JP7443097B2 - 半導体ウェハおよび半導体チップ - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態の半導体ウェハ1をおもて面側から見た平面図の一例である。
第2の実施形態では、第1構造体の別の例を説明する。第2の実施形態の第1構造体を、誘導構造5aと表記する。また、誘導構造5aは、一例として2重に設けられていることとする。そして、チップ領域2側に設けられた誘導構造5aを誘導構造5a-1と表記し、ダイシングライン4側に設けられた誘導構造5aを誘導構造5a-2と表記する。なお、1重の誘導構造5aが設けられていてもよいし、3重以上の誘導構造5aが設けられていてもよい。
第3の実施形態では、第1構造体のさらに別の例を説明する。第3の実施形態の第1構造体を、誘導構造5bと表記する。また、誘導構造5bは、一例として2重に設けられていることとし、チップ領域2側に設けられた誘導構造5bを誘導構造5b-1と表記し、ダイシングライン4側に設けられた誘導構造5bを誘導構造5b-2と表記する。なお、1重の誘導構造5bが設けられていてもよいし、3重以上の誘導構造5bが設けられていてもよい。
誘導構造5,5a,5bが半導体ウェハ1に深く埋められている場合、クラックが誘導構造5,5a,5bに沿って伸展した後、クラックが誘導構造5,5a,5bの上端から再びチップ領域2に向かって伸展する可能性がある。そのような場合、誘導構造5,5a,5bの上方または誘導構造5,5a,5bとチップ領域2のエッジとの間に、デバイス層11の表面にシリコン基板10に向かって窪んでいる溝部が設けられることで、クラックがチップ領域2に向かうことを防ぐことができる。
Claims (17)
- 回路素子が設けられた複数の第1領域と、前記複数の第1領域の間の第2領域と、が形成され、
前記複数の第1領域のエッジと、前記第2領域のうちの前記複数の第1領域の個片化の際に切断される第3領域と、の間に、基板の表面に垂直な第1方向に延びる第1凹部に第1埋め込み材料が埋め込まれた第1構造体を備え、
前記第1埋め込み材料は半導体ウェハの表面方向に沿って積層され前記第1方向に延在する第1膜と前記第1膜の内側に形成された第2膜とを含み、
前記第1膜と前記第2膜との間の密着力は、前記第1膜と前記第1凹部の外側にあり隣接して直接接触する膜との密着力よりも小さい、
半導体ウェハ。 - 前記基板上にデバイス層が設けられ、
前記第1構造体は、前記デバイス層を前記第1方向に向かって延びる、
請求項1に記載の半導体ウェハ。 - 前記第1構造体の上方かまたは前記第1構造体と前記エッジとの間に、前記デバイス層の表面から前記基板に向かって窪んでいる溝部が設けられている、
請求項2に記載の半導体ウェハ。 - 前記第1膜または前記第2膜は、前記第1膜と前記隣接して直接接触する膜よりも靱性が小さい、
請求項1に記載の半導体ウェハ。 - 前記第1膜はWSi、W、SiN、SiCN、およびa-Siから選択された1つによ
って構成され、
前記第2膜はSiO2によって構成される請求項1に記載の半導体ウェハ。 - 前記第1領域は、前記第1方向に延びる第2凹部に第2埋め込み材料が埋め込まれた第2構造体を備え、
前記第1凹部と前記第2凹部とは共通の工程によって形成されている、
請求項1~5の何れか一項に記載の半導体ウェハ。 - 前記第2構造体は、前記複数の第1領域の前記エッジに沿って設けられた壁状の構造体である、
請求項6に記載の半導体ウェハ。 - 前記第1埋め込み材料の組成は前記第2埋め込み材料の組成と等しい、
請求項7に記載の半導体ウェハ。 - 前記第1構造体は、前記複数の第1領域のそれぞれを囲むように前記第2領域に形成された壁状の構造体である、請求項1~8の何れか一項に記載の半導体ウェハ。
- 回路素子が設けられた第1領域と、前記第1領域の周囲に形成された第2領域と、を含む半導体基板と、
前記半導体基板に形成されたデバイス層と、
前記第2領域の前記デバイス層に形成され、前記半導体基板の表面に垂直な第1方向に延びる第1凹部に第1埋め込み材料が埋め込まれた第1構造体と、
を備え、
前記第1埋め込み材料は半導体ウェハの表面方向に沿って積層され前記第1方向に延在する第1膜と前記第1膜の内側に形成された第2膜とを含み、
前記第1膜と前記第2膜との間の密着力は、前記第1膜と前記第1凹部の外側にあり隣接して直接接触する膜との密着力よりも小さい、
半導体チップ。 - 前記第2領域の外周部に、前記第1方向に延在する切断面と、前記第1方向に垂直な剥離面と、前記第1方向に延在する露出した前記第1膜と、を有する、
請求項10に記載の半導体チップ。 - 前記第1膜は、前記第1方向の1つの向きに向かうにつれて前記第1領域側から前記第2領域側または前記第2領域側から前記第1領域側に傾斜する傾斜面を有する、
請求項11に記載の半導体チップ。 - 前記第1膜は多孔質材料によって構成されている、
請求項11に記載の半導体チップ。 - 前記第1膜は、WSi、W、SiN、SiCN、またはa-Siによって構成されている、
請求項11に記載の半導体チップ。 - 前記第1膜の組成は、前記第1埋め込み材料の組成の少なくとも一部を含む、請求項11に記載の半導体チップ。
- 前記第1埋め込み材料の中にボイドが形成されている、
請求項1に記載の半導体ウェハ。 - 前記第1埋め込み材料の中にボイドが形成されている、
請求項10に記載の半導体チップ。
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