JP6867637B2 - サセプタ - Google Patents
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Description
また、本発明者らは、上記知見を得た後、さらに検討を重ね、本発明を完成させるに至った。
なお、図3では、基板保持部103と、支持部104とが、別体で設けられているが、本発明においては、一体で設けられていてもよく、また、前記サセプタの一部が、供給管と一体になっていてもよい。
図11を用いて、本実施例で用いたミストCVD装置19を説明する。ミストCVD装置19は、基板20を載置するサセプタ21と、キャリアガスを供給するキャリアガス供給手段22と、キャリアガス供給手段22から送り出されるキャリアガスの流量を調節するための流量調節弁23と、原料溶液24aが収容されるミスト発生源24と、水25aが入れられる容器25と、容器25の底面に取り付けられた超音波振動子26と、内径40mmの石英管からなる供給管27と、供給管27の周辺部に設置されたヒーター28を備えている。サセプタ21は、石英からなり、被成膜試料20を載置する面が水平面から傾斜している。供給管27とサセプタ21をどちらも石英で作製することにより、基板20上に形成される膜内に装置由来の不純物が混入することを抑制している。
なお、サセプタ21として、図3に示されるサセプタを用いて、α−Ga2O3膜を成膜した。成膜条件は以下の通りである。なお、サセプタの傾斜角は45°とし、供給管内の基板・サセプタの総面積は、図4の通り、サセプタ領域を大きく、排出領域を狭くした。
臭化ガリウムと酸化ゲルマニウムをガリウムに対するゲルマニウムの原子比が1:0.05となるように水溶液を調整した。この際、48%臭化水素酸溶液を体積比で10%を含有させた。条件1では、酸化ゲルマニウムの濃度は、5.0×10−3mol/Lとした。
この原料溶液24aをミスト発生源24内に収容した。
この原料微粒子が、キャリアガスによって成膜室27内に導入され、成膜室27内で反応して、被成膜試料20の成膜面でのCVD反応によって被成膜試料20上に膜を形成した。なお、ミストの加速度は1.51m/s2であった。
非特許文献1記載の管状炉型ミストCVD装置のサセプタを用いたこと以外は、実施例1と同様にしてα−Ga2O3膜を成膜した。なお、ミストの加速度は0であった。得られたα−Ga2O3膜につき、各点の膜厚を測定し、その分布を調べた。結果を表2に示す。バラつきの範囲は、192nmであった。標準偏差は、71.19であった。
α−Ga2O3の代わりに、IGZOを350℃の条件で成膜したこと以外は、比較例1と同様にして成膜した。なお、ミストの加速度は0であった。得られたIGZO膜につき、各点の膜厚を測定し、その分布を調べた。結果を表3に示す。バラつきの範囲は、110nmであった。標準偏差は、42.28であった。
α−Ga2O3の代わりに、ZnOを250℃の条件で成膜したこと以外は、比較例1と同様にして成膜した。なお、ミストの加速度は0であった。得られたZnO膜につき、各点の膜厚を測定し、その分布を調べた。結果を表4に示す。バラつきの範囲は、440nmであった。標準偏差は、129.45であった。
2 超音波振動子
3 ミスト発生器
4 キャリアガス供給手段
5 供給管
6 管状炉
10 成膜装置
19 ミストCVD装置
20 基板
21 サセプタ
22 キャリアガス供給手段
23 流量調節弁
24 ミスト発生源
24a 原料溶液
25 容器
25a 水
26 超音波振動子
27 成膜室
28 ヒーター
101 サセプタ
102 略半円状部
103 基板保持部
104 支持部
105 供給管
107 ヒーター
108a ミスト(沈降)
108b ミスト(加速)
108c 液だれ
109 基板
111 基板・サセプタ領域
112 排出領域
121 サセプタ
122 略半円状部
123 基板保持部
124 支持部
125 供給管
126 上部板
127 上部支持部
134 支持部
135 熱電対
Claims (6)
- 基板を保持するために成膜装置に用いられるサセプタであって、
該基板を保持する基板保持部と、該基板保持部を支持する支持部とが、一体にまたは別体で備えられており、基板側表面の外周形状が略半円状であり、前記成膜装置が、ミストを用いており、さらに、前記成膜装置が、管状炉を備えており、前記サセプタが該管状炉内の前記基板を保持するために用いられるものであり、且つ、前記支持部が前記基板を傾斜姿勢で支持し、前記サセプタが、前記ミストを前記基板まで加速上昇させることができるように構成されていることを特徴とするサセプタ。 - 前記サセプタの略半円が、上端に弦を有し、円弧の下端の少なくとも一部が前記管状炉に接している請求項1記載のサセプタ。
- 前記基板保持部が、基板に嵌合する凹部である請求項1または2に記載のサセプタ。
- 前記サセプタが占めるサセプタ領域と前記基板領域との総面積が、ミストを排出する排出領域の面積よりも大きい請求項1〜3のいずれかに記載のサセプタ。
- 前記基板の傾斜角が5°〜60°である請求項1〜4のいずれかに記載のサセプタ。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のサセプタの成膜装置への使用。
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