JP7255866B2 - フィルム剥離機構および基板ブレークシステム - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態において後述する基板ブレークシステム1000(図2)における処理の対象とされる被処理体1の構成を示す斜視図である。被処理体1は、図1(a)に示すように、平板でかつ円環状をなしている保持リング2の一方の面(図1においては裏面)2aにダイシングテープ(基板保持テープ)3の外周端部が貼付されることによって、ダイシングテープ3が張設されてなるとともに、該ダイシングテープ3のうち保持リング2によって囲繞された露出粘着面に、脆性材料基板4が貼付された構成を有している。以降、脆性材料基板4の2つの主面のうち、図1(a)において上側を向いている主面を表面とし、ダイシングテープ3に貼り付けられた面を裏面とする。なお、図1においては図示を省略しているが、脆性材料基板4の表面にはあらかじめスクライブラインが形成されているものとする。また、図1においては脆性材料基板4が円板状をなしているが、これは必須ではなく、矩形状その他の形状をなしていてもよい。
本実施の形態においては、上述した被処理体1への係る保護フィルムFの貼付と、当該貼付状態での脆性材料基板4のブレークと、ブレーク処理後の保護フィルムFの剥離とが、基板ブレークシステム1000において一連の処理として行われるようになっている。
図3はフィルム処理部200を中心とした、基板ブレークシステム1000のより具体的な構成を説明するための側面図である。換言すれば、図3は、図2(b)をより詳しくした図に相当する。
上述のように、ブレーク処理部300は、ブレーク実行部310と、第3搬送機構320とを備える。本実施の形態においては、ブレーク実行部310として、公知の機構を採用可能である。それゆえ、ブレーク実行部310についてはその概要を概略的に説明するに留める。
次に、以上のような構成を有する基板ブレークシステム1000において、制御部500による制御のもとで行われる一連の処理について、順次に説明する。図5は、係る処理の流れを示す図である。また、図6から図15は、それら一連の処理のいくつかの途中段階における基板ブレークシステム1000の要部の様子を示す斜視図である。
図16は、把持機構250の本体部251のより詳細な構成を示す斜視図である。また、図17は、爪部251bの側から見た、本体部251の要部の斜視図である。
Claims (8)
- 平板でかつ円環状の保持リングに張設貼付された基板保持テープに脆性材料基板が貼付されてなる被処理体に対し、前記脆性材料基板の一方主面全体を覆いかつ外周端部が前記保持リングの内周側の端部近傍に達するように貼付された保護フィルムを、前記被処理体から剥離するフィルム剥離機構であって、
前記被処理体を水平面内の第1の方向において搬送する水平搬送手段と、
前記被処理体が前記保護フィルムの貼付された側を上面とする水平姿勢にある状態において、前記保護フィルムの前記外周端部の一部である被把持部を前記第1の方向に対して対称に把持可能なフィルム把持機構と、
を備え、
前記フィルム把持機構が、
固定的に設けられた基部と、
前記基部との間で前記保護フィルムの前記被把持部を把持可能に設けられた爪部と、
前記爪部を前記基部に対して近接および離隔させる可動部と、
を備え、
前記可動部によって前記爪部を前記基部から鉛直下方に離隔させ、
前記保持リングに当接させた状態で、前記水平搬送手段により前記被処理体を移動させることにより、前記爪部を前記保護フィルムと前記保持リングとの間に挿入させたうえで、前記可動部によって前記爪部を前記基部に近接させることで、前記フィルム把持機構に前記被把持部を把持させるとともに、
前記水平搬送手段による前記第1の方向のうち前記保護フィルムにおいて前記被把持部と反対側の部分が前記被把持部に近づく向きである第1の向きへの前記被処理体の搬送を行うことにより、前記保護フィルムを前記被処理体から剥離する、
ことを特徴とするフィルム剥離機構。 - 請求項1に記載のフィルム剥離機構であって、
前記フィルム把持機構による前記被把持部の把持を検知可能なフィルム検知機構、
をさらに備えることを特徴とする、フィルム剥離機構。 - 請求項2に記載のフィルム剥離機構であって、
前記フィルム検知機構が、
前記基部の内部を貫通し、前記基部の前記爪部と対向する面において開口する貫通孔と、
前記爪部において貫通孔と同軸に設けられた検知穴と、
を備え、
前記貫通孔に負圧を与えたときの当該負圧の値の変化に基づいて、前記保護フィルムの前記被把持部が前記フィルム把持機構に把持されたことを検知する、
ことを特徴とするフィルム剥離機構。 - 平板でかつ円環状の保持リングに張設貼付された基板保持テープに脆性材料基板が貼付されてなる被処理体に対し、前記脆性材料基板の一方主面全体を覆いかつ外周端部が前記保持リングの内周側の端部近傍に達するように貼付された保護フィルムを、前記被処理体から剥離するフィルム剥離機構であって、
前記被処理体を水平面内の第1の方向において搬送する水平搬送手段と、
前記被処理体が前記保護フィルムの貼付された側を上面とする水平姿勢にある状態において、前記保護フィルムの前記外周端部の一部である被把持部を前記第1の方向に対して対称に把持可能なフィルム把持機構と、
前記被処理体が収容される収容部と、
を備え、
前記フィルム把持機構が前記被把持部を把持した状態で、前記水平搬送手段が前記被処理体を前記第1の方向のうち前記保護フィルムにおいて前記被把持部と反対側の部分が前記被把持部に近づく向きである第1の向きで前記収容部に向けて搬送し、前記収容部への前記被処理体の収容が完了するまでの間に、前記保護フィルムが前記被処理体から剥離される、
ことを特徴とする、フィルム剥離機構。 - 請求項4に記載のフィルム剥離機構であって、
前記フィルム把持機構による前記被把持部の把持を検知可能なフィルム検知機構、
をさらに備えることを特徴とする、フィルム剥離機構。 - 請求項4に記載のフィルム剥離機構であって、
前記フィルム把持機構が、所定の回動軸周りに回動することにより水平姿勢と垂直姿勢との間での姿勢変換が可能に設けられてなり、
前記被把持部の把持は前記フィルム把持機構が前記垂直姿勢にある状態で行われ、
前記水平搬送手段が前記被処理体を前記第1の向きに搬送することにより前記保護フィルムが前記被処理体から剥離される途中において、前記フィルム把持機構を前記垂直姿勢から前記水平姿勢へと姿勢変換することにより、前記保護フィルムを持ち上げる、
ことを特徴とする、フィルム剥離機構。 - ブレーク対象物が載置されるブレークステージと、前記ブレーク対象物に対してその上面側から当接されるブレークバーとを備え、保護フィルムが貼付された被処理体の脆性材料基板を、あらかじめ当該脆性材料基板に形成されたスクライブラインに沿ってブレークするブレーク処理部と、
前記ブレーク処理部において前記脆性材料基板がブレークされた被処理体から前記保護フィルムを剥離するフィルム剥離機構と、
を備え、
前記フィルム剥離機構が、
平板でかつ円環状の保持リングに張設貼付された基板保持テープに前記脆性材料基板が貼付されてなる前記被処理体に対し、前記脆性材料基板の一方主面全体を覆いかつ外周端部が前記保持リングの内周側の端部近傍に達するように貼付された前記保護フィルムを、前記被処理体から剥離するフィルム剥離機構であって、
前記被処理体を水平面内の第1の方向において搬送する水平搬送手段と、
前記被処理体が前記保護フィルムの貼付された側を上面とする水平姿勢にある状態において、前記保護フィルムの前記外周端部の一部である被把持部を前記第1の方向に対して対称に把持可能なフィルム把持機構と、
前記被処理体に前記保護フィルムを貼付するフィルム貼付部と、
を備え、
前記フィルム把持機構が前記被把持部を把持した状態で、前記水平搬送手段が前記被処理体を前記第1の方向のうち前記保護フィルムにおいて前記被把持部と反対側の部分が前記被把持部に近づく向きである第1の向きに搬送することにより、前記保護フィルムを剥離するフィルム剥離機構であって、
前記フィルム貼付部によって前記保護フィルムが貼付された前記被処理体の前記脆性材料基板が、前記ブレーク処理部によってブレークされる基板ブレークシステムであって、
前記水平搬送手段が、前記被処理体を保持した状態で当該被処理体を上下反転可能とされてなり、
前記脆性材料基板の前記一方主面側が上面となる姿勢にて前記フィルム貼付部によって前記保護フィルムが貼付された前記被処理体が、
前記水平搬送手段によって上下反転されたうえで、前記ブレーク処理部に受け渡され、
前記ブレーク処理部においては、前記被処理体が、前記基板保持テープの側が上面となる姿勢にて前記ブレークステージに載置され、前記ブレークバーが前記基板保持テープを介して前記脆性材料基板に当接することにより、前記脆性材料基板がブレークされ、
前記ブレーク処理部によってブレークされた前記被処理体が、前記水平搬送手段によって再び上下反転されたうえで、前記フィルム剥離機構により前記保護フィルムが剥離される、
ことを特徴とする、基板ブレークシステム。 - 請求項7に記載の基板ブレークシステムであって、
フィルム剥離機構が、請求項1ないし請求項6のいずれかに記載のフィルム剥離機構であることを特徴とする、基板ブレークシステム。
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