JP6330455B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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Description
防着板24:材料SU316L(ステンレス)、厚さ1mm
磁石26:断面形状5mm×10mm、着磁方向は長手方向、残留磁束密度1000[Gauss]、保磁力−1000[0e]、磁石中心間隔30mm
強磁性板27:材料SS400、厚さ2mm
このシミュレーション実施例において、防着板24の裏面から強磁性板27を介して30mm離れた位置での磁界強度を算出したところ、磁界強度が垂直方向及び水平方向とも0〜7[Gauss]と低減された。
或いは、処理室の外壁に窪みを形成し、この窪みに磁場発生手段が埋め込まれてもよい。このように、処理室の外壁の厚みが薄い部分に磁場発生手段を配置することにより、防着板の表面におけるカスプ磁場を強めることができる。
Claims (9)
- 磁性材料のミリング、スパッタリング、又は、蒸着を行うための処理室と、
前記処理室の内壁に沿って設けられた防着板と、
前記防着板における前記処理室の内壁と対向する裏面側に配列され、前記防着板の表面側にカスプ磁場を発生する複数の磁場発生手段と、
を備える、真空処理装置。 - 前記複数の磁場発生手段は、前記処理室内において、前記防着板の裏面と当接している、請求項1に記載の真空処理装置。
- 前記複数の磁場発生手段は、前記処理室外において、前記処理室の外壁と当接している、請求項1に記載の真空処理装置。
- 前記複数の磁場発生手段は、異極が交互に並ぶように配列される、請求項1〜3の何れか1項に記載の真空処理装置。
- 前記複数の磁場発生手段における前記防着板と反対側に強磁性板を更に備える、請求項1〜4の何れか1項に記載の真空処理装置。
- 前記防着板の表面側に設けられた補助防着板を更に備える、請求項1〜5の何れか1項に記載の真空処理装置。
- イオンビームを生成するイオンビーム生成部を更に備え、
前記処理室では、前記イオンビーム生成部から供給されるイオンビームを前記磁性材料からなる被加工物に衝突させることによって、イオンミリングを行う、
請求項1〜6の何れか1項に記載の真空処理装置。 - イオンビームを生成するイオンビーム生成部を更に備え、
前記処理室では、前記イオンビーム生成部から供給されるイオンビームを前記磁性材料からなるターゲットに衝突させ、前記ターゲットからのスパッタ粒子を被加工物に堆積させることによって、イオンビームスパッタリングを行う、
請求項1〜6の何れか1項に記載の真空処理装置。 - 前記処理室では、前記磁性材料を被加工物に蒸着させることによって、真空蒸着を行う、請求項1〜6の何れか1項に記載の真空処理装置。
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