JPH051223U - 管型炉のウエハ熱処理用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】管型水平炉に挿入してウエハの熱処理を行う治
具の重量をほとんど増加することなくその熱変形を防止
し、長寿命化を図る。 【構成】ウエハ熱処理用治具１の脚４の下端に管型水平
炉２０の円周内壁に沿う弧状の連結材５を取付ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、管型水平炉のウエハ熱処理用治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】

管型水平炉を用いてウエハ表面を酸化したり、ウエハに所要成分を拡散させた りする工程では、ウエハを保持するウエハ熱処理用治具に多数のウエハを並列し 、この治具を管型水平炉内に挿入し、熱処理を行う。 １１００℃以上の高温熱処理を行う場合、ウエハを保持する熱処理用治具とし ては、従来、多数の脚に支持されたボートを用いている。このような熱処理用治 具は、石英材を溶接によって結合して組立てたものである。石英は上記温度条件 では軟化し始め熱変形を起す。このためにウエハの移載時に自動機で移載するこ とが不能となったり、ウエハ破損の危険を生ずるなど、治具としての機能を欠除 するに至る。したがって、寿命が短いという問題があった。図３は従来のウエハ 熱処理用治具１にウエハ１０を載せて管型水平炉２０内で熱処理を行うと、脚４ が４ａのように変形することを示したものである。単に熱的性能がすぐれた材料 としては例えばＳｉＣなどもあるが、純度の高いものを得ることが難しく、処理 中のウエハを汚染するおそれがあり使用できない。

【０００３】 また、石英の部材の寸法を大きくしたり、帯巻部分を設けるなどの対策も考え られるが、治具の重量が増加するために、炉への挿脱操作が困難となるなどの問 題がある。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は、上記のような石英の熱処理治具の重量をほとんど増加することなく その熱変形を防止し、長寿命化を図ることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】 本考案者は管型水平炉のウエハ熱処理用治具の変形について調べた結果、図３ に示すように、主として脚の曲りなど治具の中央部の変形に起因して治具の変形 が進行する事実を確認した。 本考案は上記知見に基づいて創案されたもので、複数本の脚を有し、多数のウ エハを並べて載置する支持部を有するウエハ熱処理用治具において、脚の下端を 連結して構造的に剛性の高い形状としたことを特徴とする。特に望ましい連結構 造として脚の下端に管型水平炉の円周の内壁に沿う石英の連結棒を設けることが 好適である。

【０００６】

【作用】

本考案の管型水平炉のウエハ熱処理用治具は、重量を増加することなく、また 操作性等を損ずることなく、高温における熱変形を防止する。したがって、寿命 が長くなり好ましい。 管型水平炉の円周内壁に沿うように形成した補強材は高温でもそれ自身にだれ 曲りを生ずることがないので断面積の小さいものでよく、また、ソフトランデイ ングフォーク等の操作の邪魔にならない。また、重量増加が少ない。

【０００７】

【実施例】

図１、２に実施例の正面図及び側面図を示した。本考案の実施例のウエハ熱処 理用治具１は左右の脚４を結合する結合材５を備えている。図において２は枠、 ３はウエハ載置部を示しており、図１はウエハ１０を載せたウエハ熱処理用治具 １をソフトランデイングフォーク２１を用いて管型水平炉２０内に挿入している ところである。図２ではウエハ１０は多数のうちの一部だけを示している。中央 部の脚４に結合材５を備えた本考案の実施例では、重量の増加は余りなく、寿命 は約２倍となった。

【０００８】

【考案の効果】

本考案によれば管型炉のウエハ熱処理用治具の寿命が著しく改善される。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例のウエハ熱処理用治具の正面図である。

【図２】実施例の側面図である。

【図３】従来のウエハ熱処理用治具の正面図である。

【符号の説明】

１ ウエハ熱処理用治具 ２ 枠 ３ ウエハ載置部 ４ 脚 ５ 結合材 １０ ウエハ ２０ 管型水平炉 ２１ ソフトラン
デイングフォーク

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 管型水平炉に挿入するウエハを保持する
   ウエハ熱処理用治具において、脚の下端部を相互に連結
   材で結合したことを特徴とする管型炉のウエハ熱処理用
   治具。
2. 【請求項２】 連結材が管型水平炉の円周の内壁に沿う
   弧状材であることを特徴とする請求項１記載のウエハ熱
   処理用治具。