JP7348388B2 - 洗浄システム及び洗浄方法 - Google Patents
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Description
特許文献1には、ガラス基板を水平姿勢もしくは傾斜姿勢で搬送しながら基板の下面及び上面を洗浄する洗浄方法が開示されている。この洗浄方法を実施する洗浄装置は、上端に開口部を有するとともに内部に洗浄液が供給可能に設けられた発振容器と、この発振容器の底部に配置された振動板を介して洗浄液に超音波振動を付与する振動子と、発振容器の上方で基板を搬送する搬送装置と、基板の上面に洗浄液を吹き付けるノズルとを備えた構成とされている。
このような、基板、ローラ間のパーティクルの転着は、搬送装置における最も上流側に位置するローラにおいて特に顕在化する。
また、特許文献1記載の洗浄装置は、ローラを洗浄の対象とせず、基板を洗浄の対象としたものであり、基板の幅寸法以上の上端開口長さを有する大型の発振容器を用いる構成である。
従って、特許文献1記載の洗浄装置にあっては、システムを大型化させてしまう不都合があるほか、基板のサイズ変更に機動的に対応することが困難となり、汎用性に欠けるものとなっている。
本発明の他の目的は、前記洗浄ユニットを追加可能とし、その際に、洗浄ユニットの向きを変更するだけで基板の下面をも洗浄することができる洗浄システム及び洗浄方法を提供することにある。
本発明の更に他の目的は、洗浄ユニットの小型化を図ることができる洗浄システム及び洗浄方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、洗浄箇所若しくは領域に応じて、必要数の洗浄ユニットを用い、搬送装置におけるローラの異なるレイアウトや、基板サイズ等の変更にも対応可能となる汎用性を備えた洗浄システム及び洗浄方法を提供することにある。
前記搬送装置の下方に配置されて超音波洗浄を行う洗浄ユニットと、
前記洗浄ユニットを所定のタイミングで制御する制御装置とを備えた洗浄システムにおいて、
前記搬送装置は、前記搬送方向を横切る方向で前記基板の幅方向両側に相対するとともに前記搬送方向に沿って所定間隔を隔てて複数列配置されたローラを含み、
前記洗浄ユニットは前記複数列配置されたローラのうち、搬送方向の最も上流側のローラを洗浄する位置にのみ配置され、当該洗浄ユニットは、開口部を上端に備えているとともに内部に洗浄液が供給可能に設けられたケースと、当該ケース内に配置される振動板を介して前記洗浄液に超音波振動を付与する振動子とを含み、
前記開口部の長手方向を前記搬送方向に沿う向きに配置した状態で、前記開口部内に前記最も上流側のローラの下部を収容して当該ローラが洗浄可能に設けられる、という構成を採っている。
この際、洗浄ユニットは、前記ケースが基板の面に対して角度変位可能に設けられ、当該基板に対する超音波の入射角度が変更可能に設けられる、という構成が好ましくは採用される。入射角度を変更したときには、前記開口部の開口縁が基板の下面と平行に保たれるように設けるとよい。
前記ローラを前記搬送方向に沿って所定間隔を隔てて複数列配置しておき、
開口部を上端に備えたケースを備えているとともに前記複数列配置されたローラのうち、搬送方向の最も上流側のローラに対応する位置にのみ洗浄ユニットを配置し、
前記開口部の長手方向を前記搬送方向に沿わせた向きで、当該開口部内に、前記最も上流側のローラの下部分を収容して当該ローラを超音波洗浄する工程を含む、という手法を採っている。
この際、ケースを基板の面と直交する面に対して傾けた姿勢とし、当該基板に対する超音波の入射角度を変化させることが好ましい。
また、ケースの周壁部分に穴を設けた構成によれば、ケース内にパーティクルが沈降することがあっても、前記穴を通じて外部に放出することができ、ケースの底部にパーティクルが残留してしまうような不都合は生じない。かかる効果は、パーティクルが洗浄液の比重よりも重い場合に顕著となる。
更に、洗浄ユニットを追加するとともに、その開口部の向きを変更して基板の下面側に配置するようにした場合には、基板の下面を洗浄する必要が生じた場合にも対応することが可能となる。また、洗浄ユニットの使用数を調整することで幅寸法が異なる基板にも対応でき、本発明に係る洗浄システムの汎用性を高めることができる。
また、基板下面を洗浄する場合において、基板の面に対して超音波の入射角度を変更可能とした場合には、超音波振動波が基板で反射しても、反射した振動波が超音波振動子に集中して戻ることを回避し、当該振動子若しくはその取付面等の損傷、破壊を防止することができる。この際、ケースの上端開口縁が基板の下面と平行に保たれていれば、ケースの液面全域が基板の下面に接触するようになり、効果的な洗浄を行うことができる。
図1には第1実施形態に係る洗浄システムの全体構成が示され、図2に洗浄システムの概略平面図が示されている。これらの図において、洗浄システムは、ガラス基板P(以下、単に「基板」と称する)を所定方向(図2中左方向)に搬送する搬送装置10と、この搬送装置10の近傍となる下方に配置される洗浄ユニット11と、当該洗浄ユニット11に純水等の洗浄液を供給する給液装置12と、洗浄ユニット11内に供給された洗浄液に超音波振動を付与する超音波発振器13と、搬送装置10に併設されて基板Pの位置を検出するセンサ14と、当該センサ14の出力信号を入力としてシステム全体を所定のタイミングで制御する制御装置15とを備えて構成されている。
各列におけるローラ20は、搬送方向に直交する方向(図2中上下方向)において2箇所に配置されている。具体的には、基板Pの幅方向両端部の下面に接して当該基板Pを支持しつつ搬送することができる間隔を隔てて配置されている。ローラ20は、その中心を貫通するシャフト22の外周に装着されているとともに、シャフト22の軸方向において、取付位置が調整可能に設けられている。従って、図示の基板Pより幅寸法の小さな基板Pの搬送にも対応することができる。
本実施形態によれば、ローラ20は、図2に示されるように、直径Dが50~60mm、幅Wが10~20mmの大きさを備えたものが用いられている。各列におけるローラ20の中心間距離Lは100mm程度に設けられ、また、隣り合うローラ20の外周面間距離L1は40mm程度に設けられている。また、搬送の対象とする基板は、搬送方向に沿う長さが400~2600mm、幅が300~2200mm程度のものが例示できる。
この洗浄ユニット11は、図5~図8にも示されるように、上部ケース34及び下部ケース35からなる略角筒状の周壁を有するケース33を用いて形成されている。上部ケース34は略矩形の開口部32を上端に備えている一方、底部に板状の振動板28が配置されて内部に洗浄液が供給可能に設けられている。振動板28の下面側には、振動子30が取り付けられており、この振動子30に超音波発振器13を介して印加することで、振動板28を振動させ、洗浄液に超音波振動を伝達するようになっている。
なお、特に限定されるものではないが、本実施形態における開口部32の長手方向寸法は110mm、短手方向寸法は30mm程度となっている。
一方、第2ブラケット52は、屈曲角度が鋭角に設けられ、ケース33を傾斜姿勢で支持することができるようになっている。ここで、特に限定されるものではないが、本実施形態における好ましい第1ブラケット51の鈍角は、約95度であり、好ましい第2ブラケット52の鋭角は、約85度とされている。これにより、前記第1、第2ブラケット51、52の平面部51B、52Bを、例えば、水平な面に固定したときに、ケース33、より正確には側壁37、下部側壁41の面が鉛直面に対して約5度の傾きを生ずるように設けられている。従って、図4に示されるように、平面部51B、52Bを、水平な設置面HPに対して約5度傾斜した面IPに固定したときには、洗浄ユニット11は、側壁37、下部側壁41が基板Pの面に直交する面と平行な面内に位置するようになる。本実施形態では、ローラ20の洗浄に際しては、洗浄ユニット11を傾斜させることなく行われるが、傾斜させても差し支えない。
初期設定は、図2に示されるように、洗浄ユニット11を、搬送装置10の第1列位置にあるローラ20の下にそれぞれ配置することにより行われる。すなわち、ローラ20の下部が、前記上部ケース34における開口部32の略中央部に位置するように、第1、第2ブラケット51、52の平面部51B、52Bを設置面に固定する。この際、図4に示されるように、洗浄ユニット11は、ケース33の側壁37、下部側壁41が基板Pの面に直交する面と平行な面内に位置するように、設置面HPに対して所定角度(例えば5度)傾けた傾斜面IPに前記平面部51B、52Bが固定される。この傾きは、当該傾きを付与する部材を設置面(HP)上に配置すること等によって形成することができる。また、図示しないシリンダ等に洗浄ユニット11を支持させて傾きを与えることも可能である。
前工程等において既に洗浄処理されて清浄に保たれた基板Pが、基板搬送機構等を有する図示しない搬送装置を介して所定位置、すなわち搬送装置10の直前位置に搬送されたことが第1センサ14Aで検出されると、その検出信号が制御装置15に出力される。
第1センサ14Aの出力信号が制御装置15に入力されると、当該制御装置15は、予め設定された時間(T1)経過後に、給液装置12に給液動作信号を出力する。これにより、給液装置12が動作し、洗浄液が上部ケース34に供給される。
上部ケース34に供給された洗浄液は、スロット穴37Aから外部に流れつつも、上部ケース34内の液面を徐々に上昇させて溢れ出ることとなる。給液が開始されたとき或いは所定時間経過したときに、制御装置15から超音波発振器13に動作信号が出力され、当該超音波発振器13から振動子30に電力が印加されて振動板28を振動させる。そして、その振動が洗浄液に伝播し、液面に振動波を形成しつつ開口部32より洗浄液が溢れ出ることとなる。
このとき、開口部32内で回転しているローラ20の全周が洗浄され、前工程において、基板Pの汚れがローラ20に転着したとしても、当該パーティクルをローラ20から除去することができる。この際、洗浄液の比重よりも重いパーティクルが上部ケース34内で沈降することがあっても、当該パーティクルはスロット穴37Aより効果的に排出される。
そして、搬送装置10によって搬送される基板Pは、搬送方向の下流側に向って搬送され、次工程に付されることとなる。
また、洗浄ユニット11は、ローラ20の洗浄に適合する大きさであれば足りるため、全体として小型にて提供可能となる。従って、搬送装置10の下部空間に設置し易くなり、周辺部材との位置的な干渉も生じ難く、レイアウトの自由度も付与することが期待できる。
この第2実施形態は、ローラ20の他に、必要に応じて、基板Pの下面洗浄をも行うことができる点に特徴を有する。
具体的には、基板Pの洗浄は、前記第1実施形態で用いた洗浄ユニット11と同一の洗浄ユニット11A、11B、11Cを基板Pの下面側に配置することにより行われる。なお、図9においては、追加した洗浄ユニットには、説明の便宜上、符号11A、11B、11Cが付されている。また、第2実施形態は、洗浄ユニット11A~11Cを追加した点及びセンサ14C、14Dを追加した点を除き、その他の構成は第1実施形態と同一である。従って、第1実施形態と同一箇所には同一符号を用いるものとし、説明を省略若しくは簡略にする。
具体的には、搬送方向の最上流側位置すなわち1列目のシャフト22と、2列目のシャフト22との間において、基板Pの幅方向中央下部に洗浄ユニット11Aが1個配置され、2列目のシャフト22と3列目のシャフト22との間において、基板Pの幅方向両側下部に洗浄ユニット11B、11Cがそれぞれ配置されている。また、図10に示すように第3センサ14Cが洗浄ユニット11Aの上方に配置されているとともに、第4センサ14Dが洗浄ユニット11B、11C間の上方位置に配置されている。
搬送方向における最上流すなわち前記第1列の2つのローラ20は、第1実施形態と同様に、2つの洗浄ユニット11によって洗浄される。これら洗浄ユニット11に対する洗浄液の給液開始と停止、超音波振動の付与と停止の各タイミングは、第1実施形態と同一である。
第2センサ14Bによって基板Pが検知されたときに、ローラ20洗浄用の洗浄ユニット11への給液と超音波発振の停止が行われるが、その直前、すなわち、第1センサ14Aが基板Pを検出後所定時間T1経過したときに、洗浄ユニット11Aに洗浄液の給液が開始される。そして、第3センサ14Cが基板Pを検出したときに、洗浄ユニット11Aの振動子30に電力が供給され、振動板28の振動を介して洗浄液に超音波振動が伝達される。この時、洗浄ユニット11Aにおいて、開口部32の液面が超音波振動を伴いながら基板Pの下面に接しつつ溢れ出て基板Pの裏面洗浄が行われる。この洗浄動作は、第3センサ14Cが基板Pを検出しなくなって所定時間経過するまで継続される。
以後、上記動作を反復継続することで順次基板Pの裏面洗浄が行われるが、その際に、基板Pの上面に洗浄水を吐出する装置を設けた場合には、基板P内に振動波が伝播していることで、上面に洗浄水を流すだけで基板Pの上面も効果的に洗浄することが可能となる。
なお、基板Pの裏面洗浄に用いる洗浄ユニット11A~11Cは、図10に示されるようにケース33が傾斜した姿勢で設置されるため、振動子30、振動板28による超音波振動波は、基板Pの面に対して直交する鉛直面(線)VLに対して角度θ1傾いて基板Pの裏面に入射することとなり、その反射波が振動子30、振動板28にそのまま戻ってくる現象は生じない。
従って、振動子30、振動板28が破壊されるようなリスクを回避若しくは低減でき、洗浄ユニットを故障し難く維持することができる。
また、ケース33が傾斜していても、その上端縁すなわち開口部32の開口縁と基板Pの下面が平行となって開口縁の全周におけるクリアランスが一様に維持されるため、洗浄液の液面全域を基板Pの裏面に接触させることが可能となり、超音波振動の付与と相まって効率よく洗浄を行うことができる。
すなわち、本発明は、特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施形態に対し、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
例えば、前記実施形態において、各部の寸法等の数値を記載したが、これらは、装置全体の大きさや性能を把握し易くするために示されたものと理解すべきものであり、本発明に係る洗浄システムを限定するものではない。従って、実施に際して、必要に応じて変更することを妨げない。
また、裏面洗浄のタイミングは、搬送される基板Pの搬送速度や、基板Pの大きさ等に応じて任意に設定、変更することができる。
11、11A、11B、11C 洗浄ユニット
12 給液装置
13 超音波発振器
14 センサ
14A 第1センサ
14B 第2センサ
14C 第3センサ
14D 第4センサ
15 制御装置
20 ローラ
21 駆動装置
22 シャフト
23 プーリ
24 ベルト
28 振動板
30 振動子
32 開口部
33 ケース
34 上部ケース
35 下部ケース
37 側壁
37A スロット穴
38 供給口
39 側端壁
40 上部フランジ
41 下部側壁
42 下部側端壁
43 底壁
44 下部フランジ
45 導出用管
47 パッキン
51 第1ブラケット
51A、52A 起立面部
51B、52B 平面部
52 第2ブラケット
54 長孔
55 ねじ軸
56 ナット部材
D ローラの直径
P 基板
HP 設置面
IP 傾斜面
L ローラ中心間距離
L1 ローラ外周面間距離
M モータ
VL 鉛直面
W ローラ幅
θ,θ1 角度
Claims (8)
- 基板の下面側を支持して当該基板を所定の搬送方向に搬送する搬送装置と、
前記搬送装置の下方に配置されて超音波洗浄を行う洗浄ユニットと、
前記洗浄ユニットを所定のタイミングで制御する制御装置とを備えた洗浄システムにおいて、
前記搬送装置は、前記搬送方向を横切る方向で前記基板の幅方向両側に相対するとともに前記搬送方向に沿って所定間隔を隔てて複数列配置されたローラを含み、
前記洗浄ユニットは前記複数列配置されたローラのうち、搬送方向の最も上流側のローラを洗浄する位置にのみ配置され、当該洗浄ユニットは、開口部を上端に備えているとともに内部に洗浄液が供給可能に設けられたケースと、当該ケース内に配置される振動板を介して前記洗浄液に超音波振動を付与する振動子とを含み、
前記開口部の長手方向を前記搬送方向に沿う向きに配置した状態で、前記開口部内に前記最も上流側のローラの下部を収容して当該ローラが洗浄可能に設けられている洗浄システム。 - 前記ケースは、当該ケースを形成する周壁部分に、前記洗浄液を外部に排出させる穴を備えている請求項1記載の洗浄システム。
- 前記開口部の長手方向を基板の幅方向に沿う向きに配置して当該基板の下面側を洗浄する洗浄ユニットを更に含む請求項1又は2記載の洗浄システム。
- 前記洗浄ユニットは、前記ケースが基板の面に対して角度変位可能に設けられ、当該基板に対する超音波の入射角度が変更可能に設けられる請求項3記載の洗浄システム。
- 前記開口部の開口縁が基板の下面と平行に保たれる請求項4記載の洗浄システム。
- 基板の下面側を支持するとともに前記基板の幅方向の両側に相対する位置にそれぞれ配置されたローラを含む搬送装置を用いて前記基板を所定の搬送方向に搬送する間に所定の洗浄を行う洗浄方法であって、
前記ローラを前記搬送方向に沿って所定間隔を隔てて複数列配置しておき、
開口部を上端に備えたケースを備えているとともに前記複数列配置されたローラのうち、搬送方向の最も上流側のローラに対応する位置にのみ洗浄ユニットを配置し、
前記開口部の長手方向を前記搬送方向に沿わせた向きで、当該開口部内に、前記最も上流側のローラの下部分を収容して当該ローラを超音波洗浄する工程を含む洗浄方法。 - 前記開口部の長手方向の向きを基板の幅方向に沿う向きに配置される洗浄ユニットを追加することで、前記基板の下面を洗浄する工程を更に含む請求項6記載の洗浄方法。
- 前記ケースを基板の面と直交する面に対して傾けた姿勢とし、当該基板に対する超音波の入射角度を変化させる請求項7記載の洗浄方法。
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