JP2006303143A - 基板の洗浄装置、及び洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 洗浄装置100は、基板Wを支持する支持部としての回転テーブル13T、オゾン水を凍結してオゾン氷にするオゾン氷生成部としてのオゾン氷生成器23、オゾン氷を融解してオゾン液にするオゾン氷融解部としてのオゾン氷融解器24、回転テーブル13Tに支持された基板Wにオゾン液を吐出する吐出部としての吐出ノズル27と、を備えている。そして、洗浄装置100は、オゾン氷を融解しながらオゾン液を生成することで、オゾン濃度の均一なオゾン液を基板Wに吐出して、オゾンの強い酸化・分解作用によって、基板Wを洗浄する。
【選択図】 図1
Description
前記オゾン氷粒状粉の大きさが、1μm以上3mm以下であることが望ましい。
本発明の実施形態について詳細に説明する。図1は、第1実施形態における洗浄装置100の全体構成を示す概略説明図である。
次に、本発明の第2実施形態について詳細に説明する。第2実施形態は、前述の第1実施形態におけるオゾン液に変えて、吐出ノズル27からオゾン氷粒状粉を吐出させるオゾン液生成部20の構成、および、機構部10の構成が一部異なる。なお、前述の第1実施形態と同じ、あるいは同様な機能を有する構成部分(要素)には同一符号を付し、同様な工程についても、説明を省略する。
(2)オゾン氷粒状粉を基板W上に加圧噴射することで、基板W上に付着した有機物などを物理的な作用で除去して洗浄できる。さらに、オゾン氷粒状粉が基板Wに衝突するときに発生する熱でオゾン氷粒状粉が融解してオゾン液に変換するから、オゾン液中のオゾンのケミカル的な作用によっても洗浄できる。よって、物理的な作用とケミカル的な作用との相乗作用によって、基板W上に付着した有機物などをむらなく除去できるので、基板Wの清浄度がより高くなる。
(3)基板Wを積極的に加熱することで、基板W上に付着したオゾン氷粒状粉をより早くオゾン液に変換できることとなり、オゾン液中に含まれているオゾンのケミカル的な作用による洗浄が促進されるので、基板Wを洗浄する時間が短縮でき、効率的である。
(4)オゾン氷粒状粉の大きさが、1μm以上3mm以下なので、基板W上に付着した有機物を除去しやすくなるので、洗浄処理時間をより短縮できる。
(5)加圧噴射の圧力が、0.01MPa以上なので、基板W上に付着した有機物を吹き飛ばすことができる。有機物を吹き飛ばすことによって、基板W上に付着した有機物の数量が減少するので、洗浄処理時間をさらに短縮できる。
Claims (9)
- 基板の洗浄装置であって、
前記基板を支持する支持部と、
オゾン水を凍結させオゾン氷にするオゾン氷生成部と、
前記オゾン氷を融解させオゾン液にするオゾン氷融解部と、
前記支持部に支持された前記基板に前記オゾン液を吐出する吐出部と、を備え、
前記オゾン氷を融解しながら前記オゾン液を吐出することを特徴とする基板の洗浄装置。 - 基板の洗浄装置であって、
前記基板を支持する支持部と、
オゾン水を凍結させオゾン氷にするオゾン氷生成部と、
前記オゾン氷を粉砕させオゾン氷粒状粉にするオゾン氷粒状粉生成部と、
前記支持部に支持された前記基板に前記オゾン氷粒状粉を加圧噴射する加圧噴射部と、を備えていることを特徴とする基板の洗浄装置。 - 請求項2に記載の基板の洗浄装置であって、
前記支持部に支持された前記基板を加熱する加熱部をさらに備えていることを特徴とする基板の洗浄装置。 - 基板の洗浄方法であって、
オゾン水を凍結させオゾン氷にする工程と、
前記オゾン氷を融解させオゾン液にする工程と、
前記基板に前記オゾン液を吐出する工程と、を備え、
前記オゾン氷を融解しながら前記オゾン液を吐出することを特徴とする基板の洗浄方法。 - 基板の洗浄方法であって、
オゾン水を凍結させオゾン氷にする工程と、
前記オゾン氷を粉砕させオゾン氷粒状粉にする工程と、
前記基板に前記オゾン氷粒状粉を加圧噴射する工程と、
を備えていることを特徴とする基板の洗浄方法。 - 請求項5に記載の基板の洗浄方法であって、
前記基板を加熱する工程をさらに備えていることを特徴とする基板の洗浄方法。 - 請求項5または請求項6に記載の基板の洗浄方法において、
前記オゾン氷粒状粉を加圧噴射後に前記基板を加熱する工程を備えていることを特徴とする基板の洗浄方法。 - 請求項5〜請求項7のいずれか一項に記載の基板の洗浄方法において、
前記オゾン氷を粉砕させオゾン氷粒状粉にする工程では、
前記オゾン氷粒状粉の大きさが、1μm以上3mm以下であることを特徴とする基板の洗浄方法。 - 請求項5〜請求項8のいずれか一項に記載の基板の洗浄方法において、
前記オゾン氷粒状粉を加圧噴射する工程では、
前記加圧噴射の圧力が、0.01MPa以上であることを特徴とする基板の洗浄方法。
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