JP2004059247A - 板状部材搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送すべき板状部材に圧縮気体を噴射することにより非接触状態に保持して搬送する構成に比較して省エネが可能となり、塵埃を含んだ気体が板状部材に吹き付けられる虞がない板状部材搬送装置を提供する。
【解決手段】板状部材搬送装置１０は、ベースプレート１１上に、板状部材１２の下端を支承する支承部１３と、支承部１３に支承された板状部材１２に振動板１４の音波の放射圧を付与して、板状部材１２を非接触状態で傾斜した状態に保持可能な物体浮揚装置１５とが装備されている。各支承部１３はモータ２０により回転される回転軸１７にそれぞれ一体回転可能に固定されている。
【選択図】　　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、板状部材搬送装置に係り、詳しくは液晶表示装置等の表示装置のガラスパネルや半導体ウエハー等の板状部材を立てた状態で搬送するのに好適な板状部材搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガラスパネルや半導体ウエハー等の薄くて傷つき易い板状部材を立てた状態で搬送する板状部材搬送装置が特開２００１−２１３５１７号公報に開示されている。この板状部材搬送装置は、図９に示すように、支持基板５１の片面に複数の圧力容器５２が固定され、圧力容器５２の前面に多孔質体５３が取り付けられている。支持基板５１の下端には、駆動シャフト５４が回転可能に支持され、駆動シャフト５４に駆動ローラ５５が一体回転可能に固定され、各駆動ローラ５５にベルト５６が巻掛けられて搬送手段５７が構成されている。図示しないモータにより駆動シャフト５４が駆動されることにより、ベルト５６が駆動される。そして、多孔質体５３から噴射される圧力流体（圧縮空気）で搬送すべき板状部材５８を支持するとともに、板状部材５８に対して多孔質体５３と反対側に配設された洗浄液噴霧ノズル５９から洗浄液を噴霧しつつ、その板状部材５８の下端部を搬送手段５７で支持して搬送するようになっている。従って、この板状部材搬送装置では、ガラスパネルや半導体ウエハー等の薄くて傷つき易い板状部材５８にその下端のみで接触した状態で搬送することができ、搬送時に板状部材５８が傷つき難い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、前記従来装置では、搬送すべき板状部材５８を非接触状態で保持するために多孔質体５３から圧縮気体を噴射する構成のためエネルギー消費が大きいという問題があるとともに、多孔質体５３を構成する多孔質セラミックからの発塵が問題になる場合がある。
【０００４】
本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたものであって、その目的は搬送すべき板状部材に圧縮気体を噴射することにより非接触状態に保持して搬送する構成に比較して省エネが可能となり、塵埃を含んだ気体が板状部材に吹き付けられる虞がない板状部材搬送装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、板状部材の下端を支承するとともに、駆動手段により駆動されることで支承する板状部材を移動可能な支承部と、前記支承部に支承された前記板状部材に振動板の音波の放射圧を付与して該板状部材を非接触状態で鉛直又は傾斜した状態に保持可能な物体浮揚装置とを備え、前記支承部を駆動させて前記板状部材を移動させる。
【０００６】
この発明では、板状部材は下端が支承部に支承された状態で、振動板で発生した音波の放射圧により、振動板と非接触状態で鉛直又は傾斜した状態に保持される。そして、駆動手段により支承部が駆動されることで板状部材が移動される。従って、圧縮流体（圧縮空気）を噴射する構成の従来装置に比較して、少ないエネルギー消費で板状部材を、その下端部のみが支承部に接触する状態で搬送することができる。また、セラミック製の多孔質体から圧縮空気を噴射する場合と異なり、塵埃を板状部材１２に吹き付ける虞がない。
【０００７】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記物体浮揚装置は、前記板状部材をその移動方向へ付勢する進行波を発生するように励振手段で励振される振動板を備えている。
【０００８】
この発明では、振動板から発生する進行波が板状部材を移動させる推力の一部を負担するため、支承部の駆動力が小さくてすみ、駆動手段の小型化が容易となる。
【０００９】
請求項３に記載の発明では、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記物体浮揚装置は、前記板状部材の相対移動に伴い前記板状部材のほぼ全面と対向可能に板状部材の移動方向と交差して配設された振動板を備えている。ここで、「板状部材のほぼ全面」とは、板状部材が前記支承部と当接する箇所等、板状部材の周縁部で最終製品となるときに使用されない部分を除いた部分を意味する。
【００１０】
振動板から放射される超音波は、超音波が当たった部分において板状部材を清掃する作用、即ち板状部材に付着した塵を除去する作用があるため、板状部材の移動中に板状部材の振動板と対向する面が洗浄される。
【００１１】
請求項４に記載の発明では、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の発明において、前記振動板を励振させる励振手段は、該励振手段を構成する振動子の振動方向を変換する振動方向変換部を備え、前記振動子はその振動方向が前記振動板の振動方向と交差するように配設されている。
【００１２】
一般に励振手段は振動子とホーンとを備えており、振動子の振動がホーンに伝達され、ホーンを介して振動板が振動（励振）される。ホーンが振動板を振動させる方向が振動子の振動方向と同じ場合、即ちホーンと振動子とが振動板に対して垂直方向に真っ直ぐに延びた状態で取り付けられるため、板状部材搬送装置を配置する際に、広いスペースが必要になる。しかし、この発明では、励振手段を構成する振動子の振動方向を変換する振動方向変換部を備え、振動子はその振動方向が前記振動板の振動方向と交差するように配設されている。その結果、板状部材搬送装置を配置するのに必要なスペースを小さくできる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
（第１の実施の形態）
以下、本発明を液晶表示装置の基板ガラスの搬送に使用する板状部材搬送装置に具体化した第１の実施の形態を図１〜図４に従って説明する。図１は板状部材搬送装置の模式側面図、図２は振動板と駆動手段の配置関係を示す模式正面図、図３は板状部材搬送装置を振動板と平行な斜め上方から見た模式図である。
【００１４】
図１に示すように、板状部材搬送装置１０は、ベースプレート１１上に、被搬送部材としての板状部材１２の下端を支承する支承部１３と、支承部１３に支承された板状部材１２に振動板１４の音波の放射圧を付与して、板状部材１２を非接触状態で傾斜した状態に保持可能な物体浮揚装置１５とが装備されている。
【００１５】
ベースプレート１１上には板状部材１２の搬送方向に沿って延びるように支持壁１６が固定され、支持壁１６には所定間隔をおいて互いに平行に、複数本の回転軸１７がその先端側（図１における左端側）に向かって上昇傾斜する状態に軸受１８（図４（ａ）にのみ図示）を介して回転自在に支持されている。回転軸１７の水平面に対する傾斜角度は、板状部材１２が鉛直面と成す角度とほぼ同じに形成され、例えば１０〜３０度である。
【００１６】
図４（ａ）に示すように、各回転軸１７の先端には支承部１３としてのローラが一体回転可能に固定され、支持壁１６に対して支承部１３と反対側にはプーリ１９が一体回転可能に固定されている。複数の回転軸１７のうち、支持壁１６の一端に配設された回転軸１７はモータ２０の出力軸２０ａに連結されている。なお、モータ２０はベースプレート１１に支持ブロック２１を介して取り付けられている。各回転軸１７は、各プーリ１９間に巻き掛けられたベルト２２を介してモータ２０により一定方向（図２の時計回り方向）に回転される。回転軸１７、プーリ１９、モータ２０及びベルト２２により、支承部１３を駆動する駆動手段が構成されている。
【００１７】
支承部１３としてのローラは外周面に無端状の溝１３ａが形成され、板状部材１２は下端が溝１３ａに係合した状態で支承部１３に支承されるようになっている。
【００１８】
物体浮揚装置１５を構成する振動子２３は、振動板１４が前記支承部１３に支承された板状部材１２に対してその上部側において音波の放射圧を付与可能な位置に配設されている。振動子２３は、ベースプレート１１上に固定された支持台２４ａに固定されたフレーム２４ｂに対して所定の高さ位置において取り付けられている。フレーム２４ｂは正面から見た形状が門型に構成され、振動子２３はフレーム２４ｂの梁の部分に取り付けられている。
【００１９】
振動子２３には所謂ランジュバン形振動子が使用され、図４（ｂ）に示すように、一対のリング状のピエゾ素子２５ａ，２５ｂを備えている。両ピエゾ素子２５ａ，２５ｂ間にリング状の電極板２６が配置され、ピエゾ素子２５ａ，２５ｂの電極板２６と当接する側と反対側の面に当接する金属ブロック２７ａ，２７ｂを、図示しないボルトによって締め付け固定することにより振動子２３が構成されている。ボルトは金属ブロック２７ａに形成された図示しないねじ穴に、金属ブロック２７ｂ側から螺合されている。両金属ブロック２７ａ，２７ｂはボルトを介して互いに導通された状態となっている。金属ブロック２７ａにはフランジ２８が形成され、金属ブロック２７ａはフレーム２４ｂに形成された孔（図示せず）に嵌合された状態で図示しないボルトによりフランジ２８においてフレーム２４ｂに固定されている。振動子２３は発振器２９に接続されている。電極板２６は配線３０ａを介して発振器２９と接続され、発振器２９の接地端子が配線３０ｂを介して金属ブロック２７ｂに接続されている。
【００２０】
振動板１４は両端部が、ホーン３１の先端に図示しないねじにより固定されている。ホーン３１は偏平なほぼ直方体状に形成され、振動板１４の長手方向端部近傍において長手方向と直交する状態で取付けられている。ホーン３１は振動板１４の幅と同じ幅に形成され、振動板１４が締結される面の反対側の面において振動子２３に固定されている。ホーン３１の先端面は振動子２３の軸方向と直交する平面に形成され、ホーン３１及び振動子２３は、その中心軸が振動板１４と垂直方向に延びる状態で配置されている。ホーン３１、振動子２３及び発振器２９により振動板１４を励振させる励振手段が構成されている。
【００２１】
次に前記のように構成された板状部材搬送装置１０の作用を説明する。
板状部材搬送装置１０は板状部材１２の搬送経路に沿って配置される。そして、一般に搬送中に板状部材１２に塵埃等が付着するのを防止するため、板状部材搬送装置１０の上方には、図示しないが、ＨＥＰＡフィルタを備えたファンユニットが配設されている。ファンユニットからはＨＥＰＡフィルタで濾過された清澄なエアが板状部材搬送装置１０の上方から下方に向かって送風されるようになっている。図２は板状部材搬送装置１０が２台直列に配置された状態を示し、板状部材１２はＡで示す位置からＢで示す位置へと搬送されるようになっている。
【００２２】
振動子２３が所定の共振周波数（例えば、２０ｋＨｚ前後）で励振され、ホーン３１が縦振動してホーン３１を介して振動板１４が励振されて撓み振動を行う。両振動子２３は振動板１４に定在波が発生するように励振される。板状部材１２は振動板１４側へ向かって傾く状態で、下端が支承部１３に支承されるため、振動板１４から音波が発せられない状態では板状部材１２の上部寄りにおいて振動板１４と接触する状態となる。しかし、振動子２３の振動に伴って振動板１４から放射される音波の放射圧により、板状部材１２は振動板１４の表面から浮揚する。浮揚距離は例えば数１０〜数１００μｍである。また、板状部材１２の下端部は支承部１３の溝１３ａに接触した状態で支承される。即ち、板状部材１２は支承部１３が駆動されない状態では、支承部１３に支承された下端を除いて非接触状態で物体浮揚装置１５により傾斜した状態で保持される。
【００２３】
そして、モータ２０が駆動されてベルト２２等を介して各支承部１３が所定方向に回転駆動されると、板状部材１２は立てた状態で、かつ非接触状態で図２の右方向へ搬送される。
【００２４】
板状部材１２は薄いガラス板で撓み易いが、立てた状態で搬送されるため、水平状態で搬送する場合に比較してガラス板厚み方向の支持に要する力が少なくなり、高効率で非接触支持できる。支承部１３と接触する下端部は、常に支承部１３に当接した状態となるため、汚れや擦り傷が付く可能性があるが、ガラス板の端部は最終的には製品とならない不用部となるので支障はない。
【００２５】
この実施の形態では以下の効果を有する。
（１）　板状部材１２は下端が支承部１３に支承された状態で、振動板１４で発生した音波の放射圧により、振動板１４と非接触状態で傾斜した状態に保持され、駆動手段により支承部１３が駆動されることで板状部材１２が移動される。従って、圧縮流体（圧縮空気）を噴射する構成の従来装置に比較して、少ないエネルギー消費で板状部材１２を、その下端部のみが支承部１３に接触する状態で搬送することができる。また、セラミック製の多孔質体から圧縮空気を板状部材に噴射する従来装置と異なり、塵埃を板状部材１２に吹き付ける虞がない。
【００２６】
（２）　板状部材１２が傾いた状態で搬送されるため、板状部材１２を水平状態で搬送する非接触式搬送装置に比較して、ベースプレート１１の占める面積、ひいては板状部材搬送装置１０の設置に必要な面積を狭くできる。
【００２７】
（３）　支承部１３が外周面に溝１３ａを有するローラで構成されているため、一個のローラが板状部材１２の下方への移動と、厚さ方向への移動とを規制する作用をなす。従って、少ない数のローラで板状部材１２を所望の傾斜状態でガイド可能に支承することができる。
【００２８】
（４）　全ての支承部１３がモータ２０により駆動されるベルト２２を介して積極駆動されるため、簡単な構成で板状部材１２に推力を確実に加えることができ、しかも個々の支承部１３は板状部材１２に大きな力を付与する必要がなく、板状部材１２は小さな推力で円滑に移動できる。
【００２９】
（５）　支承部１３を駆動させる駆動手段が板状部材１２の下方に配置されているため、プーリ１９及びベルト２２等から発塵しても、ファンユニットからの送風により塵埃が板状部材１２に悪影響を及ぼさない。
【００３０】
（第２の実施の形態）
次に第２の実施の形態を図５（ａ），（ｂ）に従って説明する。この実施の形態では、励振手段の構成が前記実施の形態と異なり、その他の構成は同じである。前記実施の形態と同一部分は同一符号を付して、詳しい説明を省略する。
【００３１】
図５（ａ）は板状部材搬送装置１０の模式側面図であり、図５（ｂ）は振動方向変換部の模式斜視図である。
振動子２３の先端にはホーン３１に代えて、振動子の振動方向を変換する振動方向変換部３２が固定されている。この実施の形態では振動方向変換部３２として所謂ＬＬ変換素子（ＬＬ変換器）３３が使用されている。ＬＬ変換素子３３は、図５（ｂ）に示すように、互いに９０度を成すように三次元的に形成された６本の軸３３ａ〜３３ｆを備え、そのうちの１本の軸３３ａが振動子２３に固定され、軸３３ａと直交する１本の軸３３ｅに振動板１４が固定されている。３３ｅは先端面と鉛直面との成す角が、板状部材１２が鉛直面と成す角に等しくなるように形成されている。
【００３２】
そして、振動子２３はその振動方向が、振動板１４の振動方向と交差するように配設されている。この実施の形態では振動子２３はその振動方向が鉛直方向となるようにフレーム２４ｂに固定されている。振動子２３、振動方向変換部３２及び発振器２９により振動板１４を励振させる励振手段が構成されている。
【００３３】
この実施の形態では、振動子２３の振動が振動方向変換部３２を介して振動板１４に伝達される。従って、振動子２３の振動方向が振動板１４の振動方向と一致していなくても、振動板１４は所望の状態で振動される。
【００３４】
この実施の形態は前記実施の形態の（１）〜（５）の効果を有する他に、次の効果を有する。
（６）　振動板１４を励振させる励振手段が、振動子２３の振動方向を変換する振動方向変換部３２を備え、振動子２３はその振動方向が振動板１４の振動方向と交差するように配設されている。前記実施の形態のように、振動子２３の振動をホーン３１を介して振動板１４に伝達し、ホーン３１の振動方向と、振動子２３の振動方向とが同じ場合は、ホーン３１と振動子２３とが振動板１４に対して垂直方向に真っ直ぐに延びた状態で取り付けられる。その場合、板状部材搬送装置１０を配置する際に、広いスペースが必要になる。しかし、振動子２３の振動方向を変換する振動方向変換部３２を備え、振動子２３をその振動方向が振動板１４の振動方向と交差するように配設することにより、振動子２３を配設するスペース、ひいては板状部材搬送装置１０を配置するのに必要なスペースを小さくできる。
【００３５】
（７）　振動子２３は振動方向が鉛直方向となるように配設されるため、振動子２３を配設するスペースを振動子２３の振動方向が鉛直方向に対して傾く場合に比較して小さくできる。
【００３６】
実施の形態は前記に限定されるものではなく、例えば次のように構成してもよい。
○　物体浮揚装置１５は、振動板１４が定在波を発生するように振動される構成に代えて、振動板１４が板状部材１２をその移動方向へ付勢する進行波を発生するように構成してもよい。例えば、図６に示すように、振動板１４の一端側に締結されたホーン３１ａを励振させる振動子２３は前記実施の形態と同様に発振器２９に接続する。一方、振動板１４の他端側に締結されたホーン３１ｂを振動させる振動子２３は、抵抗Ｒ及びコイルＬからなるエネルギー変換手段としての負荷回路３４に接続する。負荷回路３４は一方の端子を電極板２６に、他方の端子を金属ブロック２７ｂにそれぞれ接続する。この構成では、振動板１４の振動は負荷回路３４に接続された振動子２３に伝達され、振動子２３を構成するピエゾ素子２５ａ，２５ｂにより機械エネルギーである振動のエネルギーが電気エネルギーに変換される。この電気エネルギーが負荷回路３４の抵抗Ｒでジュール熱に変換されて放散される。そのため、振動板１４に生じる振動の波が一方向へ進む進行波（この実施の形態ではホーン３１ａ側からホーン３１ｂ側へ進む進行波）となり、板状部材１２に対して、振動板１４の一端側から他端側へ向かう推力が付与される。この場合、振動板１４から発生する進行波が板状部材１２を移動させる推力の一部を負担するため、支承部１３の駆動力が小さくてすみ、駆動手段の小型化が容易となる。
【００３７】
○　物体浮揚装置１５に、板状部材１２の相対移動に伴い板状部材１２のほぼ全面と対向可能に板状部材１２の移動方向と交差して配設された振動板１４を装備してもよい。例えば、図７に示すように、複数（例えば、２枚）の振動板１４を板状部材１２の移動方向に対して斜めに配設する。振動板１４の励振は、振動板１４が定在波を発生する状態でも、振動板１４が進行波を発生する状態のいずれであってもよい。但し、進行波を発生する場合はその進行波の進行方向が、板状部材１２に対して板状部材１２の移動方向への推力を付与するように設定される。振動板１４は、板状部材１２の相対移動に伴って、板状部材１２の周縁部で最終製品となるときに使用されない部分を除いた部分と対向可能な長さに形成されている。即ち、振動板１４は板状部材１２の相対移動に伴って、板状部材１２のほぼ全面と対向可能に配設されている。この場合、振動板１４から放射される超音波は、超音波が当たった部分において板状部材１２を清掃する作用、即ち板状部材１２に付着した塵埃を除去する作用があるため、板状部材１２の移動中に板状部材１２の振動板１４と対向する面が洗浄される。
【００３８】
○　振動板１４の洗浄機能により板状部材１２の搬送中に振動板１４と対向する面を清掃可能とする構成として、板状部材１２の相対移動に伴って、板状部材１２のほぼ全面と対向可能に配設された１枚の振動板１４と、該振動板１４と共同して板状部材１２を安定した状態で浮揚させる振動板とを設けてもよい。後者の振動板は必ずしも長尺でなくてもよい。
【００３９】
○　振動方向変換部３２は所謂ＬＬ変換素子３３に限らず、例えば、図８に示すように、振動子２３の先端に湾曲する形状の振動方向変換部３２を設けてもよい。所謂ＬＬ変換素子３３の場合は有限要素法で振動の変換効率などをシミュレートできるが、このような湾曲形状の場合は実験的にトライアンドエラーで適正な形状を求める必要がある。
【００４０】
○　支承部１３をローラで構成する場合、全ての支承部１３が積極駆動される構成に限らず、一部の支承部１３は積極駆動されず被動回転される構成としてもよい。例えば、一部の回転軸１７に代えて支軸を支持壁１６に固定し、その支軸に回転可能に支承部１３としてのローラを設ける。
【００４１】
○　積極回転すべき支承部１３毎にモータを設けて駆動する構成としてもよい。
○　支承部１３として板状部材１２の搬送方向に沿って配置されたベルトを設けてもよい。ベルトは駆動プーリと被動プーリとの間に巻き掛けられ、モータにより駆動される。この場合多数のローラを設ける構成に比較して構造が簡単になる。
【００４２】
○　板状部材１２を鉛直面に対して傾斜した状態で搬送する構成に限らず、板状部材１２を鉛直状態に保持して搬送する構成としてもよい。例えば、板状部材１２を挟むように振動板１４を鉛直状態に配置する。しかし、板状部材１２を傾斜した状態で搬送する方が、振動板１４の数が少なくてよい。
【００４３】
○　板状部材搬送装置１０の搬送距離は板状部材１２の長さ又は幅とほぼ同じに限らず、板状部材１２の長さ又は幅より長い（例えば２倍以上）長さの振動板１４を備えてもよい。
【００４４】
○　板状部材搬送装置１０は、板状部材１２を立てた状態で、かつ接触状態で搬送する搬送装置から受け渡される板状部材１２を搬送するシステムに使用してもよい。板状部材１２を立てた状態で、かつ接触状態で搬送する搬送装置は、例えば、板状部材搬送装置１０と同じ構成の支承部１３を備えるとともに、物体浮揚装置１５の代わりに、板状部材１２の上部に当接して板状部材１２を斜め状態で支承するガイド部（例えばガイドローラ）を備えた構成とする。ガイド部は支承部１３と共同して、板状部材１２を板状部材搬送装置１０での搬送時における傾斜角度とほぼ同じ角度となるように支承する。このように、接触状態で搬送する搬送装置から受け渡される板状部材１２を搬送する板状部材搬送装置１０において、前記洗浄機能を持たせるように振動板１４を配置すれば、ガイド部と当接することにより板状部材１２に付着した塵埃等を自動的に除去できる。
【００４５】
○　板状部材１２の高さが高く、斜めの状態においても撓みが大きな場合、撓みを抑制するため、振動板１４を複数平行に配設してもよい。この場合、面積の大きな板状部材１２をより安定した状態で搬送することができる。
【００４６】
○　支承部１３をローラで構成する際、支承部１３に溝１３ａを形成せず、板状部材１２の下端を支承するローラと、板状部材１２の下部の表面又は裏面に当接して板状部材１２の厚さ方向への移動を規制する作用をなすローラとを別々に設けてもよい。
【００４７】
○　板状部材搬送装置１０のクリーン度を保持するため、支承部１３と、支承部１３を駆動する駆動手段を構成する回転軸１７、プーリ１９、ベルト２２等をステンレスの板材で覆ってダクトを構成し、そのダクト内が負圧となるように吸引する。この場合、万が一ダストが出ても、吸引、排出され、板状部材１２に付着する虞がない。
【００４８】
○　振動板１４の両端に設けられた振動子２３をそれぞれ発振器２９と負荷回路３４とに選択的に切り換え接続可能に構成する。この場合、発振器２９に接続された状態と、負荷回路３４に接続された状態との切換を行うことにより、板状部材１２の搬送方向を選択することができる。
【００４９】
○　搬送距離が長い場合は、複数の板状部材搬送装置１０を直列に配設してもよい。
○　ホーン３１，３１ａ，３１ｂの幅は振動板１４の幅と同じでなくてもよく、振動板１４の幅より広くても、狭くてもよいが、振動板１４の幅以上が好ましい。
【００５０】
○　振動板１４のホーン３１、３１ａ，３１ｂへの固定はねじによる締結に限らず、接着剤を使用したり、ロウ付けや溶接で固着してもよい。
○　振動子２３はランジュバン形振動子に限らず他の振動子を使用してもよい。
【００５１】
前記実施の形態から把握される発明（技術的思想）について以下に記載する。
（１）　請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の発明において、前記支承部は前記板状部材を傾いた状態でガイド可能に配設されている。
【００５２】
（２）　請求項４に記載の発明において、振動方向変換部はＬＬ変換素子である。
（３）　請求項１〜請求項４及び前記技術的思想（１），（２）のいずれかに記載の発明において、前記板状部材１２は表示装置用のガラス基板である。
【００５３】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項１〜請求項４に記載の発明によれば、搬送すべき板状部材に圧縮気体を噴射することにより非接触状態に保持して搬送する構成に比較して省エネが可能となり、塵埃を含んだ気体が板状部材に吹き付けられる虞がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態の板状部材搬送装置の一部省略模式側面図。
【図２】振動板と駆動手段の配置関係を示す一部省略模式正面図。
【図３】板状部材搬送装置を斜め上方から見た一部省略模式図。
【図４】（ａ）は駆動手段の一部破断模式側面図、（ｂ）は励振手段の模式図。
【図５】（ａ）は第２の実施の形態の板状部材搬送装置の一部省略模式側面図、（ｂ）はＬＬ変換素子の模式斜視図。
【図６】別の実施の形態の図３に対応する一部省略模式図。
【図７】別の実施の形態の支承部と振動板との関係を示す模式図。
【図８】別の実施の形態の振動方向変換部を示す模式図。
【図９】従来技術の搬送装置を示す断面図。
【符号の説明】
１２…板状部材、１３…支承部、１４…振動板、１５…物体浮揚装置、２３…振動子、３２…振動方向変換部。

Claims (4)

1. 板状部材の下端を支承するとともに、駆動手段により駆動されることで支承する板状部材を移動可能な支承部と、前記支承部に支承された前記板状部材に振動板の音波の放射圧を付与して該板状部材を非接触状態で鉛直又は傾斜した状態に保持可能な物体浮揚装置とを備え、前記支承部を駆動させて前記板状部材を移動させる板状部材搬送装置。
2. 前記物体浮揚装置は、前記板状部材をその移動方向へ付勢する進行波を発生するように励振手段で励振される振動板を備えている請求項１に記載の板状部材搬送装置。
3. 前記物体浮揚装置は、前記板状部材の相対移動に伴い前記板状部材のほぼ全面と対向可能に板状部材の移動方向と交差して配設された振動板を備えている請求項１又は請求項２に記載の板状部材搬送装置。
4. 前記振動板を励振させる励振手段は、該励振手段を構成する振動子の振動方向を変換する振動方向変換部を備え、前記振動子はその振動方向が前記振動板の振動方向と交差するように配設されている請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の板状部材搬送装置。

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