JP2010003882A - 端面発光型半導体レーザ素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】端面発光型半導体レーザ素子は、第1化合物半導体層21、活性層23及び第2化合物半導体層22が、順次、積層された積層構造体から成り、光出射端面からレーザ光を出射する発光部20を有し、第2化合物半導体層22は、ストライプ状の電流注入領域31を有しており、しかも、第2化合物半導体層22には、電流注入領域31の両側であって、電流注入領域31から離間し、且つ、光出射端面から離れた領域に凹部33が設けられている。
【選択図】 図1
Description
第1化合物半導体層、活性層及び第2化合物半導体層が、順次、積層された積層構造体から成り、光出射端面からレーザ光を出射する発光部を有し、
第2化合物半導体層は、ストライプ状の電流注入領域を有しており、しかも、
第2化合物半導体層には、電流注入領域の両側であって、電流注入領域から離間し、且つ、光出射端面から離れた領域に凹部が設けられている。
第2化合物半導体層は、下層部と、該下層部から突出した上層部とを有し、
第2化合物半導体層の上層部が電流注入領域に相当し、
凹部は、第2化合物半導体層の下層部に設けられている構成とすることができる。
第2化合物半導体層は、下層部と、該下層部から突出した3つの上層部とを有し、
中央に位置する第2化合物半導体層の第2の上層部が電流注入領域に相当し、
凹部は、一方の縁部に位置する第2化合物半導体層の第1の上層部と第2化合物半導体層の第2の上層部との間に位置する第2化合物半導体層の下層部の部分、並びに、他方の縁部に位置する第2化合物半導体層の第3の上層部と第2化合物半導体層の第2の上層部との間に位置する第2化合物半導体層の下層部の部分に設けられている構成とすることができる。
0.001≦DS1<0.2
0.2<DS2
を満足している。
1×10-6≦Lg
好ましくは、
1×10-5≦Lg≦8×10-5
を満足することが望ましい。
0.001≦DS3≦0.05
好ましくは、
0.001≦DS3≦0.02
を満足し、また、
1.25×10-2≦Lg/LAct≦2×10-1
好ましくは、
1.25×10-2≦Lg/LAct≦1×10-1
を満足することが望ましい。凹部は、第2化合物半導体層内に設けられていてもよいし、第2化合物半導体層を貫通し、活性層に達していてもよいし、あるいは又、更には、第1化合物半導体層に達していてもよいし、あるいは又、更には、第1化合物半導体層を貫通していてもよい。凹部の深さとして0.3μm乃至2.5μmを挙げることができる。
0.001≦DS1<0.2
0.2<DS2
を満足している。具体的には、凹部33の長さをLg(=DS2−DS1)としたとき、
DS1=0.001mm
DS2=0.031mm
Lg =0.030mm
である。
DS3 =0.0015mm
Lg/LAct=0.075
である。尚、凹部33は、第1化合物半導体層21に達しているが、これは例示である。凹部33の底部の位置は、適宜、変更することができる。
先ず、n型GaN基板から成る基板10をMOCVD装置内に搬入し、高温にてサーマル・クリーニングを行った後、基板10を1000゜C程度まで昇温させ、次いで、SiドープのGaN(GaN:Si)から成るバッファ層11を結晶成長させる。続いて、n型AlGaN層から成る第1クラッド層211、及び、n型不純物としてケイ素(Si)が添加されたn型GaN層から成る第1ガイド層212を、順次、結晶成長させることで、第1化合物半導体層21を得ることができる。その後、InGaNから成る井戸層、並びに、InGaNから成る障壁層(但し、組成は井戸層と異なる)から構成された多重量子井戸構造を有する活性層23を、第1化合物半導体層21上に結晶成長させる。ここで、発光波長λは400nmである。その後、活性層23上に、MgドープのAl0.2Ga0.8Nから成る厚さ10nmの電子ブロック層223、p型不純物としてマグネシウム(Mg)が添加されたp型GaNから成る第2ガイド層222、及び、p型不純物としてマグネシウム(Mg)が添加されたp型AlGaN層から成る第2クラッド層221を、順次、結晶成長させることで第2化合物半導体層22を得た後、p型不純物としてマグネシウム(Mg)が添加されたp型GaN層から成る第2コンタクト層25を結晶成長させる。
その後、第2コンタクト層25上にSiO2から成るマスク層27をCVD法にて成膜し、次いで、窒素ガス雰囲気中でのアニール処理を行って、p型不純物(p型ドーパント)の活性化を行う。
次いで、リソグラフィ技術及びエッチング技術に基づきマスク層27に開口部27Aを形成し、第2コンタクト層25を露出させる(図3の(A)参照)。そして、マスク層27をエッチング層マスクとして用いて、RIE法にて、第2コンタクト層25をエッチングし、更に、第2化合物半導体層22を厚さ方向に一部分、エッチングして、リッジ形状34を設ける(図3の(B)参照)。
その後、リソグラフィ技術に基づき、レジスト材料から成るマスク層28を形成する(図4の(A)参照)。このマスク層28には、凹部を設けるための開口部28Aが設けられている。そして、このマスク層28をエッチング用マスクとして用いて、RIE法にて、第2化合物半導体層22、活性層23、更には、第1化合物半導体層21の厚さ方向の一部分をエッチングして、凹部33を形成した後、マスク層28をアッシング法にて除去し、更に、マスク層27をウエットエッチング法にて除去する。こうして、図4の(B)に示す構造を得ることができる。
次いで、通常の半導体レーザ素子のウェハプロセス、チップ化工程と同様に、保護膜(図示せず)の形成、フォトリソグラフィ工程やエッチング工程、金属蒸着による基板10の裏面における第1電極41の形成、第2化合物半導体層22の頂面上(具体的には、第2コンタクト層25上)における第2電極42の形成を実行し、更に、劈開処理、ダイシングによりチップ化を行い、樹脂モールド、パッケージ化を行うことで、実施例1の半導体レーザ素子を作製することができる。
Claims (5)
- 第1化合物半導体層、活性層及び第2化合物半導体層が、順次、積層された積層構造体から成り、光出射端面からレーザ光を出射する発光部を有し、
第2化合物半導体層は、ストライプ状の電流注入領域を有しており、しかも、
第2化合物半導体層には、電流注入領域の両側であって、電流注入領域から離間し、且つ、光出射端面から離れた領域に凹部が設けられている端面発光型半導体レーザ素子。 - 第2化合物半導体層は、下層部と、該下層部から突出した上層部とを有し、
第2化合物半導体層の上層部が電流注入領域に相当し、
凹部は、第2化合物半導体層の下層部に設けられている請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ素子。 - 第2化合物半導体層は、下層部と、該下層部から突出した3つの上層部とを有し、
中央に位置する第2化合物半導体層の第2の上層部が電流注入領域に相当し、
凹部は、一方の縁部に位置する第2化合物半導体層の第1の上層部と第2化合物半導体層の第2の上層部との間に位置する第2化合物半導体層の下層部の部分、並びに、他方の縁部に位置する第2化合物半導体層の第3の上層部と第2化合物半導体層の第2の上層部との間に位置する第2化合物半導体層の下層部の部分に設けられている請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ素子。 - 凹部は、光出射端面から0.2mm離れた領域内に含まれている請求項1に記載の端面発光型半導体レーザ素子。
- 凹部の長さは1×10-6m以上である請求項4に記載の端面発光型半導体レーザ素子。
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JP2008161468A JP2010003882A (ja) | 2008-06-20 | 2008-06-20 | 端面発光型半導体レーザ素子 |
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JP2008161468A Ceased JP2010003882A (ja) | 2008-06-20 | 2008-06-20 | 端面発光型半導体レーザ素子 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2008
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