JP7436333B2 - 成膜方法及び成膜装置 - Google Patents
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Description
ミスト化部において原料溶液をミスト化してミストを発生させるミスト発生工程と、
前記ミストを搬送するためのキャリアガスを前記ミスト化部に供給するキャリアガス供給工程と、
前記ミスト化部と成膜室とを接続する供給管を介して前記ミスト化部から前記成膜室へと前記ミストを前記キャリアガスにより搬送する搬送工程と、
前記成膜室内に、成膜を行う成膜面を有する基板を設置する設置工程と、
前記成膜室において、前記搬送されたミストを熱処理して前記基板の前記成膜面上に成膜を行う成膜工程と
を含み、
前記設置工程において、前記基板を、前記成膜面を下向きとした状態で、前記成膜室内に設置し、
前記成膜工程において、前記基板を少なくとも上下両面から加熱することを特徴とする成膜方法を提供する。
原料溶液をミスト化してミストを発生させるように構成されたミスト化部と、
前記ミスト化部にキャリアガスを供給するように構成されたキャリアガス供給部と、
成膜を行う成膜面を有する基板を保持するように構成された基板保持部を備える成膜室と、
前記ミスト化部と前記成膜室とを接続した供給管であって、該供給管を通して前記キャリアガスによって前記ミストを前記ミスト化部から前記成膜室へと搬送するように構成された供給管と、
前記基板保持部に保持された基板を少なくとも上下両面から加熱するように構成されたヒーターと
を具備し、
前記成膜室は、前記供給管を通して前記ミスト化部から前記キャリアガスとともに供給された前記ミストを熱処理することによって、前記基板保持部に保持された前記基板の前記成膜面上に成膜を行うように構成されており、
前記基板保持部は、前記基板を、前記成膜面を下向きとした状態で保持するように構成されているものであることを特徴とする成膜装置を提供する。
ミスト化部において原料溶液をミスト化してミストを発生させるミスト発生工程と、
前記ミストを搬送するためのキャリアガスを前記ミスト化部に供給するキャリアガス供給工程と、
前記ミスト化部と成膜室とを接続する供給管を介して前記ミスト化部から前記成膜室へと前記ミストを前記キャリアガスにより搬送する搬送工程と、
前記成膜室内に、成膜を行う成膜面を有する基板を設置する設置工程と、
前記成膜室において、前記搬送されたミストを熱処理して前記基板の前記成膜面上に成膜を行う成膜工程と
を含み、
前記設置工程において、前記基板を、前記成膜面を下向きとした状態で、前記成膜室内に設置し、
前記成膜工程において、前記基板を少なくとも上下両面から加熱することを特徴とする成膜方法である。
原料溶液をミスト化してミストを発生させるように構成されたミスト化部と、
前記ミスト化部にキャリアガスを供給するように構成されたキャリアガス供給部と、
成膜を行う成膜面を有する基板を保持するように構成された基板保持部を備える成膜室と、
前記ミスト化部と前記成膜室とを接続した供給管であって、該供給管を通して前記キャリアガスによって前記ミストを前記ミスト化部から前記成膜室へと搬送するように構成された供給管と、
前記基板保持部に保持された基板を少なくとも上下両面から加熱するように構成されたヒーターと
を具備し、
前記成膜室は、前記供給管を通して前記ミスト化部から前記キャリアガスとともに供給された前記ミストを熱処理することによって、前記基板保持部に保持された前記基板の前記成膜面上に成膜を行うように構成されており、
前記基板保持部は、前記基板を、前記成膜面を下向きとした状態で保持するように構成されているものであることを特徴とする成膜装置である。
本発明の成膜装置は、
原料溶液をミスト化してミストを発生させるように構成されたミスト化部と、
前記ミスト化部にキャリアガスを供給するように構成されたキャリアガス供給部と、
成膜を行う成膜面を有する基板を保持するように構成された基板保持部を備える成膜室と、
前記ミスト化部と前記成膜室とを接続した供給管であって、該供給管を通して前記キャリアガスによって前記ミストを前記ミスト化部から前記成膜室へと搬送するように構成された供給管と、
前記基板保持部に保持された基板を少なくとも上下両面から加熱するように構成されたヒーターと
を具備し、
前記成膜室は、前記供給管を通して前記ミスト化部から前記キャリアガスとともに供給された前記ミストを熱処理することによって、前記基板保持部に保持された前記基板の前記成膜面上に成膜を行うように構成されており、
前記基板保持部は、前記基板を、前記成膜面を下向きとした状態で保持するように構成されているものであることを特徴とする。
(ミスト化部)
ミスト化部は、原料溶液をミスト化してミストを発生させるように構成されている。ミスト化手段は、原料溶液をミスト化できさえすれば特に限定されず、公知のミスト化手段であってよいが、超音波振動によるミスト化手段を用いることが好ましい。超音波振動によるミスト化手段は、より安定してミスト化を行うことができるためである。
原料溶液は、ミスト化が可能であれば、溶液に含まれる材料、すなわち溶質は特に限定されず、無機材料であっても、有機材料であってもよい。金属又は金属化合物が好適に用いられ、例えば、ガリウム、鉄、インジウム、アルミニウム、バナジウム、チタン、クロム、ロジウム、ニッケル及びコバルトから選ばれる1種又は2種以上の金属を含むものを使用してもかまわない。
キャリアガス供給部は、ミスト化部にキャリアガスを供給するように構成されたものである。
成膜室は、成膜を行う成膜面を有する基板を保持するように構成された基板保持部を備える。また、成膜室は、供給管を通してミスト化部からキャリアガスとともに供給されたミストを熱処理することによって、基板保持部に保持された基板の成膜面上に成膜を行うように構成されたものである。
供給管は、ミスト化部と成膜室とを接続した供給管であり、この供給管を通してキャリアガスによってミストをミスト化部から成膜室へと搬送するように構成されている。
基板保持部は、基板を、成膜面を下向きとした状態で保持するように構成されているものである。
ヒーターは、基板保持部に保持された基板を少なくとも上下両面から加熱するように構成されたものである。
基板は、成膜可能な成膜面を有し且つ膜を支持できるものであれば特に限定されない。基板の材料は特に限定されず、公知の基板を用いることができ、有機化合物であってもよいし、無機化合物であってもよい。例えば、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、フッ素樹脂、鉄やアルミニウム、ステンレス鋼、金等の金属、シリコン、サファイア、石英、ガラス、タンタル酸リチウム、タンタル酸カリウム、酸化ガリウム、等が挙げられるが、これに限られるものではない。基板の厚さは特に限定されないが、好ましくは10~2000μmであり、より好ましくは50~800μmである。
以下、図1に示す各部材を詳細に説明する。
本発明の成膜方法は、
ミスト化部において原料溶液をミスト化してミストを発生させるミスト発生工程と、
前記ミストを搬送するためのキャリアガスを前記ミスト化部に供給するキャリアガス供給工程と、
前記ミスト化部と成膜室とを接続する供給管を介して前記ミスト化部から前記成膜室へと前記ミストを前記キャリアガスにより搬送する搬送工程と、
前記成膜室内に、成膜を行う成膜面を有する基板を設置する設置工程と、
前記成膜室において、前記搬送されたミストを熱処理して前記基板の前記成膜面上に成膜を行う成膜工程と
を含み、
前記設置工程において、前記基板を、前記成膜面を下向きとした状態で、前記成膜室内に設置し、
前記成膜工程において、前記基板を少なくとも上下両面から加熱することを特徴とする。
ミスト発生工程では、ミスト化部において原料溶液をミスト化してミストを発生させる。
キャリアガス供給工程では、ミストを搬送するためのキャリアガスをミスト化部に供給する。
搬送工程では、ミスト化部と成膜室とを接続する供給管を介してミスト化部から成膜室へとミストをキャリアガスにより搬送する。
ミスト化部から成膜室へとミストを搬送する手段は、特に限定されない。
設置工程では、成膜室内に、成膜を行う成膜面を有する基板を設置する。この際、基板を、成膜面を下向きとした状態で、成膜室内に設置する。
成膜工程では、成膜室において、搬送されたミストを熱処理して基板の成膜面上に成膜を行う。また、この成膜工程では、基板を少なくとも上下両面から加熱する。
本発明の成膜方法は、以上に説明した工程以外の工程を更に含むことができる。以下に、追加の工程の例を示すが、追加の工程は以下の例に限定されない。
上記成膜にあたっては、基板の成膜面と、本発明の成膜方法によって形成する膜との間に適宜バッファ層を設けてもよい。バッファ層の材料としては、Al2O3、Ga2O3、Cr2O3、Fe2O3、In2O3、Rh2O3、V2O3、Ti2O3、Ir2O3、等が好適に用いられる。
また、本発明に係る成膜方法で得られた膜を、200~600℃で更に熱処理してもよい。これにより、膜中の未反応種などが除去され、より高品質の積層構造体を得ることができる。更なる熱処理は、空気中、酸素雰囲気中で行ってもよいし、窒素やアルゴン等の不活性ガス雰囲気下で行ってもかまわない。熱処理時間は適宜決定されるが、例えば、5~240分とすることができる。
本実施例では、図1及び図2を参照しながら説明した成膜装置101を用いた。
ここで、図1を再度参照しながら、本実施例で用いた成膜装置101を説明する。成膜装置101は、キャリアガスを供給するキャリアガス源102aと、キャリアガス源102aから送り出されるキャリアガスの流量を調節するための流量調節弁103aと、希釈用キャリアガスを供給する希釈用キャリアガス源102bと、希釈用キャリアガス源102bから送り出される希釈用キャリアガスの流量を調節するための流量調節弁103bと、原料溶液104aが収容されるミスト発生源としての原料容器104と、水105aが収容された容器105と、容器105の底面に取り付けられた超音波振動子106と、ヒーター108を具備する横型炉である成膜室107と、ミスト発生源104から成膜室107までをつなぐ石英製の供給管109とを備えている。成膜室107は、以下に説明する基板を保持するための基板保持部611を備えている。
基板110として1辺3cmに切出した正方形のc面サファイア基板を、成膜室107内の基板保持部611により成膜面110aが下向き(フェイスダウン)となるように保持した。
ヒーター108を作動させて温度を500℃に昇温した。これにより、成膜室107の上部及び下部の炉外壁を均一に加熱し、また、成膜室107内に基板保持部611によって保持された基板110を上下両面から加熱した。
次に、以下の手順で、原料溶液104aの作製を行った。まず、臭化ガリウム0.1mol/Lの水溶液を調製した。これに、スズとガリウムとの原子数比が0.02となるよう塩化スズ(II)を混合した。さらに48%臭化水素酸溶液を体積比で10%となるように含有させ、これを原料溶液104aとした。
上述のようにして得た原料溶液104aをミスト発生源104内に収容した。続いて、流量調節弁103a及び103bを開いて、キャリアガス源102a及び希釈用キャリアガス源102bからキャリアガス及び希釈用キャリアガスをそれぞれ成膜室107内に供給し、成膜室107の雰囲気をキャリアガス及び希釈用キャリアガスで十分に置換した後、キャリアガスの流量を5L/minに、希釈用キャリアガスの流量を0.5L/minにそれぞれ調節した。キャリアガスとしては窒素を用いた。また、希釈用キャリアガスとしては窒素を用いた。
基板110上に形成した薄膜について、FILMETRICS社の干渉式膜厚計F-50を用い測定した。測定箇所を基板110上の面内の9点として、平均膜厚、成膜速度、を算出した。また、ナプソン社製四探針抵抗率測定器RT-3000/RG-80を用いてシート抵抗を測定した。得られた膜厚とシート抵抗を乗じることで当該薄膜の抵抗率が算出される。
実施例2では、図4のように、成膜装置101として、成膜室107の内部に供給管109の一部109aを延伸したものを用い、供給管109のこの一部109a内に、成膜面110aが下向きとなるよう基板110を保持した。これ以外は、実施例1と同じ条件で成膜及び評価を行った。
比較例1では、実施例1で用いたのと同様の成膜装置101において、成膜室107の底部に基板110を成膜面110aが上向き(フェイスアップ)となるように戴置し、成膜時間は4時間とした。これ以外は、実施例1と同じ条件で成膜及び評価を行った。
Claims (5)
- 成膜方法であって、
ミスト化部において原料溶液をミスト化してミストを発生させるミスト発生工程と、
前記ミストを搬送するためのキャリアガスを前記ミスト化部に供給するキャリアガス供給工程と、
前記ミスト化部と成膜室とを接続する供給管を介して前記ミスト化部から前記成膜室へと前記ミストを前記キャリアガスにより搬送する搬送工程と、
前記成膜室内に、成膜を行う成膜面を有する基板を設置する設置工程と、
前記成膜室において、前記搬送されたミストを熱処理して前記基板の前記成膜面上に成膜を行う成膜工程と
を含み、
前記設置工程において、前記基板を、前記成膜面を下向きとした状態で、前記成膜室内に設置し、
前記成膜工程において、前記基板を少なくとも上下両面から加熱し、
前記成膜室として、該成膜室内に前記供給管の一部が延伸したものを用い、
前記設置工程において、前記供給管の前記一部内に前記基板を設置することを特徴とする成膜方法。 - 前記設置工程において、複数の前記基板を、各々の前記成膜面を下向きとした状態で、前記成膜室内に設置することを特徴とする請求項1に記載の成膜方法。
- 前記成膜工程において、前記基板の前記成膜面上に、酸化ガリウムを主成分とする膜を成膜することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の成膜方法。
- 成膜装置であって、
原料溶液をミスト化してミストを発生させるように構成されたミスト化部と、
前記ミスト化部にキャリアガスを供給するように構成されたキャリアガス供給部と、
成膜を行う成膜面を有する基板を保持するように構成された基板保持部を備える成膜室と、
前記ミスト化部と前記成膜室とを接続した供給管であって、該供給管を通して前記キャリアガスによって前記ミストを前記ミスト化部から前記成膜室へと搬送するように構成された供給管と、
前記基板保持部に保持された基板を少なくとも上下両面から加熱するように構成されたヒーターと
を具備し、
前記成膜室は、前記供給管を通して前記ミスト化部から前記キャリアガスとともに供給された前記ミストを熱処理することによって、前記基板保持部に保持された前記基板の前記成膜面上に成膜を行うように構成されており、
前記基板保持部は、前記基板を、前記成膜面を下向きとした状態で保持するように構成されているものであり、
前記成膜室内に前記供給管の一部が延伸しており、前記供給管の前記一部が、前記基板保持部として、前記供給管の前記一部内に前記基板を保持するように構成されているものであることを特徴とする成膜装置。 - 前記基板保持部は、複数の前記基板を、各々の前記成膜面を下向きとした状態で保持するように構成されたものであることを特徴とする請求項4に記載の成膜装置。
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