JP7305350B2 - 電磁波透過性金属部材、これを用いた物品、及び、電磁波透過性金属フィルムの製造方法 - Google Patents
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Description
これに対し、特許文献2乃至4は、インジウムを使用しない技術であるため材料コストの問題はないものの、加熱処理を行うために相当の設備投資が必要となり、また、材料費は安く済むものの、加熱原料が必要となるため製造コストは高くなる。更に、加熱を行う場合には加熱温度や加熱時間の細かな管理が必要であって、管理がうまく成されない場合にはクラックの制御が不安定となり、この結果、電磁波透過特性にばらつきが出たり、また、金属光沢部材が白濁してしまうといった問題が生じてしまう。更に、クラックを形成する際に加熱工程を伴うことから金属層と基材との線膨張係数の違いから部材がカールしてしまい、金属光沢部材の外観が悪化するといった新たな問題も生じ得る(例えば、特許文献4の0052段落)。
尚、上記「直線状クラック」における「直線状」の語は、従来技術における隙間やクラック、例えば、特許文献1に記載されているようなアイランド状の隙間と区別するために付した語であって、勿論、完全な直線であることを意味しない。「直線状クラック」には、請求項で規定した方法、即ち、「長尺の基材フィルム上に金属層とクラック層とを積層して成る多層フィルムを多層フィルムの長尺方向と交差する方向に沿って基材フィルム側に折り返した状態で多層フィルムを長尺方向に屈曲延伸すること」によって形成され得る程度の直線性を有した全てのクラックが含まれる。また、上記「実質的に平行」の語も、勿論、完全に平行であることを意味する語ではなく、本発明の適用対象であるミリ波レーダーや、携帯電話、スマートフォン、タブレット型PC、ノート型PC、冷蔵庫等に使用可能な程度に平行であるものを含む。
更に、上記態様の電磁波透過性金属部材において、前記金属層又は前記クラック層の400μm□の面内に含まれる複数の前記直線状クラックの中から任意に選択した2本の直線状クラックに関して、前記選択された2本の直線状クラックが互いに成す角度のうち40%以上が±10°以下であり、且つ、40%以上が80°以上且つ100°以下であるのが好ましい。
「基準直線」とは、任意に定めた所定の角度を有する第一の直線と、この第一の直線を通る任意の点を中心に所定の方向に所定の角度だけ回転させた第二の直線と、の間の領域において、第一の直線から単位角刻みに複数の直線を引き、これら複数の直線それぞれと及びこれら複数の直線それぞれと並行な直線(但し、第二の直線及びこの第二直線と並行な直線)と重なり合う直線状クラックの長さの合計を、上記任意の点を中心として所定の角度毎に360°方向の全てについて求め、求めた合計のうち、最も大きな値を有する領域を規定している第一の直線と第二の直線の中間に位置する直線を意味する。
基準直線に対して±5°以下の範囲にある直線状クラックの割合が大きい場合には、直線状クラックが、所定の方向に揃っていることを意味し、従って、良好な偏波特性が得られると考えてよい。
基準直線に対して所定範囲の角度を有する直線と重なり合う直線状クラックの割合が小さい場合には、直線状クラックが、所定の方向に揃っていないことを意味し、従って、偏波特性は悪化するものの、その一方で、透過性は良好となる。
図1に、本発明の一実施形態による電磁波透過性金属部材(以下、「金属部材」という。)1と、該金属部材1を用いた本発明の一実施形態による電磁波透過性金属フィルム(以下、「金属フィルム」という。)3、3Aの概略断面図を示す。
図2、図3を参照して、金属部材1及び金属フィルム3、3’の製造方法の一例を説明する。図2は、図1と同様の断面図を用いて製造工程を概略的に示したもの、また、図3は、製造に用いることができる装置の構成の一部を概略的に示したものである。尚、金属フィルムに関して、ここでは図1の(a)に示した金属フィルム3を用いて説明を行うが、図1の(b)に示した金属フィルム3Aについても同じ方法で製造することができる。
基材フィルム10には、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリブチレンテレフタレート、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート(PC)、シクロオレフィンポリマー(COP)、ポリスチレン、ポリプロピレン(PP)、ポリエチレン、ポリシクロオレフィン、ポリウレタン、アクリル(PMMA)、ABSなどの単独重合体や共重合体からなる透明フィルムを用いることができる。これらの部材は、張力をかけた屈曲延伸に適しており、また、これらの部材によれば、金属光沢や電磁波透過性に影響を与えることもない。但し、金属層11やクラック層12を形成する観点から、蒸着やスパッタ等の高温に耐え得るものであることが好ましく、従って、上記材料の中でも、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、アクリル、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ABS、ポリプロピレン、ポリウレタンが好ましい。なかでも、耐熱性とコストとのバランスがよいことからポリエチレンテレフタレートが好ましい。
尚、基材フィルム10は、単層フィルムでもよいし積層フィルムでもよい。厚さは、例えば、6μm~250μm程度が好ましい。金属層11やクラック層12との付着力を強くするために、プラズマ処理などが施されてもよい。
クラック層12は、直線状クラック12’の発生時に、これと接した又はこれと隣接して配置された金属層11に生じる応力を利用して、該金属層11に直線状クラック12’と連続した直線状クラック11’を誘発させるためのものであるから、直線状クラック12’を生じやすい物質であるとともに、金属層11に十分な応力を与えることができるものであることが必要である。
以下の表1に、主な金属のモース硬度を示す。
金属層11は、十分な金属光沢を発揮し得ることは勿論、直線状クラック12’に誘発されて直線状クラック11’を生じ得るものであることが必要である。一方で、クラックが生じた際には、散乱や白濁など外観を阻害しない程度のクラック幅が必要であり、上記クラック層に含まれる金属よりも硬さが小さい物質が望ましい。
図4に、金属フィルム3に生じた直線状クラックの光学顕微鏡像を示す。この図は、図1の(a)に示した金属フィルム3に対応する画像であるが、図1の(b)に示した金属フィルム3Aについても同様の画像が得られると考えてよい。また、この画像は、金属フィルム3を金属ロッドに巻き付けた状態(図2の(b)に相当する状態)で撮影されたものであるため、これらの直線状クラック11’の幅(図2の(b)における幅「B」に相当)は、金属層11やクラック層12を平坦な状態に戻した状態(図2の(c)に相当する状態)における直線状クラックの幅(図2の(c)における幅「C」に相当)よりも若干大きく強調されたものとなっている。また、図4は、実際上は、金属層11の直線状クラック11’だけを示すものであるが、直線状クラック11’と直線状クラック12’は厚み方向において連続していることから、金属層11の直線状クラック11’とクラック層12の直線状クラック12’の双方を示していると見ることもできる。
以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明をより具体的に説明する。金属フィルムに関して各種試料を準備し、可視光反射率、表面抵抗、及びマイクロ波電界透過減衰量を評価した。可視光反射率は、金属光沢に関する評価、表面抵抗とマイクロ波電界透過減衰量は、電磁波透過性に関する評価である。可視光反射率と表面抵抗の値は大きい方が好ましく、マイクロ波電界透過減衰量の値は小さい方が好ましい。
評価方法の詳細は以下のとおりである。
日立ハイテクノロジーズ社製分光光度計U4100を用い、550nmの測定波長における反射率を測定した。基準として、Al蒸着ミラーの反射率を反射率100%とした。
十分な金属光沢を有するため、可視光反射率は、40%以上が必要であり、60%以上であるのが好ましく、更に好ましくは70%以上である。尚、可視光反射率が、40%以下であると、金属光沢が著しく低下し、外観に優れないという問題がある。
ナプソン社製非接触式抵抗測定装置NC-80MAPを用い、JIS-Z2316に準拠し、渦電流測定法により表面抵抗を測定した。
表面抵抗は、例えば、100Ω/□以上であることが必要であり、200Ω/□以上であるのが好ましく、更に400Ω/□以上であることがより好ましい。尚、100Ω/□以下であると、充分な電磁波透過性が得られないという問題がある。
1GHzにおける電界透過減衰量をKEC法測定評価治具およびアジレント社製スペクトルアナライザCXA signal Analyzer NA9000Aを用いて評価した。
マイクロ波電界透過減衰量は、-10dB以下であることが必要であり、-5dB以下であるのが好ましく、-1dB以下であることがより好ましい。尚、-10dB以上であると、90%以上の電磁波が遮断されるという問題がある。
なお、ミリ波レーダーの周波数帯域(76~80GHz)における電磁波透過性と、マイクロ波帯域(1GHz)における電磁波透過性には相関性があり、比較的近い値を示すことから、ここでは、マイクロ波帯域(1GHz)における電磁波透過性を指標とした。
上層に金属層を、下層にクラック層を配置した例である。基材フィルム(図1、図2の基材フィルム10に相当)として、三菱樹脂社製PETフィルム(厚さ125μm)を用いた。基材フィルム上にスパッタリング法にて50nmのITO層を形成し、次いで、ITO層の上にスパッタリング法で70nmのアルミニウム(Al)層を形成して、多層フィルムを得た。尚、ITOは、In2O3に対してSnO2を10wt%含有させたものである。
実施例1と同様に、上層に金属層を、下層にクラック層を配置した例であるが、クラック層をアルミナ(Al2O3)とした。その他の条件については、実施例1と同じである。尚、アルミナのモース硬度は9であるのに対し、金属層として用いたアルミニウム(Al)のモース硬度は2.5である。
この場合も、金属光沢と電磁波透過性の双方を兼ね備えた金属フィルム、或いは、金属部材が得られた。
実施例1、2と異なり、上層にクラック層を、下層に金属層を配置した例である。また、実施例1と異なり、クラック層を45nmのクロム(Cr)とし、金属層を20nmのアルミニウム(Al)とした。その他の条件については、実施例1と同じである。尚、クロムのモース硬度は8.5であるのに対し、アルミニウムのモース硬度は2.5である。
この場合も、金属光沢と電磁波透過性の双方を兼ね備えた金属フィルム、或いは、金属部材が得られた。
実施例1と異なり、多層フィルムを複数の方向に屈曲延伸処理することにより、更に詳細には、長尺方向「β」(図3参照)に屈曲延伸処理した後に、「β」と直交する方向「γ」に屈曲延伸処理を行うことで、直線状クラックが互いに交差した形状を有する金属部材を得た。
この場合も、金属光沢と電磁波透過性の双方を兼ね備えた金属フィルム、或いは、金属部材が得られた。
実施例1と同様に、上層に金属層を、下層にクラック層を配置した例である。しかしながら、実施例1と異なり、屈曲延伸処理は行わなかった。その他の条件については、実施例1と同じである。
この場合は、金属光沢については良好な結果が得られたが、電磁波透過性については不十分な結果となった。
実施例1と同様に、上層に金属層を、下層にクラック層を配置した例である。上層のアルミニウム(Al)の厚さは70nmとし、更に、クラック層としてアルミナ(Al2O3)を用いた。実施例1と異なり、屈曲延伸処理は行わなかった。また、その他の条件については、実施例1と同じである。
この場合も、金属光沢については良好な結果が得られたが、電磁波透過性については不十分な結果となった。
実施例1と異なり、上層にクラック層を、下層に金属層を配置した例である。また、実施例1と異なり、屈曲延伸処理は行わず、また、クラック層として45nmのクロムを用い、金属層として20nmのアルミニウムを用いた。その他の条件については、実施例1と同じである。
この場合も、金属光沢については良好な結果が得られたが、電磁波透過性については不十分な結果となった。
実施例1と異なり、上層にクラック層を、下層に金属層を配置した例である。また、実施例1と異なり、クラック層として45nmのクロムを用い、金属層として20nmのアルミニウムを用いた。更に、屈曲延伸処理を行う代わりに、加熱処理を行った。加熱は、金属フィルムを2時間、120度の環境下に置くことによるものである。その他の条件については、実施例1と同じである。
この場合は、金属光沢については良好な結果が得られたが、電磁波透過性については不十分な結果となった。また、加熱処理後に金属フィルムがカールしてしまい実用に供することが困難であった。
実施例1と異なり、金属層だけを用いた例である。金属層としては70nmのアルミニウムを用いた。更に、比較例5については、屈曲延伸処理を行わず、比較例6については、実施例1と同様に、屈曲延伸処理を行った。その他の条件については、実施例1と同じである。
この場合、金属光沢については良好な結果が得られたが、電磁波透過性については不十分な結果となった。
実施例1と異なり、クラック層だけを用いた例である。また、実施例1と異なり、クラック層として50nmのクロムを用いた。更に、比較例7については、屈曲延伸処理を行わず、比較例8については、実施例1と同様に、屈曲延伸処理を行った。その他の条件については、実施例1と同じである。
この場合、電磁波透過性については良好な結果が得られたが、外観が白濁し、可視光反射率が著しく低下してしまうため、金属光沢については不十分な結果となった。
各種の金属フィルムにつき、可視光反射率、電波透過減衰量、偏波度、及びクラック割合を評価した。「可視光反射率」は、上記実施例1等における「可視光反射率」と同じもの、「電波透過減衰量」は、上記実施例1等における「マイクロ波電界透過減衰量」に実質的に相当するものであって、電磁波透過性に関する評価である。「偏波度」は、直線状クラックの方向が所定の方向に揃っていることによって得られる偏波特性に関する評価である。大きな偏波度は、電磁波の指向性が高いことを意味し、この指向性の観点からは、偏波度は大きければ大きいほどよい。「クラック割合」は、偏波度と相関することから、これについても評価対象とした。評価方法の詳細は以下のとおりである。
実施例1等と同じ装置を用いて同じ方法で測定した。
76.5GHzにおける電波透過減衰量を、キーコム社製透過・反射減衰測定システムLAF-26.5Aを用いて評価した。電波透過減衰量は、上記実施例1等における「マイクロ波電界透過減衰量」に相当するが、ここでは「透過軸」と「遮断軸」の電波透過減衰量をそれぞれ別個に求めた。上記実施例1等における「マイクロ波電界透過減衰量」は、実質的に、「透過軸」の電波透過減衰量に相当する。ここで「透過軸」の電波透過減衰量とは、上記計測システムにおいて、入出射アンテナの電界成分の「偏波方向」を「基準とすべき直線状クラック」の方向に対して、垂直になるように配置した場合に得られる電波透過減衰量を意味し、一方、「遮断軸」の電波透過減衰量とは、平行になるように配置した場合に得られる電波透過減衰量を意味する。「偏波方向」が楕円の場合には、その長軸を偏波方向として使用する。「基準とすべき直線状クラック」は、下記「(4)クラック割合」における「基準直線」に沿うものとした。「透過軸」の電波透過減衰量は、上記実施例1等における「マイクロ波電界透過減衰量」と同様に、-10dB以下であることが必要であり、-5dB以下であるのが好ましく、-1dB以下であることがより好ましい。
「透過率」は、電波透過減衰量を求めるためのものではなく、下記「(3)偏波度」を求めるために必要な値であって、電波透過減衰量の値を用いて、以下の式を用いて求めることができる。
透過率(%)=10^(-X/10)×100 (ただし、Xは、電波透過減衰量(dB))
偏波度は、「透過軸」の電波透過減衰量についての透過率(%)(ここでは、「T1」という)と、「遮断軸」の電波透過原子量についての透過率(%)(ここでは、「T2」という)の比、即ち、T1/T2で算出される値である。偏波度は、使用目的に応じて、適宜、調整することになるが、一般的に好ましくは1000以上、より好ましくは2000以上、更に好ましくは4000以上である。
クラック割合の算出法を説明する。
先ず、任意に定めた所定の角度を有する第一の直線と、この第一の直線を通る任意の点を中心に所定の方向に2°回転させた第二の直線と、の間の領域において、第一の直線から0.1°刻みで複数の直線を引き、これら複数の直線それぞれ及びこれら複数の直線それぞれと並行な直線(但し、第二の直線及びこの第二直線と並行な直線は含めない)と重なり合う直線状クラックの長さの合計(以下、「合計長」という)を求める。次いで、上述した第二の直線を第一の直線として、且つ、上述した任意の点を中心に所定の方向に更に2°回転させた直線を第二の直線として、同様の方法で合計長を求める。同じ処理を複数回繰り返し、360°分、即ち、計90個の合計長を求める。
次いで、これら計90個の合計長を総計し、直線状クラックの総長(以下、「総長」という)を求める。
また、これら90個の合計長のうち、最も大きい「合計長」を有する領域(以下、「最大領域」という)を抽出する。
更に、最大領域を規定している第一の直線と第二の直線の中間に位置する直線(以下、「基準直線」という)に対して±5°以下の範囲にある直線状クラックの合計長の和を求める。更に詳細には、最大領域における合計長と、最大領域から所定の方向に2°回転させた領域における合計長及び更に2°回転させた領域における合計長と、最大領域から所定の方向とは反対方向に2°回転させた領域における合計長及び更に2°回転させた領域における合計長とを、合計した値(以下、「総合計長」という)を求める。
「クラック割合」は、「総合計長」が「総長」に対して占める割合、即ち、
クラック割合(%)= 総合計長(μm)/総長(μm)
である。
クラック割合は、偏波度と相関しており、指向性の観点から大きければ大きいほど良く、80%以上100%以下が好ましく、より好ましくは90%以上100%以下であり、更に好ましくは95%以上100%以下、更に好ましくは97%以上100%以下である。
一方、偏波度やクラック割合が大きくなると、遮断される電磁波が多くなり、この結果、電磁波透過性は悪化してしまう。このように、偏波度と電磁波透過性は、トレードオフの関係にあり、電磁波透過性の観点からは、偏波度やクラック割合はある程度小さい方が好ましい。電磁波透過性の観点から、クラック割合は、65%以下が好ましく、より好ましくは62%以下である。下限は特に制限されないが、指向性との釣り合いから、好ましくは、30%以上、より好ましくは40%以上、更に好ましくは50%以上である。
先ず、実施例2と同じ層構成の多層フィルムをこれと同じ方法で作製した。次いで、実施例2と同様に、直径6mmの金属ロッドを使用して屈曲延伸処理を施した。但し、この屈曲延伸処理は、実施例2と異なり、長尺方向「β」に沿ってフィルムを2回往復搬送するものとした。結果、図4に示すものと同様の光学顕微鏡像が得られ、また、図5に示すものと同様の二値化処理画像が得られた。
実施例5と異なり、下層のクラック層に、50nmのSTOを用いた。また、屈曲延伸処理は、実施例5と異なり、長尺方向「β」にてフィルムを「60回」往復搬送させた。その他の条件については、実施例5と同じである。
実施例5と異なり、下層のクラック層に、50nmのAZOを用いた。屈曲延伸処理は、実施例5と異なり、長尺方向「β」にてフィルムを「60回」往復搬送させた。その他の条件については、実施例5と同じである。
実施例5と異なり、上層の金属層には、50nmの銅(Cu)を用い、下層のクラック層には、50nmのITOを用いた。尚、ITOは、実施例1と同様に、In2O3に対してSnO2を10wt%含有させたものである。屈曲延伸処理は、実施例5と異なり、長尺方向「β」にてフィルムを「60回」往復搬送させた。その他の条件については、実施例5と同じである。
実施例5と異なり、上層にクラック層を、下層に金属層を配置した。金属層には、実施例5と同様に、アルミニウム(Al)を用いたが、その厚みは、20nmとした。一方、クラック層には、実施例5と異なり、45nmのクロム(Cr)を用いた。屈曲延伸処理は、実施例1と同様に、往復搬送処理を2回行った。その他の条件については、実施例1と同じである。
実施例5と異なり、屈曲延伸処理は行わなかった。その他の条件については、実施例5と同じである。
この場合は、金属光沢については良好な結果が得られたが、電磁波透過性については不十分な結果となった。
実施例及び比較例から明らかなように、金属層又はクラック層の一方だけでは、金属光沢と電磁波透過性の双方を満足する結果は得られなかった(比較例5乃至8)。従って、少なくとも金属層とクラック層の双方を設ける必要がある。
また、金属層とクラック層を設けた場合であっても、屈曲延伸処理を行わない場合(比較例1乃至3、5、7、9)、或いは、加熱処理(比較例4)を行った場合には、良好な結果は得られなかった。
更に、金属層がクラック層よりも厚い場合には、モース硬度の相異にもよるであろうが、良好な結果は得られにくい(実施例1及び比較例1、実施例2及び比較例2)。
また、多層フィルムに、長尺方向と交差する方向だけでなく、長尺方向にも、直線状クラックを発生させることにより、格子状(基盤目状)に直線状クラックを形成した場合には、電磁波透過性が更に向上する結果が得られた(実施例3)。
更にまた、優れた偏波特性を得ることも可能であり(実施例5乃至8)、その一方で、偏波特性が小さい場合には良好な電磁波透過性が得られることが明らかとなった(実施例9)。
3、3A 金属フィルム
10 基材フィルム
11 金属層
11’ 直線状クラック
12 クラック層
12’ 直線状クラック
15 直線状クラック
20 多層フィルム
Claims (23)
- 金属層と前記金属層のモース硬度より大きいモース硬度を有するクラック層とを含み、
前記金属層と前記クラック層は、それぞれの各面内に、互いに実質的に平行な複数の直線状クラックを有し、
前記金属層の直線状クラックと前記クラック層の直線状クラックは、それぞれの層を厚み方向に貫通し、且つ、厚み方向において連続しており、
前記金属層又は前記クラック層の400μm□の面内に含まれる複数の前記直線状クラックの中から任意に選択した2本の直線状クラックが互いに成す角度のうち40%以上が±10°以下であることを特徴とする電磁波透過性金属部材。 - 金属層と前記金属層のモース硬度より大きいモース硬度を有するクラック層とを含み、
前記金属層と前記クラック層は、それぞれの各面内に、互いに実質的に平行な複数の直線状クラックを有し、
前記金属層の直線状クラックと前記クラック層の直線状クラックは、それぞれの層を厚み方向に貫通し、且つ、厚み方向において連続しており、
前記金属層又は前記クラック層の400μm□の面内に含まれる複数の前記直線状クラックのうち、80%以上が基準直線に対して±5°以下の範囲にあることを特徴とする電磁波透過性金属部材。 - 金属層と前記金属層のモース硬度より大きいモース硬度を有するクラック層とを含み、
前記金属層と前記クラック層は、それぞれの各面内に、互いに実質的に平行な複数の直線状クラックを有し、
前記金属層の直線状クラックと前記クラック層の直線状クラックは、それぞれの層を厚み方向に貫通し、且つ、厚み方向において連続しており、
基材フィルム上に金属層とクラック層とを積層して成る多層フィルムを、前記基材フィルム側に折り返した状態で一方向にのみ屈曲延伸することにより、前記金属層と前記クラック層に直線状クラックが形成されていることを特徴とする電磁波透過性金属部材。 - 金属層と前記金属層のモース硬度より大きいモース硬度を有するクラック層とを含み、
前記金属層と前記クラック層は、それぞれの各面内に、互いに実質的に平行な複数の直線状クラックを有し、
前記金属層の直線状クラックと前記クラック層の直線状クラックは、それぞれの層を厚み方向に貫通し、且つ、厚み方向において連続しており、
基材フィルム上に金属層とクラック層とを積層して成る多層フィルムを、前記基材フィルム側に折り返した状態で複数の方向に屈曲延伸することにより、前記金属層と前記クラック層に直線状クラックが形成されていることを特徴とする電磁波透過性金属部材。 - 前記金属層又は前記クラック層の少なくとも一方の面内に含まれる相隣り合う前記直線状クラックが互いに成す角度が、±10°以下である請求項1乃至4のいずれかに記載の電磁波透過性金属部材。
- 前記金属層又は前記クラック層の400μm□の面内に含まれる複数の前記直線状クラックの中から任意に選択した2本の直線状クラックに関して、前記選択された2本の直線状クラックが互いに成す角度のうち40%以上が±10°以下であり、且つ、40%以上が80°以上且つ100°以下である請求項1に記載の電磁波透過性金属部材。
- 前記直線状クラックの長さが200μm以上である請求項1乃至6のいずれかに記載の電磁波透過性金属部材。
- 前記金属層と前記クラック層が所定の曲率で屈曲されているときに、屈曲側から遠い側に配置された層に生じる前記屈曲延伸により形成された前記直線状クラックの幅が、0.1nm~100nmである請求項3又は4に記載の電磁波透過性金属部材。
- 前記金属層の厚さと前記クラック層の厚さの比が0.1~20である請求項1乃至8のいずれかに記載の電磁波透過性金属部材。
- 前記金属層の厚さが、10nm~1000nmである請求項1乃至9のいずれかに記載の電磁波透過性金属部材。
- 前記クラック層の厚さが、5nm~5000nmである請求項1乃至10のいずれかに記載の電磁波透過性金属部材。
- 前記クラック層が、モース硬度が4以上の金属、該金属を主成分とする合金、およびセラミックスから選択された少なくとも一種を含む物質から成る請求項1乃至11のいずれかに記載の電磁波透過性金属部材。
- 前記セラミックスが、金属、シリコン、及びホウ素から選択された少なくとも一種を含む元素の酸化物、窒化物、炭化物、酸窒化物のいずれかを含有する請求項12に記載の電磁波透過性金属部材。
- 前記金属層のモース硬度が1以上4未満である請求項1乃至13のいずれかに記載の電磁波透過性金属部材。
- 前記金属層が、Al、Cu、Ag、Au、Znから選択された少なくとも一種の金属、および該金属を主成分とする合金のいずれかを含む請求項14に記載の電磁波透過性金属部材。
- 請求項1乃至15のいずれかに記載の電磁波透過性金属部材における前記金属層と前記クラック層と、基材フィルムとをこれらの順に含む、電磁波透過性金属フィルム。
- 請求項1乃至15のいずれかに記載の電磁波透過性金属部材と、樹脂成形物基材とを含む、電磁波透過性金属樹脂部材。
- 請求項1乃至15のいずれかに記載の電磁波透過性金属部材、又は、請求項16に記載の電磁波透過性金属フィルム、又は、請求項17に記載の電磁波透過性金属樹脂部材を用いた、車載用レーダー装置。
- 請求項2または3に記載の電磁波透過性金属部材を含む、レーダー用カバー。
- 請求項2または3に記載の電磁波透過性金属部材を含む、偏波用アンテナ。
- 長尺の基材フィルム上に金属層と前記金属層のモース硬度より大きいモース硬度を有するクラック層とを積層して成る多層フィルムを該多層フィルムの長尺方向と交差する方向に沿って前記基材フィルム側に折り返した状態で該多層フィルムを前記長尺方向に屈曲延伸することにより、前記金属層と前記クラック層に直線状クラックを形成することを特徴とする電磁波透過性金属フィルムの製造方法。
- 前記多層フィルムを、前記基材フィルム側に折り返した状態で一方向にのみ屈曲延伸することにより、前記金属層と前記クラック層に直線状クラックを形成する、請求項21に記載の電磁波透過性金属フィルムの製造方法。
- 前記多層フィルムを、前記基材フィルム側に折り返した状態で複数の方向に屈曲延伸することにより、前記金属層と前記クラック層に直線状クラックを形成する、請求項21に記載の電磁波透過性金属フィルムの製造方法。
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