JPH0582626A - ボート用テーブル - Google Patents
ボート用テーブルInfo
- Publication number
- JPH0582626A JPH0582626A JP26555291A JP26555291A JPH0582626A JP H0582626 A JPH0582626 A JP H0582626A JP 26555291 A JP26555291 A JP 26555291A JP 26555291 A JP26555291 A JP 26555291A JP H0582626 A JPH0582626 A JP H0582626A
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- JP
- Japan
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- boat
- top plate
- bottom plate
- heat
- rod
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐熱性・耐熱衝撃性に優れ、耐用寿命が充分
に長いボート用テーブルを提供する。 【構成】 頂板と底板を複数の棒状部材で接合したボー
ト用テーブルにおいて、前記頂板１１，２１，３１及び
前記底板１２，２２，３２にそれぞれ中心部から周辺部
に向うスリット１３，１４，２３，２４，３３，３４を
設け、前記複数の棒状部材１５，２５，３５の所定位置
に中間板１７，２７，３７を嵌合させたことを特徴とす
るボート用テーブル。
に長いボート用テーブルを提供する。 【構成】 頂板と底板を複数の棒状部材で接合したボー
ト用テーブルにおいて、前記頂板１１，２１，３１及び
前記底板１２，２２，３２にそれぞれ中心部から周辺部
に向うスリット１３，１４，２３，２４，３３，３４を
設け、前記複数の棒状部材１５，２５，３５の所定位置
に中間板１７，２７，３７を嵌合させたことを特徴とす
るボート用テーブル。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はボート用テーブルに関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体工業分野では、Ｓｉウェハの酸化
・拡散・ＣＶＤ処理等の熱処理に縦型拡散炉が用いられ
る。縦型拡散炉はスペースメリット性に優れ、軽材料の
処理に適し、均一な酸化膜を低コストで形成できるた
め、近年増々広く利用されるようになってきた。
・拡散・ＣＶＤ処理等の熱処理に縦型拡散炉が用いられ
る。縦型拡散炉はスペースメリット性に優れ、軽材料の
処理に適し、均一な酸化膜を低コストで形成できるた
め、近年増々広く利用されるようになってきた。
【０００３】縦型拡散炉は、下部からウェハボートを挿
入するタイプと上部からウェハボートを挿入するタイプ
に大別される。いずれのタイプにおいても、拡散炉下部
の金属製支持治具の上に縦型ボート用テーブルを設置
し、その上にウェハボートを置いて熱処理を行う構成に
なっている。縦型ボート用テーブルの材料としては通常
石英ガラス、ＳｉＣ、Ｓｉ含浸ＳｉＣ等が用いられてい
る。
入するタイプと上部からウェハボートを挿入するタイプ
に大別される。いずれのタイプにおいても、拡散炉下部
の金属製支持治具の上に縦型ボート用テーブルを設置
し、その上にウェハボートを置いて熱処理を行う構成に
なっている。縦型ボート用テーブルの材料としては通常
石英ガラス、ＳｉＣ、Ｓｉ含浸ＳｉＣ等が用いられてい
る。
【０００４】さて、縦型拡散炉では、Ｓｉウェハの熱処
理を均一に行うためウェハボートを回転する方式が採用
されている。ウェハボートはチューブ内面又は炉壁面か
ら数ｍｍ程度の位置に設定される。このためウェハボー
トのセンタずれや支持精度の不良はウェハボートの接触
事故につながる可能性が大である。このためウェハボー
トを支持するボート用テーブルには、耐熱性、耐熱衝撃
性、断熱性等の特性が要求される。耐熱性、耐熱衝撃性
は主にボート用テーブルの高温での強度や寸法精度に関
係する。また、断熱性は駆動部に多大な熱を伝えないた
めに重要である。
理を均一に行うためウェハボートを回転する方式が採用
されている。ウェハボートはチューブ内面又は炉壁面か
ら数ｍｍ程度の位置に設定される。このためウェハボー
トのセンタずれや支持精度の不良はウェハボートの接触
事故につながる可能性が大である。このためウェハボー
トを支持するボート用テーブルには、耐熱性、耐熱衝撃
性、断熱性等の特性が要求される。耐熱性、耐熱衝撃性
は主にボート用テーブルの高温での強度や寸法精度に関
係する。また、断熱性は駆動部に多大な熱を伝えないた
めに重要である。
【０００５】従来用いられている縦型ボート用テーブル
は、２枚の円板を大径の円筒又は数本の小径丸棒で接着
した構成になっている。
は、２枚の円板を大径の円筒又は数本の小径丸棒で接着
した構成になっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】２枚の円板を大径円筒
で接着したタイプのテーブルは、形状が簡単で製作し易
く、断熱性が比較的良く、加工が容易である等の利点を
もっている。しかし、耐熱性や耐熱衝撃性が劣っている
ため長時間の加熱又は急激な加熱により変形し易く耐用
寿命が短い難点がある。
で接着したタイプのテーブルは、形状が簡単で製作し易
く、断熱性が比較的良く、加工が容易である等の利点を
もっている。しかし、耐熱性や耐熱衝撃性が劣っている
ため長時間の加熱又は急激な加熱により変形し易く耐用
寿命が短い難点がある。
【０００７】２枚の円板を数本の小径丸棒で接着したタ
イプのテーブルは、前者のタイプのテーブルにくらべて
熱容量は小さいが、断熱性が劣っている。このため、拡
散炉の金属製駆動治具（テーブル）に多大な熱が伝わ
り、ウェハボートの支持精度や回転駆動動作に悪影響を
及ぼす可能性が大である。また、耐熱性や耐熱衝撃性も
劣っていて、熱変形し易く耐用寿命が短い欠点もある。
また、Ｓｉ含浸時の膨張によって応力が発生し、棒と円
板の接着部分が弱くなり、そこが使用時に破壊するケー
スも多い。
イプのテーブルは、前者のタイプのテーブルにくらべて
熱容量は小さいが、断熱性が劣っている。このため、拡
散炉の金属製駆動治具（テーブル）に多大な熱が伝わ
り、ウェハボートの支持精度や回転駆動動作に悪影響を
及ぼす可能性が大である。また、耐熱性や耐熱衝撃性も
劣っていて、熱変形し易く耐用寿命が短い欠点もある。
また、Ｓｉ含浸時の膨張によって応力が発生し、棒と円
板の接着部分が弱くなり、そこが使用時に破壊するケー
スも多い。
【０００８】本発明は、このような従来技術の問題点を
解消し、耐熱性・耐熱衝撃性に優れ、耐用寿命が充分に
長いボート用テーブルを提供することを目的としてい
る。
解消し、耐熱性・耐熱衝撃性に優れ、耐用寿命が充分に
長いボート用テーブルを提供することを目的としてい
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、頂板と底板
を複数の棒状部材で接合したボート用テーブルにおい
て、前記頂板１１，２１，３１及び前記底板１２，２
２，３２にそれぞれ中心部から周辺部に向うスリット１
３，１４，２３，２４，３３，３４を設け、前記複数の
棒状部材１５，２５，３５の所定位置に中間板１７，２
７，３７を嵌合させたことを特徴とするボート用テーブ
ル１０，２０，３０を要旨としている。
を複数の棒状部材で接合したボート用テーブルにおい
て、前記頂板１１，２１，３１及び前記底板１２，２
２，３２にそれぞれ中心部から周辺部に向うスリット１
３，１４，２３，２４，３３，３４を設け、前記複数の
棒状部材１５，２５，３５の所定位置に中間板１７，２
７，３７を嵌合させたことを特徴とするボート用テーブ
ル１０，２０，３０を要旨としている。
【００１０】
【作用】頂板１１，２１，３１及び底板１２，２２，３
２に設けたスリット１３，１４，２３，２４，３３，３
４が、製造時の残留応力を緩和すると共に、ボートを設
置して熱処理を行った際の熱応力も緩和する。特に、Ｓ
ｉを含浸する場合にはＳｉ含浸時の膨張による応力発生
を緩和する作用も有する。従って、ボート用テーブルの
耐用寿命を伸ばすことができる。
２に設けたスリット１３，１４，２３，２４，３３，３
４が、製造時の残留応力を緩和すると共に、ボートを設
置して熱処理を行った際の熱応力も緩和する。特に、Ｓ
ｉを含浸する場合にはＳｉ含浸時の膨張による応力発生
を緩和する作用も有する。従って、ボート用テーブルの
耐用寿命を伸ばすことができる。
【００１１】棒状部材に中間板を嵌合するので、断熱性
を向上できる。取り付け方式が嵌合方式であるため、中
間板を自由に着脱できる。特に、複数の中間板を嵌合で
きる構成にした場合には、中間板の枚数を調整すること
によって熱容量をさほど増加させずに所望の程度の断熱
性を実現できる。
を向上できる。取り付け方式が嵌合方式であるため、中
間板を自由に着脱できる。特に、複数の中間板を嵌合で
きる構成にした場合には、中間板の枚数を調整すること
によって熱容量をさほど増加させずに所望の程度の断熱
性を実現できる。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の好適な実施例
を説明する。
を説明する。
【００１３】図１は本発明によるボート用テーブル１０
を示す斜視図である。図２は図１のボート用テーブル１
０の形状を実寸比に近づけて示した側面図であり、例え
ば直径が２２０ｍｍ、高さが１５０ｍｍに設定されてい
る。
を示す斜視図である。図２は図１のボート用テーブル１
０の形状を実寸比に近づけて示した側面図であり、例え
ば直径が２２０ｍｍ、高さが１５０ｍｍに設定されてい
る。
【００１４】頂板１１と底板１２が４本の棒状部材１５
で接合され、テーブル本体が構成されている。頂板１１
は全体的に円板状である。頂板１１には中央部から周辺
部に向う１本のスリット１３が形成されている。スリッ
ト１３の一端は頂板１１の中央部に位置し、円形状であ
る。この円形状部分１３ａの半径は頂板１１の半径の２
〜５０％に設定することが望ましく、図１の実施例では
約２０％になっている。スリット１３の他の部分は角溝
状になっている。この角溝状部分１３ｂの幅は１〜１０
ｍｍに設定することが望ましく、この実施例では約１ｍ
ｍに設定してある。円形状部分１３ａの半径と角溝状部
分１３ｂの幅は大きすぎると強度低下につながり、炉内
温度分布ムラの原因になる場合もある。
で接合され、テーブル本体が構成されている。頂板１１
は全体的に円板状である。頂板１１には中央部から周辺
部に向う１本のスリット１３が形成されている。スリッ
ト１３の一端は頂板１１の中央部に位置し、円形状であ
る。この円形状部分１３ａの半径は頂板１１の半径の２
〜５０％に設定することが望ましく、図１の実施例では
約２０％になっている。スリット１３の他の部分は角溝
状になっている。この角溝状部分１３ｂの幅は１〜１０
ｍｍに設定することが望ましく、この実施例では約１ｍ
ｍに設定してある。円形状部分１３ａの半径と角溝状部
分１３ｂの幅は大きすぎると強度低下につながり、炉内
温度分布ムラの原因になる場合もある。
【００１５】底板１２にも同様なスリット１４が形成さ
れている。
れている。
【００１６】頂板１１と底板１２を接合している棒状部
材１５は、全体的に円柱形状であり、その円周面には多
数の凹所１６が形成されている。この凹所１６は消略す
ることもできる（例えば中間板をすきまなく挿入する場
合）。頂板１１、底板１２及び棒状部材１５の材質はＳ
ｉＣ、石英、又はこれらの複合体等である。ＳｉＣはＣ
ＶＤ−ＳｉＣコートを行ったＳｉＣ材でもよい。また複
合体とはＳｉＣ基材の表面を石英により被覆したもので
ある。頂板１１及び底板１２と棒状部材１５は、樹脂を
用いた接着により接合してもよいし、溶接によって接合
してもよい。
材１５は、全体的に円柱形状であり、その円周面には多
数の凹所１６が形成されている。この凹所１６は消略す
ることもできる（例えば中間板をすきまなく挿入する場
合）。頂板１１、底板１２及び棒状部材１５の材質はＳ
ｉＣ、石英、又はこれらの複合体等である。ＳｉＣはＣ
ＶＤ−ＳｉＣコートを行ったＳｉＣ材でもよい。また複
合体とはＳｉＣ基材の表面を石英により被覆したもので
ある。頂板１１及び底板１２と棒状部材１５は、樹脂を
用いた接着により接合してもよいし、溶接によって接合
してもよい。
【００１７】棒状部材１５の接合位置は、２本が頂板１
１（及び底板１２）の１つの直径上に配置され、その直
径から一方の側に他の２本が配置されている。従って、
４本の棒状部材１５は一方側に片寄って配置される格好
になる。
１（及び底板１２）の１つの直径上に配置され、その直
径から一方の側に他の２本が配置されている。従って、
４本の棒状部材１５は一方側に片寄って配置される格好
になる。
【００１８】頂板１１と底板１２の間には、複数の中間
板１７が等間隔に設置してある。中間板１７は棒状部材
１５の凹所１６に嵌合することによって支持されてい
る。中間板１７には合計４本の溝１８，１９が設けてあ
り、この溝１８，１９を利用してボート本体に挿入する
構成になっている。
板１７が等間隔に設置してある。中間板１７は棒状部材
１５の凹所１６に嵌合することによって支持されてい
る。中間板１７には合計４本の溝１８，１９が設けてあ
り、この溝１８，１９を利用してボート本体に挿入する
構成になっている。
【００１９】次に図３，図４を参照して本発明による第
２の実施例について簡単に説明する。この実施例では、
４本の棒状部材２５が等間隔で配置されている。また、
頂板２１のスリット２３と底板２２のスリット２４の向
きは直交している。このようにスリットの向きを変える
ことによって頂・底板のねじれを効果的に防止すること
ができる。
２の実施例について簡単に説明する。この実施例では、
４本の棒状部材２５が等間隔で配置されている。また、
頂板２１のスリット２３と底板２２のスリット２４の向
きは直交している。このようにスリットの向きを変える
ことによって頂・底板のねじれを効果的に防止すること
ができる。
【００２０】中間板２７は２本の溝２８を有している。
中間板２７をボート本体２０に嵌合する仕方は挿入方向
によって４通りあるが、順次挿入方向をかえて（互い違
いに）ボート本体２０に挿入すると有利である。このよ
うにすると、放熱方向をランダムにすることができ、熱
応力を緩和できる。
中間板２７をボート本体２０に嵌合する仕方は挿入方向
によって４通りあるが、順次挿入方向をかえて（互い違
いに）ボート本体２０に挿入すると有利である。このよ
うにすると、放熱方向をランダムにすることができ、熱
応力を緩和できる。
【００２１】図５に示した第３の実施例においては、３
本の棒状部材３６が等間隔で配置されている。頂板３１
のスリット３３と底板３２のスリット３４は１２０°の
角度を成している。図６に示すように、中間板３７には
３本のスリット３８，３９が設けられている。この実施
例でも多数のスリットを別の方向から互い違いに挿入で
きる構成になっている。
本の棒状部材３６が等間隔で配置されている。頂板３１
のスリット３３と底板３２のスリット３４は１２０°の
角度を成している。図６に示すように、中間板３７には
３本のスリット３８，３９が設けられている。この実施
例でも多数のスリットを別の方向から互い違いに挿入で
きる構成になっている。
【００２２】
【実験例】図３に示すタイプのボート用テーブルを用い
て頂板を１０００℃に加熱し、底板の温度を測定した。
中間板は１０枚挿入しその間幅は２ｍｍに設定した。
（実験例１）また１２枚の中間板を隙間なしで配置した
ものについても同じ実験を行った。（実験例２）この場
合、棒状部材は丸棒であって凹所を設けなかった。一
方、円板と円筒、円板と丸棒からなる従来のボート用テ
ーブルを用いて同様の実験を行った。その結果を表１に
示す。
て頂板を１０００℃に加熱し、底板の温度を測定した。
中間板は１０枚挿入しその間幅は２ｍｍに設定した。
（実験例１）また１２枚の中間板を隙間なしで配置した
ものについても同じ実験を行った。（実験例２）この場
合、棒状部材は丸棒であって凹所を設けなかった。一
方、円板と円筒、円板と丸棒からなる従来のボート用テ
ーブルを用いて同様の実験を行った。その結果を表１に
示す。
【００２３】
【表１】 表１を見ると、従来例１，２にくらべて、本発明の実験
例１，２の方が断熱性（あるいは放熱性）に優れている
ことがわかる。
例１，２の方が断熱性（あるいは放熱性）に優れている
ことがわかる。
【００２４】次に、図３に示すタイプのボート用テーブ
ルにおいて、スリットの円形状部分の半径を頂・底板の
半径の１％（比較例１）及び３％（実験例３）に設定し
て、１２００℃まで加熱しその後冷却するヒートサイク
ルを多数回繰り返し行った。ヒートサイクルの繰り返し
は、縦型拡散炉に出し入れすることで実現させた。スリ
ット無しの比較例２を用いて同様の実験を行った。その
結果を表２に示す。
ルにおいて、スリットの円形状部分の半径を頂・底板の
半径の１％（比較例１）及び３％（実験例３）に設定し
て、１２００℃まで加熱しその後冷却するヒートサイク
ルを多数回繰り返し行った。ヒートサイクルの繰り返し
は、縦型拡散炉に出し入れすることで実現させた。スリ
ット無しの比較例２を用いて同様の実験を行った。その
結果を表２に示す。
【００２５】
【表２】 表２から明らかなように、中央部の半径を頂・底板半径
の３％に設定した実験例３では、ボート用テーブルが１
００回以上のヒートサイクルに耐えることがわかった。
１％の場合には充分な効果が得られなかった。
の３％に設定した実験例３では、ボート用テーブルが１
００回以上のヒートサイクルに耐えることがわかった。
１％の場合には充分な効果が得られなかった。
【００２６】最後に、図３に示すタイプのボート用テー
ブルにおいて、頂板と底板のスリットの向きを０度と９
０度に設定し、製造工程で棒状部材を溶接した後で頂・
底板の外径の変形量を測定した。結果を表３に示す。
ブルにおいて、頂板と底板のスリットの向きを０度と９
０度に設定し、製造工程で棒状部材を溶接した後で頂・
底板の外径の変形量を測定した。結果を表３に示す。
【００２７】
【表３】 表３から明らかなように、スリットを９０度に交差させ
ることによって変形量を小さくできることがわかった。
ることによって変形量を小さくできることがわかった。
【００２８】
【発明の効果】本発明は、頂板と底板を複数の棒状部材
で接合したボート用テーブルにおいて、前記頂板１１，
２１，３１及び前記底板１２，２２，３２にそれぞれ中
心部から周辺部に向うスリット１３，１４，２３，２
４，３３，３４を設け、前記複数の棒状部材１５，２
５，３５の所定位置に中間板１７，２７，３７を嵌合さ
せたことを特徴とするボート用テーブル１０，２０，３
０を要旨としているので、熱容量をさほど増加させずに
優れた断熱性を実現できる。スリットによって製造時又
は使用時の熱応力を緩和できるので、耐用寿命が長い。
特に、頂板と底板のスリットの向きを平行でなく、例え
ば９０度で交差させた場合には円板の変形を防止でき、
さらに寿命を伸ばすことができる。
で接合したボート用テーブルにおいて、前記頂板１１，
２１，３１及び前記底板１２，２２，３２にそれぞれ中
心部から周辺部に向うスリット１３，１４，２３，２
４，３３，３４を設け、前記複数の棒状部材１５，２
５，３５の所定位置に中間板１７，２７，３７を嵌合さ
せたことを特徴とするボート用テーブル１０，２０，３
０を要旨としているので、熱容量をさほど増加させずに
優れた断熱性を実現できる。スリットによって製造時又
は使用時の熱応力を緩和できるので、耐用寿命が長い。
特に、頂板と底板のスリットの向きを平行でなく、例え
ば９０度で交差させた場合には円板の変形を防止でき、
さらに寿命を伸ばすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す斜視図。
【図２】本発明の実施例を示す側面図。
【図３】本発明の他の実施例を示す斜視図。
【図４】図３のボート用テーブルに嵌合する中間板を示
す平面図。
す平面図。
【図５】本発明のさらに他の実施例を示す斜視図。
【図６】図５のボート用テーブルに嵌合する中間板を示
す平面図。
す平面図。
１０，２０，３０ ボート用テーブ
ル １１，２１，３１ 頂板 １２，２２，３２ 底板 １３，１４，２３，２４，３３，３４ スリット １５，２５，３５ 棒状部材 １６，２６，３６ 凹所 １７，２７，３７ 中間板◆
ル １１，２１，３１ 頂板 １２，２２，３２ 底板 １３，１４，２３，２４，３３，３４ スリット １５，２５，３５ 棒状部材 １６，２６，３６ 凹所 １７，２７，３７ 中間板◆
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｔ 8418−4Ｍ
Claims (1)
- 【請求項１】 頂板と底板を複数の棒状部材で接合した
ボート用テーブルにおいて、前記頂板（１１，２１，３
１）及び前記底板（１２，２２，３２）にそれぞれ中心
部から周辺部に向うスリット（１３，１４，２３，２
４，３３，３４）を設け、前記複数の棒状部材（１５，
２５，３５）の所定位置に中間板（１７，２７，３７）
を嵌合させたことを特徴とするボート用テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26555291A JP3102586B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | ボート用テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26555291A JP3102586B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | ボート用テーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0582626A true JPH0582626A (ja) | 1993-04-02 |
| JP3102586B2 JP3102586B2 (ja) | 2000-10-23 |
Family
ID=17418699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26555291A Expired - Fee Related JP3102586B2 (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | ボート用テーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3102586B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008016859A (ja) * | 2007-08-10 | 2008-01-24 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 縦型ウェーハホルダ |
| JP2014225507A (ja) * | 2013-05-15 | 2014-12-04 | 株式会社ブリヂストン | セラミックス板及びヒータユニット |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP26555291A patent/JP3102586B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008016859A (ja) * | 2007-08-10 | 2008-01-24 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 縦型ウェーハホルダ |
| JP4627309B2 (ja) * | 2007-08-10 | 2011-02-09 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置、半導体製造方法及び被処理基板ホルダ |
| JP2014225507A (ja) * | 2013-05-15 | 2014-12-04 | 株式会社ブリヂストン | セラミックス板及びヒータユニット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3102586B2 (ja) | 2000-10-23 |
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