JP6961928B2 - ポリエステルフィルム - Google Patents

Description

本発明はポリエステルフィルムに関するものである。

従来、セラミックコンデンサーの製造方法は、キャリアフィルム上にセラミックスラリーを一定厚みに塗工、乾燥工程を経て巻き取られ、グリーンシートと呼ばれるシートが作成される。その後、グリーンシートを指定の大きさに切断し、上下層の導通を確保するためシートの一部に穴あき加工が実施され、該穴に導電性インクが充填されると供に配線パターンが印刷形成され、一層が出来上がる。その後、キャリアフィルムが剥離され、異なる配線パターンを持つ数層を積層することにより、セラミックコンデンサーが生産される。
このようなセラミックシートの製造に使用されるキャリアフィルムとしては、セラミックスラリーとの剥離をスムーズに行うため、ポリエステルフィルムに離型層を設けた離型フィルムが用いられることが知られている。(特許文献１、２)

特開２００６−１６１９９４号公報 特開平０８−３０９９４３号公報

しかしながら、キャリアフィルムの剥離性が高すぎると、セラミックスラリーとキャリアフィルムの密着性が悪くなり、穴あき加工後の導通インク充填時に導通インクがセラミックスラリーとキャリアフィルム間に流れ出てしまい、本来絶縁箇所であるべき箇所も導通してしまい、コンデンサーの機能が発揮できないという不具合が発生する。そのため、キャリアフィルムに求められる特性としては、密着性と剥離性を両立する必要があるところ、密着性と剥離性は相反する特性であり、従来の技術で解決することは困難な課題であった。
本発明の課題は、上記課題である剥離性と密着性を持つ、ポリエステルフィルムを提供することにある。

上記課題を解決するための本発明は、以下の構成を有する。
（あ） 少なくとも一方のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面において、表面粗さＳＲａ（ｎｍ）と、表面のぬれ張力Ｎ（ｍＮ／ｍ）が下記式（１）および（２）を満足することを特徴とする離型用途に用いられるポリエチレンテレフタレートフィルム。
（１） −０．０７×ＳＲａ＋４５ ≦ Ｎ ≦ −０．０７×ＳＲａ＋５５
（２） １０ｎｍ≦ＳＲａ≦２００ｎｍ
（い） 前記の表面粗さＳＲａと表面のぬれ張力Ｎが下記式（３）を満足することを特徴とする（あ）に記載のポリエチレンテレフタレートフィルム。
（３） ３０ｍＮ／ｍ≦Ｎ≦５５ｍＮ／ｍ
（う）前記ポリエチレンテレフタレートフィルムの長手方向の破断強度と幅方向の破断強度のうちの高い値Ａが下記式（４）を満足することを特徴とする（あ）または（い）に記載のポリエチレンテレフタレートフィルム。
（４）１００ＭＰａ≦Ａ≦２１０ＭＰａ
（え） 前記ポリエチレンテレフタレートフィルムが、少なくとも結晶核剤を含有する層（基材層）と、基材層に接しており、かつポリエチレンテレフタレートフィルム表面を有する層（外層）を有することを特徴とする（あ）〜（う）のいずれかに記載のポリエチレンテレフタレートフィルム。
（お） 前記外層の厚みが、ポリエチレンテレフタレートフィルムの総厚みに対して５〜１５％であり、前記外層が粒子を含有することを特徴とする（え）に記載のポリエチレンテレフタレートフィルム。
（か） 前記ポリエチレンテレフタレートフィルムの総厚みが１０μｍ以上３０μｍ以下であることを特徴とする請求（あ）〜（お）のいずれかに記載のポリエチレンテレフタレートフィルム。
（き） 離型用途に用いられる請求項１〜６のいずれかに記載のポリエチレンテレフタレートフィルム。
（く） グリーンシート離型用途に用いられる請求項１〜６のいずれかに記載のポリエチレンテレフタレートフィルム。

本発明のポリエステルフィルムは、剥離性と密着性に優れる。そのため、グリーンシートとの良好な密着性と剥離性を示す事により、良好なセラミックコンデンサーを生産出来る。

以下、本発明のポリエステルフィルムについて詳細に説明する。

本発明におけるポリエステルとは、ジカルボン酸由来の構造単位（ジカルボン酸成分）とジオール由来の構造単位（ジオール成分）のエステル結合により形成されるポリマーを指す。

ジカルボン酸成分としては、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、１，４−ナフタレンジカルボン酸、１，５−ナフタレンジカルボン酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、４，４’−ジフェニルジカルボン酸、４，４’−ジフェニルエーテルジカルボン酸、４，４’−ジフェニルスルホンジカルボン酸などの芳香族ジカルボン酸、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ダイマー酸、ドデカンジオン酸、シクロヘキサンジカルボン酸などの脂肪族ジカルボン酸、および、各種芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸とのエステル誘導体が挙げられる。これらのジオール成分はエチレングリコール以外に１種類のみでもよく、２種類以上を併用してもよい。

また、ジオール成分としては、エチレングリコール、１，２−プロパンジオール、１，３−プロパンジオール、ネオペンチルグリコール、１，３−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、１，２−シクロヘキサンジメタノール、１，３−シクロヘキサンジメタノール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ポリアルキレングリコール、２，２−ビス（４−ヒドロキシエトキシフェニル）プロパン、イソソルベート、スピログリコールなどを挙げることができる。これらのジカルボン酸成分はエチレングリコール以外に１種類のみでもよく、２種類以上を併用してもよい。

これらのジカルボン酸成分、ジオール成分の中でも、耐溶剤性、耐熱性の観点から、ジカルボン酸成分としては、テレフタル酸、イソフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸が好ましく、ジオール成分としては、エチレングリコール、１，４−ブタンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、イソソルベート、スピログリコールが好ましく用いられる。耐溶剤性、耐熱性に加え、製造コストの観点からは、テレフタル酸とエチレングリコールの組合せが最も好ましい。

本発明のポリエステルフィルムを構成するポリエステルが、テレフタル酸とエチレングリコールの組合せからなる、いわゆるポリエチレンテレフタレートとなる場合、テレフタル酸以外のジカルボン酸成分は、ポリエステルを構成する全ジカルボン酸成分１００モル％に対して０モル％以上２０モル％以下が好ましく、０モル以上１０モル％以下がより好ましく、０モル％以上２モル以下がさらに好ましく、特に好ましくは、０モル％、すなわちジカルボン酸成分がテレフタル酸成分のみからなる構成である。テレフタル酸成分以外のジカルボン酸成分が全ジカルボン酸成分１００モル％に対して２０モル％を超えると、ポリエステルフィルムの融点が低下したり結晶性が低下したりして、耐熱性が不十分となったり、厚みムラが大きくなる場合がある。

また、本発明のポリエステルフィルムを構成するポリエステルが、ポリエチレンテレフタレートとなる場合、エチレングリコール以外のジオール成分は、ポリエステルを構成する全ジオール成分１００モル％に対して０モル％以上３３モル％以下が好ましく、０％モル以上１０モル％以下がより好ましく、０モル％以上５モル％以下がさらに好ましく。特に好ましくは０モル％、すなわちジオール成分がエチレングリコールのみからなる構成である。エチレングリコール以外のジオール成分が全ジオール成分１００モル％に対して３３モル％を超えると、ポリエステルフィルムの融点が低下したり結晶性が低下したりして、耐熱性が不十分となったり、厚みムラが大きくなる場合がある。

本発明のポリエステルフィルムは、少なくとも一方のフィルムの表面において、表面粗さＳＲａ（ｎｍ）と、表面のぬれ張力Ｎ（ｍＮ／ｍ）が下記式（１）を満足することが重要である。

式（１） −０．０７×ＳＲａ＋４５ ≦ Ｎ ≦ −０．０７×ＳＲａ＋５５
表面粗さとぬれ張力が式（１）を満たす事により、セラミックスラリーとの適度な密着性と剥離性を両立する事が出来る。上記式（１）の範囲外になるとセラミックスラリーとの密着性が強すぎ、剥離出来ないという不具合が発生したり、反対に密着性が弱く、導通インクがセラミックスラリーとキャリアフィルム間に流れ出てしまうという不具合が発生する。密着性と剥離性の観点からより好ましくは −０．０６×ＳＲａ＋４５ ≦ Ｎ ≦ −０．０６×ＳＲａ＋５５が好ましい。

本発明の上記式（１）を満たすための方法としては、ぬれ張力と表面粗さを制御する必要があり、以下の様な方法が上げられる。しかしながら、本発明のポリエステルフィルムを得る方法はこれらに限定されない。
ぬれ張力を制御する方法としては、フィルム表面をコロナ処理により改質する方法やコーティング膜を形成する方法や表面改質剤をフィルムに練り混む方法が挙げられる。生産性やコストの観点からフィルム表面にコロナ処理を実施する方法が好ましい。コロナ放電処理とは、電線に高電圧をかけた場合のように、強い電場の領域が局在するとき、その領域に限定された局部的な放電が起こるが、これをコロナ放電処理と呼び、その放電下にフィルムを介在させて表面処理を行なうことをいう。さらにコロナ放電処理を空気中、窒素または炭酸ガス下で行なってもよく、例えば特開平１−２０２３６号公報、特公昭５７−３０８５４号公報などのようなコロナ放電処理が好ましく用いることができる。コロナ放電処理時の強度は、Ｅ値として表される。Ｅ値＝Ｗ／（Ｄ・Ｖ）で求められ、Ｗは処理強度（Ｗ）、Ｄは処理幅（ｍ）、Ｖはフィルム速度（ｍ／分）である。表面粗さに応じ、該Ｅ値を制御する事により、式（１）を満たす範囲にぬれ張力を調整する事が可能である。

表面粗さを制御する方法としては、フィルム表面を有する層に粒子を含有させる方法や、フィルム表面に微細加工（エンボス加工やプラズマ処理）をする方法が挙げられる。表面粗さ形成に使用される粒子は、フィルム添加用の公知の粒子であればよく、たとえば、内部粒子、無機粒子、有機粒子が挙げられる。無機粒子としては、例えば、湿式および乾式シリカ、コロイダルシリカ、ケイ酸アルミ、酸化チタン、炭酸カルシウム、リン酸カルシウム、硫酸バリウム、酸化アルミ、マイカ、カオリン、クレーなど、有機粒子としては、スチレン、シリコーン、アクリル酸類、メタクリル酸類、ポリエステル類、ジビニル化合物などを構成成分とする粒子を使用することができる。なかでも、湿式および乾式シリカ、アルミナなどの無機粒子およびスチレン、シリコーン、アクリル酸、メタクリル酸、ポリエステル、ジビニルベンゼンなどを構成成分とする粒子を使用することが好ましい。さらに、これらの内部粒子、無機粒子および有機粒子は二種以上を併用してもよい。

本発明のポリエステルフィルムは、表面粗さＳＲａが下記式（２）を満足する事が好ましい。
式（２） １０ｎｍ≦ＳＲａ≦２００ｎｍ
表面粗さＳＲａが１０ｎｍ未満になるとフィルムのスベリ・エア抜け性が悪くなり、フィルム巻き取り工程で凹凸欠点等が発生し、生産性が低下する場合がある。表面粗さＳＲａが２００ｎｍを超えるとセラミックスラリーに突起形状が転写され、セラミックシートに窪みが発生し、厚み変動アップにつながり、セラミックコンデンサー製品の性能低下につながる場合がある。生産性とセラミックコンデンサー製品の性能の観点からより好ましくは、２０ｎｍ≦ＳＲａ≦１８０ｎｍが好ましい。表面粗さを制御する方法は、前述した方法が挙げられる。しかしながら、本発明のポリエステルフィルムを得る方法はこれらに限定されない。

本発明のポリエステルフィルムは、ぬれ張力Ｎが下記式（３）を満足する事が好ましい。
式（３） ３０ｍＮ／ｍ≦Ｎ≦５４ｍＮ／ｍ
ぬれ張力Ｎが３０ｍＮ／ｍ未満になるとフィルムとセラミックスラリーの密着性が低下し、導通インクがセラミックスラリーとキャリアフィルム間に流れ出てしまうという不具合が発生する場合がある。ぬれ張力Ｎが５４ｍＮ／ｍを超えるとフィルムとセラミックスラリーの密着性が上がり、導通インクがセラミックスラリーとフィルムが剥離出来ないという不具合が発生する場合がある。密着性と剥離性の観点からより好ましくは、３４ｍＮ／ｍ≦Ｎ≦５０ｍＮ／ｍが好ましい。ぬれ張力Ｎを制御する方法としては、前述した方法が挙げられる。しかしながら、本発明のポリエステルフィルムを得る方法はこれらに限定されない。

本発明のポリエステルフィルムは，長手方向の破断強度と幅方向の破断強度のうちの高い値Ａが下記式（４）を満足することが重要である。なお、本発明における長手方向とは、フィルムの製膜方向であり、幅方向とは製膜方向と直交する方向をあらわす。
式（４）１００ＭＰａ≦Ａ≦２１０ＭＰａ
強度Ａが１００ＭＰａ未満になるとフィルムの剛性がなくなり、セラミックコンデンサーの加工工程でフィルムが破断する等の不具合が発生する場合がある。強度Ａが２１０ＭＰａを超えると穴あき加工時に穴をあける事が困難になり、加工設備を傷める等の不具合が発生する場合がある。加工性の観点からより好ましくは、１５０ＭＰａ≦Ａ≦２００ＭＰａが好ましい。また、長手方向の破断強度と幅方向の破断強度のいずれもが、１５０ＭＰａ以上２００ＭＰａ以下であることが寄り好ましい。破断強度を制御する方法は、ポリエステルフィルムに粒子等の結晶核剤を含有させ、ポリエステルフィルムの結晶性を制御する方法や、延伸方法・延伸温度・延伸倍率を調整する方法が挙げられる。しかしながら、本発明のポリエステルフィルムを得る方法はこれらに限定されない。

本発明のポリエステルフィルムは、単層構成であっても、２層以上の積層構成であっても良いが、少なくとも、結晶核剤を含有する層（基材層）と、基材層に接しており、かつフィルム表面を有する層（外層）を有する積層構成とすることで、密着性、剥離性だけで無く、打ち抜き性も良好と出来るため好ましい。基材層に結晶核剤を含有させる事でフィルムの結晶性が上がり、打ち抜き性が向上する。基材層に含有する結晶核剤の含有量は、基材層全体に対して１０重量％以上２５重量％以下が好ましい。なお、外層に結晶核剤を含有させると打ち抜き時の金型に傷がつく等の不具合が発生する場合があるので、外層に含有する結晶核剤の含有量は、外層全体に対して４重量％以下であることが好ましく、実質的に含有しないことがより好ましい。本発明に用いられる結晶核剤としては、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、シリカ、アルミナなどが挙げられ、中でも酸化チタン、シリカが好ましい。

本発明のポリエステルフィルムは、前述した積層構成を有する場合、前記外層はフィルムの総厚みに対して５〜１５％であり、粒子を含有することが好ましい。外層がフィルムの総厚みに対して５％未満場合は、基材層に含有する結晶核剤の影響が大きくなることにより、フィルムの結晶性が進行し、フィルム破れ等の不具合が発生し、生産性が悪くなる場合がある。また、外層がフィルムの総厚みに対して１５％を超える場合は、打ち抜き加工時に外層のフィルム強度が強く、打ち抜き加工が出来ない等の不具合が発生する場合がある。また、外層に含有する粒子としては、前述した表面粗さ形成に使用される粒子が挙げられる。その含有量は、外層全体に対して、０．０３重量％以上０．１３重量％以下であることが好ましい。

本発明のポリエステルフィルムは、フィルムの総厚みが１０μｍ以上３０μｍ以下であることが好ましい。フィルムの総厚みが１０μｍ未満であると、フィルムの剛性が不足し、加工時にシワ等が発生する不具合が発生し、加工性が悪くなる場合がある。また、フィルムの総厚みが３０μｍを超えると、導通インク充填後にグリーンシートからフィルムを剥離した際に、導通インクの突き出し量が大きくなり、数層重ねて製造するセラミックコンデンサーが厚くなってしまう等の不具合が発生する場合がある。

次に、本発明のポリエステルフィルムの好ましい製造方法を以下に説明するが、本発明はかかる例に限定して解釈されるものではない。

ポリエステルを押出機に供給し溶融押出する。この際、押出機内を流通窒素雰囲気下で、酸素濃度を０．７体積％以下とし、樹脂温度は２６５℃〜２９５℃に制御することが好ましい。また、２種類以上の異なる層を積層させる場合はそれぞれ別々の押出機に供給して溶融押出した後、フィードブロック、マルチマニホールドなどの装置を使用して各溶融押出ポリマーを合流させて積層状態にする。
ついで、フィルターやギヤポンプを通じて、異物の除去、押出量の均整化を各々行い、Ｔダイより冷却ドラム上にシート状に吐出する。その際、高電圧を掛けた電極を使用して静電気で冷却ドラムと樹脂を密着させる静電印加法、キャストドラムと押出したポリマーシート間に水膜を設けるキャスト法、キャストドラム温度をポリエステル樹脂のガラス転移点〜（ガラス転移点−２０℃）にして押出したポリマーを粘着させる方法、もしくは、これらの方法を複数組み合わせた方法により、シート状ポリマーをキャストドラムに密着させ、冷却固化し、未延伸フィルムを得る。これらのキャスト法の中でも、ポリエステルを使用する場合は、生産性や平面性の観点から、静電印加する方法が好ましく使用される。キャストドラムの表面温度は、延伸性の観点から、１５℃以下が好ましい。

本発明のポリエステルフィルムは、高温での加工適性、厚みムラの抑制などの観点から、二軸配向フィルムとすることが好ましい。二軸配向フィルムは、未延伸フィルムを長手方向に延伸した後、幅方向に延伸する、あるいは、幅方向に延伸した後、長手方向に延伸する逐次二軸延伸方法により、または、フィルムの長手方向、幅方向をほぼ同時に延伸していく同時二軸延伸方法などにより延伸を行うことで得ることができる。

かかる延伸方法における延伸倍率としては、長手方向に、好ましくは、２．８倍以上３．５倍以下、さらに好ましくは３倍以上３．３倍以下が採用される。また、延伸速度は１，０００％／分以上２００，０００％／分以下であることが望ましい。また長手方向の延伸温度は、９５℃以上１３０℃以下が好ましく、延伸前に８５℃で１秒以上予熱することが好ましい。

結晶核剤を含む高結晶性の未延伸フィルムを延伸する場合は、その後の横延伸時の破断を抑制させるため、一度に所望の倍率まで延伸せずに、２段階以上で低倍率の延伸を繰り返して延伸時の配向結晶化を抑制する方法が好ましく用いられる。低倍率の延伸において、一度の延伸倍率は、３倍以下が好ましく、２倍以下がより好ましく、１．８倍以下がさらに好ましく、特に好ましくは１．５倍以下である。また、縦延伸トータルでの延伸倍率は２．５倍以上が好ましく、２．７倍以上がより好ましく、３倍以上が特に好ましい。

幅方向の延伸倍率としては、好ましくは２．８倍以上４．０倍以下、さらに好ましくは、３倍以上３．８倍以下で、長手方向の延伸倍率にそろえることが好ましい。幅方向の延伸速度は１，０００％／分以上２００，０００％／分以下であることが望ましい。また、８５℃の熱収縮率を抑制させるため、延伸前半温度を１００℃以上１２０℃以下、延伸中盤温度を１０５℃以上１３０℃以下、さらに延伸後半温度を１１０℃以上１５０℃以下とし、延伸前に８５℃で１秒以上予熱することが好ましい。

その後、必要に応じて２回目の縦延伸を行ってもよい。２回目の縦延伸を行う場合の延伸倍率は、１倍以上２倍以下が好ましく、１．２倍以上１．６倍以下がより好ましい。また、延伸温度は、１４０℃以上１６０℃以下が好ましい。

さらに、二軸延伸後にフィルムの熱処理を行う。熱処理はオーブン中、加熱したロール上など従来公知の任意の方法により行うことができる。この熱処理は７０℃以上ポリエステルの結晶融解ピーク温度以下の温度で行われるが、好ましくは１９０℃以上が好ましい。

さらに、セラミックスラリーとの密着性と剥離性を両立させるため、少なくとも片面にコロナ処理を行ったり、易接着層をコーティングさせる。コーティング層をフィルム製造工程内のインラインで設ける方法としては、少なくとも一軸延伸を行ったフィルム上にコーティング層組成物を水に分散させたものをメタリングリングバーやグラビアロールなどを用いて均一に塗布し、延伸を施しながら塗剤を乾燥させる方法が好ましく、その際、易接着層厚みとしては０．０１μｍ以上１μｍ以下とすることが好ましい。また、易接着層中に各種添加剤、例えば、酸化防止剤、耐熱安定剤、紫外線吸収剤、赤外線吸収剤、顔料、染料、有機または無機粒子、帯電防止剤、核剤などを添加してもよい。易接着層に好ましく用いられる樹脂としては、密着性、剥離性の点からアクリル樹脂、ポリエステル樹脂およびウレタン樹脂から選ばれる少なくとも１種の樹脂であることが好ましい。さらに、１４０〜２００℃条件下でオフアニールすることも好ましく用いられる。

かかる方法により得られたポリエステルフィルムは、密着性、剥離性に優れるため、離型用途、特にグリーンシート用キャリアフィルムなどの用途に適して好ましく用いられる。

本発明における特性の測定方法、および効果の評価方法は次のとおりである。なお、以下、実施例３は、参考例３と読み替えるものとする。

（１）ポリエステルの組成
ポリエステル樹脂およびフィルムをヘキサフルオロイソプロパノール（ＨＦＩＰ）に溶解し、^１Ｈ−ＮＭＲおよび^１３Ｃ−ＮＭＲを用いて各モノマー残基成分や副生ジエチレングリコールについて含有量を定量した。積層フィルムの場合は、積層厚みに応じて、フィルムの各層を削り取ることで、各層単体を構成する成分を採取して評価した。なお、本発明のフィルムについては、フィルム製造時の混合比率から計算により、組成を算出した。

（２）ポリエステルの固有粘度
ポリエステル樹脂およびフィルムの固有粘度は、ポリエステルをオルトクロロフェノールに溶解し、オストワルド粘度計を用いて２５℃にて測定した。積層フィルムの場合は、フィルムの各層を削り取ることで、各層単体の固有粘度を評価した。

（３）フィルム厚み、層厚み
フィルムをエポキシ樹脂に包埋し、フィルムの長手方向の断面をミクロトームで切り出した。該断面を日立製作所製Ｓ−２１００Ａ形走査型電子顕微鏡を用いて倍率４０００倍にてフィルムの断面を撮影し、フィルム厚みおよびポリエステル層の厚みを求めた。

（４）フィルムの表面粗さ（ＳＲａ）
３次元表面粗さ計（小坂研究所製、ＥＴ４０００ＡＫ）を用い、次の条件で触針法により測定を行った。なお、表面粗さ（ＳＲａ）は、粗さ曲面の高さと粗さ曲面の中心面の高さの差をとり、その絶対値の平均値を表したものであり、なお、本発明における表面粗さ（ＳＲａ）、はフィルムの両側表面を測定し、数値が低い値とする。
針径 ２（μｍＲ）
針圧 １０（ｍｇ）
測定長 ５００（μｍ）
縦倍率 ２００００（倍）
ＣＵＴ ＯＦＦ ２５０（μｍ）
測定速度 １００（μｍ／ｓ）
測定間隔 ５ （μｍ）
記録本数 ８０本
ヒステリシス幅 ±６．２５（ｎｍ）
基準面積 ０．１（ｍｍ^２） 。

（５）ぬれ張力
和光純薬（株）製ぬれ試薬を使用し、ＪＩＳ Ｋ６７６８に準じ、フィルム表面のぬれ張力測定を実施した。綿棒をぬれ試薬に浸し、５ｍｍ×１００ｍｍの形状にぬれ試薬を約１秒で塗布し、塗布２秒後の塗布形状にて、塗布直後と形状変化無き状態となるぬれ指数をぬれ張力とした。

（６）破断強度
“テンシロン”（引っ張り試験機）を用いて、引っ張り速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、幅１０ｍｍ、試料長１００ｍｍとして、測定回数ｎ＝５とし、長手方向、幅方向のそれぞれが試料長方向になるよう測定し、その平均値を破断強度とした。

（７）剥離性評価
セラミック原料粉体１００重量部に対し、バインダー樹脂としてポリビニルブチラールを１０重量部、トルエン／酢酸エチル／ブタノール混合溶媒９０重量部の割合で加え、分散機を用いてセラミックスラリーを作成した。このスラリーをフィルム上にドクターブレードを用いて、乾燥膜厚で１００μｍになるように塗布し、１００℃で９０分間乾燥してグリーンシートを作成した。その後、記で得られたグリーンシートからキャリアフィルムを剥離したときの状態から以下の基準に従い判定した。
○：スムーズに剥離ができ、離型フィルム表面にセラミック残渣が付着していないもの。△：スムーズに剥離できたが、離型フィルム表面に点状のセラミック残渣が付着したもの。

×：剥離不良で、グリーンシートが破れたもの。

（８）密着性評価
セラミック原料粉体１００重量部に対し、バインダー樹脂としてポリビニルブチラールを１０重量部、トルエン／酢酸エチル／ブタノール混合溶媒９０重量部の割合で加え、分散機を用いてセラミックスラリーを作成した。このスラリーをフィルム上にドクターブレードを用いて、乾燥膜厚で１００μｍになるように塗布し、１００℃で９０分間乾燥してグリーンシートを作成した。上記で作製したグリーンシートを１２０ｍｍ角に切断した後、温度９０℃に４０分加熱し、溶媒を蒸発させた。次にクロムマスクを用いて径６０μｍのビアホール数６０００本を有するクロムマスクを用いて、上面から１５００ｍＪ／ｃｍ2 の出力の超高圧水銀灯で紫外線露光した。次に２５℃に保持したモノエタノールアミンの０．５重量％の水溶液に浸漬して現像し、その後スプレーを用いて光硬化していないビアホールを水洗浄した。次にグリーンシートのビアホールにスクリーン印刷法でタングステンまたは銀−パラジウム合金の導体ペーストを埋め込み、配線の層間接続用の導体を形成した。上記で形成したビアホールの断面を走査型電子顕微鏡で観察し、断面の導体ペーストの状態から以下基準に従い、判定した。
○：導体ペーストがビアホール下部（キャリアフィルムと接触している部分）
からキャリアフィルムへはみ出していない。
×：導体ペーストがビアホール下部からキャリアフィルムへはみ出している。

（ポリエステルＡ）
ジカルボン酸成分としてテレフタル酸成分が１００モル％、グリコール成分としてエチレングリコール成分が１００モル％であるポリエチレンテレフタレート樹脂（固有粘度０．６５）。

（結晶核剤マスターＢ）
ポリエステルＡ中に数平均粒子径０．２μｍのアナターゼ型酸化チタン粒子を粒子濃度５０重量％で含有したポリエチレンテレフタレート結晶核剤マスター（固有粘度０．６５）。

（粒子マスターＣ）
ポリエステルＡ中に数平均粒子径２．２μｍの凝集シリカ粒子を粒子濃度２重量％で含有したポリエチレンテレフタレート粒子マスター（固有粘度０．６５）。

（粒子マスターＤ）
ポリエステルＡ中に数平均粒子径４．０μｍの凝集シリカ粒子を粒子濃度６重量％で含有したポリエチレンテレフタレート粒子マスター（固有濃度０．６５）。
（ワックスマスターポリエステルＥ）
ポリエステルＡにカルナウバワックス成分を０．２％重量％に含有した マスターポリマー
（実施例１）
表１のＡ層欄に記載した組成に混合し、１５０℃３時間真空乾燥して単軸押出機に供給した（Ａ層）。さらに、表１のＢ層欄に記載した組成に混合し、別の単軸押出機にも乾燥し供給した（Ｂ層）。これらポリマを別流路として２８０℃で溶融し、フィードブロックでＡ層／Ｂ層／Ａ層（積層比１／８／１）となるように積層し、Ｔダイより１５℃に温度制御した冷却ドラム上にシート状に吐出した。その際、直径０．１ｍｍのワイヤー状電極を使用して静電印加し、冷却ドラムに密着させ、未延伸シートを得た。次いで、長手方向への予熱温度１００℃で１．５秒間予熱を行い、延伸温度１０１℃で長手方向に３．１倍延伸し、すぐに４０℃に温度制御した金属ロールで冷却化した。次いでテンター式横延伸機にて予熱温度１１０℃で１．５秒予熱を行い、延伸温度１１５℃、で幅方向に３．６倍延伸し、そのまま、ロール加熱方式により１００℃の加熱処理を行った後、テンター内にて、熱処理温度２００℃で３秒、２２０℃で４秒実施し、幅方向に７％のリラックスを掛けながら熱処理を行った。その後、コロナ放電処理をＥ値１６で実施し、ポリエステルフィルムを得た。

（実施例２）
E値を１４に変更した以外は、実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。

（実施例３）
Ａ層の組成とＡ層厚みとＢ層の厚みを表の様に変更し、コロナ放電処理を行わない以外は、実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。

（実施例４）
表２のＢ層に記載した組成に混合し、１５０℃３時間真空乾燥して単軸押出機に供給した。Ｔダイより１５℃に温度制御した冷却ドラム上にシート状に吐出した。その際、直径０．１ｍｍのワイヤー状電極を使用して静電印加し、冷却ドラムに密着させ、未延伸シートを得た。次いで、長手方向への予熱温度１００℃で１．５秒間予熱を行い、延伸温度１０１℃で長手方向に３．１倍延伸し、すぐに４０℃に温度制御した金属ロールで冷却化した。次いでテンター式横延伸機にて予熱温度１１０℃で１．５秒予熱を行い、延伸温度１１５℃、で幅方向に３．６倍延伸し、そのまま、ロール加熱方式により１００℃の加熱処理を行った後、テンター内にて、熱処理温度２００℃で３秒、２２０℃で４秒実施し、幅方向に７％のリラックスを掛けながら熱処理を行い、厚み３０μｍのポリエステルフィルムを得た。

（比較例１）
Ａ層の組成とフィルム厚みと積層比を表の様に変更し、コロナ放電処理を行わない以外は、実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。

（比較例２）
Ａ層の組成を表の様に変更し、コロナ放電処理を行わない以外は、実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。

（比較例３）
Ａ層の組成とフィルム厚みと積層比を表の様に変更し、コロナ放電処理を行わない以外は、実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。

（比較例４）
Ａ層側にメタバー方式により下記の積層膜形成塗液を塗布した以外は、実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。
積層膜形成塗料の固形分の内訳はＴｇ２７℃のアクリル樹脂９０重量％、オキサゾリン系架橋剤９重量％（“エポクロス”(登録商標)ＷＳ−５００((株))日本触媒製）、シリカ粒子１重量％（スフェリカ（登録商標）スラリー１４０日揮触媒化成（株））の割合であった。

（比較例５）
Ｂ層の組成を表の様に変更し、実施例４と同様にしてポリエステルフィルムを得た。

（比較例６）
Ａ層の組成を表の用に変更し、実施例１と同様にしてポリエステルフィルムを得た。

本発明のポリエステルフィルムは、密着性、剥離性に優れるため、離型用途、特にグリーンシート用キャリアフィルムなどの用途に適して好ましく用いられる。

Claims (7)

1. 少なくとも一方のポリエチレンテレフタレートフィルムの表面において、表面粗さＳＲａ（ｎｍ）と、表面のぬれ張力Ｎ（ｍＮ／ｍ）が下記式（１）および（２）を満足することを特徴とする離型用途に用いられるポリエチレンテレフタレートフィルム。
   （１） −０．０７×ＳＲａ＋４５ ≦ Ｎ ≦ −０．０７×ＳＲａ＋５５
   （２） １０ｎｍ≦ＳＲａ≦２００ｎｍ
2. 前記の表面粗さＳＲａと表面のぬれ張力Ｎが下記式（３）を満足することを特徴とする請求項１に記載のポリエチレンテレフタレートフィルム。
   （３） ３０ｍＮ／ｍ≦Ｎ≦５５ｍＮ／ｍ
3. 前記ポリエチレンテレフタレートフィルムの長手方向の破断強度と幅方向の破断強度のうちの高い値Ａ（ＭＰａ）が下記式（４）を満足することを特徴とする請求項１または２に記載のポリエチレンテレフタレートフィルム。
   （４）１００ＭＰａ≦Ａ≦２１０ＭＰａ
4. 前記ポリエチレンテレフタレートフィルムが、少なくとも、結晶核剤を含有する層（基材層）と、基材層に接しており、かつポリエチレンテレフタレートフィルム表面を有する層（外層）を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のポリエチレンテレフタレートフィルム。
5. 前記外層の厚みが、ポリエチレンテレフタレートフィルムの総厚みに対して５〜１５％であり、前記外層が粒子を含有することを特徴とする請求項４に記載のポリエチレンテレフタレートフィルム。
6. 前記ポリエチレンテレフタレートフィルムの総厚みが１０μｍ以上３０μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のポリエチレンテレフタレートフィルム。
7. グリーンシート離型用途に用いられる請求項１〜６のいずれかに記載のポリエチレンテレフタレートフィルム。