JP7406943B2 - 研磨装置、研磨方法、および基板処理装置 - Google Patents
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Description
一態様では、前記洗浄流体ノズルは、2流体ジェットを前記基板のデバイス面に向けて噴射させる2流体ジェットノズルである。
一態様では、前記非接触式洗浄機構は、オゾン発生器をさらに含み、前記洗浄流体ノズルは、オゾン水、またはオゾンマイクロバブル水を前記基板のデバイス面に向けて噴射する。
一態様では、前記洗浄流体ノズルは、メガソニック水または薬液を前記基板のデバイス面に向けて噴射する。
一態様では、前記研磨装置は、前記基板のデバイス面に保護液を供給する保護液供給ノズルをさらに備える。
一態様では、前記研磨装置は、前記非接触式洗浄機構、および前記保護液供給ノズルの動作を制御する動作制御部をさらに備え、前記動作制御部は、前記研磨具で前記基板の非デバイス面を研磨している間に、前記基板のデバイス面に前記保護液供給ノズルから前記保護液を供給しつつ、さらに、前記非接触式洗浄機構によって、前記基板のデバイス面を洗浄する。
一態様では、前記研磨装置は、前記研磨具、および前記非接触式洗浄機構の動作を制御する動作制御部をさらに備え、前記動作制御部は、前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の開始よりも前に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を開始し、前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の終了後に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を終了する。
一態様では、前記研磨装置は、前記研磨具、および前記非接触式洗浄機構の動作を制御する動作制御部をさらに備え、前記動作制御部は、前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の開始と同時に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を開始し、前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の終了と同時に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を終了する。
一態様では、前記研磨装置は、前記研磨具、および前記非接触式洗浄機構の動作を制御する動作制御部をさらに備え、前記動作制御部は、前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の開始後に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を開始し、前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の終了後に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を終了する。
一態様では、前記洗浄流体ノズルは、2流体ジェットを前記基板のデバイス面に向けて噴射する。
一態様では、前記洗浄流体ノズルは、オゾン水、またはオゾンマイクロバブル水を前記基板のデバイス面に向けて噴射する。
一態様では、前記洗浄流体ノズルは、メガソニック水または薬液を前記基板のデバイス面に向けて噴射する。
一態様では、前記基板の非デバイス面を研磨している間、前記基板のデバイス面にさらに保護液が供給される。
一態様では、前記基板の非デバイス面を研磨している間に、前記基板のデバイス面に前記保護液を供給しつつ、さらに、前記非接触式洗浄機構によって、前記基板のデバイス面を洗浄する。
一態様では、前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の開始よりも前に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を開始し、前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の終了後に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を終了する。
一態様では、前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の開始と同時に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を開始し、前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の終了と同時に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を終了する。
一態様では、前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の開始後に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を開始し、前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の終了後に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を終了する。
一態様では、前記洗浄ユニットは、前記基板の非デバイス面のみを洗浄する。
図1は、研磨装置の一実施形態を示す模式図である。図1に示す研磨装置は、基板の一例であるウェーハWを保持し、その軸心を中心として回転させる基板保持部10と、研磨具の一例である研磨テープ31をこの基板保持部10に保持されたウェーハWの第1の面1に接触させてウェーハWの第1の面1を研磨する研磨ヘッド50と、研磨テープ31を研磨ヘッド50に供給する研磨テープ供給機構41と、研磨ヘッド50および研磨テープ供給機構41を並進回転運動させる並進回転運動機構60とを備えている。
11 ローラー
12 ローラー回転機構
27 リンス液供給ノズル
28 保護液供給ノズル
30 非接触式洗浄機構
31 研磨テープ
32 ノズル移動機構
33 洗浄流体ノズル
34 ノズルアーム
35 ノズル旋回軸
36 モータ(駆動機)
37 洗浄流体ライン
38 流量調整器
40 洗浄流体供給装置
41 研磨テープ供給機構
46 テープ送り装置
50 研磨ヘッド
52 加圧機構
53a,53b,53c,53d,53e,53f,53g ガイドローラー
55 研磨ブレード
56 研磨パッド
57 バックプレート
60 並進回転運動機構
85 オゾン発生器
86 電解水生成機
127 研磨ユニット(研磨装置)
133 システムコントローラ
140 第1仮置き台
141 第2仮置き台
150 第3の搬送ロボット
151 第4の搬送ロボット
172 洗浄ユニット
173 乾燥ユニット
180 動作制御部
Claims (20)
- 基板をそのデバイス面が上を向いた状態で保持して、該基板を回転させる基板保持部と、
前記基板の非デバイス面に接触して、該基板の非デバイス面を研磨する研磨具と、
前記研磨具で前記基板の非デバイス面を研磨している間に、前記基板のデバイス面を洗浄する非接触式洗浄機構と、
前記基板のデバイス面に保護液を供給する保護液供給ノズルと、
前記非接触式洗浄機構、および前記保護液供給ノズルの動作を制御する動作制御部と、を備え、
前記動作制御部は、前記研磨具で前記基板の非デバイス面を研磨している間に、前記基板のデバイス面に前記保護液供給ノズルから前記保護液を供給しつつ、さらに、前記非接触式洗浄機構によって、前記基板のデバイス面を洗浄することを特徴とする研磨装置。 - 前記非接触式洗浄機構は、
洗浄流体を前記基板のデバイス面に向けて噴射する洗浄流体ノズルと、
前記洗浄流体ノズルを、前記基板のデバイス面の上方で移動させるノズル移動機構と、を有することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記洗浄流体ノズルは、2流体ジェットを前記基板のデバイス面に向けて噴射させる2流体ジェットノズルであることを特徴とする請求項2に記載の研磨装置。
- 前記非接触式洗浄機構は、オゾン発生器をさらに含み、
前記洗浄流体ノズルは、オゾン水、またはオゾンマイクロバブル水を前記基板のデバイス面に向けて噴射することを特徴とする請求項2に記載の研磨装置。 - 前記非接触式洗浄機構は、電解水生成機をさらに含み、
前記洗浄流体ノズルは、電解水を前記基板のデバイス面に向けて噴射することを特徴とする請求項2に記載の研磨装置。 - 前記洗浄流体ノズルは、メガソニック水または薬液を前記基板のデバイス面に向けて噴射することを特徴とする請求項2に記載の研磨装置。
- 前記動作制御部は、前記研磨具の動作を制御可能に構成されており、
前記動作制御部は、
前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の開始よりも前に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を開始し、
前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の終了後に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を終了することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記動作制御部は、前記研磨具の動作を制御可能に構成されており、
前記動作制御部は、
前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の開始と同時に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を開始し、
前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の終了と同時に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を終了することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記動作制御部は、前記研磨具の動作を制御可能に構成されており、
前記動作制御部は、
前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の開始後に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を開始し、
前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の終了後に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を終了することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 基板を、そのデバイス面が上を向いた状態で保持して、該基板を回転させ、
前記回転している基板の非デバイス面に研磨具を押し付けて、該非デバイス面を研磨し、
前記基板の非デバイス面を研磨している間に、前記基板のデバイス面に保護液を供給しつつ、さらに、前記基板のデバイス面を非接触式洗浄機構で洗浄することを特徴とする研磨方法。 - 前記基板のデバイス面の洗浄は、洗浄流体ノズルを前記基板のデバイス面の上方で移動させながら、該洗浄流体ノズルから洗浄流体を前記基板のデバイス面に噴射することにより行われることを特徴とする請求項10に記載の研磨方法。
- 前記洗浄流体ノズルは、2流体ジェットを前記基板のデバイス面に向けて噴射することを特徴とする請求項11に記載の研磨方法。
- 前記洗浄流体ノズルは、オゾン水、またはオゾンマイクロバブル水を前記基板のデバイス面に向けて噴射することを特徴とする請求項11に記載の研磨方法。
- 前記洗浄流体ノズルは、電解水を前記基板のデバイス面に向けて噴射することを特徴とする請求項11に記載の研磨方法。
- 前記洗浄流体ノズルは、メガソニック水または薬液を前記基板のデバイス面に向けて噴射することを特徴とする請求項11に記載の研磨方法。
- 前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の開始よりも前に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を開始し、
前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の終了後に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を終了することを特徴とする請求項10に記載の研磨方法。 - 前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の開始と同時に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を開始し、
前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の終了と同時に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を終了することを特徴とする請求項10に記載の研磨方法。 - 前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の開始後に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を開始し、
前記研磨具による前記基板の非デバイス面の研磨の終了後に、前記非接触式洗浄機構による前記基板のデバイス面の洗浄を終了することを特徴とする請求項10に記載の研磨方法。 - 請求項1乃至9のいずれか一項に記載の研磨装置と、
前記研磨装置によって研磨された基板を洗浄する洗浄ユニットと、
前記洗浄ユニットで洗浄された基板を乾燥させる乾燥ユニットと、を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記洗浄ユニットは、前記基板の非デバイス面のみを洗浄することを特徴とする請求項19に記載の基板処理装置。
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