JP4454557B2 - 縦型ウェーハボート - Google Patents
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Description
1)天板にφ160mmの透孔を設けたウェーハボートで40MPa、φ80mの透孔を設けたウェーハボートでは67MPaの引張応力が発生する。
2 底板
3 支柱
3a 支持溝
4 天板
4a スリット
4b 小円透孔
Claims (3)
- 底板と、この底板に立設され半導体ウェーハを支持する多数の支持溝が設けられた3本以上の支柱と、この支柱の上端に設けられた円板状の天板を備え、この天板には中心から外周に向かって放射状に設けられ端部が外周に達していない3本以上のスリットが設けられたことを特徴とする縦型ウェーハボート。
- 底板と、この底板に立設され半導体ウェーハを支持する多数の支持溝が設けられた3本以上の支柱と、この支柱の上端に設けられた円板状の天板を備え、この天板には外周から中心に向かって放射状に設けられ端部が互いに接触しない3本以上のスリットが設けられたことを特徴とする縦型ウェーハボート。
- 底板と、この底板に立設され半導体ウェーハを支持する多数の支持溝が設けられた3本以上の支柱と、この支柱の上端に設けられた円板状の天板を備え、この天板には中心から外周に向かって放射状に設けられ端部が外周に達していない3本以上のスリットが設けられ、かつ、この3本以上のスリット間には前記底板の外周から中心に向かって放射状に設けられ端部が互いに接触しないスリットが設けられたことを特徴とする縦型ウェーハボート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005252496A JP4454557B2 (ja) | 2005-08-31 | 2005-08-31 | 縦型ウェーハボート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005252496A JP4454557B2 (ja) | 2005-08-31 | 2005-08-31 | 縦型ウェーハボート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007067232A JP2007067232A (ja) | 2007-03-15 |
JP4454557B2 true JP4454557B2 (ja) | 2010-04-21 |
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ID=37929059
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005252496A Expired - Fee Related JP4454557B2 (ja) | 2005-08-31 | 2005-08-31 | 縦型ウェーハボート |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4454557B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5031611B2 (ja) * | 2008-02-18 | 2012-09-19 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び天井断熱体 |
JP5593474B2 (ja) * | 2012-05-28 | 2014-09-24 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、天井断熱体及び加熱装置 |
JP6190156B2 (ja) * | 2013-05-15 | 2017-08-30 | 株式会社ブリヂストン | セラミックス板及びヒータユニット |
CN113363190B (zh) * | 2021-05-31 | 2022-07-08 | 北海惠科半导体科技有限公司 | 晶舟、扩散设备及半导体器件制造方法 |
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2005
- 2005-08-31 JP JP2005252496A patent/JP4454557B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007067232A (ja) | 2007-03-15 |
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Date | Code | Title | Description |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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