JP7121119B2 - イオンミリング装置 - Google Patents
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Description
Claims (13)
- 試料を真空雰囲気に保持する真空チャンバーと、
前記試料に非集束のイオンビームを照射するイオン銃と、
水溶性のイオン液体と水との混合溶液を蓄える気化容器と、
前記真空チャンバー内に設置され、上面に開口部を有する試料容器と、
前記混合溶液を気化させた水蒸気を前記試料容器内に供給するノズルとを有し、
前記試料は前記試料容器内に載置され、前記ノズルから前記試料容器内に前記水蒸気を供給しながら前記試料容器の前記開口部より前記イオンビームが前記試料の加工面に照射されるイオンミリング装置。 - 請求項1において、
前記ノズルは、第1のノズルと第2のノズルとを含み、
前記第1のノズルは、前記試料容器の前記開口部より前記試料の加工面に前記水蒸気を噴射するように配置され、
前記第2のノズルは、前記試料容器の底部より前記試料容器に前記水蒸気を供給するように配置されるイオンミリング装置。 - 請求項2において、
鉛直方向の中心軸を中心に回転する回転盤を有する試料回転機構を有し、
前記試料容器は前記回転盤上に配置され、
前記第2のノズルは、前記回転盤の中心を通って前記試料容器の底部より前記試料容器に前記水蒸気を供給するように配置されるイオンミリング装置。 - 請求項1において、
前記試料容器内に配置され、かつ鉛直方向の中心軸を中心に回転する回転盤を有する試料回転機構と、
前記回転盤上に配置される試料保持部とを有し、
前記試料は、前記試料保持部上に載置され、
前記ノズルは、前記試料容器の側面より前記試料容器に前記水蒸気を供給するように配置されるイオンミリング装置。 - 請求項1において、
前記気化容器における前記混合溶液の液位を監視する液位センサーと、
前記気化容器における前記混合溶液の濃度を測定する濃度計と、
前記混合溶液の液位と濃度とに基づき、前記気化容器に供給する前記イオン液体の量と前記水の量とを制御する溶液制御部を有するイオンミリング装置。 - 請求項5において、
前記気化容器は大気圧雰囲気中に配置されているイオンミリング装置。 - 請求項1において、
前記気化容器における湿度を測定する第1の露点計と、
前記試料容器における湿度を測定する第2の露点計と、
前記第1の露点計の測定値と前記第2の露点計の測定値とに基づき、前記ノズルからの前記水蒸気の供給量を制御する湿度制御部とを有するイオンミリング装置。 - 請求項7において、
前記湿度制御部は、前記ノズルから前記水蒸気を連続的または断続的に供給するイオンミリング装置。 - 請求項3または4において、
前記イオン銃を傾斜させる傾斜機構と、前記イオン銃を鉛直方向または水平方向に移動させる移動機構とを有するイオンミリング装置。 - 請求項1において、
前記試料容器内に配置され、前記試料を保持する試料保持部と、
前記試料を前記イオンビームから遮蔽する遮蔽板と、
前記試料は、前記遮蔽板から所定の長さだけ突出するように配置され、前記試料の前記遮蔽板から突出した部分は前記試料保持部の開口部に位置するように載置されるイオンミリング装置。 - 請求項10において、
前記試料保持部に結合され、水平方向に中心軸を有するスイング軸を有し、
前記スイング軸は前記中心軸を中心に時計回り、反時計回りに所定の角度スイングするイオンミリング装置。 - 請求項10において、
前記ノズルは、前記試料容器の側面より前記試料容器に前記水蒸気を供給するように配置されるイオンミリング装置。 - 請求項10において、
冷却機構と、
前記遮蔽板と前記冷却機構とを接続する編組線とを有し、
前記遮蔽板を介して前記試料が冷却されるイオンミリング装置。
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JP7208195B2 (ja) * | 2020-08-14 | 2023-01-18 | 日本電子株式会社 | イオンミリング装置および試料ホルダー |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000028800A (ja) | 1998-07-08 | 2000-01-28 | Jeol Ltd | ビーム照射装置 |
JP2002319365A (ja) | 2001-04-23 | 2002-10-31 | Jeol Ltd | ステージ及びfib試料作成装置 |
JP2012068227A (ja) | 2010-08-25 | 2012-04-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | イオンミリング装置及びイオンミリング方法 |
JP2012193962A (ja) | 2011-03-15 | 2012-10-11 | Jeol Ltd | 薄膜試料作製方法 |
WO2015170400A1 (ja) | 2014-05-09 | 2015-11-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンミリング装置、及び試料加工方法 |
WO2017203676A1 (ja) | 2016-05-27 | 2017-11-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0733589B2 (ja) * | 1989-07-01 | 1995-04-12 | 株式会社日立サイエンスシステムズ | イオンミリング方法及び装置 |
JP3051909B2 (ja) | 1994-06-10 | 2000-06-12 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | パターン膜修正方法とその装置 |
US5958799A (en) | 1995-04-13 | 1999-09-28 | North Carolina State University | Method for water vapor enhanced charged-particle-beam machining |
JP3081990B2 (ja) | 1996-06-20 | 2000-08-28 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | イオンビーム加工装置 |
JP3739573B2 (ja) * | 1998-07-27 | 2006-01-25 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | フォトマスクの欠陥修正方法及びそれに用いる装置 |
EP2565900B1 (en) * | 2007-11-13 | 2016-02-03 | Carl Zeiss Microscopy Limited | Beam device and system comprising a particle beam device and an optical microscope |
JP5085475B2 (ja) | 2008-09-12 | 2012-11-28 | セイコーアイ・テクノリサーチ株式会社 | 試料作製方法および試料作製装置 |
US8541792B2 (en) * | 2010-10-15 | 2013-09-24 | Guardian Industries Corp. | Method of treating the surface of a soda lime silica glass substrate, surface-treated glass substrate, and device incorporating the same |
JP5542749B2 (ja) * | 2011-06-30 | 2014-07-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料の作製装置,作製方法、及びそれを用いた荷電粒子線装置 |
JP5930922B2 (ja) * | 2012-09-14 | 2016-06-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び試料観察方法 |
US20140308813A1 (en) * | 2013-04-15 | 2014-10-16 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for a non-contact edge polishing module using ion milling |
DE112014002868B4 (de) * | 2013-07-29 | 2019-02-28 | Hitachi High-Technologies Corporation | lonenätzvorrichtung und Bearbeitungsverfahren unter Verwendung der lonenätzvorrichtung |
JP6490917B2 (ja) * | 2013-08-23 | 2019-03-27 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 修正装置 |
JP6330455B2 (ja) * | 2014-04-30 | 2018-05-30 | 日新電機株式会社 | 真空処理装置 |
JP6220749B2 (ja) | 2014-07-30 | 2017-10-25 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンガン及びイオンミリング装置、イオンミリング方法 |
JP6386679B2 (ja) * | 2015-12-03 | 2018-09-05 | 松定プレシジョン株式会社 | 荷電粒子線装置及び走査電子顕微鏡 |
US10103008B2 (en) | 2016-01-12 | 2018-10-16 | Fei Company | Charged particle beam-induced etching |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000028800A (ja) | 1998-07-08 | 2000-01-28 | Jeol Ltd | ビーム照射装置 |
JP2002319365A (ja) | 2001-04-23 | 2002-10-31 | Jeol Ltd | ステージ及びfib試料作成装置 |
JP2012068227A (ja) | 2010-08-25 | 2012-04-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | イオンミリング装置及びイオンミリング方法 |
JP2012193962A (ja) | 2011-03-15 | 2012-10-11 | Jeol Ltd | 薄膜試料作製方法 |
WO2015170400A1 (ja) | 2014-05-09 | 2015-11-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンミリング装置、及び試料加工方法 |
WO2017203676A1 (ja) | 2016-05-27 | 2017-11-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
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