JP7116104B2 - 導電粒子、導電材料および接続構造体 - Google Patents
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Description
電極同士の間に含まれて前記電極同士を電気的に接続する導電性粒子であって、前記電極のうちの少なくとも一つは、表面に酸化皮膜が備えられ、
前記導電性粒子は、絶縁コアと、前記コアの表面上に備えられる突起付き伝導層とを含む導電粒子であり、
前記突起と前記伝導層は、ベースをなす第1元素と、P、B、Cu、Au、Ag、W、Mo、Pd、Co、およびPtよりなる群から選択される少なくとも1種の第2元素とからなる合金であり、
前記少なくとも1種の第2元素は、前記伝導層の内側で第1濃度を有し、メッキ側の外側で第2濃度を有し、前記第2濃度は、前記第1濃度よりも大きいことを特徴とする。
ニッケルベース合金メッキ液に絶縁コアを投入して分散させる分散処理ステップと、分散処理されたメッキ液に濃度勾配を増加させようとする合金元素を分割投入して突起付き伝導層を形成するとともに、前記絶縁コアの粒子側から前記突起側方向に行くほど当該合金元素の濃度勾配が増加する突起付き伝導層形成ステップとを含む。
前記突起付き伝導層形成ステップで、前記分散処理されたメッキ液に、Cu、Au、Ag、W、Mo、Pd、Co、およびPtよりなる群から選択される少なくとも1種の元素の前駆体を含む溶液を分割投入して、濃度勾配をもって突起付き伝導層を形成し得る。
前記少なくとも1種の第2元素は、前記伝導層の内側で第1濃度を有し、メッキ側の外側で第2濃度を有し、前記第2濃度は、前記第1濃度よりも大きい導電粒子を製造することができる。
OO:1.5Ω超過2.5Ω以下
O:2.5Ω超過4.0Ω以下
X:4.0Ω超過
OO:1.0Ω超過2.0Ω以下上昇
O:2.0Ω超過4.0Ω以下上昇
X:4.0Ω超過上昇
Claims (11)
- 電極同士の間に含まれて前記電極同士を電気的に接続する導電性粒子であって、
前記電極のうちの少なくとも一つは、表面に酸化皮膜が備えられ、
前記導電性粒子は、絶縁コアと、前記絶縁コアの表面上に備えられる、突起が一体形成された突起付き伝導層と、を含む導電粒子であり、
前記突起と前記伝導層は、
(a)ベースをなす第1元素と、
(b)P及びBからなる群から選択される少なくとも1つ以上の元素と、
(c)Cu、Au、Ag、W、Mo、Pd、Co、およびPtよりなる群から選択される少なくとも1種の第2元素と、を含み、
前記少なくとも1種の第2元素は、前記突起付き伝導層の厚さ方向に沿ってのArea方式による前記突起付き伝導層の濃度測定において、前記絶縁コアと接する部分、中間部分、及び突起領域の順に濃度が増加し、前記突起付き伝導層の厚さ方向に沿ってのラインプロファイルによる前記突起付き伝導層の濃度測定において、伝導層側から突起側に向かう際に少なくとも1回部分的に濃度の増加及び減少が起こる分布を有し、
前記突起付き伝導層における突起を有する領域は、伝導層の肉厚部である、
導電粒子。 - 前記少なくとも1種の第2元素の、前記絶縁コアと接する部分における濃度である第1の濃度は、0.01wt%~0.16wt%の範囲内である、請求項1に記載の導電粒子。
- 前記絶縁コアは、樹脂微粒子またはハイブリッド粒子であり、
前記樹脂微粒子が、ウレタン系、スチレン系、アクリレート系、ベンゼン系、エポキシ系、アミン系、およびイミド系から選択された単量体またはこれらの変形単量体または前記単量体の混合単量体の共重合体である、請求項1に記載の導電粒子。 - 前記ハイブリッド粒子は、有機コアと該有機コアを取り囲む無機シェルとを備えた構造の粒子であるか、或いは無機コアと該無機コアを取り囲む有機シェルとを備えた構造の粒子であり、
前記有機コアまたは有機シェルが、ウレタン系、スチレン系、アクリレート系、ベンゼン系、エポキシ系、アミン系およびイミド系から選択された単量体またはこれらの変形単量体または前記単量体の混合単量体から提供されるものである、請求項3に記載の導電粒子。 - 前記伝導層上にさらに絶縁層または絶縁粒子が設けられている、請求項1に記載の導電粒子。
- 前記導電粒子の伝導層が防錆処理されたものである、請求項1に記載の導電粒子。
- 第1元素であるニッケルベース合金メッキ液に絶縁コアを投入して分散させる分散処理ステップと、
分散処理されたメッキ液に合金元素を分割投入して前記絶縁コア上に突起付き伝導層を形成する突起付き伝導層形成ステップとを含み、
前記分散処理ステップにおいては、前記ニッケルベース合金メッキ液に、PおよびBよりなる群から選択される少なくとも1種の元素の前駆体を含む溶液を投入し、
前記突起付き伝導層形成ステップにおいては、前記分散処理されたメッキ液に、Cu、Au、Ag、W、Mo、Pd、Co、およびPtよりなる群から選択される少なくとも1種の第2元素の前駆体を含む溶液を分割投入し、
ここで、前記少なくとも1種の第2元素は、前記突起付き伝導層の厚さ方向に沿ってのArea方式による前記突起付き伝導層の濃度測定において、前記絶縁コアと接する部分、中間部分、及び突起領域の順に濃度が増加し、前記突起付き伝導層の厚さ方向に沿ってのラインプロファイルによる前記突起付き伝導層の濃度測定において、伝導層側から突起側に向かう際に少なくとも1回部分的に濃度の増加及び減少が起こるように、前記突起付き伝導層に含まれ、
前記突起付き伝導層は、突起が一体形成された伝導層であり、
前記突起付き伝導層における突起を有する領域は、伝導層の肉厚部である、
導電粒子の製造方法。 - 前記突起付き伝導層に疎水性防錆物質を用いて前記伝導層の最外殻面を防錆処理するステップをさらに含む、請求項7に記載の導電粒子の製造方法。
- 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の導電粒子を含む異方性導電材料。
- 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の導電粒子を含む接続構造体。
- 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の導電粒子を含む電気および電子部品。
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