバイス
  2. 前記ワード線および前記第2のディジット線と結合された第2のメモリセルであって、第2の記憶コンポーネントと、第5のトランジスタと、第6のトランジスタとを備える第2のメモリセルをさらに備え、前記第4のトランジスタが、前記第2のディジット線を前記センスコンポーネントと選択的に結合するように構成される、請求項1に記載のメモリデバイス。
  3. 前記第5のトランジスタの第5のゲートと結合され、かつ、前記第2のメモリセルを前記センスコンポーネントと結合するように構成された第3の選択線をさらに備える、請求項2に記載のメモリデバイス。
  4. 前記センスコンポーネントは、前記第1のディジット線から受け取られる第1の信号および前記第2のディジット線から受け取られる第2の信号に少なくとも部分的に基づいて前記メモリセルに記憶された論理状態を決定するように構成され、前記センスコンポーネントが、前記第1の信号および前記第2の信号に少なくとも部分的に基づいて差動センシング動作を実施する、請求項1に記載のメモリデバイス。
  5. 前記第1のトランジスタが前記記憶コンポーネントと結合され、前記第2のトランジスタが前記第1のディジット線と結合される、請求項1に記載のメモリデバイス。
  6. 前記記憶コンポーネントが、前記プレート線と結合された第1の端と、前記第1のトランジスタまたは前記第2のトランジスタの一方と結合された第2の端とを備える、請求項5に記載のメモリデバイス。
  7. 前記記憶コンポーネントが、前記第1のトランジスタまたは前記第2のトランジスタの一方と結合された第1の端と、前記プレート線と結合された第2の端とを備える、請求項5に記載のメモリデバイス。
  8. 前記第1のトランジスタの第1のノードが前記記憶コンポーネントと結合され、前記第1のトランジスタの第2のノードが前記第1のディジット線と結合される、請求項1に記載のメモリデバイス。
  9. 前記記憶コンポーネントが、前記第2のトランジスタと結合された第1の端と、前記第1のトランジスタと結合された第2の端とを備える、請求項8に記載のメモリデバイス。
  10. 前記記憶コンポーネントが、前記第1のトランジスタと結合された第1の端と、前記第2のトランジスタと結合された第2の端とを備える、請求項8に記載のメモリデバイス。
  11. 前記第2のトランジスタの第1のノードが前記プレート線と結合され、前記第2のトランジスタの第2のノードが前記記憶コンポーネントと結合される、請求項1に記載のメモリデバイス。
  12. 前記第1のディジット線が、前記第1の選択線と平行な方向に延びる、請求項1に記載のメモリデバイス。
  13. ワード線と結合されたメモリセルの第1のトランジスタをアクティブ化するように前記ワード線をバイアスすることと、
    第1の選択線と結合された前記メモリセルの第2のトランジスタをアクティブ化するように前記第1の選択線をバイアスすることと、
    前記ワード線および前記第1の選択線をバイアスすることに少なくとも部分的に基づいて、前記メモリセルの記憶コンポーネントを第1のディジット線と結合することであって、前記記憶コンポーネントは、前記記憶コンポーネントに結合されたプレート線の上面に対して下方に凹んでいる、ことと、
    前記第1のディジット線と結合された第3のトランジスタおよび第2のディジット線と結合された第4のトランジスタをアクティブ化するように第2の選択線をバイアスすることと、
    前記第2の選択線をバイアスすることに少なくとも部分的に基づいて、前記第1のディジット線をセンスコンポーネントと結合すると共に、前記第2のディジット線を前記センスコンポーネントと結合することと、
    前記センスコンポーネントを使用して、前記第1のディジット線から受け取られる第1の信号および前記第2のディジット線から受け取られる第2の信号に少なくとも部分的に基づいて、前記メモリセル上に記憶される論理状態を決定することと
    前記第2のディジット線の基準信号に少なくとも部分的に基づいて、1つ以上の処理変化、1つ以上の消耗関連の変化、又はそれらの両方を追跡することと、
    を含む方法。
  14. 前記第2の選択線をバイアスすることに少なくとも部分的に基づいて前記第2のディジット線から1つ以上のメモリセルを結合解除するように第3の選択線をバイアスすることをさらに含み、前記第2の信号が、前記第2のディジット線が前記1つ以上のメモリセルから結合解除されることに少なくとも部分的に基づく、請求項13に記載の方法。
  15. 前記センスコンポーネントによって、前記センスコンポーネントによって前記論理状態を決定することに少なくとも部分的に基づいて、前記メモリセルの前記記憶コンポーネントに記憶された前記論理状態を出力することをさらに含む、請求項13に記載の方法。
  16. 前記第3のトランジスタの第1のゲートおよび前記第4のトランジスタの第2のゲートに電圧を印加することと、
    前記電圧を印加することに少なくとも部分的に基づいて、前記センスコンポーネントの第1のノードを前記第1のディジット線と結合すると共に、前記センスコンポーネントの第2のノードを前記第2のディジット線と結合することと
    をさらに含む、請求項13に記載の方法。
  17. 前記メモリセルに対して読み出し動作を実施する命令を含むコマンドを受け取ることをさらに含み、前記ワード線、前記第1の選択線、および前記第2の選択線をバイアスすることが、前記コマンドを受け取ることに少なくとも部分的に基づく、請求項13に記載の方法。
  18. メモリセルのアレイと、
    前記メモリセルのアレイに結合されたコントローラと
    を備える装置であって、
    前記コントローラは、
    ワード線と結合されたメモリセルの第1のトランジスタをアクティブ化するように前記ワード線をバイアスすることと
    第1の選択線と結合された前記メモリセルの第2のトランジスタをアクティブ化するように前記第1の選択線をバイアスすることと
    前記ワード線および前記第1の選択線をバイアスすることに少なくとも部分的に基づいて、前記メモリセルの記憶コンポーネントを第1のディジット線と結合することであって、前記記憶コンポーネントは、前記記憶コンポーネントに結合されたプレート線の上面に対して下方に凹んでいる、ことと
    前記第1のディジット線と結合された第3のトランジスタおよび第2のディジット線と結合された第4のトランジスタをアクティブ化するように第2の選択線をバイアスすることと
    前記第2の選択線をバイアスすることに少なくとも部分的に基づいて、前記第1のディジット線をセンスコンポーネントと結合すると共に、前記第2のディジット線を前記センスコンポーネントと結合することと
    前記センスコンポーネントを使用して、前記第1のディジット線から受け取られた第1の信号および前記第2のディジット線から受け取られた第2の信号に少なくとも部分的に基づいて、前記メモリセル上に記憶され論理状態を決定することと、
    前記第2のディジット線の基準信号に少なくとも部分的に基づいて、1つ以上の処理変化、1つ以上の消耗関連の変化、又はそれらの両方を追跡することと、
    を行うように動作可能である装置。
  19. 前記コントローラが、前記第2の選択線をバイアスすることに少なくとも部分的に基づいて前記第2のディジット線から1つ以上のメモリセルを結合解除するように第3の選択線をバイアスするようにさらに動作可能であり、前記第2の信号が、前記第2のディジット線が前記1つ以上のメモリセルから結合解除されることに少なくとも部分的に基づく、請求項18に記載の装置。
  20. 前記コントローラが、前記センスコンポーネントによって、前記センスコンポーネントによって前記論理状態を決定することに少なくとも部分的に基づいて、前記メモリセルの前記記憶コンポーネントに記憶された前記論理状態を出力するようにさらに動作可能である、請求項18に記載の装置。
  21. 前記コントローラが、
    前記第3のトランジスタの第1のゲートおよび前記第4のトランジスタの第2のゲートに電圧を印加し、
    前記電圧を印加することに少なくとも部分的に基づいて、前記センスコンポーネントの第1のノードを前記第1のディジット線と結合すると共に、前記センスコンポーネントの第2のノードを前記第2のディジット線と結合する
    ようにさらに動作可能である、請求項18に記載の装置。
  22. 前記コントローラが、前記メモリセルに対して読み出し動作を実施する命令を含むコマンドを受け取るようにさらに動作可能であり、前記ワード線、前記第1の選択線、および前記第2の選択線をバイアスすることが、前記コマンドを受け取ることに少なくとも部分的に基づく、請求項18に記載の装置。
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