JP7074849B2 - 凹凸構造付き基体の製造方法 - Google Patents
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Description
<1> 無機物からなる被加工基体の被加工面に、中間層、および、アルミナの水和物を主成分とする凹凸構造層が順に積層されてなる積層体を用意する工程と、上記凹凸構造層をマスクとして、第1のエッチングガスを用い、上記被加工基体の上記被加工面の少なくとも一部が露出するまで、上記中間層をエッチングする第1のエッチング工程と、上記中間層をマスクとして、上記第1のエッチングガスと異なる第2のエッチングガスを用いて上記被加工基体をエッチングして、上記被加工面に微細凹凸構造を形成する第2のエッチング工程とを含み、上記第1のエッチングガスに対する上記被加工基体のエッチングレートが上記中間層のエッチングレートよりも小さい、凹凸構造付き基体の製造方法。
<2> 上記凹凸構造層の膜厚をdとし、上記被加工基体の上記被加工面に形成される上記微細凹凸構造の凸部高さをhとした場合に、
h/d>1
を満たす<1>に記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
<3> 上記積層体を用意する工程において、上記中間層上にアルミニウムを含有する薄膜を成膜し、その薄膜を温水処理することにより、上記凹凸構造層を形成する<1>または<2>に記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
<4> 上記アルミニウムを含有する薄膜が、アルミニウム、アルミニウム酸化物、アルミニウム窒化物およびアルミニウム合金の少なくとも1種からなる膜である<3>に記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
<5> 上記積層体を用意する工程において、上記中間層を、スパッタ、真空蒸着あるいは化学気相成長法によって形成する<1>から<4>のいずれか1つに記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
<6> 上記被加工基体が、シリコン酸化物もしくはアルミニウム酸化物を主成分とする基体である<1>から<5>のいずれか1つに記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
<7> 上記第1のエッチング工程の前に、上記中間層の少なくとも一部の表面が露出するまで、上記凹凸構造層をエッチングする前処理工程を有する<1>から<6>のいずれか1つに記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
<8> 上記第1のエッチング工程における上記凹凸構造層のエッチングレートをRa1、上記中間層のエッチングレートをRi1とした場合、
Ri1/Ra1>1
を満たす<1>から<7>のいずれか1つに記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
<9> 上記中間層が金属層である<1>から<8>のいずれか1つに記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
<10> 上記第2のエッチング工程における上記中間層のエッチングレートをRi2、上記被加工基体のエッチングレートをRs2とした場合、
Rs2/Ri2<1
を満たす<1>から<8>のいずれか1つに記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
<11> 上記中間層がシリコンもしくはシリコン化合物を主成分とする層である<10>に記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
本発明の一実施形態の凹凸構造付き基体の製造方法を説明する。図1は凹凸構造付き基体の製造工程を模式的に示す図である。
ベーマイト層30は、表面に複数の凸部32aと複数の凹部32bからなる凹凸構造32(以下において、第1の凹凸構造32という。)を備えている。
第1のエッチング工程では、ベーマイト層30をマスクとして中間層20がエッチングされ、中間層20の表面には複数の凸部22aと複数の凹部22bとからなる凹凸構造22(以下において、第2の凹凸構造22という。)が形成される。ここでは、中間層20の複数の凹部22bのうちの少なくとも一部の凹部22bにおいて被加工面10aが露出するまでエッチングがなされる。
その後、アルミニウムを含有する薄膜30aを温水処理する(Step14)。例えば、容器7に収容された純水6中に基体10、中間層20および薄膜30aからなる積層体毎浸漬させて温水処理する。この温水処理によりアルミナの水和物を主成分とする凹凸構造層(ベーマイト層)30を形成する(Step15)。
以上の工程により、被加工基体10の被加工面10aに、中間層20、および、アルミナの水和物を主成分とする凹凸構造層30が順に積層されてなる積層体1を作製することができる。
を満たすエッチング条件で実施することが好ましい。
なお、エッチング選択比Ri1/Ra1は20以下であることが好ましい。
Rs2/Ri2<1
を満たすエッチング条件で実施してもよい。
金属層としては、クロム(Cr)あるいはニッケル(Ni)が好適である。
被加工基体10であるサファイア基板上に中間層20Aとして金属層を備え、金属層の表面にアルミナの水和物からなる凹凸構造層30(ベーマイト層30)を備えた積層体は、上記図2を参照して説明した手順で作製することができる。
なお、金属層からなる中間層20Aの膜厚は、被加工基体10の表面に形成したい凹凸構造の高低差hの0.1~0.5倍程度とすることが好ましく、例えば、20~50nm程度とすることが好ましい。
なお、シリコン層からなる中間層20Bの膜厚は、被加工基体10の表面に形成したい凹凸構造の高低差hの1.5~2.5倍程度とすることが好ましく、例えば、200~500nm程度とすることが好ましい。
したがって、サファイアガラスのエッチングマスクとしてシリコン系の材料を用いることは一般的ではない。
被加工基体としてサファイア基板を用い、サファイア基板上に中間層としてシリコン層を400nm厚みで形成した。
さらにシリコン層の表面にスパッタリング法によりアルミニウムを含有する薄膜としてアルミニウム膜を10nm成膜した。次いで、アルミニウム膜が形成された積層体を100℃の温水に3分間浸漬させて温水処理することにより、アルミナの水和物からなる凹凸構造層、すなわちベーマイト層を得た。ベーマイト層の厚みは150nmであった。
本明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び技術規格は、個々の文献、特許出願、及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。
Claims (8)
- 無機物からなる被加工基体の被加工面に、中間層、および、アルミナの水和物を主成分とする凹凸構造層が順に積層されてなる積層体を用意する工程と、
前記凹凸構造層をマスクとして、第1のエッチングガスを用い、前記被加工基体の前記被加工面の少なくとも一部が露出するまで、前記中間層をエッチングする第1のエッチング工程と、
前記中間層をマスクとして、前記第1のエッチングガスと異なる第2のエッチングガスを用いて前記被加工基体をエッチングして、前記被加工面に微細凹凸構造を形成する第2のエッチング工程と、
前記積層体を用意する工程の後であって前記第1のエッチング工程の前に、前記中間層の少なくとも一部の表面が露出するまで、前記凹凸構造層をエッチングする前処理工程とを含み、
前記第1のエッチングガスに対する前記被加工基体のエッチングレートが前記中間層のエッチングレートよりも小さく、
前記中間層が金属層、あるいは、シリコンもしくはシリコン化合物を主成分とする層であって、前記金属層がクロムもしくはニッケルである、
凹凸構造付き基体の製造方法。 - 前記凹凸構造層の膜厚をdとし、前記被加工基体の前記被加工面に形成される前記微細凹凸構造の凸部高さをhとした場合に、
h/d>1
を満たす請求項1に記載の凹凸構造付き基体の製造方法。 - 前記積層体を用意する工程において、前記中間層上にアルミニウムを含有する薄膜を成膜し、該薄膜を温水処理することにより、前記凹凸構造層を形成する請求項1または2に記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
- 前記アルミニウムを含有する薄膜が、アルミニウム、アルミニウム酸化物、アルミニウム窒化物およびアルミニウム合金の少なくとも1種からなる膜である請求項3に記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
- 前記積層体を用意する工程において、前記中間層を、スパッタ、真空蒸着あるいは化学気相成長法によって形成する請求項1から4のいずれか1項に記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
- 前記被加工基体が、シリコン酸化物もしくはアルミニウム酸化物を主成分とする基体である請求項1から5のいずれか1項に記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
- 前記第1のエッチング工程における前記凹凸構造層のエッチングレートをRa1、前記中間層のエッチングレートをRi1とした場合、
Ri1/Ra1>1
を満たす請求項1から6のいずれか1項に記載の凹凸構造付き基体の製造方法。 - 前記第2のエッチング工程における前記中間層のエッチングレートをRi2、前記被加工基体のエッチングレートをRs2とした場合、
Rs2/Ri2<1
を満たす請求項1から7のいずれか1項に記載の凹凸構造付き基体の製造方法。
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