JP3507977B2 - 縦型ウエハボート - Google Patents
縦型ウエハボートInfo
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- JP3507977B2 JP3507977B2 JP01051999A JP1051999A JP3507977B2 JP 3507977 B2 JP3507977 B2 JP 3507977B2 JP 01051999 A JP01051999 A JP 01051999A JP 1051999 A JP1051999 A JP 1051999A JP 3507977 B2 JP3507977 B2 JP 3507977B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハを熱
処理炉で熱処理する際に、多数の半導体ウエハを支持す
る縦型ウエハボートに関するものである。
処理炉で熱処理する際に、多数の半導体ウエハを支持す
る縦型ウエハボートに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の縦型ウエハボートは、図２に示す
ように円環状の２枚の端板、即ち、天板１と底板２との
間の後部半円外周側に左右対称に２本ずつ計４本のウエ
ハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを配して、このウエハ
支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを天板１と底板２とによ
り挾んで固定して成るもので、各ウエハ支持棒３ａ，３
ｂ，３ｃ，３ｄには夫々一定間隔に半導体ウエハの外周
部を挿入するウエハ支持溝４が多数設けられている。
ように円環状の２枚の端板、即ち、天板１と底板２との
間の後部半円外周側に左右対称に２本ずつ計４本のウエ
ハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを配して、このウエハ
支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを天板１と底板２とによ
り挾んで固定して成るもので、各ウエハ支持棒３ａ，３
ｂ，３ｃ，３ｄには夫々一定間隔に半導体ウエハの外周
部を挿入するウエハ支持溝４が多数設けられている。
【０００３】ところで、最近の半導体製造装置であるＬ
Ｐ（Low Pressure）−ＣＶＤ装置においては、かなりロ
ーディング速度が速く、上記構成の縦型ウエハボート５
のように天板１が円環状のものでは、天板１にクラック
が発生する場合があった。これは天板１に内部熱応力が
蓄積され、熱膨張あるいは熱収縮に伴って比較的短期間
に生じるものであった。
Ｐ（Low Pressure）−ＣＶＤ装置においては、かなりロ
ーディング速度が速く、上記構成の縦型ウエハボート５
のように天板１が円環状のものでは、天板１にクラック
が発生する場合があった。これは天板１に内部熱応力が
蓄積され、熱膨張あるいは熱収縮に伴って比較的短期間
に生じるものであった。
【０００４】このような問題を解決するために、図３に
示すように円環状の天板１の周方向の１ケ所を分断して
開口６を設けること（関連する先行技術文献として、例
えば特公平６−１０５６９３号公報がある）が行われた
が、左側の２本のウエハ支持棒３ａ，３ｂ同士の間及び
右側の２本のウエハ支持棒３ｃ，３ｄ同士の間で、天板
１に微細なクラックが生じた。
示すように円環状の天板１の周方向の１ケ所を分断して
開口６を設けること（関連する先行技術文献として、例
えば特公平６−１０５６９３号公報がある）が行われた
が、左側の２本のウエハ支持棒３ａ，３ｂ同士の間及び
右側の２本のウエハ支持棒３ｃ，３ｄ同士の間で、天板
１に微細なクラックが生じた。
【０００５】そこで本発明者らは、このように天板１に
微細なクラックが生じる原因を解明すべく研究を行った
ところ、図３に示すような縦型ウエハボート５において
は、左側の２本のウエハ支持棒３ａ，３ｂ同士の間隔及
び右側の２本のウエハ支持棒３ｃ，３ｄ同士の間隔が、
隣り合う左側のウエハ支持棒３ｂと右側のウエハ支持棒
３ｃとの間隔より短く、また４本のウエハ支持棒３ａ，
３ｂ，３ｃ，３ｄは同一長さにすべく成形，加工される
が、実際には完全に同一とすることは生産性の観点から
困難であり、多少の誤差が生ずるのは避けられず、この
ような事情によりウエハ支持棒３ａと３ｂもしくはウエ
ハ支持棒３ｃと３ｄの膨張長さに相違が生じ、この膨張
長さの相違のままローディングが繰り返すうちに、開口
６を設けた天板１といえども内部応力が蓄積され、その
結果、ウエハ支持棒３ａ，３ｂ同士の間及びウエハ支持
棒３ｃ，３ｄ同士の間で天板１に微細なクラックが生ず
ることが解明された。
微細なクラックが生じる原因を解明すべく研究を行った
ところ、図３に示すような縦型ウエハボート５において
は、左側の２本のウエハ支持棒３ａ，３ｂ同士の間隔及
び右側の２本のウエハ支持棒３ｃ，３ｄ同士の間隔が、
隣り合う左側のウエハ支持棒３ｂと右側のウエハ支持棒
３ｃとの間隔より短く、また４本のウエハ支持棒３ａ，
３ｂ，３ｃ，３ｄは同一長さにすべく成形，加工される
が、実際には完全に同一とすることは生産性の観点から
困難であり、多少の誤差が生ずるのは避けられず、この
ような事情によりウエハ支持棒３ａと３ｂもしくはウエ
ハ支持棒３ｃと３ｄの膨張長さに相違が生じ、この膨張
長さの相違のままローディングが繰り返すうちに、開口
６を設けた天板１といえども内部応力が蓄積され、その
結果、ウエハ支持棒３ａ，３ｂ同士の間及びウエハ支持
棒３ｃ，３ｄ同士の間で天板１に微細なクラックが生ず
ることが解明された。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記解明点
に着目して、各ウエハ支持棒の膨張長さに相違があって
も夫々のウエハ支持棒の膨張長さを吸収し、天板，底板
に生じる応力を緩和し、天板，底板の左右両側の夫々２
本のウエハ支持棒同士の間に生じるクラックを低減でき
るようにした縦型ウエハボートを提供しようとするもの
である。
に着目して、各ウエハ支持棒の膨張長さに相違があって
も夫々のウエハ支持棒の膨張長さを吸収し、天板，底板
に生じる応力を緩和し、天板，底板の左右両側の夫々２
本のウエハ支持棒同士の間に生じるクラックを低減でき
るようにした縦型ウエハボートを提供しようとするもの
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の縦型ウエハボートは、該ウエハボートの後部
半円外周側に左右対称に２本ずつ配された４本のウエハ
支持棒の両端を挾み固定した円環状端板の少くとも一方
の円環状端板に、左右各２本のウエハ支持棒間の位置
で、内周面に達しないスリットが設けられていることを
特徴とするものである。
の本発明の縦型ウエハボートは、該ウエハボートの後部
半円外周側に左右対称に２本ずつ配された４本のウエハ
支持棒の両端を挾み固定した円環状端板の少くとも一方
の円環状端板に、左右各２本のウエハ支持棒間の位置
で、内周面に達しないスリットが設けられていることを
特徴とするものである。
【０００８】上記本発明の縦型ウエハボートにおいて、
スリットは、円環状端板の外周から中心に向い、その長
さが円環状端板の幅の１／４〜３／４に形成されている
ことが好ましい。その理由は、１／４未満では、円環状
端板の剛性が低下せず、ウエハ支持棒の膨張長さに相違
があった場合、ウエハ支持棒の膨張長さを吸収できず、
円環状端板に生じる応力を緩和できず、３／４を超える
と、円環状端板の剛性が低下しすぎ、ウエハ支持棒の膨
張長さに相違があった場合、円環状端板が撓み、変形が
生じるからである。１／４〜３／４の範囲内にあること
によって、円環状端板の剛性が良好に低下し、ウエハ支
持棒の膨張長さに相違があってもその膨張長さを良好に
吸収し、円環状端板に生じる応力を緩和できる。
スリットは、円環状端板の外周から中心に向い、その長
さが円環状端板の幅の１／４〜３／４に形成されている
ことが好ましい。その理由は、１／４未満では、円環状
端板の剛性が低下せず、ウエハ支持棒の膨張長さに相違
があった場合、ウエハ支持棒の膨張長さを吸収できず、
円環状端板に生じる応力を緩和できず、３／４を超える
と、円環状端板の剛性が低下しすぎ、ウエハ支持棒の膨
張長さに相違があった場合、円環状端板が撓み、変形が
生じるからである。１／４〜３／４の範囲内にあること
によって、円環状端板の剛性が良好に低下し、ウエハ支
持棒の膨張長さに相違があってもその膨張長さを良好に
吸収し、円環状端板に生じる応力を緩和できる。
【０００９】上記本発明の縦型ウエハボートにおいて、
円環状端板の厚さは、３〜６mmであることが好ましい。
その理由は、３mm未満では、円環状端板に生じる応力を
緩和できるが、剛性が低下し過ぎる為円環状端板の変形
が大きくなり、各ウエハ支持棒の支持に支障を来たし、
６mmを超えると、剛性が高くなり過ぎ、各ウエハ支持棒
の膨張長さに相違があった場合、各ウエハ支持棒の膨張
長さを吸収できず、円環状端板に生じる応力を緩和でき
ないからである。３mm〜６mmの範囲内にあることによっ
て、剛性が適度に低下し、ウエハ支持棒の膨張長さに相
違があった場合、各ウエハ支持棒の膨張長さを吸収でき
て、円環状端板に生じる応力を緩和できる。
円環状端板の厚さは、３〜６mmであることが好ましい。
その理由は、３mm未満では、円環状端板に生じる応力を
緩和できるが、剛性が低下し過ぎる為円環状端板の変形
が大きくなり、各ウエハ支持棒の支持に支障を来たし、
６mmを超えると、剛性が高くなり過ぎ、各ウエハ支持棒
の膨張長さに相違があった場合、各ウエハ支持棒の膨張
長さを吸収できず、円環状端板に生じる応力を緩和でき
ないからである。３mm〜６mmの範囲内にあることによっ
て、剛性が適度に低下し、ウエハ支持棒の膨張長さに相
違があった場合、各ウエハ支持棒の膨張長さを吸収でき
て、円環状端板に生じる応力を緩和できる。
【００１０】上記の各縦型ウエハボートは、８インチ以
上の大口径半導体ウエハを多数枚載置するために、上記
円環状端板の外径が２２０mm以上であり、かつウエハ支
持棒の長さが８５０〜１２００mmである場合が、極めて
有用性を発揮するので好ましい。
上の大口径半導体ウエハを多数枚載置するために、上記
円環状端板の外径が２２０mm以上であり、かつウエハ支
持棒の長さが８５０〜１２００mmである場合が、極めて
有用性を発揮するので好ましい。
【００１１】上記本発明の縦型ウエハボートにおいて、
該ウエハボートを構成する基材は、主として反応焼結炭
化珪素（Ｓｉ−ＳｉＣ）であることが好ましい。その理
由は、反応焼結炭化珪素（Ｓｉ−ＳｉＣ）は熱伝導率が
高いため、ウエハボートの高温炉入れ時に受ける熱衝撃
及び熱変形が小さいからである。
該ウエハボートを構成する基材は、主として反応焼結炭
化珪素（Ｓｉ−ＳｉＣ）であることが好ましい。その理
由は、反応焼結炭化珪素（Ｓｉ−ＳｉＣ）は熱伝導率が
高いため、ウエハボートの高温炉入れ時に受ける熱衝撃
及び熱変形が小さいからである。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の縦型ウエハボートの実施
形態を図１によって説明すると、１は円環状の天板、２
は円環状の底板で、両者とも同じ内径，外径を有する。
この天板１と底板２との間で後部半円外周側に、左右対
称に２本ずつ計４本のウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，
３ｄが配され、このウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，３
ｄの上下両端が天板１の下面と底板２の上面に固定され
ている。ウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄには夫々
一定間隔に一点鎖線に示す半導体ウエハＷの外周部を挿
入するウエハ支持溝４が多数設けられている。然してこ
の縦型ウエハボート５における天板１，底板２には、左
右各２本のウエハ支持棒３ａ，３ｂ間の位置及びウエハ
支持棒３ｃ，３ｄ間の位置で、内周面に達しないスリッ
ト１０が設けられている。このスリット１０は、円環状
の天板１，円環状の底板２の外周から中心に向い、その
長さが円環状の天板１，天板２の幅の１／４〜３／４に
形成されている。前記円環状の天板１，底板２の直径は
２２０mm以上で、厚さは３〜６mmであり、またウエハ支
持棒の長さは８５０mm〜１２００mmである。そして縦型
ウエハボート５を構成する基材，即ち天板１，底板２，
ウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄは、反応焼結炭化
珪素（Ｓｉ含浸ＳｉＣ）より成る。
形態を図１によって説明すると、１は円環状の天板、２
は円環状の底板で、両者とも同じ内径，外径を有する。
この天板１と底板２との間で後部半円外周側に、左右対
称に２本ずつ計４本のウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，
３ｄが配され、このウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，３
ｄの上下両端が天板１の下面と底板２の上面に固定され
ている。ウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄには夫々
一定間隔に一点鎖線に示す半導体ウエハＷの外周部を挿
入するウエハ支持溝４が多数設けられている。然してこ
の縦型ウエハボート５における天板１，底板２には、左
右各２本のウエハ支持棒３ａ，３ｂ間の位置及びウエハ
支持棒３ｃ，３ｄ間の位置で、内周面に達しないスリッ
ト１０が設けられている。このスリット１０は、円環状
の天板１，円環状の底板２の外周から中心に向い、その
長さが円環状の天板１，天板２の幅の１／４〜３／４に
形成されている。前記円環状の天板１，底板２の直径は
２２０mm以上で、厚さは３〜６mmであり、またウエハ支
持棒の長さは８５０mm〜１２００mmである。そして縦型
ウエハボート５を構成する基材，即ち天板１，底板２，
ウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄは、反応焼結炭化
珪素（Ｓｉ含浸ＳｉＣ）より成る。
【００１３】上記のように構成された実施形態の縦型ウ
エハボート５は、天板１，底板２の左右各２本のウエハ
支持棒３ａ，３ｂ間の位置及びウエハ支持棒３ｃ，３ｄ
間の位置で、外周から中心に向ってスリット１０が設け
られているので、天板１，底板２の剛性が低下し、半導
体ウエハＷの外周部をウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，
３ｄの各ウエハ支持溝４に挿入支持した上熱処理炉に入
れて半導体ウエハＷを熱処理した際、各ウエハ支持棒３
ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄが夫々膨張し、その膨張長さに相
違が生じても、各ウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ
の膨張長さが吸収され、天板１，底板２に生じる応力が
緩和され、天板１，底板２にクラックが生じることがな
い。特にスリット１０の長さが、円環状の天板１，底板
２の幅の１／４〜３／４に形成され、円環状の天板１，
底板２の厚さが３〜６mmの場合は、天板１，底板２の剛
性が適度に低下し、各ウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，
３ｄの膨張長さが良好に吸収され、天板１，底板２に生
じる応力が大幅に緩和され、天板１，底板２には決して
クラックが生じることがない。また、縦型ウエハボート
５を構成する天板１，底板２，ウエハ支持棒３ａ，３
ｂ，３ｃ，３ｄが、反応焼結炭化珪素（Ｓｉ含浸Ｓｉ
Ｃ）より成る場合は、熱伝導率が高いので、半導体ウエ
ハＷをウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄのウエハ支
持溝４に挿入支持して熱処理炉へ入れた際に受ける熱衝
撃及び熱変形が小さく、耐久性に優れる。
エハボート５は、天板１，底板２の左右各２本のウエハ
支持棒３ａ，３ｂ間の位置及びウエハ支持棒３ｃ，３ｄ
間の位置で、外周から中心に向ってスリット１０が設け
られているので、天板１，底板２の剛性が低下し、半導
体ウエハＷの外周部をウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，
３ｄの各ウエハ支持溝４に挿入支持した上熱処理炉に入
れて半導体ウエハＷを熱処理した際、各ウエハ支持棒３
ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄが夫々膨張し、その膨張長さに相
違が生じても、各ウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ
の膨張長さが吸収され、天板１，底板２に生じる応力が
緩和され、天板１，底板２にクラックが生じることがな
い。特にスリット１０の長さが、円環状の天板１，底板
２の幅の１／４〜３／４に形成され、円環状の天板１，
底板２の厚さが３〜６mmの場合は、天板１，底板２の剛
性が適度に低下し、各ウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，
３ｄの膨張長さが良好に吸収され、天板１，底板２に生
じる応力が大幅に緩和され、天板１，底板２には決して
クラックが生じることがない。また、縦型ウエハボート
５を構成する天板１，底板２，ウエハ支持棒３ａ，３
ｂ，３ｃ，３ｄが、反応焼結炭化珪素（Ｓｉ含浸Ｓｉ
Ｃ）より成る場合は、熱伝導率が高いので、半導体ウエ
ハＷをウエハ支持棒３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄのウエハ支
持溝４に挿入支持して熱処理炉へ入れた際に受ける熱衝
撃及び熱変形が小さく、耐久性に優れる。
【００１４】
【実施例】３点曲げ強度が２７０〜３００MPa で、外径
１４mm，長さ９００mmのＳｉ−ＳｉＣから成る４本のウ
エハ支持棒を、その長さ寸法の誤差範囲を±０．１５mm
の範囲内で製造したところ、４本のウエハ支持棒のう
ち、最大長さのものと最小長さのものの差は、０．２mm
であった。これらウエハ支持棒を、これと同材質からな
る実施例１〜５，比較例１〜４及び従来例の円環状の天
板及び底板に接着して、縦型ウエハボートを製作した。
これら縦型ウエハボートにおける実施例１〜５，比較例
１〜４及び従来例の円環状の天板及び底板の各寸法を下
記の表１に示す。
１４mm，長さ９００mmのＳｉ−ＳｉＣから成る４本のウ
エハ支持棒を、その長さ寸法の誤差範囲を±０．１５mm
の範囲内で製造したところ、４本のウエハ支持棒のう
ち、最大長さのものと最小長さのものの差は、０．２mm
であった。これらウエハ支持棒を、これと同材質からな
る実施例１〜５，比較例１〜４及び従来例の円環状の天
板及び底板に接着して、縦型ウエハボートを製作した。
これら縦型ウエハボートにおける実施例１〜５，比較例
１〜４及び従来例の円環状の天板及び底板の各寸法を下
記の表１に示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】上記実施例１〜５，比較例１〜４及び従来
例の各縦型ウエハボートにおけるウエハ支持棒のウエハ
支持溝（溝深さ：６．５mm）に８インチの半導体ウエハ
を１２０枚挿入支持し、同一炉内において下記の急熱急
冷の熱サイクルを繰り返し行った。 急熱急冷の熱サイクル 炉入出速度 ： ４００mm／min 炉内温度 ： １２００℃ 炉内キープ時間： １時間
例の各縦型ウエハボートにおけるウエハ支持棒のウエハ
支持溝（溝深さ：６．５mm）に８インチの半導体ウエハ
を１２０枚挿入支持し、同一炉内において下記の急熱急
冷の熱サイクルを繰り返し行った。 急熱急冷の熱サイクル 炉入出速度 ： ４００mm／min 炉内温度 ： １２００℃ 炉内キープ時間： １時間
【００１７】上記の結果、比較例１の縦型ウエハボート
では、外周から中心部に向うスリットの長さが、円環状
端板の幅の１／４に満たないため、円環状端板（天板，
底板）の剛性を十分に低下させることができず、３３回
の熱サイクルで天板とウエハ支持棒の接合部近傍に欠け
が生じた。比較例２の縦型ウエハボートでは、上記スリ
ット長さが円環状端板の幅の３／４を超えたものである
ため、円環状端板の剛性が低下し過ぎ、７回の熱サイク
ルでスリット先端に亀裂の伸展が確認された。比較例３
の縦型ウエハボートでは、円環状端板の厚さが３mm未満
であるため、円環状端板の剛性が低くすぎ、２回の熱サ
イクルで天板に割れが発生した。比較例４の縦型ウエハ
ボートでは、円環状端板の厚さが６mmを超えているた
め、円環状端板の剛性が高くなりすぎ、２１回の熱サイ
クルでウエハ支持棒の支持溝に微細なクラックが確認さ
れた。従来例の縦型ウエハボートでは、円環状端板に設
けたスリットが図３に示すように外周側から内側開口部
に達する１つのスリットであるため、緩和しきれなかっ
た応力が支持棒を支点に集中し、７４回の熱サイクルで
天板における図３中左側の２本のウエハ支持棒間及び右
側の２本のウエハ支持棒間に、微細なクラックが生じて
しまった。
では、外周から中心部に向うスリットの長さが、円環状
端板の幅の１／４に満たないため、円環状端板（天板，
底板）の剛性を十分に低下させることができず、３３回
の熱サイクルで天板とウエハ支持棒の接合部近傍に欠け
が生じた。比較例２の縦型ウエハボートでは、上記スリ
ット長さが円環状端板の幅の３／４を超えたものである
ため、円環状端板の剛性が低下し過ぎ、７回の熱サイク
ルでスリット先端に亀裂の伸展が確認された。比較例３
の縦型ウエハボートでは、円環状端板の厚さが３mm未満
であるため、円環状端板の剛性が低くすぎ、２回の熱サ
イクルで天板に割れが発生した。比較例４の縦型ウエハ
ボートでは、円環状端板の厚さが６mmを超えているた
め、円環状端板の剛性が高くなりすぎ、２１回の熱サイ
クルでウエハ支持棒の支持溝に微細なクラックが確認さ
れた。従来例の縦型ウエハボートでは、円環状端板に設
けたスリットが図３に示すように外周側から内側開口部
に達する１つのスリットであるため、緩和しきれなかっ
た応力が支持棒を支点に集中し、７４回の熱サイクルで
天板における図３中左側の２本のウエハ支持棒間及び右
側の２本のウエハ支持棒間に、微細なクラックが生じて
しまった。
【００１８】以上の比較例１〜４及び従来例に対し、実
施例１〜５の縦型ウエハボートでは、いずれにおいても
１００回の熱サイクルで何ら問題が生じることがなかっ
た。即ち、実施例１〜５の縦型ウエハボートでは、円環
状端板の剛性が良好に低下し、ウエハ支持棒の膨張長さ
に相違があってもその膨張長さが良好に吸収されて、円
環状端板に生じる応力が緩和され、残留する応力は微小
となって、天板，底板の左右両側の夫々２本のウエハ支
持棒同士の間にクラックが発生しなかった。
施例１〜５の縦型ウエハボートでは、いずれにおいても
１００回の熱サイクルで何ら問題が生じることがなかっ
た。即ち、実施例１〜５の縦型ウエハボートでは、円環
状端板の剛性が良好に低下し、ウエハ支持棒の膨張長さ
に相違があってもその膨張長さが良好に吸収されて、円
環状端板に生じる応力が緩和され、残留する応力は微小
となって、天板，底板の左右両側の夫々２本のウエハ支
持棒同士の間にクラックが発生しなかった。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明で判るように本発明の縦型ウ
エハボートは、半導体ウエハの熱処理時、各ウエハ支持
棒の膨張長さに相違があっても、夫々のウエハ支持棒の
膨張長さを確実に吸収でき、天板，底板に生じる応力を
緩和でき、天板，底板の左右両側の夫々２本のウエハ支
持棒同士の間にクラックが生じることがなく、耐熱性に
優れる。
エハボートは、半導体ウエハの熱処理時、各ウエハ支持
棒の膨張長さに相違があっても、夫々のウエハ支持棒の
膨張長さを確実に吸収でき、天板，底板に生じる応力を
緩和でき、天板，底板の左右両側の夫々２本のウエハ支
持棒同士の間にクラックが生じることがなく、耐熱性に
優れる。
【図１】本発明の縦型ウエハボートの実施形態を示す斜
視図である。
視図である。
【図２】従来の縦型ウエハボートの一例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図３】従来の縦型ウエハボートの他の例を示す斜視図
である。
である。
１ 天板
２ 底板
３ａ〜３ｄ ウエハ支持棒
４ ウエハ支持溝
５ 縦型ウエハボート
１０ スリット
フロントページの続き
(72)発明者 武田 修一
山形県西置賜郡小国町大字小国町378番
地 東芝セラミックス株式会社 小国製
造所内
(72)発明者 辛 平
神奈川県秦野市曽屋30番地 東芝セラミ
ックス株式会社 開発研究所内
(72)発明者 宮崎 伸治
三重県四日市市山之一色町800番地 株
式会社東芝四日市工場内
(72)発明者 石井 賢
三重県四日市市山之一色町800番地 株
式会社東芝四日市工場内
(56)参考文献 特開 平９−293685（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−217622（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/205
H01L 21/22
H01L 21/31
H01L 21/324
H01L 21/68
Claims (5)
- 【請求項１】 縦型ウエハボートの後部半円外周側に左
右対称に２本ずつ配された４本のウエハ支持棒の両端を
挾み固定した円環状端板の少くとも一方の円環状端板
に、左右各２本のウエハ支持棒間の位置で、内周面に達
しないスリットが設けられていることを特徴とする縦型
ウエハボート。 - 【請求項２】 スリットが円環状端板の外周から中心に
向い、その長さが円環状端板の幅の１／４〜３／４に形
成されていることを特徴とする請求項１記載の縦型ウエ
ハボート。 - 【請求項３】 円環状端板の厚さが、３〜６mmであるこ
とを特徴とする請求項１又は２記載の縦型ウエハボー
ト。 - 【請求項４】 円環状端板の外径が２２０mm以上であ
り、かつウエハ支持棒の長さが８５０mm〜１２００mmで
あることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の
縦型ウエハボート。 - 【請求項５】 ウエハボートを構成する基材が、主とし
て反応焼結炭化珪素であることを特徴とする請求項１〜
４のいずれかに記載の縦型ウエハボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01051999A JP3507977B2 (ja) | 1999-01-19 | 1999-01-19 | 縦型ウエハボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01051999A JP3507977B2 (ja) | 1999-01-19 | 1999-01-19 | 縦型ウエハボート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000208428A JP2000208428A (ja) | 2000-07-28 |
| JP3507977B2 true JP3507977B2 (ja) | 2004-03-15 |
Family
ID=11752493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01051999A Expired - Fee Related JP3507977B2 (ja) | 1999-01-19 | 1999-01-19 | 縦型ウエハボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3507977B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1999
- 1999-01-19 JP JP01051999A patent/JP3507977B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000208428A (ja) | 2000-07-28 |
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