JP6190156B2 - セラミックス板及びヒータユニット - Google Patents
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Description
(1.1)実施形態に係るセラミックス板1
本実施形態に係るセラミックス板1の概略構成について、図1を参照しながら説明する。図1(a)は、本実施形態に係るセラミックス板1の平面図である。図1(b)は、本実施形態に係るセラミックス板1の斜視図である。
次に、本実施形態の変形例1に係るセラミックス板2の概略構成について、図2を参照しながら説明する。図2(a)は、本実施形態の変形例1に係るセラミックス板2の平面図である。図2(b)は、本実施形態の変形例1に係るセラミックス板2の斜視図である。
次に、本実施形態の変形例2に係るセラミックス板3の概略構成について、図3を参照しながら説明する。図3(a)は、本実施形態の変形例2に係るセラミックス板3の平面図である。図3(b)は、本実施形態の変形例2に係るセラミックス板3の斜視図である。
本実施形態に係るヒータユニット100の概略構成について、図4及び図5を参照しながら説明する。図4は、本実施形態に係るヒータユニット100の断面図である。図5は、本実施形態に係るヒータユニット100の一部を分解した分解斜視図である。
次に、本発明の効果を確かめるため、以下のシミュレーションを行った。図6から図9を用いてシミュレーション結果を説明する。
セラミックス板1は、貫通孔30と、貫通孔30から側面20まで延びる切込み部40を備える。これにより、切込み部40周辺のセラミックス板1の端部40a及び端部40bが固定されないため、端部40a及び端部40bは、セラミックス板1の熱膨張に合わせて、動くことができる。このため、セラミックス板1では、熱膨張に起因してセラミックス板1の外周に働く応力を和らげることが可能となり、クラックの発生を抑制できる。
本発明の実施形態を通じて本発明の内容を開示したが、この開示の一部をなす論述及び図面は、本発明を限定するものであると理解すべきではない。本発明はここでは記載していない様々な実施形態を含む。従って、本発明はここでは記載していない様々な実施形態を含む。
Claims (5)
- 第1主面と、前記第1主面の外周に接する側面と、前記側面を挟んで前記第1主面に対向する第2主面と、を有するセラミックス板であって、
前記第1主面から前記第2主面まで貫通する貫通孔と、
前記貫通孔から前記側面まで延びる切り込みにより形成された切込み部と、
前記貫通孔から、前記第1主面に平行な方向における前記セラミックス板の中央側に向かって延びる切り込みにより形成された内側切込み部と、
を備えるセラミックス板。 - 前記セラミックス板の前記中央側に位置する端部である前記内側切込み部の終端部は、前記第1主面に垂直な方向から視て、円弧形状である請求項1に記載のセラミックス板。
- 前記セラミックス板は、円板状であり、
前記第1主面に平行な方向における前記セラミックス板の中心から前記貫通孔の中心までの長さは、前記セラミックス板の半径の2/3以上である請求項1または2に記載のセラミックス板。 - 前記セラミックス板は、炭化珪素セラミックス板である請求項1から3の何れか1項に記載のセラミックス板。
- 請求項1から4の何れか1項に記載のセラミックス板を用いたヒータユニット。
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