JP3102586B2 - ボート用テーブル - Google Patents
ボート用テーブルInfo
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Description
するものである。
・拡散・CVD処理等の熱処理に縦型拡散炉が用いられ
る。縦型拡散炉はスペースメリット性に優れ、軽材料の
処理に適し、均一な酸化膜を低コストで形成できるた
め、近年増々広く利用されるようになってきた。
入するタイプと上部からウェハボートを挿入するタイプ
に大別される。いずれのタイプにおいても、拡散炉下部
の金属製支持治具の上に縦型ボート用テーブルを設置
し、その上にウェハボートを置いて熱処理を行う構成に
なっている。縦型ボート用テーブルの材料としては通常
石英ガラス、SiC、Si含浸SiC等が用いられてい
る。
理を均一に行うためウェハボートを回転する方式が採用
されている。ウェハボートはチューブ内面又は炉壁面か
ら数mm程度の位置に設定される。このためウェハボー
トのセンタずれや支持精度の不良はウェハボートの接触
事故につながる可能性が大である。このためウェハボー
トを支持するボート用テーブルには、耐熱性、耐熱衝撃
性、断熱性等の特性が要求される。耐熱性、耐熱衝撃性
は主にボート用テーブルの高温での強度や寸法精度に関
係する。また、断熱性は駆動部に多大な熱を伝えないた
めに重要である。
は、2枚の円板を大径の円筒又は数本の小径丸棒で接着
した構成になっている。
で接着したタイプのテーブルは、形状が簡単で製作し易
く、断熱性が比較的良く、加工が容易である等の利点を
もっている。しかし、耐熱性や耐熱衝撃性が劣っている
ため長時間の加熱又は急激な加熱により変形し易く耐用
寿命が短い難点がある。
イプのテーブルは、前者のタイプのテーブルにくらべて
熱容量は小さいが、断熱性が劣っている。このため、拡
散炉の金属製駆動治具(テーブル)に多大な熱が伝わ
り、ウェハボートの支持精度や回転駆動動作に悪影響を
及ぼす可能性が大である。また、耐熱性や耐熱衝撃性も
劣っていて、熱変形し易く耐用寿命が短い欠点もある。
また、Si含浸時の膨張によって応力が発生し、棒と円
板の接着部分が弱くなり、そこが使用時に破壊するケー
スも多い。
解消し、耐熱性・耐熱衝撃性に優れ、耐用寿命が充分に
長いボート用テーブルを提供することを目的としてい
る。
を複数の棒状部材で接合したボート用テーブルにおい
て、前記頂板11,21,31及び前記底板12,2
2,32にそれぞれ中心部から周辺部に向うスリット1
3,14,23,24,33,34を設け、前記複数の
棒状部材15,25,35の所定位置に中間板17,2
7,37を嵌合させたことを特徴とするボート用テーブ
ル10,20,30を要旨としている。
2に設けたスリット13,14,23,24,33,3
4が、製造時の残留応力を緩和すると共に、ボートを設
置して熱処理を行った際の熱応力も緩和する。特に、S
iを含浸する場合にはSi含浸時の膨張による応力発生
を緩和する作用も有する。従って、ボート用テーブルの
耐用寿命を伸ばすことができる。
を向上できる。取り付け方式が嵌合方式であるため、中
間板を自由に着脱できる。特に、複数の中間板を嵌合で
きる構成にした場合には、中間板の枚数を調整すること
によって熱容量をさほど増加させずに所望の程度の断熱
性を実現できる。
を説明する。
を示す斜視図である。図2は図1のボート用テーブル1
0の形状を実寸比に近づけて示した側面図であり、例え
ば直径が220mm、高さが150mmに設定されてい
る。
で接合され、テーブル本体が構成されている。頂板11
は全体的に円板状である。頂板11には中央部から周辺
部に向う1本のスリット13が形成されている。スリッ
ト13の一端は頂板11の中央部に位置し、円形状であ
る。この円形状部分13aの半径は頂板11の半径の2
〜50%に設定することが望ましく、図1の実施例では
約20%になっている。スリット13の他の部分は角溝
状になっている。この角溝状部分13bの幅は1〜10
mmに設定することが望ましく、この実施例では約1m
mに設定してある。円形状部分13aの半径と角溝状部
分13bの幅は大きすぎると強度低下につながり、炉内
温度分布ムラの原因になる場合もある。
れている。
材15は、全体的に円柱形状であり、その円周面には多
数の凹所16が形成されている。この凹所16は消略す
ることもできる(例えば中間板をすきまなく挿入する場
合)。頂板11、底板12及び棒状部材15の材質はS
iC、石英、又はこれらの複合体等である。SiCはC
VD−SiCコートを行ったSiC材でもよい。また複
合体とはSiC基材の表面を石英により被覆したもので
ある。頂板11及び底板12と棒状部材15は、樹脂を
用いた接着により接合してもよいし、溶接によって接合
してもよい。
1(及び底板12)の1つの直径上に配置され、その直
径から一方の側に他の2本が配置されている。従って、
4本の棒状部材15は一方側に片寄って配置される格好
になる。
板17が等間隔に設置してある。中間板17は棒状部材
15の凹所16に嵌合することによって支持されてい
る。中間板17には合計4本の溝18,19が設けてあ
り、この溝18,19を利用してボート本体に挿入する
構成になっている。
2の実施例について簡単に説明する。この実施例では、
4本の棒状部材25が等間隔で配置されている。また、
頂板21のスリット23と底板22のスリット24の向
きは直交している。このようにスリットの向きを変える
ことによって頂・底板のねじれを効果的に防止すること
ができる。
中間板27をボート本体20に嵌合する仕方は挿入方向
によって4通りあるが、順次挿入方向をかえて(互い違
いに)ボート本体20に挿入すると有利である。このよ
うにすると、放熱方向をランダムにすることができ、熱
応力を緩和できる。
本の棒状部材36が等間隔で配置されている。頂板31
のスリット33と底板32のスリット34は120°の
角度を成している。図6に示すように、中間板37には
3本のスリット38,39が設けられている。この実施
例でも多数のスリットを別の方向から互い違いに挿入で
きる構成になっている。
て頂板を1000℃に加熱し、底板の温度を測定した。
中間板は10枚挿入しその間幅は2mmに設定した。
(実験例1)また12枚の中間板を隙間なしで配置した
ものについても同じ実験を行った。(実験例2)この場
合、棒状部材は丸棒であって凹所を設けなかった。一
方、円板と円筒、円板と丸棒からなる従来のボート用テ
ーブルを用いて同様の実験を行った。その結果を表1に
示す。
例1,2の方が断熱性(あるいは放熱性)に優れている
ことがわかる。
ルにおいて、スリットの円形状部分の半径を頂・底板の
半径の1%(比較例1)及び3%(実験例3)に設定し
て、1200℃まで加熱しその後冷却するヒートサイク
ルを多数回繰り返し行った。ヒートサイクルの繰り返し
は、縦型拡散炉に出し入れすることで実現させた。スリ
ット無しの比較例2を用いて同様の実験を行った。その
結果を表2に示す。
の3%に設定した実験例3では、ボート用テーブルが1
00回以上のヒートサイクルに耐えることがわかった。
1%の場合には充分な効果が得られなかった。
ブルにおいて、頂板と底板のスリットの向きを0度と9
0度に設定し、製造工程で棒状部材を溶接した後で頂・
底板の外径の変形量を測定した。結果を表3に示す。
ることによって変形量を小さくできることがわかった。
で接合したボート用テーブルにおいて、前記頂板11,
21,31及び前記底板12,22,32にそれぞれ中
心部から周辺部に向うスリット13,14,23,2
4,33,34を設け、前記複数の棒状部材15,2
5,35の所定位置に中間板17,27,37を嵌合さ
せたことを特徴とするボート用テーブル10,20,3
0を要旨としているので、熱容量をさほど増加させずに
優れた断熱性を実現できる。スリットによって製造時又
は使用時の熱応力を緩和できるので、耐用寿命が長い。
特に、頂板と底板のスリットの向きを平行でなく、例え
ば90度で交差させた場合には円板の変形を防止でき、
さらに寿命を伸ばすことができる。
す平面図。
す平面図。
ル 11,21,31 頂板 12,22,32 底板 13,14,23,24,33,34 スリット 15,25,35 棒状部材 16,26,36 凹所 17,27,37 中間板◆
Claims (1)
- 【請求項1】 頂板と底板を複数の棒状部材で接合した
ボート用テーブルにおいて、前記頂板(11,21,3
1)及び前記底板(12,22,32)にそれぞれ中心
部から周辺部に向うスリット(13,14,23,2
4,33,34)を設け、前記複数の棒状部材(15,
25,35)の所定位置に中間板(17,27,37)
を嵌合させたことを特徴とするボート用テーブル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26555291A JP3102586B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | ボート用テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26555291A JP3102586B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | ボート用テーブル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0582626A JPH0582626A (ja) | 1993-04-02 |
JP3102586B2 true JP3102586B2 (ja) | 2000-10-23 |
Family
ID=17418699
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26555291A Expired - Fee Related JP3102586B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | ボート用テーブル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3102586B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4627309B2 (ja) * | 2007-08-10 | 2011-02-09 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置、半導体製造方法及び被処理基板ホルダ |
JP6190156B2 (ja) * | 2013-05-15 | 2017-08-30 | 株式会社ブリヂストン | セラミックス板及びヒータユニット |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP26555291A patent/JP3102586B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0582626A (ja) | 1993-04-02 |
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