JP6220749B2 - イオンガン及びイオンミリング装置、イオンミリング方法 - Google Patents
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Description
2 イオンビーム
3 イオンガン制御部
4 真空チャンバー
5 真空排気系
6 試料
7 試料台
8 試料ステージ
9 試料ステージ駆動部
11 カソード
12 カソード
13 アノード
14 永久磁石
15 加速電極
16 インシュレータ
17 イオンガンベース
18 イオン化室
21 放電電源
22 加速電源
31 アノード内径
32 アノード出口孔
33 カソード出口孔
34 加速電極出口孔
40 ガス供給機構
41 ガス源
50 電流測定部
51 電流測定子駆動部
52 電流測定子
Claims (20)
- 外部から供給されたガスに電子を衝突させイオンを生成するイオン生成部と、前記イオン生成部から放出される前記イオンを加速させる電極に5kV以上8kV以下の電圧が印加された加速電極と、を有し、前記加速されたイオンを試料に照射し加工するイオンミリング装置において、
前記イオン生成部は、
前記電子が放出されるカソードと、
前記イオン生成部の内部に設けられ、かつ内径が4mm以上5mm以下のアノードと、
最大エネルギー積が110kJ/m3から191kJ/m3の範囲である磁石によって前記イオン生成部の内部に磁場を発生させる磁場発生部と、を有することを特徴とするイオンミリング装置。 - 請求項1記載のイオンミリング装置において、
前記磁石はサマリウムコバルト磁石であることを特徴とするイオンミリング装置。 - 請求項1記載のイオンミリング装置において、
前記加速電極は、6kV以上の電圧が印加されることを特徴とするイオンミリング装置。 - 請求項1記載のイオンミリング装置において、
前記イオン生成部は、ペニング型であることを特徴とするイオンミリング装置。 - 請求項1記載のイオンミリング装置において、
前記磁場発生部の残留磁束密度は、810mTから950mTまでの範囲であることを特徴とするイオンミリング装置。 - 請求項1記載のイオンミリング装置において、
前記磁場発生部の保持力は、620mTから660mTまでの範囲であることを特徴とするイオンミリング装置。 - 請求項1記載のイオンミリング装置において、
前記アノードの形状は筒状であり、かつアノード内径とアノードの出口孔の直径が同一寸法であることを特徴とするイオンミリング装置。 - 請求項1記載のイオンミリング装置において、
前記アノードの出口孔の直径がアノード内径より小さい、または同一寸法であることを特徴とするイオンミリング装置。 - 請求項8記載のイオンミリング装置において、
前記アノードの出口孔の直径が4mm であることを特徴とするイオンミリング装置。 - 外部から供給されたガスに電子を衝突させイオンを生成するイオン生成部と、前記イオン生成部から放出される前記イオンを加速させる電極に5kV以上8kV以下の電圧が印加された加速電極と、を有し、前記加速されたイオンを試料に照射し加工するイオンミリング装置に用いられるイオン源において、
前記イオン源は、
前記電子が放出されるカソードと、
前記イオン生成部の内部に設けられ、かつ内径が4mm以上5mm以下のアノードと、
最大エネルギー積が110kJ/m3から191kJ/m3の範囲である磁石によって前記イオン生成部の内部に磁場を発生させる磁場発生部と、を有することを特徴とするイオン源。 - 請求項10記載のイオン源において、
前記磁石はサマリウムコバルト磁石であることを特徴とするイオン源。 - 請求項10記載のイオン源において、
前記加速電極は、6kV以上の電圧が印加されたことを特徴とするイオン源。 - 請求項10記載のイオン源において、
前記イオン源はペニング型であることを特徴とするイオン源。 - 請求項10記載のイオン源において、
前記磁場発生部の残留磁束密度は、810mTから950mTまでの範囲であることを特徴とするイオン源。 - 請求項10記載のイオン源において、
前記磁場発生部の保持力は、620mTから660mTまでの範囲であることを特徴とするイオン源。 - 外部から供給されたガスに電子を衝突させイオンを生成するイオン生成部と、前記イオン生成部から放出される前記イオンを加速させる電極に5kV以上8kV以下の電圧が印加された加速電極と、を有し、前記加速されたイオンを試料に照射し加工するイオンミリング装置において、
前記イオン生成部は、
前記電子が放出されるカソードと、
前記イオン生成部の内部に設けられ、かつ内径が4mm以上5mm以下のアノードと、
前記イオン生成部の中心軸上に140mTから160mTの範囲で磁場を発生させる磁場発生部と、を有することを特徴とするイオンミリング装置。 - 請求項16記載のイオンミリング装置において、
前記加速電極は、6kV以上の電圧が印加されたことを特徴とするイオンミリング装置。 - カソードから電子が放出される放出ステップと、
内径が4mm以上5mm以下のアノードの内側にて外部から供給されたガスに前記電子を衝突させイオンを生成するイオン生成ステップと、
最大エネルギー積が110kJ/m3から191kJ/m3までの範囲である磁石により発生させた磁場に前記イオンを作用させる磁場発生ステップと、
前記イオンへ5kV以上8kV以下の電圧を印加し加速させる加速ステップと、
前記加速されたイオンを試料に照射し加工する加工ステップと、を有することを特徴とするイオンミリング方法。 - 請求項18記載のイオンミリング方法において、
前記加速ステップは、前記イオンへ6kV以上の電圧を印加し前記イオンを加速させる加速ステップであることを特徴とするイオンミリング方法。 - 請求項18記載のイオンミリング方法において、
前記磁場発生ステップは、イオン生成部の中心軸上に140mTから160mTまでの範囲の磁場を発生させるステップであることを特徴とするイオンミリング方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014154424A JP6220749B2 (ja) | 2014-07-30 | 2014-07-30 | イオンガン及びイオンミリング装置、イオンミリング方法 |
PCT/JP2015/071433 WO2016017661A1 (ja) | 2014-07-30 | 2015-07-29 | イオンミリング装置、イオン源およびイオンミリング方法 |
US15/500,449 US10304653B2 (en) | 2014-07-30 | 2015-07-29 | Ion milling device, ion source and ion milling method |
US16/381,938 US11158481B2 (en) | 2014-07-30 | 2019-04-11 | Ion milling device, ion source, and ion milling method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014154424A JP6220749B2 (ja) | 2014-07-30 | 2014-07-30 | イオンガン及びイオンミリング装置、イオンミリング方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017189451A Division JP2018022701A (ja) | 2017-09-29 | 2017-09-29 | イオンガン及びイオンミリング装置、イオンミリング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016031870A JP2016031870A (ja) | 2016-03-07 |
JP6220749B2 true JP6220749B2 (ja) | 2017-10-25 |
Family
ID=55217559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014154424A Active JP6220749B2 (ja) | 2014-07-30 | 2014-07-30 | イオンガン及びイオンミリング装置、イオンミリング方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10304653B2 (ja) |
JP (1) | JP6220749B2 (ja) |
WO (1) | WO2016017661A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018170295A (ja) * | 2018-08-08 | 2018-11-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンガン及びイオンミリング装置、イオンミリング方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6220749B2 (ja) * | 2014-07-30 | 2017-10-25 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンガン及びイオンミリング装置、イオンミリング方法 |
JP6294182B2 (ja) | 2014-07-30 | 2018-03-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンガン及びイオンミリング装置、イオンミリング方法 |
WO2018003109A1 (ja) * | 2016-07-01 | 2018-01-04 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | イオンミリング装置 |
KR102123887B1 (ko) * | 2016-07-14 | 2020-06-17 | 주식회사 히타치하이테크 | 이온 밀링 장치 |
WO2019244331A1 (ja) | 2018-06-22 | 2019-12-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンミリング装置 |
JP7186884B2 (ja) * | 2019-08-28 | 2022-12-09 | 株式会社日立ハイテク | イオンガン及びイオンミリング装置 |
US20220367148A1 (en) * | 2019-12-24 | 2022-11-17 | Hitachi High-Tech Corporation | Ion Milling Device |
KR20220100026A (ko) * | 2019-12-24 | 2022-07-14 | 주식회사 히타치하이테크 | 이온 밀링 장치 |
WO2022244149A1 (ja) | 2021-05-19 | 2022-11-24 | 株式会社日立ハイテク | イオンミリング装置 |
WO2024024061A1 (ja) * | 2022-07-28 | 2024-02-01 | 株式会社日立ハイテク | イオンミリング装置およびイオンミリング方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4423355A (en) * | 1980-03-26 | 1983-12-27 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Ion generating apparatus |
JP2000355764A (ja) * | 1999-06-17 | 2000-12-26 | Asahi Glass Co Ltd | マグネトロンカソードユニット |
JP2005223176A (ja) * | 2004-02-06 | 2005-08-18 | Shimadzu Corp | レーザ用光学結晶素子の製造方法 |
US7442944B2 (en) | 2004-10-07 | 2008-10-28 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Ion beam implant current, spot width and position tuning |
JP2006351374A (ja) | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Jeol Ltd | イオン源 |
JP4776300B2 (ja) | 2005-08-10 | 2011-09-21 | 日本電子株式会社 | ガス流量設定方法およびイオンビーム加工装置 |
US7397049B2 (en) | 2006-03-22 | 2008-07-08 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Determining ion beam parallelism using refraction method |
US7619224B2 (en) * | 2006-11-15 | 2009-11-17 | Massachusetts Institute Of Technology | Generation, acceleration, focusing and collection of a high-brightness, space-charge-dominated circular charged-particle beam |
WO2008061224A1 (en) | 2006-11-16 | 2008-05-22 | Protochips, Inc. | Sample support structure and methods |
US7858955B2 (en) | 2008-06-25 | 2010-12-28 | Axcelis Technologies, Inc. | System and method of controlling broad beam uniformity |
US8142607B2 (en) | 2008-08-28 | 2012-03-27 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | High density helicon plasma source for wide ribbon ion beam generation |
US9373474B2 (en) | 2009-03-27 | 2016-06-21 | Osaka University | Ion source, and mass spectroscope provided with same |
EP2561540A4 (en) | 2010-04-09 | 2014-06-11 | E A Fischione Instr Inc | IMPROVED ION SOURCE |
US8590485B2 (en) | 2010-04-26 | 2013-11-26 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Small form factor plasma source for high density wide ribbon ion beam generation |
JP4807465B1 (ja) | 2010-06-28 | 2011-11-02 | 住友金属鉱山株式会社 | Pbフリーはんだ合金 |
JP5512450B2 (ja) | 2010-07-29 | 2014-06-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンミリング装置 |
JP5618851B2 (ja) | 2011-01-28 | 2014-11-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンミリング装置 |
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JP6294182B2 (ja) | 2014-07-30 | 2018-03-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンガン及びイオンミリング装置、イオンミリング方法 |
JP6220749B2 (ja) * | 2014-07-30 | 2017-10-25 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンガン及びイオンミリング装置、イオンミリング方法 |
-
2014
- 2014-07-30 JP JP2014154424A patent/JP6220749B2/ja active Active
-
2015
- 2015-07-29 WO PCT/JP2015/071433 patent/WO2016017661A1/ja active Application Filing
- 2015-07-29 US US15/500,449 patent/US10304653B2/en active Active
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2019
- 2019-04-11 US US16/381,938 patent/US11158481B2/en active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018170295A (ja) * | 2018-08-08 | 2018-11-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンガン及びイオンミリング装置、イオンミリング方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170221671A1 (en) | 2017-08-03 |
US10304653B2 (en) | 2019-05-28 |
JP2016031870A (ja) | 2016-03-07 |
US20190237291A1 (en) | 2019-08-01 |
US11158481B2 (en) | 2021-10-26 |
WO2016017661A1 (ja) | 2016-02-04 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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