KR200418412Y1 - Ｘ선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치 - Google Patents

Ｘ선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치 Download PDF

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KR200418412Y1 KR2020060007069U KR20060007069U KR200418412Y1 KR 200418412 Y1 KR200418412 Y1 KR 200418412Y1 KR 2020060007069 U KR2020060007069 U KR 2020060007069U KR 20060007069 U KR20060007069 U KR 20060007069U KR 200418412 Y1 KR200418412 Y1 KR 200418412Y1
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Abstract

본 고안은 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 X선원에서 방사되는 X선으로부터 일정한 크기의 에너지를 갖는 X선을 선별하여 측정대상이 되는 샘플 결정체에 입사시킨 후, 반사되는 X선의 에너지를 측정하여 샘플 결정체의 원자 간 거리를 판별함으로써 샘플 결정체의 원자 구조를 분석할 수 있고, 샘플 결정체에 특정 에너지를 갖는 X선을 선별하여 조사함으로써 불필요한 X선으로부터 실험자 및 작업종사자의 X선 피폭을 저감할 수 있는 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치에 관한 것이다.
본 고안에 따른 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치는, X선원과; 상기 X선원으로부터 소정 거리 이격되어 구비되는 제1고정판과; 상기 제1고정판의 일측에 장착되며 상기 X선원으로부터 방사되는 X선을 반사시키는 에너지 선별 결정체와; 상기 제1고정판에 구비되며, 상기 X선원으로부터 방사되는 X선이 상기 에너지 선별 결정체에 입사되는 각도를 조절할 수 있도록 상기 제1고정판을 회동시키는 제1각도조절장치와; 상기 에너지 선별 결정체로부터 반사된 X선의 진행방향을 따라 소정 거리 이격되어 구비되며, 몸체 중심부에 홀이 형성되어 있는 콜리메이터와; 상기 콜리메이터의 후방에 구비되며, 원자 간 거리를 측정하기 위한 샘플 결정체를 장착하기 위한 제2고정판과; 상기 제2고정판에 구비되며, 상기 홀을 통하여 상기 제2고정판에 장착되는 샘플 결정체에 입사되는 X선의 입사각을 조절할 수 있도록 상기 제2고정판을 회동시키는 제2각도조절장치와; 상기 제2고정판으로부터 소정 거 리 이격되어 구비되며, 상기 샘플 결정체로부터 반사되는 X선의 에너지를 검출하기 위한 X선 검출기;를 포함하는 구성으로 이루어진다.
X선, 에너지 선별, 결정체, 브래그의 법칙, 샘플 결정체, 원자 간 거리, 방사선 피폭

Description

Ｘ선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치{An apparatus for measuring the distance between bragg's planes of a crystal using X-ray}
도 1은 본 고안에 따른 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치의 구성을 간략하게 도시한 사시도.
도 2는 본 고안에 따른 결정체의 원자 간 거리 측정 원리를 설명하기 위한 개념도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 방사선실 20 : X선원
30 : 제1고정판 32 : 제1각도조절장치
34 : 에너지 선별 결정체 40 : 콜리메이터
42 : 홀 50 : 차폐막
60 : 제2고정판 62 : 제2각도조절장치
64 : 샘플 결정체 70 : 스테이지
80 : 레일 90 : 마이크로프로세서
100 : X선 검출기
본 고안은 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 X선원에서 방사되는 X선으로부터 일정한 크기의 에너지를 갖는 X선을 선별하여 측정대상이 되는 샘플 결정체에 입사시킨 후, 반사되는 X선의 에너지를 측정하여 샘플 결정체의 원자 간 거리를 판별함으로써 샘플 결정체의 원자 구조를 분석할 수 있고, 실험자 및 방사선 작업종사자의 X선 피폭을 저감할 수 있는 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치에 관한 것이다.
통상 탄소강이나 스테인레스강 등의 금속 신소재를 개발하는 경우 철에 탄소, 산소, 알루미늄, 지르코늄 등의 원소를 미량 첨가한 후 신소재의 특성을 조사하기 위하여 연성, 강성, 휨 등을 조사하게 된다.
이런 경우 X선의 회절 분석기를 이용하여 신소재로 만든 시료에 X선을 조사하고, 시료의 결정 구조에 따른 회절 각도를 이용하여 신소재의 미세 결정 구조를 분석함으로써 신소재의 결정 구조 및 방위 등의 특성을 알 수 있다.
일반적으로 X선원은 진공관 내에 구비되는 필라멘트 형상의 캐소드로부터 가속된 전자빔이 고 에너지 상태로 애노드 상의 타겟 물질에 입사되어 원추형 빔(cone beam) 타입의 X선을 발생시킨다.
통상의 X선 촬영장치는 연속 스펙트럼을 갖는 X선을 방출하고, 이러한 X선 촬영장치에서 방사되는 X선의 에너지 분포는 비교적 넓은 영역에 걸쳐 있으며, 이렇게 에너지 영역이 넓게 분포되면 시료의 결정 구조에 따른 회절 각도를 정밀하게 측정하기 어려워 시료의 결정 구조 및 방위를 정확하게 측정하기 어렵고, 실험자 또는 작업종사자가 불필요한 X선에 과다하게 노출된다는 문제점이 있다.
따라서, 본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 연속 스펙트럼을 갖는 X선 촬영장치에서 특정 에너지를 갖는 X선을 선별하여 결정체의 원자 간 거리를 측정함으로써 결정체의 특성을 파악하는데 도움을 줄 수 있는 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치를 제공하는데 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따른 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치는,
X선원과;
상기 X선원으로부터 소정 거리 이격되어 구비되는 제1고정판과;
상기 제1고정판의 일측에 장착되며 상기 X선원으로부터 방사되는 X선을 반사시키는 에너지 선별 결정체와;
상기 제1고정판에 구비되며, 상기 X선원으로부터 방사되는 X선이 상기 에너지 선별 결정체에 입사되는 각도를 조절할 수 있도록 상기 제1고정판을 회동시키는 제1각도조절장치와;
상기 에너지 선별 결정체로부터 반사된 X선의 진행방향을 따라 소정 거리 이격되어 구비되며, 몸체 중심부에 홀이 형성되어 있는 콜리메이터와;
상기 콜리메이터의 후방에 구비되며, 원자 간 거리를 측정하기 위한 샘플 결정체를 장착하기 위한 제2고정판과;
상기 제2고정판에 구비되며, 상기 홀을 통하여 상기 제2고정판에 장착되는 샘플 결정체에 입사되는 X선의 입사각을 조절할 수 있도록 상기 제2고정판을 회동시키는 제2각도조절장치와;
상기 제2고정판으로부터 소정 거리 이격되어 구비되며, 상기 샘플 결정체로부터 반사되는 X선의 에너지를 검출하기 위한 X선 검출기;
를 포함하여 구성된다.
이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부 도면을 참고로 하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 고안에 따른 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치의 구성을 간략하게 도시한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 고안에 따른 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치는 방사선실(10) 내부에 X선원(20)과 상기 X선원(20)으로부터 소정 거리 이격되어 구비되는 제1고정판(30)과, 상기 제1고정판(30)의 일측에 장착되어 상기 X선원(20)으로부터 방사되는 X선을 반사시키기 위한 에너지 선별 결정체(34)와, 상기 고정판(30)에 구비되어 상기 X선원(20)으로부터 방사되는 X선이 상기 에너지 선별 결정체(34)에 입사되는 각도를 조절할 수 있도록 상기 고정판(30)을 회동시키는 제1각도조절장치(32)와, 상기 에너지 선별 결정체(34)로부터 반사되는 X선의 진행방향으로 소정 거리 이격되어 구비되며, 몸체 중심부에 소정 크기의 홀(42)이 형성되어 있는 콜리메이터(40)와, 상기 콜리메이터(40)와 소정 거리 이격되어 구비되며, 상기 홀(42)을 통해 입사된 X선을 반사시키기 위한 샘플 결정체(64)를 장착하기 위 한 제2고정판(60)과, 상기 제2고정판(60)에 구비되어 상기 홀(42)을 통해 입사된 X선이 상기 샘플 결정체(64)에 입사되는 각도를 조절할 수 있도록 상기 제2고정판(60)을 회동시키는 제2각도조절장치(62)와, 상기 콜리메이터(40)와 제2고정판(60)을 고정시키며, 곡률을 갖는 레일(80) 상부에서 이동 가능하여 상기 에너지 선별 결정체(34)의 표면과 상기 홀(42) 사이에 일정 거리를 유지하면서 상기 에너지 선별 결정체(34)와 홀(42) 간의 각도를 조절하기 위한 스테이지(70)와, 상기 제2고정판(60)에 소정 거리 이격되어 구비되며, 상기 샘플 결정체(64)에서 반사되는 X선의 에너지를 검출하기 위한 X선 검출기(100)를 포함하여 이루어진다.
또한, 본 고안에 따른 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치는 상기 방사선실(10) 외부에 구비되며, 상기 X선원(20), 제1각도조절장치(32), 제2각도조절장치(62), 스테이지(70) 및 X선 검출기(100)에 연결되어 모든 작동을 제어하는 마이크로 프로세서(90)를 더 포함한다. 또한, 상기 마이크로 프로세서(90)는 상기 X선 검출기(100)를 통해 검출된 X선의 에너지와 상기 홀(42)을 통과하여 상기 샘플 결정체(64)로 입사되는 X선의 입사각을 이용하여 샘플 결정체(64)의 원자 간 거리를 산출하여 알려준다.
본 고안에 따른 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치의 구성을 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.
우선, 상기 방사선실(10) 내부에 구비되는 X선원(20)은 진공관 내에 구비되는 필라멘트 형상의 캐소드로부터 가속된 전자빔이 고 에너지 상태로 애노드 상의 타겟 물질에 입사되어 X선을 발생시킨다.
상기 제1고정판(30)은 상기 X선원(20)의 본체에 고정되거나 상기 X선원(20)으로부터 분리되어 구비될 수 있으며, 상기 제1고정판(30)과 상기 X선원(20)은 2㎝ 내지 8㎝ 이격되어 구비된다. 상기 제1고정판(30)이 X선원(20)으로부터 멀어질수록 X선이 원추형빔 형상으로 방사되어 에너지 선별 결정체(34)로 입사될 때의 입사각의 변화폭이 커지고, 이에 따라 특정 입사각으로 입사하는 X선의 선량이 저감되어 같은 각도로 반사되는 X선의 선량 역시 저감되므로, 전체적으로 X선의 이용 효율이 저하되게 된다. 따라서, 이를 해결하기 위해서는 상기 제1고정판(30)을 상기 X선원(20)으로부터 비교적 짧은 거리 내에 위치시키는 것이 바람직하다.
상기 에너지 선별 결정체(34)는 상기 X선원(20)으로부터 방사되는 X선을 반사시키기 위한 것으로서, 원자 간의 거리(d)가 알려진 모든 종류의 결정체가 사용될 수 있다. 상기 에너지 선별 결정체(34)는 원자 간의 거리가 알려진 결정체에 X선을 입사시키면 결정체로 입사되는 입사각과 동일한 크기의 반사각을 갖는 X선은 같은 크기의 파장(즉, 같은 에너지)을 갖는다는 브래그(Bragg) 법칙에 따라, 특정 에너지의 X선을 선별해내기 위해 사용된다. 본 고안에서 사용된 에너지 선별 결정체(34)의 크기는 가로, 세로 길이가 2㎝이고, 두께가 1㎜인 것을 사용하였다.
상기 제1각도조절장치(32)는 상기 제1고정판(30)을 회동시켜 상기 제1고정판(30)의 일측에 장착되는 에너지 선별 결정체(34)에 입사되는 X선의 입사각을 조절한다.
상기 제1각도조절장치(32)는 스텝 모터(step motor)에 의해 회동하여 상기 제1고정판(30)의 각도를 조절하며, 상기 방사선실(10) 외부에 구비되는 마이크로 프로세서(90)에 의해 제어된다.
상기 콜리메이터(40)는 상기 에너지 선별 결정체(34)로부터 반사되는 X선의 진행방향을 따라 20㎝ 내지 40㎝ 이격된 곳에 구비되며, 몸체 중심부에는 상기 에너지 선별 결정체(34)로부터 반사되는 X선을 통과시키기 위한 홀(42)이 형성되어 있다. 상기 콜리메이터(40)는 몸체 중심부에 형성되어 있는 홀(42)과 상기 에너지 선별 결정체(34)가 이루는 각도가 X선원(20)으로부터 방사되는 X선이 상기 에너지 선별 결정체(34)로 입사되는 입사각과 동일한 크기의 각도를 이루도록 위치된다. 또한, 상기 콜리메이터(40)는 상기 에너지 선별 결정체(34)로부터 반사되는 X선 중 상기 X선원(20)에서 방사된 X선이 상기 에너지 선별 결정체(34)로 입사될 때의 각도와 동일한 각도를 갖는 X선만을 입사시키고, 그 이외의 X선은 흡수시킬 수 있도록 납과 같은 X선 흡수체로 이루어진다. 본 고안에서 사용된 콜리메이터(40)는 가로, 세로의 크기가 20㎝이고, 두께는 2㎜인 크기로 이루어졌으며, 중심부에 형성되는 홀(42)의 크기는 1 내지 2㎝ 크기로 구성되었다.
상기 콜리메이터(40)의 후방에는 상기 에너지 선별 결정체(34)로부터 반사되는 X선을 차폐하기 위한 차폐막(50)이 더 구비될 수도 있으며, 상기 차폐막(50)은 상기 콜리메이터(40)와 같은 재질로 이루어질 수 있다.
상기 콜리메이터(40)와 차폐막(50) 사이에는 상기 홀(42)을 통해 입사된 X선을 반사시키기 위한 샘플 결정체(64)를 장착하는 제2고정판(60)이 구비된다. 상기 제2고정판(60)에는 상기 홀(42)을 통해 입사되는 X선이 상기 샘플 결정체(64)로 입 사되는 입사각을 조절하기 위한 제2각도조절장치(62)가 구비되고, 상기 제2각도조절장치(62)는 마이크로 프로세서(90)에 의해 제어된다.
상기 샘플 결정체(64)는 상기 제2고정판(60)의 일측에 장착되며, 상기 샘플 결정체(64)는 원자 간 거리가 알려지지 않은 것으로서, 본 고안에 따른 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치에 의해 원자 간 거리를 측정하기 위한 것이다.
상기 콜리메이터(40)와 제2고정판(60) 및 차폐막(50)은 스테이지(70) 상에 고정되고, 상기 스테이지(70)는 상기 제1고정판(30)을 중심으로 같은 거리를 유지하며 이동하면서 상기 에너지 선별결정체(34)의 표면과 홀(42)이 이루는 각도를 조절할 수 있도록 곡률을 갖는 레일(80) 상에 구비된다. 상기 스테이지(70)는 스텝 모터에 의해 이동하며, 상기 방사선실(10) 외부의 마이크로 프로세서(90)에 의해 제어된다.
상기 스테이지(70)에서 소정 거리 이격된 곳, 즉 상기 샘플 결정체(64)를 통해 반사된 X선의 진행방향에 상기 샘플 결정체(64)로부터 반사된 X선을 검출하기 위한 X선 검출기(100)가 구비된다. 상기 X선 검출기(100)는 상기 샘플 결정체(64)로부터 반사되는 X선 중에서, 상기 홀(42)을 통과한 X선이 상기 샘플 결정체(64)로 입사되는 입사각과 동일한 각도로 반사되는 X선을 측정할 수 있도록 좌우로 이동이 가능하고, 마이크로 프로세서(90)에 의해 제어된다.
상기 마이크로 프로세서(90)는 상기 방사선실(10)의 외부에 구비되어 상기 X선원(20), 제1각도조절장치(32), 제2각도조절장치(62), X선 검출기(100), 스테이지(70) 및 X선 검출기(100)의 동작을 각각 제어한다. 또한, 상기 마이크로 프로세서 (90)는 상기 X선 검출기(100)에 의해 측정된 X선의 에너지와, 상기 측정된 X선이 상기 샘플 결정체(64)로부터 반사되는 반사각(상기 샘플 결정체(64)로 입사되는 X선의 에너지와 상기 샘플 결정체(64)로부터 반사되는 X선의 에너지가 동일할 때의 각도)을 이용하여 상기 샘플 결정체(64)의 원자 간 거리를 계산하여 저장하거나, 또한 상기 마이크로 프로세서(90)에 연결된 모니터(미도시)를 통해 이를 디스플레이시킬 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참고로 하여 본 고안에 따른 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치의 실시예에 대하여 설명한다.
도 2는 본 고안에 따른 결정체의 원자 간 거리를 측정 원리를 설명하기 위한 개념도로서, 도 1과 연관하여 설명한다.
본 고안에 따른 실시예는 10keV의 X선을 사용하였고, 에너지 선별 결정체(34)로는 NaCl을 사용하였다. 상기 X선의 파장(λ)은 0.124㎚이고, NaCl의 원자 간 거리(d)는 0.562㎚이다.
먼저, 도 1에 도시된 결정체의 원자 간 거리 측정장치의 제1고정판(30)에 에너지 선별 결정체(34)를 장착한다. 이때, 상기 에너지 선별 결정체(34)의 중심부와 X선원(20)으로부터 방사되는 X선의 중심부를 최대한 일치시킨다.
브래그의 법칙은 원자 사이의 거리(d)가 이미 알려진 결정체에 X선을 입사시키면, 결정체의 원자에 입사되는 입사각(θ1)과 동일한 크기의 반사각(θ2)에서 측정되는 X선의 파장, 즉 에너지가 동일하다는 것으로 다음과 같은 수학식으로 정의 된다.
Figure 112006018373158-utm00001
여기에서, 에너지 선별 결정체(34)의 원자 간 거리(d)와 X선의 파장(λ)을 알고 있으므로, 상기 [수학식 1]을 만족시키는 θ을 구할 수가 있다. n을 1로 했을 때 상기 [수학식 1]에 원자 간 거리(d)와 X선의 파장(λ)을 대입하면, θ는 6.3°이 된다.
상기 제1고정판(30)에 장착되어 있는 제1각도조절기(32)를 마이크로 프로세서(90)로 제어하여 상기 에너지 선별 결정체(34)의 중심부와 X선원(20)으로부터 방사되는 X선의 중심부를 일치시키고, 상기 X선의 중심부와 에너지 선별 결정체(34) 간의 각도(θ1)가 6.3°를 이루도록 제1고정판(30)을 조정한다.
그 다음, 마이크로 프로세서(90)에서 스테이지(70)를 제어하여 상기 에너지 선별 결정체(34)로부터 반사되는 X선의 중심부와 상기 콜리메이터(40) 중심부에 형성되어 있는 홀(42) 간에 각도(θ2)를 6.3°로 조절하여 상기 에너지 선별 결정체(34)로부터 반사된 X선 중에서 일정한 에너지 크기를 갖는 X선을 상기 홀(42)을 통해 입사시킨다.
그 후, 스테이지(70) 상부의 제2고정판(60)의 일측에 구비되는 제2각도조절장치(62)를 제어하여 샘플 결정체(64)로 입사되는 X선의 각도(θ3)를 조정한다. 이때, 상기 제2각도조절장치(62)를 제어할 때마다 상기 X선 검출기(100)도 동시에 제 어하여, 상기 샘플 결정체(64)로 입사되는 X선의 각도(θ3)와 상기 샘플 결정체(64)로부터 반사되는 X선의 각도(θ4)가 동일한 각도를 이루게 한다.
상기 홀(42)을 통해 입사되는 X선의 파장을 이미 알고 있기 때문에 상기 샘플 결정체(64)에 입사되는 X선의 파장(즉 에너지)과 상기 샘플 결정체(64)를 통해 반사되어 상기 X선 검출기(100)에서 측정되는 X선의 에너지가 같은 값이 될 때의 각도(θ3, θ4)가 상기 [수학식 1]을 만족시키는 각도가 될 것이다.
따라서 일련의 과정으로 검출된 X선의 파장(λ)과 X선의 입사각(θ3) 또는 반사각(θ4)을 사용하여 상기 샘플 결정체(64)의 원자 간 거리(d)를 계산할 수 있다.
예를 들어, 샘플 결정체(64)로 CsCl을 사용하고, 상기 샘플 결정체(64)로 입사되는 X선의 파장(λ)이 0.124㎚이고, X선 검출기(100)에서 측정되는 X선의 파장, 즉 에너지가 상기 샘플 결정체(64)로부터 반사되는 X선의 에너지와 동일할 때 X선이 상기 샘플 결정체(64)로 입사되는 각도(θ3)가 8.67°이면, n이 1인 경우, 원자 간의 거리(d)는 0.4111㎚가 된다.
본 고안에 따른 결정체의 원자 간 거리 측정장치로 일정한 에너지를 갖는 X선을 선별하여 원자 간 거리가 알려지지 않은 결정체에 반사시키고, 상기 결정체로부터 반사된 X선의 에너지를 측정하여 원자 간 거리를 획득함으로써 결정체의 특성을 분석할 수 있다.
이와 같이, 본 고안의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였 으나, 본 고안의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 고안의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 실용신안청구범위 뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 따른 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치는 연속 스펙트럼을 갖는 X선을 원자 간 거리가 알려져 있는 에너지 선별 결정체에 반사시켜 일정한 에너지를 갖는 X선을 선별하고, 이 일정한 에너지를 갖는 X선을 원자 간 거리를 알 수 없는 샘플 결정체에 반사시켜 검출된 X선을 측정하여 샘플 결정체를 구성하는 원자 간의 거리를 알아냄으로써 결정체의 구조를 파악하는데 용이하게 하는 효과가 있다. 또한, 본 고안에 따른 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치는 특정 에너지를 갖는 X선을 선별하여 사용하기 때문에 방사선 작업종사자가 불필요한 X선에 노출되는 것을 방지할 수 있는 효과도 있다.

Claims (3)

  1. X선원과;
    상기 X선원으로부터 소정 거리 이격되어 구비되는 제1고정판과;
    상기 제1고정판의 일측에 장착되며 상기 X선원으로부터 방사되는 X선을 반사시키는 에너지 선별 결정체와;
    상기 제1고정판에 구비되며, 상기 X선원으로부터 방사되는 X선이 상기 에너지 선별 결정체에 입사되는 각도를 조절할 수 있도록 상기 제1고정판을 회동시키는 제1각도조절장치와;
    상기 에너지 선별 결정체로부터 반사된 X선의 진행방향을 따라 소정 거리 이격되어 구비되며, 몸체 중심부에 홀이 형성되어 있는 콜리메이터와;
    상기 콜리메이터의 후방에 구비되며, 원자 간 거리를 측정하기 위한 샘플 결정체를 장착하기 위한 제2고정판과;
    상기 제2고정판에 구비되며, 상기 홀을 통하여 상기 제2고정판에 장착되는 샘플 결정체에 입사되는 X선의 입사각을 조절할 수 있도록 상기 제2고정판을 회동시키는 제2각도조절장치와;
    상기 제2고정판으로부터 소정 거리 이격되어 구비되며, 상기 샘플 결정체로부터 반사되는 X선의 에너지를 검출하기 위한 X선 검출기;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 X선 검출기는 상기 샘플 결정체로부터 반사되는 X선을 원하는 반사각에서 측정하기 위하여 좌우로 이동 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 결정체의 원자 간 거리 측정장치는 상기 X선원, 제1각도조절장치, 제2각도조절장치 및 X선 검출기의 동작을 제어하는 마이크로 프로세서를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 X선을 이용한 결정체의 원자 간 거리 측정장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20150146453A (ko) * 2014-06-22 2015-12-31 조르단 밸리 세미컨덕터즈 리미티드 X선 산란계측 장치
KR101596746B1 (ko) * 2015-10-07 2016-02-24 테크밸리 주식회사 소각산란분석시스템
KR20200022853A (ko) * 2018-08-24 2020-03-04 정준용 스테인레스 전용 금속성분 분석방법 및 스테인레스 전용 금속성분 분석장치

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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