JP2012084683A - 支持体及びウエハ成膜処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウエハを均一に加熱することができるとともに、低コストで大量生産が可能である支持体、及びこの支持体を用いたウエハ成膜処理方法を提供する。
【解決手段】半導体デバイス製造工程において用いられ、ウエハWを載置する凹部10が設けられている上面1aを有する支持体であって、該支持体は、炭化ケイ素によって形成されており、凹部10は、平面視において略円形状であるとともに、平面視における前記凹部10の中心部を中心とした同心円状に設けられた複数の円環状の段によって形成されている底部10Bを有する。
【選択図】図2
【解決手段】半導体デバイス製造工程において用いられ、ウエハWを載置する凹部10が設けられている上面1aを有する支持体であって、該支持体は、炭化ケイ素によって形成されており、凹部10は、平面視において略円形状であるとともに、平面視における前記凹部10の中心部を中心とした同心円状に設けられた複数の円環状の段によって形成されている底部10Bを有する。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体デバイス製造工程においてウエハを載置する支持体、及びこの支持体を用いたウエハ成膜処理方法に関する。
一般に、半導体デバイス製造工程のひとつであるウエハ成膜工程において、ウエハを載置するための支持体が用いられている。この時、ウエハに対する加熱やウエハの自重を原因として、ウエハはたわむことがある。ウエハがたわんだ場合においても、ウエハに対する加熱を均一にするために、球面形状に窪む凹部が設けられている支持体が知られている。ウエハは、球面形状に窪む凹部に載置されることにより、均一に加熱される(例えば、特許文献1参照)。
ところで、上述した支持体には次のような問題があった。すなわち、ウエハ成膜工程に用いられる支持体は、耐熱性、高硬度性が求められるために炭化ケイ素によって形成されることが多い。炭化ケイ素は非常に硬度が高い物質であるため、例えば、オスカー式研磨に代表されるレンズ加工法やボールエンドミル加工法などでは、砥石が摩耗してしまうことがある。そのため、球面形状に窪む凹部を精度良く加工することは難しかった。また、型彫放電加工法を用いることも可能であるが、型彫放電加工法は、工具コストの高さと加工時間の長さとが原因で大量生産への適用が難しかった。
そこで、本発明は、底面が球面形状である凹部を有する支持体と同様に、ウエハを均一に加熱することができるとともに、低コストで大量生産が可能となる支持体、及びこの支持体を用いたウエハ成膜処理方法を提供することを目的とする。
まず、本発明の第1の特徴は、半導体デバイス製造工程において用いられ、ウエハ(ウエハW)を載置する凹部(凹部10)が形成されている上面(上面1a)を有する支持体(サセプタ1)であって、前記支持体は、炭化ケイ素によって形成されており、前記凹部は、平面視において略円形状であるとともに、平面視における前記凹部の中心部を中心とした同心円状に設けられた複数の円環状の段によって形成されている底部(底部10B)を有することを要旨とする。
これによれば、凹部の底部は、同心円状に設けられた複数の円環状の段によって形成されているため、凹部の底部を球面形状とする場合と比べて、標準的な砥石(ダイヤモンド研削石)を用いた加工法によって加工することができる。すなわち、加工が容易であるため、レンズ加工やボールエンドミル加工及び型彫り放電加工を用いる必要がない。その結果、低コストで大量生産が可能な支持体を提供することが可能となる。
本発明の第2の特徴は、第1の特徴に係り、前記底部は、前記凹部の周縁部(周縁段11S)から前記凹部の中心部(中心段11C)に向かうにつれて前記上面からの深さが深くなることを要旨とする。
これによれば、加工後の底部の形状は、凹部の周縁から中心へ向かうに従って上面からの深さが深くなる形状である。従って、載置されたウエハがたわんだ状態において、ウエハと底部との間隔がウエハ全体に渡って均一となる。その結果、ウエハ成膜工程においてウエハを均一に加熱することが可能となる。
本発明の第3の特徴は、第1または2の特徴に係り、前記凹部の中央では、前記底部が球面形状であることを要旨とする。
本発明の第4の特徴は、ウエハを支持体に載置するウエハ載置工程と、前記ウエハを成膜するウエハ成膜工程とを有するウエハ成膜処理方法であって、前記支持体は、ウエハを載置する凹部が形成されている上面を有するとともに、炭化ケイ素によって形成されており、前記凹部は、平面視において略円形状であるとともに、平面視における前記凹部の中心部を中心とした同心円状に設けられた複数の円環状の段によって形成されている底部を有し、前記底部は、前記凹部の周縁部から前記凹部の中心部に向かうにつれて前記上面からの深さが深くなり、前記複数の円環状の段におけるそれぞれの段は、平面視における前記凹部の中心に近い端部である内周端を有し、ウエハ載置工程において、平面視におけるウエハと重なる段のうち、少なくとも前記上面に最も近い段の内周端にウエハが接触することを要旨とする。
本発明の第5の特徴は、第4の特徴に係り、ウエハ載置工程において、平面視におけるウエハと重なる段のうち、前記上面に最も近い段の内周端にのみウエハが接触することを要旨とする。
本発明の第6の特徴は、第4の特徴に係り、ウエハ載置工程において、平面視におけるウエハと重なる段のうち、複数の段の内周端にウエハが接触することを要旨とする。
本発明の特徴によれば、底面が球面形状である凹部を有する支持体と同様に、ウエハを均一に加熱することができるとともに、低コストで大量生産が可能となる支持体、及びこの支持体を用いたウエハ成膜処理方法を提供することができる。
本発明に係る空気入りタイヤの実施形態について、図面を参照しながら説明する。具体的には、(1)支持体の構成、(2)凹部の構成、(3)凹部の加工方法、(4)ウエハ成膜処理方法、(5)作用・効果、(6)実施例、(7)その他の実施形態について説明する。
なお、以下の図面の記載において、同一または類似の部分には、同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なのものであり、各寸法の比率などは現実のものとは異なることを留意すべきである。従って、具体的な寸法などは以下の説明を参酌して判断すべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれる。
また、以後の説明及び図面において、上下方向、左右方向と規定しているが、これらはすべてウエハが支持体に載置された姿勢における方向を示している。
(1)支持体の構成
まず、本実施形態に係る支持体(サセプタ1)の構成について、図1乃至図2を参照して説明する。図1は、本実施形態に係る支持体の平面図である。図2(a)は、図1におけるA−A’断面図である。図2(b)は、本実施形態に係る凹部の斜視図である。
まず、本実施形態に係る支持体(サセプタ1)の構成について、図1乃至図2を参照して説明する。図1は、本実施形態に係る支持体の平面図である。図2(a)は、図1におけるA−A’断面図である。図2(b)は、本実施形態に係る凹部の斜視図である。
図1に示すように、サセプタ1は、平面視において略円形状である。また、サセプタ1は、上下方向及び左右方向の断面視において、ウエハが載置される側の面である上面1aと、上面1aと反対側の面である下面1bとを有している(図2(a)参照)。
サセプタ1の上面1aにはウエハを載置する4つの凹部10が設けられている。凹部10は、平面視において略円形状である。ここで、略円形状とは、円形状、楕円形状、一部が直線となる形状を含むことを意味している。
また、平面視における凹部10の大きさは、凹部10に載置されるウエハよりも大きく形成されればよく、適宜設定することができる。なお、本実施形態において、サセプタ1は、炭化ケイ素によって形成されている。
(2)凹部の構成
図2(a)及び(b)に示すように、凹部10は、上面1aに形成され、下面1bに向かって凸となる窪んだ形状を有している。すなわち、凹部10は、上面1aと連なり上面1aから下面1bへ向かう方向に延びる壁部10Wと、ウエハが載置される底部10Bとによって形成されている。壁部10Wは、上面1aと略90度の角度となるよう形成されている。底部10Bは、同心円状に設けられた複数の円環状の段によって形成されている。すなわち、底部10Bは、段差を有する形状である。具体的には、底部10Bを形成する複数の段のうち、平面視における凹部10の中心に位置する段(以後の説明において、中心段11Cとする)が最も下面1b側に位置する。また、底部10Bを形成する複数の段のうち、平面視において最も外側に位置する段(以後の説明において周縁段11Sとする)が最も上面1a側に位置している。すなわち、底部10Bは、中心段11Cから周縁段11Sに向かって上り階段状に形成されている。
図2(a)及び(b)に示すように、凹部10は、上面1aに形成され、下面1bに向かって凸となる窪んだ形状を有している。すなわち、凹部10は、上面1aと連なり上面1aから下面1bへ向かう方向に延びる壁部10Wと、ウエハが載置される底部10Bとによって形成されている。壁部10Wは、上面1aと略90度の角度となるよう形成されている。底部10Bは、同心円状に設けられた複数の円環状の段によって形成されている。すなわち、底部10Bは、段差を有する形状である。具体的には、底部10Bを形成する複数の段のうち、平面視における凹部10の中心に位置する段(以後の説明において、中心段11Cとする)が最も下面1b側に位置する。また、底部10Bを形成する複数の段のうち、平面視において最も外側に位置する段(以後の説明において周縁段11Sとする)が最も上面1a側に位置している。すなわち、底部10Bは、中心段11Cから周縁段11Sに向かって上り階段状に形成されている。
また、図2(a)に示すように、サセプタ1の厚さhsは、上面1aから中心段11Cまでの深さhcよりも大きい。すなわち、凹部10は、サセプタ1を貫通することはない。本実施形態においては、底部10Bは、中心段11Cを一段と数えた場合、10段に形成されている。また、各段の上下方向の段差hdは、0.01mm(10μm)以下となるように形成されている。
(3)凹部の加工方法
次に、図3を参照して、凹部10の加工方法について説明する。図3は、凹部10の加工方法を模式的に示す図である。
次に、図3を参照して、凹部10の加工方法について説明する。図3は、凹部10の加工方法を模式的に示す図である。
上述したように、凹部10は、上下方向及び左右方向の断面視において、サセプタ1の上面1aと略90度の角度で形成されている壁部10Wと、階段状に形成された底部10Bとによって形成されている。従って、図3に示すように、標準的な研磨治具Dによって凹部10を加工することができる。研磨治具Dは、回転体D1と、回転体D1の研磨面に取付けた円盤状かつ平坦のダイヤモンド粉集合体D2とにより構成されている。サセプタ1の凹部10を加工する場合、回転体D1を回転させながらダイヤモンド粉集合体D2を、上面1aに対して垂直に押し当てることによって加工することができる。
(4)ウエハ成膜処理方法
次に、図面を参照して、ウエハ成膜処理方法について説明する。
次に、図面を参照して、ウエハ成膜処理方法について説明する。
ウエハ成膜処理方法のうち、ウエハを成膜するウエハ成膜工程については、熱酸化法、CVD法、スパッタリング法などの周知の技術を適宜採用することができるため説明を省略する。ここでは、ウエハWを凹部10に載置するウエハ載置工程において、凹部10に載置されるウエハWについて説明をする。図4(a)及び(b)は、ウエハ載置工程において、凹部10に載置されたウエハWの状態を模式的に示す図である。
図4(a)に示すウエハ載置工程においては、凹部10を構成する複数の段のうち、周縁段11SにウエハWが支持されている。具体的には、周縁段11Sにおいて、平面視における凹部10の中心に近い端部である内周端11Seによって支持されている。すなわち、図4(a)に示すウエハ載置工程においては、ウエハWは、周縁段11Sの内周端11Seを除く他の底部10Bとは接触しない。
この場合、ウエハWと底部10Bとの間隔は、内周端11Se以外の部分においてウエハ全体に渡って略均一となる。従って、ウエハWを均一に加熱することが可能となり、その結果、ウエハWの温度ムラを抑制することができる。
また、ウエハ載置工程において、図4(b)のようにウエハWを載置することも可能である。図4(b)は、中心段11Cを除く全ての段にウエハWが接触している。具体的には、ウエハWは、底部10Bを形成するそれぞれの段における内周端によって支持されている。
このように、ウエハWをそれぞれの段の内周端にのみ接触させることによって、ウエハWと底部10Bとの接触面積を少なくすることが可能となる。また、それぞれの段の内周端は、平面視において円形状に形成されているため、ウエハWと内周端とが接触している部分に偏りやばらつきが起こらない。その結果、ウエハW全体に渡って均一に加熱することが可能となり、その結果、ウエハWの温度ムラを抑制することができる。
(5)作用・効果
次に、本実施形態に係るサセプタ1の作用、及び効果について説明する。
次に、本実施形態に係るサセプタ1の作用、及び効果について説明する。
本実施形態によれば、サセプタ1は、炭化ケイ素によって形成されており、凹部10は、平面視において略円形状であるとともに、平面視における凹部10の中心部を中心とした同心円状に設けられた複数の円環状の段によって形成されている底部10Bを有し、底部10Bは、凹部10Bの周縁段11Sから凹部10Bの中心段11Cに向かうにつれて上面1aからの深さが深くなるように形成されている。
これによれば、凹部10の底部10Bは、階段状に形成されているため、凹部10の底部を球面形状とする場合と比べて、標準的な研削治具Dを用いた加工法によって加工することができる。すなわち、加工が容易であるため、レンズ加工やボールエンドミル加工及び型彫り放電加工を用いる必要がない。その結果、低コストで大量生産が可能なサセプタ1を提供することが可能となる。
また、本実施形態のサセプタ1によれば、底部10Bの形状が凹部10の周縁段11Sから中心段11Cへ向かうにつれて上面1aからの深さが深くなる形状であり、且つ、底部10Bを形成する各段の上下方向の段差は0.01mm以下となるように形成されている。すなわち、各段の上下方向の段差を0.01mm以下とすることにより、曲線を直線補間し、球面形状のような底部10Bを形成することができる。その結果、ウエハ成膜工程において、ウエハWを均一に加熱することが可能となる。
(6)実施例
次に、図面を参照して実施例を具体的に説明する。図5は、実施例に係る凹部20を示す図である。図6は、実施例に係る凹部30を示す図である。なお、図5及び6において示されている数値の単位はミリメートルである。
次に、図面を参照して実施例を具体的に説明する。図5は、実施例に係る凹部20を示す図である。図6は、実施例に係る凹部30を示す図である。なお、図5及び6において示されている数値の単位はミリメートルである。
図5に示すサセプタ2は、上下方向の厚さが4mmである。また、サセプタ2に設けられている凹部20は、直径が152mm、サセプタ2の上面2aから周縁段21Sまでの上下方向の深さが0.8mmである。図5に示す凹部20の底部20Bは、10段に形成されている。底部20Bを形成する各段の上下方向の段差は0.003mmである。
また、上下方向及び左右方向の断面視において、底部20Bを形成する各段の左右方向の長さL(図5においては、2段目を一例としている)は、中心段21Cから周縁段21Sに向かうにつれて短くなるように形成されている。具体的には、図5に示すように、底部20Bを形成する各段の左右方向の長さLを比較した場合、中心段21Cの長さ21CL(平面視における中心段21Cの半径に相当する)は15mmで最も長く、周縁段21Sの長さ21SLが最も短く形成されている。
図6に示すサセプタ3は、上下方向の厚さが2mmである。また、サセプタ3に設けられている凹部30は、直径が102mm、サセプタ30の上面3aから周縁段31Sまでの上下方向の深さが0.7mmである。図6に示す凹部30の底部30Bは、7段に形成されている。底部30Bを形成する各段の上下方向の段差は0.006mmである。
また、上下方向及び左右方向の断面視において、底部30Bを形成する各段の左右方向の長さL(図6においては、2段目を一例としている)は、中心段31Cから周縁段31Sに向かうにつれて短くなるように形成されている。具体的には、図6に示すように、底部30Bを形成する各段の左右方向の長さLを比較した場合、中心段31Cの長さ31CL(平面視における中心段31Cの半径に相当する)は10mmで最も長く、周縁段31Sの長さ31SLが最も短く形成されている。
(7)その他の実施形態
上述したように、本発明の実施形態を通じて本発明の内容を開示したが、この開示の一部をなす論述及び図面は、本発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例が明らかとなる。例えば、本発明の実施形態は、次のように変更することができる。
上述したように、本発明の実施形態を通じて本発明の内容を開示したが、この開示の一部をなす論述及び図面は、本発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例が明らかとなる。例えば、本発明の実施形態は、次のように変更することができる。
図7に示すように、中心段11Cのみ、下面へ向かって凸となる球面形状であってもよい。中心段11Cが下面11bに向かう方向に凸となる球面形状であるため、ウエハWがたわんだ場合において、ウエハWとサセプタ10との間隔をウエハW全体に渡ってより均一にすることができる。また、中心段11Cの加工においては、中心段11Cの直径は凹部10の直径と比べて小さいため、加工時に用いられるダイヤモンド砥石を球形状のものに取り替えるだけで、球面形状の中心段を加工することができる。
図8に示すように、底部10Bは、周縁段11Sから中心段11Cに向かうにつれて上面1aからの深さが浅くなるように形成されていてもよい。すなわち、上下方向において、周縁段11Sが最も下面1b側に位置し、周縁段11Sから上面1aに向かって凸となる形状であってもよい。このように形成された凹部10においても、底部10Bが階段状に形成されているため、標準的な研削治具を用いた加工法によって容易に加工することができる。その結果、低コストで大量生産が可能なサセプタを提供することが可能となる。さらには、ウエハ成膜工程において、平面視におけるウエハ中心部が上下方向上側にたわむ場合においても、ウエハを均一に加熱することが可能となる。
また、実施形態において、サセプタ1に設けられている凹部は4つであると説明したが、これに限られず1つの凹部が設けられた枚葉式サセプタであってもよい。サセプタ1に設けられる凹部の数は適宜設定することができる。
また、底部10Bの段数は、実施例において説明した7段や10段に限られず、載置するウエハの大きさや特徴によって適宜設定することができる。
また、実施例において、底部10Bを形成する複数の段における上下方向の段差は、統一されていたがこれに限られない。すなわち、上面からの深さが深くなるにつれて上下方向の段差を大きくすることも可能である。反対に、上面からの深さが深くなるにつれて上下方向の段差を小さくすることも可能である。段差の構成については、載置されるウエハの大きさや特徴によって適宜設定することができる。同様に、各段の左右方向の長さについても適宜設定することができる。
このように、本発明は、ここでは記載していない様々な実施の形態などを含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は、上述の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
1,2,3…サセプタ、1a,2a,3a…上面、 1b,2b,3b…下面、 10,20,30…凹部、 10W…壁部、 10B,20B,30B…底部、 11C,21C,31C…中心段、 11S,21S,31S…周縁段、11Se…内周端、 W…ウエハ、 D…研磨治具
Claims (6)
- 半導体デバイス製造工程において用いられ、ウエハを載置する凹部が形成されている上面を有する支持体であって、
前記支持体は、炭化ケイ素によって形成されており、
前記凹部は、平面視において略円形状であるとともに、平面視における前記凹部の中心部を中心とした同心円状に設けられた複数の円環状の段によって形成されている底部を有することを特徴とする支持体。 - 前記底部は、前記凹部の周縁部から前記凹部の中心部に向かうにつれて前記上面からの深さが深くなることを特徴とする請求項1に記載の支持体。
- 前記凹部の中央では、
前記底部が球面形状であることを特徴とする請求項1または2に記載の支持体。 - ウエハを支持体に載置するウエハ載置工程と、
前記ウエハを成膜するウエハ成膜工程とを有するウエハ成膜処理方法であって、
前記支持体は、ウエハを載置する凹部が形成されている上面を有するとともに、炭化ケイ素によって形成されており、
前記凹部は、平面視において略円形状であるとともに、平面視における前記凹部の中心部を中心とした同心円状に設けられた複数の円環状の段によって形成されている底部を有し、
前記底部は、前記凹部の周縁部から前記凹部の中心部に向かうにつれて前記上面からの深さが深くなり、
前記複数の円環状の段におけるそれぞれの段は、平面視における前記凹部の中心に近い端部である内周端を有し、
ウエハ載置工程において、平面視におけるウエハと重なる段のうち、少なくとも前記上面に最も近い段の内周端にウエハが接触することを特徴とするウエハ成膜処理方法。 - ウエハ載置工程において、平面視におけるウエハと重なる段のうち、前記上面に最も近い段の内周端にのみウエハが接触することを特徴とする請求項4に記載のウエハ成膜処理方法。
- ウエハ載置工程において、平面視におけるウエハと重なる段のうち、複数の段の内周端にウエハが接触することを特徴とする請求項4に記載のウエハ成膜処理方法。
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