JP6960480B2 - 半導体レーザ素子 - Google Patents
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Description
[概略構成]
本発明の一実施形態に係る半導体レーザ素子は、後述する第3の溝部以外は、本実施形態の効果が得られる範囲において、半導体レーザ素子用の公知の材料を用いて公知の技術により構成され得る。以下、窒化物半導体レーザ素子として、本実施形態に係る半導体レーザ素子を説明する。
n電極304は、公知の電極材料で構成されている。また、n電極304は、複数の電極材料の層で構成される。複数の層のうちのn型半導体側の層の材料には、n型半導体とオーミック接触する電極材料が用いられ、その例には、チタン、ハフニウム、およびジルコニウムなどが含まれる。複数の層のうちの上記の層以外の層の材料の例には、金、およびアルミニウムなどが含まれる。n電極304は、蒸着法もしくはスパッタ法などを用いて形成される。n電極304の例には、厚さが20nmのチタンの層、および厚さ300nmの金の層が含まれる。n電極304の各層の層厚はこれに限定されない。
窒化物半導体基板200は、窒化物半導体で構成されている基板であればよく、AlaGabIncN(0≦a≦1,0≦b≦1,0≦c≦1,a+b+c=1)基板に置き換えることが可能である。また、窒化物半導体基板200中に、Si、O、Cl、S、C、Ge、Zn、Cd、Mg、またはBeがドーピングされてもよい。窒化物半導体基板200にn型窒化物半導体基板を用いる場合は、これらのドーピング材料の中でも、Si、O、GeおよびClが特に好ましい。窒化物半導体基板200の主面は、例えば、C面{0001}、A面{11−20}、M面{1−100}、R面{1−102}、または{20−21}面などであるが、C面{0001}が最も好ましい。また、窒化物半導体基板200のオフ角が0.2°以上2°以内であれば、その上に積層させる半導体層の表面モフォロジは良好であり得る。
<層構成>
半導体層20は、半導体レーザ素子の半導体層として機能すればよく、当該半導体層として公知の層構成を有していてよい。たとえば、半導体層20は、窒化物半導体基板200上にn型下地層201、n型クラッド層202、第1の光ガイド層203、活性層204、第2の光ガイド層205、p型キャリアブロック層206、p型クラッド層207、および、p型コンタクト層208、がこの順に重なっている。このように、半導体層20は、n型クラッド層202およびp型クラッド層207がこの順で重なって構成されている。
半導体層20は、第1の凹部(以下、「第1の溝部」ともいう)120、リッジ部110、第2の凹部(以下、「第2の溝部」ともいう)130、第3の凹部(以下、「第3の溝部」ともいう)140および分割ガイド溝160を有する。これらの溝部およびリッジ部は、公知のフォトリソグラフィ技術とエッチング技術を利用して形成することが可能である。
誘電体膜302は、絶縁性を有している。誘電体膜302は、半導体レーザ素子1における絶縁のための層に利用可能な公知の材料を用い、蒸着などの公知の方法によって形成することが可能である。誘電体膜302の材料の例には、酸化アルミニウム、酸化シリコン、ジルコニア、窒化シリコン、窒化アルミニウム、窒化ガリウム、酸窒化シリコンおよび酸窒化アルミニウムが含まれる。
電極層は、前述したように、オーミック電極301およびp電極303で構成されている。
以下、半導体レーザ素子1における溝部などの立体的な構造についてさらに説明する。図9は、本発明の実施形態1に係る半導体レーザの寸法を説明するための図である。以下、共振器長が800μm、チップ幅が200μmとして、半導体レーザ素子1の各構成における寸法などを説明する。
リッジ部110は、X方向における長さL22、および、Y方向における長さL25を有している。
第1の溝部120は、X方向における長さL22、Y方向における長さL21、および、積層方向における長さ(深さ)を有している。
第2の溝部130からリッジ部110の中心までの長さL35は、Y方向における第2の溝部130の先端からリッジ部110の中心軸までの距離である。また、FFPにおける水平横モードの放射角θhを広げる効果を得る観点と、光導波路の近傍の製造プロセスによるダメージを軽減する観点とから、長さL35は、2μm以上8μm以下の範囲から適宜に決めることができ、例えば5μmであってよい。
第3の溝部140のX方向における長さL42は、半導体層20のX方向における一端面から第3の溝部140の他端までの長さである。長さL42は、第2の溝部130、130間から光出射面170に向かって導波するレーザ光のY方向形状をガウシアンに近づける観点から、適宜に決めることが可能である。たとえば、長さL42は、長さL36の40〜100%の範囲から適宜に決めることが可能であり、上記の観点によれば長いほど好ましい。長さL42は、例えば、3μm(長さL36の60%)であってよい。
分割ガイド溝160の幅は適宜決定すればよい。例えば、幅は10μmであってもよい。また、分割ガイド溝160は、劈開性を有さない方向へ分割するための一形態である。本実施形態では、分割ガイド溝160に代わる当該分割のための他の形態を用いてもかまわない。
半導体レーザ素子は、公知の方法を利用して製造することが可能である。たとえば、半導体レーザ素子1は、積層およびエッチングなどの公知の技術を用いて、以下の工程(1)〜(12)によって製造することが可能である。半導体レーザ素子の製造方法について、図10〜14を用いて説明する。
まず、p電極303よりリッジ部110頂部から半導体層20に電流が注入されることにより、リッジ部110下方の活性層近傍で正孔と電子が再結合を起こし、光が発生する。半導体層20は、n型クラッド層202およびp型クラッド層207の内側に光を閉じ込めると共に、光導波路方向であるX方向に光を導波させる。X方向に対して垂直方向に設けられた1対の光共振器によって光が反射され、誘導放出が促され、光が増幅されることでレーザ光が生じ、光出射面170側端面よりレーザ光が放出される。
本発明の他の実施形態について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、上記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
2 ウエハ
3 バー
20 半導体層
110 リッジ部
120 第1の凹部(第1の溝部)
130 第2の凹部(第2の溝部)
140 第3の凹部(第3の溝部)
150 第4の溝部
160 分割ガイド溝
170 光出射面
180 反射面
200 窒化物半導体基板
201 n型下地層
202 n型クラッド層
203 第1の光ガイド層
204 活性層
205 第2の光ガイド層
206 p型キャリアブロック層
207 p型クラッド層
208 p型コンタクト層
301 オーミック電極
302 誘電体膜
303 p電極
304 n電極
410 劈開ライン
420 分割ライン
510 ダミーリッジ部
Claims (7)
- 半導体層、誘電体膜および電極層がこの順で重なって構成されている半導体レーザ素子であって、
前記半導体層は、n型クラッド層およびp型クラッド層がこの順で重なって構成され、
前記p型クラッド層に形成され、平面視したときに前記半導体層を横断する方向の一端から他端まで延出するリッジ部と、
前記横断する方向に沿って前記リッジ部の両側に形成される、前記リッジ部から一様の深さを有する二つの第1の部分と、
前記p型クラッド層から前記n型クラッド層に到達する深さを有し、平面視したときに前記半導体層を縦断する方向のそれぞれの端から前記リッジ部を挟む位置まで延出する二本の溝状の第2の凹部と、
前記p型クラッド層から前記n型クラッド層に到達する深さを有し、平面視したときに前記半導体層を横断する方向の一端から前記横断する方向に、前記第2の凹部に向けて延出し、前記縦断する方向において前記リッジ部を挟む位置に配置される二本の溝状の第3の凹部と、を有し、
前記誘電体膜は、少なくとも、前記リッジ部以外の前記半導体層の表面を覆い、
前記電極層は、前記リッジ部に重なり、かつ平面視したときに前記横断する方向における前記第2の凹部よりも他端側で前記誘電体膜と重なっており、
半導体レーザ素子を縦断する方向において、前記第3の凹部から前記リッジ部の中心までの長さは、前記第2の凹部から前記リッジ部の中心までの長さより長い、
半導体レーザ素子。 - 前記横断する方向の一端面が光出射面であり、他端面が反射面である、請求項1に記載の半導体レーザ素子。
- 前記電極層は、前記リッジ部に重なる第1の電極層と、平面視したときに前記横断する方向における前記第2の凹部よりも他端側で前記誘電体膜および前記第1の電極層と重なる第2の電極層とを含む、請求項1に記載の半導体レーザ素子。
- 前記第2の凹部は、前記縦断する方向において、前記リッジ部に対して対称の位置に配置されている、請求項1に記載の半導体レーザ素子。
- 前記第3の凹部は、前記横断する方向における他端で前記第2の凹部に連結している、請求項1に記載の半導体レーザ素子。
- 前記誘電体膜は、少なくとも、前記第2の凹部の前記縦断する方向における側面部をさらに覆う、請求項1に記載の半導体レーザ素子。
- 前記横断する方向において前記第3の凹部と対称の位置に配置され、前記第3の凹部と同じ平面形状、断面形状および深さを有する第4の凹部をさらに有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体レーザ素子。
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