JP7398875B2 - X線分析装置及び方法 - Google Patents
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Description
X線を生成するX線源と、
サンプルを支持するように構成されたサンプルステージであり、X線源によって生成されたX線が、サンプルを照射する入射X線ビームを定めるように、X線源及びサンプルステージが配置され、入射X線ビームが、X線源から入射X線ビーム経路に沿ってサンプルに導かれる、サンプルステージと、
入射X線ビーム経路内でX線源とサンプルとの間に配置された第1のビームマスクコンポーネントであり、本体と、入射X線ビームの大きさ及び/又は発散を制限する第1の開口と、第2の開口と、を有する第1のビームマスクコンポーネントと、
を有し、
第1のビームマスクコンポーネントは、第1の設定及び第2の設定を有し、
第1の設定においては、第1の開口が、入射X線ビームの大きさ及び/又は発散を制限するように入射X線ビーム経路内に配置され、且つ第2の開口が、入射X線ビーム経路の外に配置され、
第2の設定においては、第2の開口が、入射X線ビーム経路内に配置され、且つ本体及び第1の開口が、入射X線ビーム経路の外に配置され、且つ
当該X線分析装置は更に、
入射X線ビームによって交わられる平面内で前記第1のビームマスクコンポーネントを動かすことによって、第1のビームマスクコンポーネントの設定を第1の設定と第2の設定との間で変更するように、第1ビームマスクコンポーネントアクチュエータを制御するように構成されたコントローラ、
を有する。
第1のビームマスクコンポーネントとサンプルとの間に配置された第2のビームマスクコンポーネントであり、本体と、入射X線ビームの大きさ及び/又は発散を制限する第1の開口と、第2の開口と、を有する第2のビームマスクコンポーネント、
を有し、
第2のビームマスクコンポーネントは、第1の設定及び第2の設定を有し、
該第1の設定においては、該第1の開口が、入射X線ビーム経路内に配置され、且つ該第2の開口が、入射X線ビーム経路の外に配置され、
該第2の設定においては、該第2の開口が、入射X線ビーム経路内に配置され、且つ該本体及び該第1の開口が、入射X線ビーム経路の外に配置され、且つ
コントローラは、入射X線ビームによって交わられる平面内で第2のビームマスクコンポーネントを動かすことによって、第2のビームマスクコンポーネントの設定を第1の設定と第2の設定との間で変更するように、第2ビームマスクコンポーネントアクチュエータを制御するように構成される。
第1の測定モードにおいて、第1のビームマスクコンポーネントは第1の設定にあり、第2のビームマスクコンポーネントは第1の設定にあり、
第2の測定モードにおいて、第1のビームマスクコンポーネントは第1の設定にあり、第2のビームマスクコンポーネントは第2の設定にあり、
第3の測定モードにおいて、第1のビームマスクコンポーネントは第2の設定にあり、第2のビームマスクコンポーネントは第2の設定にあり、
第4の測定モードにおいて、第1のビームマスクコンポーネントは第2の設定にあり、第2のビームマスクコンポーネントは第1の設定にある。
サンプルを入射X線ビームに対して移動させるように当該X線分析装置を制御し、
X線の強度における第1の変化を検出することによって、サンプルの第1のエッジを検出し、
X線の強度における第2の変化を検出することによって、サンプルの第2のエッジを検出し、
第1のエッジと第2のエッジとの間の距離を計算することによって、サンプルの第1の寸法を計算する、
ことによって実行するように構成され得る。
パラメータ計算手順を実行した後に、第1のビームマスクコンポーネントを第2の設定へと動かすように第1ビームマスクコンポーネントアクチュエータを制御し、且つ
好ましくは、パラメータ計算手順を実行した後に、第2のビームマスクコンポーネントを第2の設定へと動かすように第2ビームマスクコンポーネントアクチュエータを制御する
ように構成され得る。
サンプルの画像を撮影するようにカメラを制御し、且つ
サンプルの画像を分析して、サンプルの寸法を計算する
ように構成される。
サンプルを第1の位置から第2の位置まで回転させるように当該X線分析装置を制御し、
第2の寸法に対して実質的に平行な方向にサンプルを入射X線ビームに対して移動させるように当該X線分析装置を制御し、
X線の強度における第1の変化を検出することによって、サンプルの第3のエッジを検出し、
X線の強度における第2の変化を検出することによって、サンプルの第4のエッジを検出し、
第3のエッジと第4のエッジとの間の距離を計算することによって、サンプルの第2の寸法を計算し、
サンプルを第2の位置から第1の位置まで回転させるように当該X線分析装置を制御する
ことを有する。
サンプルを入射X線ビームに対して移動させ、
X線の強度における第1の変化を検出することによって、サンプルの第1のエッジを検出し、
X線の強度における第2の変化を検出することによって、サンプルの第2のエッジを検出し、
第1のエッジと第2のエッジとの間の距離を計算することによって、サンプルの寸法を計算する
ことによって、パラメータ計算手順を実行することを有する。
Claims (23)
- X線分析装置であって、
X線を生成するX線源と、
サンプルを支持するように構成されたサンプルステージであり、前記X線源によって生成されたX線が、前記サンプルを照射する入射X線ビームを定めるように、前記X線源及び当該サンプルステージが配置され、前記入射X線ビームが、前記X線源から入射X線ビーム経路に沿って前記サンプルに導かれる、サンプルステージと、
前記入射X線ビーム経路内で前記X線源と前記サンプルとの間に配置された第1のビームマスクコンポーネントであり、本体と、前記入射X線ビームの大きさ及び/又は発散を制限する第1の開口と、前記入射X線ビームの大きさ及び/又は発散を制限しない第2の開口と、を有する第1のビームマスクコンポーネントと、
を有し、
前記第1のビームマスクコンポーネントは、第1の設定及び第2の設定を有し、
前記第1の設定においては、前記第1の開口が、前記入射X線ビームの大きさ及び/又は発散を制限するように前記入射X線ビーム経路内に配置され、且つ前記第2の開口が、前記入射X線ビーム経路の外に配置され、
前記第2の設定においては、前記第2の開口が、前記入射X線ビーム経路内に配置され、且つ前記本体及び前記第1の開口が、前記入射X線ビーム経路の外に配置され、且つ
当該X線分析装置は更に、
前記入射X線ビームによって交わられる平面内で前記第1のビームマスクコンポーネントを動かすことによって、前記第1のビームマスクコンポーネントの設定を前記第1の設定と前記第2の設定との間で変更するように、第1ビームマスクコンポーネントアクチュエータを制御するように構成されたコントローラ、
を有し、
前記コントローラは、前記サンプルの寸法に関するパラメータを計算し、該計算されたパラメータに基づいて前記第1のビームマスクコンポーネントの前記設定を変更するように構成され、
当該X線分析装置は更にX線検出器を有し、前記コントローラは、前記サンプルの第1の寸法を計算するパラメータ計算手順を、
前記サンプルを前記入射X線ビームに対して移動させるように当該X線分析装置を制御し、
X線の強度における第1の変化を検出することによって、前記サンプルの第1のエッジを検出し、
X線の強度における第2の変化を検出することによって、前記サンプルの第2のエッジを検出し、
前記第1のエッジと前記第2のエッジとの間の距離を計算することによって、前記サンプルの前記第1の寸法を計算する、
ことによって実行するように構成される、
X線分析装置。 - 当該X線分析装置は更に、
前記第1のビームマスクコンポーネントと前記サンプルとの間に配置された第2のビームマスクコンポーネントであり、本体と、前記入射X線ビームの大きさ及び/又は発散を制限する第1の開口と、第2の開口と、を有する第2のビームマスクコンポーネント、
を有し、
前記第2のビームマスクコンポーネントは、第1の設定及び第2の設定を有し、
該第1の設定においては、該第1の開口が、前記入射X線ビーム経路内に配置され、且つ該第2の開口が、前記入射X線ビーム経路の外に配置され、
該第2の設定においては、該第2の開口が、前記入射X線ビーム経路内に配置され、且つ該本体及び該第1の開口が、前記入射X線ビーム経路の外に配置され、且つ
前記コントローラは、前記入射X線ビームによって交わられる平面内で前記第2のビームマスクコンポーネントを動かすことによって、前記第2のビームマスクコンポーネントの設定を前記第1の設定と前記第2の設定との間で変更するように、第2ビームマスクコンポーネントアクチュエータを制御するように構成される、
請求項1に記載のX線分析装置。 - 前記コントローラは、第1の測定モード、第2の測定モード、第3の測定モード、及び第4の測定モードのうちのいずれか2つの間で、前記第1のビームマスクコンポーネント及び前記第2のビームマスクコンポーネントをそれぞれ動かすように、前記第1ビームマスクコンポーネントアクチュエータ及び前記第2ビームマスクコンポーネントアクチュエータを制御するように構成され、
前記第1の測定モードにおいて、前記第1のビームマスクコンポーネントは前記第1の設定にあり、前記第2のビームマスクコンポーネントは前記第1の設定にあり、
前記第2の測定モードにおいて、前記第1のビームマスクコンポーネントは前記第1の設定にあり、前記第2のビームマスクコンポーネントは前記第2の設定にあり、
前記第3の測定モードにおいて、前記第1のビームマスクコンポーネントは前記第2の設定にあり、前記第2のビームマスクコンポーネントは前記第2の設定にあり、
前記第4の測定モードにおいて、前記第1のビームマスクコンポーネントは前記第2の設定にあり、前記第2のビームマスクコンポーネントは前記第1の設定にある、
請求項2に記載のX線分析装置。 - 前記コントローラは、前記サンプルの寸法に関するパラメータを計算し、該計算されたパラメータに基づいて前記第1のビームマスクコンポーネント及び/又は前記第2のビームマスクコンポーネントの前記設定を変更するように構成される、請求項2又は3に記載のX線分析装置。
- 前記コントローラは、前記パラメータ計算手順を実行する前に、前記第1のビームマスクコンポーネントを前記第1の設定へと動かすように前記第1ビームマスクコンポーネントアクチュエータを制御し、且つ前記パラメータ計算手順を実行する前に、前記第2のビームマスクコンポーネントを前記第1の設定へと動かすように前記第2ビームマスクコンポーネントアクチュエータを制御するように構成される、請求項4に記載のX線分析装置。
- 前記コントローラは、
前記パラメータ計算手順を実行した後に、前記第1のビームマスクコンポーネントを前記第2の設定へと動かすように前記第1ビームマスクコンポーネントアクチュエータを制御する
ように構成される、請求項5に記載のX線分析装置。 - 前記コントローラは、
前記パラメータ計算手順を実行した後に、前記第2のビームマスクコンポーネントを前記第2の設定へと動かすように前記第2ビームマスクコンポーネントアクチュエータを制御する
ように構成される、請求項5に記載のX線分析装置。 - 当該X線分析装置は更に、前記サンプルを撮像するように構成されたカメラを有し、前記コントローラは、
前記サンプルの画像を撮影するように前記カメラを制御し、且つ
前記サンプルの前記画像を分析して、前記サンプルの寸法を計算する
ように構成される、請求項1乃至7のいずれかに記載のX線分析装置。 - 当該X線分析装置は、前記サンプルからX線を受けるように構成されたX線検出器と、前記サンプルと前記X線検出器との間に配置された調節可能スリットとを有し、前記コントローラは、前記調節可能スリットの開口を制御するように構成される、請求項1乃至8のいずれかに記載のX線分析装置。
- 当該X線分析装置は更に、前記入射X線ビームの発散を制限するための調節可能な発散スリットを有し、前記調節可能な発散スリットは、前記入射X線ビーム経路内に配置され、前記コントローラは、前記調節可能な発散スリットの開口を制御するように構成される、請求項1乃至9のいずれかに記載のX線分析装置。
- 前記コントローラは、前記サンプルの第2の寸法を計算する第2パラメータ計算手順を実行するように構成され、該第2パラメータ計算手順は、
前記サンプルを第1の位置から第2の位置まで回転させるように当該X線分析装置を制御し、
前記第2の寸法に対して実質的に平行な方向に前記サンプルを前記入射X線ビームに対して移動させるように当該X線分析装置を制御し、
X線の強度における第1の変化を検出することによって、前記サンプルの第3のエッジを検出し、
X線の強度における第2の変化を検出することによって、前記サンプルの第4のエッジを検出し、
前記第3のエッジと前記第4のエッジとの間の距離を計算することによって、前記サンプルの前記第2の寸法を計算し、
前記サンプルを前記第2の位置から前記第1の位置まで回転させるように当該X線分析装置を制御する
ことを有する、請求項1に記載のX線分析装置。 - 前記コントローラは、前記コントローラによって計算された前記サンプルの寸法に基づいて、前記調節可能スリットの開口を制御するように構成される、請求項9に記載のX線分析装置。
- 前記第1のビームマスクコンポーネントは、前記第1のビームマスクコンポーネントを回転させることによって、前記第1の設定と前記第2の設定との間で動くことが可能である、請求項2、3、4、5、6、又は7に記載のX線分析装置。
- 前記第2のビームマスクコンポーネントは、前記第2のビームマスクコンポーネントを回転させることによって、前記第1の設定と前記第2の設定との間で動くことが可能である、請求項13に記載のX線分析装置。
- 前記第1のビームマスクコンポーネントは、前記入射X線ビームの大きさ及び/又は発散を制限するための少なくとも2つの開口を有する、請求項2、3、4、5、6、又は7に記載のX線分析装置。
- 前記第1のビームマスクコンポーネント及び/又は前記第2のビームマスクコンポーネントは、前記入射X線ビームに対して実質的に垂直な平面内で動くように構成される、請求項2、3、4、5、6、又は7に記載のX線分析装置。
- 請求項1乃至16のいずれかに記載のX線分析装置を使用する方法であって、
前記サンプルを前記入射X線ビームに対して移動させ、
X線の強度における第1の変化を検出することによって、前記サンプルの第1のエッジを検出し、
X線の強度における第2の変化を検出することによって、前記サンプルの第2のエッジを検出し、
前記第1のエッジと前記第2のエッジとの間の距離を計算することによって、前記サンプルの寸法を計算する
ことによって、パラメータ計算手順を実行することを有する方法。 - 前記パラメータ計算手順を実行した後に、前記第1のビームマスクコンポーネントを前記第2の設定に位置付ける、ことを更に有する請求項17に記載の方法。
- 前記パラメータ計算手順を実行した後に、計算されたパラメータに基づいて第1のビームマスクコンポーネントの設定を選択して、前記第1のビームマスクコンポーネントを前記選択された設定に位置付ける、ことを更に有する請求項17に記載の方法。
- 前記X線分析装置は、前記サンプルからX線を受けるように構成されたX線検出器と、前記サンプルと前記X線検出器との間に配置された調節可能スリットとを有し、当該方法は更に、前記コントローラによって計算された前記寸法に基づいて前記調節可能スリットの開口を調節するように前記X線分析装置を制御することを有する、請求項17乃至19のいずれかに記載の方法。
- 前記X線分析装置は、前記入射X線ビームの発散を制限するための調節可能な発散スリットを有し、当該方法は更に、前記コントローラによって計算された前記寸法に基づいて前記調節可能な発散スリットの開口を調節するように前記X線分析装置を制御する、ことを更に有する請求項17乃至20のいずれかに記載の方法。
- 前記第2のビームマスクコンポーネントは、前記入射X線ビームの大きさ及び/又は発散を制限するための少なくとも2つの開口を有する、請求項15に記載のX線分析装置。
- 前記X線分析装置は、請求項2に記載のX線分析装置であり、当該方法は更に、前記パラメータに基づいて第2のビームマスクコンポーネントの設定を選択して、前記第2のビームマスクコンポーネントを該選択された設定に位置付けることを有する、請求項18に記載の方法。
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