JPWO2020183914A1 - 表面微細構造および表面微細構造を備えた基体 - Google Patents
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Abstract
Description
<1>
各々の間が第1クレバスで分離された複数の第1凸部と、
各々の間が第1クレバスよりも深さが浅く、かつ、面内方向に連続する長さが短い第2クレバスで分離された複数の第2凸部と備え、
平面視において複数の第2凸部は複数の第1凸部と比較して微細な粒状に観察される表面微細構造。
<2>
複数の第2凸部の少なくとも一部が、複数の第1凸部上に形成されている<1>に記載の表面微細構造。
<3>
複数の第1凸部および複数の第2凸部の配置がランダムである<1>または<2>に記載の表面微細構造。
<4>
第2凸部の平均円相当径が第1凸部の平均円相当径の1/2未満である、<1>から<3>のいずれか<1>に記載の表面微細構造。
<5>
第1クレバスの最深部を0、第2凸部の最頂部を100%として示す深さ方向位置において、10%の深さ位置の横断面における第1クレバスの幅が20nm以下である<1>から<4>のいずれかに記載の表面微細構造。
<6>
第2クレバスの最深部を0、第2凸部の最頂部を100%として示す深さ方向位置において、10%の深さ位置の横断面における第2クレバスの幅が20nm以下である、<1>から<5>のいずれかに記載の表面微細構造。
<7>
第2クレバスの長さが、第1凸部の平均円相当径よりも小さい、<1>から<6>のいずれかに記載の表面微細構造。
<8>
第1凸部の平均円相当径が、反射防止対象の光の最短波長よりも小さい、光に対する反射防止構造である<1>から<7>のいずれかに記載の表面微細構造。
<9>
<1>から<8>のいずれかに記載の表面微細構造を備えた基体。
第1クレバス10は第1凸部12を囲む程度の長さを有しており、隣接する第1凸部12をそれぞれ囲む複数の第1クレバス10同士は、面内方向において繋がって形成されている。一方、第2クレバス20は、第1クレバス10よりも面内方向へ延びる長さが短い。そのため、第1クレバス10と異なり、複数の第2クレバス20同士は繋がることがすくなく、多くの第2クレバス20はそれぞれが孤立して設けられている。
白く粒状に観察されるのは主として第2凸部の先端部分である。比較的浅いクレバス(すなわち、第2クレバス)で分離された複数の第2凸部が、比較的深いクレバス(すなわち、第1クレバス)に沿って多数配置されている様子が観察される。図5および図6に示されているように、第2凸部は先端先細り形状を有している。また、クレバスは深くなるほど開口幅が小さくなる断面V字形状である。
その後、アルミニウムを含有する薄膜40aを温水処理する(Step3)。例えば、容器7に収容された純水6中に被加工基体1a、中間層30および薄膜40aからなる積層体毎浸漬させて温水処理する。この温水処理によりアルミナの水和物を主成分とする表面に凹凸構造42を有する凹凸構造層(ベーマイト層)40を形成する(Step4)。
第1のエッチング工程では、ベーマイト層40をマスクとして中間層30がエッチングされ、中間層30の表面に凹凸構造32が形成される。ここでは、中間層30の複数の凹部のうちの少なくとも一部の凹部において基体1aの被加工面が露出するまでエッチングがなされる。
なお、エッチング選択比Ri1/Ra1は20以下であることが好ましい。
Rs2/Ri2<1
を満たすエッチング条件で実施することが好ましい。
本明細書に記載された全ての文献、特許出願、および技術規格は、個々の文献、特許出願、および技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。
Claims (9)
- 各々の間が第1クレバスで分離された複数の第1凸部と、
各々の間が前記第1クレバスよりも深さが浅く、かつ、面内方向に連続する長さが短い第2クレバスで分離された複数の第2凸部とを備え、
平面視において前記複数の第2凸部は前記複数の第1凸部と比較して微細な粒状に観察される表面微細構造。 - 前記複数の第2凸部の少なくとも一部が、前記複数の第1凸部上に形成されている請求項1に記載の表面微細構造。
- 前記複数の第1凸部および前記複数の第2凸部の配置がランダムである、請求項1または2に記載の表面微細構造。
- 前記第2凸部の平均円相当径が前記第1凸部の平均円相当径の1/2未満である、請求項1から3のいずれか1項に記載の表面微細構造。
- 前記第1クレバスの最深部を0、前記第2凸部の最頂部を100%として示す深さ方向位置において、10%の深さ位置の横断面における前記第1クレバスの幅が20nm以下である、請求項1から4のいずれか1項に記載の表面微細構造。
- 前記第2クレバスの最深部を0、前記第2凸部の最頂部を100%として示す深さ方向位置において、10%の深さ位置の横断面における前記第2クレバスの幅が20nm以下である、請求項1から5のいずれか1項に記載の表面微細構造。
- 前記第2クレバスの長さが、前記第1凸部の平均円相当径よりも小さい、請求項1から6のいずれか1項に記載の表面微細構造。
- 前記第1凸部の平均円相当径が、反射防止対象の光の最短波長よりも小さい、
前記光に対する反射防止構造である請求項1から7のいずれか1項に記載の表面微細構造。 - 請求項1から8のいずれか1項に記載の表面微細構造を備えた基体。
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