JPWO2015163057A1 - 半導体光デバイス及び表示装置 - Google Patents
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Abstract
Description
第1化合物半導体層、化合物半導体から成る活性層、及び、第2化合物半導体層が積層されて成り、光を出射する第1端面、及び、第1端面と対向する第2端面を有するリッジストライプ構造部、並びに、
リッジストライプ構造部の両側に位置するリッジストライプ隣接部の少なくとも一方に、第2端面側において隣接し、且つ、リッジストライプ構造部と離間して設けられた電流規制領域、
を備えている。
H1≦T1 (1)
T1+T3≦H2≦T1+T3+T2 (2)
を満足する。云い換えれば、電流規制領域の底面は活性層よりも下方に位置し、電流規制領域を除くリッジストライプ隣接部の頂面は活性層よりも上方に位置する。ここで、リッジストライプ隣接部の頂面側に向かう方向のH1の値を正としたとき、H1は、0を含む正負、どちらの値も取り得る。
1.本開示の第1の態様及び第2の態様に係る半導体光デバイス、並びに、本開示の表示装置、全般に関する説明
2.実施例1(本開示の第1の態様及び第2の態様に係る半導体光デバイス)
3.実施例2(実施例1の変形)
4.実施例3(実施例1の別の変形)
5.実施例4(実施例1の更に別の変形)
6.実施例5(実施例1の更に別の変形)
7.実施例6(実施例1の更に別の変形)
8.実施例7(本開示の表示装置)、その他
本開示の第1の態様あるいは第2の態様に係る半導体光デバイス、本開示の表示装置を構成する半導体光デバイス(以下、これらを総称して、単に、『本開示の半導体光デバイス』と呼ぶ場合がある)において、リッジストライプ構造部の長さをL0、電流規制領域の長さをL1としたとき、
0.1≦L1/L0<1.0
好ましくは、
0.1≦L1/L0≦0.3
を満足する形態とすることができる。
DS1/L0<1.0
好ましくは、
DS1/L0≦0.3
を満足する形態とすることができる。また、電流規制領域の第2端面側の端部から第2端面までの距離をDS2としたとき、
DS1/L0>DS2/L0≧0
を満足する形態とすることができる。
(1)第1化合物半導体層の厚さ方向の一部/活性層/第2化合物半導体層の厚さ方向の一部の積層構造
(2)第1化合物半導体層の厚さ方向の一部/活性層の積層構造、又は、
(3)第1化合物半導体層の厚さ方向の一部
を挙げることができる。イオン注入するイオン種として、化合物半導体層が、GaAs系化合物半導体から成る場合、ホウ素(B)やプロトン(H)を挙げることができるし、InP系化合物半導体から成る場合、鉄(Fe)を挙げることができるし、GaN系化合物半導体から成る場合、鉄(Fe)やホウ素(B)を挙げることができる。尚、イオン注入処理が施されているか否かは、SIMS等の解析によってイオンの存在を特定することができるし、SSRM(走査型広がり抵抗顕微鏡法、Scanning Spreading Resistance Microscopy)、SNDM(非線形誘電率顕微鏡、Scanning Non-linear Dielectric Microscope)等で半導体光デバイスの断面の電気伝導性、極性、誘電率等を測定することによって検出することもできる。
第1化合物半導体層31、化合物半導体から成る活性層33、及び、第2化合物半導体層32が積層されて成り、光を出射する第1端面21、及び、第1端面21と対向する第2端面22を有するリッジストライプ構造部20、並びに、
リッジストライプ構造部20の両側に位置するリッジストライプ隣接部40の少なくとも一方に(各実施例においては両側に)、第2端面側において隣接し、且つ、リッジストライプ構造部20と離間して設けられた電流規制領域41、
を備えている。第1端面21には無反射コート層(AR)あるいは低反射コート層が形成されており、第2端面22には高反射コート層(HR)が形成されているが、これらのコート層の図示は省略している。
H1≦T1 (1)
T1+T3≦H2≦T1+T3+T2 (2)
を満足する。あるいは又、云い換えれば、電流規制領域41の底面は活性層33よりも下方に位置し、電流規制領域41を除くリッジストライプ隣接部40の頂面は活性層33よりも上方に位置する。電流規制領域41の底面は、第1化合物半導体層31の底面と同じ位置、あるいは、低い位置に位置してもよい。即ち、
(H1−T1)≦0
を満足していてもよい。云い換えれば、第1化合物半導体層31の底面を基準とし、活性層側に向かうH1の値を正としたとき、H1は0を含む正負の値を取り得る。また、本開示の第2の態様に係る半導体光デバイス、あるいは、本開示の第1の態様に係る半導体光デバイスの好ましい態様に則って説明すると、電流規制領域41はリッジストライプ構造部20からの漏れ電流の流れを阻止する。
0.1≦L1/L0<1.0
を満足する。更には、電流規制領域41の第1端面21側の端部から第2端面22までの距離をDS1としたとき、
DS1/L0<1.0
を満足し、電流規制領域41の第2端面22側の端部から第2端面22までの距離をDS2としたとき、
DS2/L0≧0
を満足する。具体的には、
L1/L0 =0.5
DS1/L0=0.5
DS2/L0=0.0
とした。
第2化合物半導体層32
コンタクト層 p−GaAs:Znドープ
第2クラッド層 p−AlInP:Znドープ
第2ガイド層 AlGaInP
活性層33
井戸層/障壁層 GaInP/AlGaInP
第1化合物半導体層31
第1ガイド層 AlGaInP
第1クラッド層 n−AlInP:Siドープ
バッファ層11 n−GaInP
先ず、基板10上に、活性層33を含む積層構造体30を形成する。具体的には、MOCVD法にて各種の化合物半導体層を結晶成長させるが、このとき、例えば、リン原料としてホスフィン(PH3)を用い、ガリウム原料としてトリメチルガリウム(TMG)ガスあるいはトリエチルガリウム(TEG)ガスを用い、アルミニウム原料としてトリメチルアルミニウム(TMA)ガスを用い、In原料としてトリメチルインジウム(TMI)ガスを用い、シリコン原料としてモノシランガス(SiH4ガス)を用い、Mg源としてシクロペンタジエニルマグネシウムガスを用いればよい。より具体的には、n−GaAs基板から成る基板10の主面上に、通常のMOCVD法、即ち、有機金属や水素化合物を原料ガスとするMOCVD法に基づき、バッファ層11、第1化合物半導体層31、活性層33、第2化合物半導体層32をエピタキシャル成長させる。こうして、図15Aに模式的な一部断面図を示す構造を得ることができる。
その後、周知のフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術に基づき、積層構造体30の一部分をエッチングして、一定の幅を有するリッジストライプ構造部20を形成し、更に、凹部42を形成する。具体的には、第2化合物半導体層32の所定の部分を厚さ方向にエッチングして厚さ方向の一部を除去し、更に、凹部42を形成すべき領域において、第2化合物半導体層32、活性層33及び第1化合物半導体層31の厚さ方向の一部をエッチングする。こうして、図15Bに模式的な一部端面図を示すように、リッジストライプ構造部20及び凹部42を形成することができる。
次に、全面に、CVD法に基づきSiO2やSiN、Al2O3から成る絶縁膜36を形成(成膜)する。そして、第2化合物半導体層32の頂面上の絶縁膜36をフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術によって除去し、更に、リフト・オフ法に基づき、露出した第2化合物半導体層32の頂面から絶縁膜36の上に亙り、第2電極35を形成する。また、基板10の裏面に、周知の方法に基づき第1電極34を形成する。こうして、実施例1の半導体光デバイスを得ることができる(図1、図3A、図3B参照)。
第2化合物半導体層32
コンタクト層 p−GaN:Mgドープ
第2クラッド層 p−AlGaN:Mgドープ
第2ガイド層 InGaN
活性層33
井戸層/障壁層 InGaN/GaN
第1化合物半導体層31
第1ガイド層 InGaN
第1クラッド層 n−AlGaN:Siドープ
バッファ層11 n−GaN
[A01]《半導体光デバイス・・・第1の態様》
第1化合物半導体層、化合物半導体から成る活性層、及び、第2化合物半導体層が積層されて成り、光を出射する第1端面、及び、第1端面と対向する第2端面を有するリッジストライプ構造部、並びに、
リッジストライプ構造部の両側に位置するリッジストライプ隣接部の少なくとも一方に、第2端面側において隣接し、且つ、リッジストライプ構造部と離間して設けられた電流規制領域、
を備えており、
第1化合物半導体層の底面から電流規制領域の底面までの距離をH1、第1化合物半導体層の底面から電流規制領域を除くリッジストライプ隣接部の頂面までの距離をH2、第1化合物半導体層の厚さをT1、活性層の厚さをT3、第2化合物半導体層の厚さをT2としたとき、
H1≦T1
T1+T3≦H2≦T1+T3+T2
を満足する半導体光デバイス。
[A02]
第1化合物半導体層、化合物半導体から成る活性層、及び、第2化合物半導体層が積層されて成り、光を出射する第1端面、及び、第1端面と対向する第2端面を有するリッジストライプ構造部、並びに、
リッジストライプ構造部の両側に位置するリッジストライプ隣接部の少なくとも一方に、第2端面側において隣接し、且つ、リッジストライプ構造部と離間して設けられた電流規制領域、
を備えており、
電流規制領域の底面は活性層よりも下方に位置し、電流規制領域を除くリッジストライプ隣接部の頂面は活性層よりも上方に位置する半導体光デバイス。
[A03]リッジストライプ構造部の長さをL0、電流規制領域の長さをL1としたとき、
0.1≦L1/L0<1.0
を満足する[A01]又は[A02]に記載の半導体光デバイス。
[A04]電流規制領域の第1端面側の端部から第2端面までの距離をDS1、リッジストライプ構造部の長さをL0としたとき、
DS1/L0<1.0
を満足する[A01]乃至[A03]のいずれか1項に記載の半導体光デバイス。
[A05]電流規制領域は、リッジストライプ構造部からの漏れ電流の流れを阻止する[A01]乃至[A04]のいずれか1項に記載の半導体光デバイス。
[A06]《半導体光デバイス・・・第2の態様》
第1化合物半導体層、化合物半導体から成る活性層、及び、第2化合物半導体層が積層されて成り、光を出射する第1端面、及び、第1端面と対向する第2端面を有するリッジストライプ構造部、並びに、
リッジストライプ構造部の両側に位置するリッジストライプ隣接部の少なくとも一方に、第2端面側において隣接し、且つ、リッジストライプ構造部と離間して設けられた電流規制領域、
を備えており、
電流規制領域は、リッジストライプ構造部からの漏れ電流の流れを阻止する半導体光デバイス。
[A07]リッジストライプ構造部の長さをL0、電流規制領域の長さをL1としたとき、
0.1≦L1/L0<1.0
を満足する[A06]に記載の半導体光デバイス。
[A08]電流規制領域の第1端面側の端部から第2端面までの距離をDS1、リッジストライプ構造部の長さをL0としたとき、
DS1/L0<1.0
を満足する[A06]又は[A07]に記載の半導体光デバイス。
[A09]電流規制領域は、第1化合物半導体層に形成された凹部から成る[A01]乃至[A08]のいずれか1項に記載の半導体光デバイス。
[A10]凹部には絶縁材料が埋め込まれている[A09]に記載の半導体光デバイス。
[A11]電流規制領域は、イオン注入が施された化合物半導体の層から成る[A01]乃至[A08]のいずれか1項に記載の半導体光デバイス。
[A12]電流規制領域は、絶縁層から構成されている[A01]乃至[A08]のいずれか1項に記載の半導体光デバイス。
[A13]電流規制領域は、電流規制領域を経由した第2化合物半導体層から第1化合物半導体層への電流の流れを阻止する化合物半導体層の積層構造から構成されている[A01]乃至[A08]のいずれか1項に記載の半導体光デバイス。
[A14]スーパールミネッセントダイオード、半導体レーザ素子、又は、半導体光増幅器を構成する[A01]乃至[A13]のいずれか1項に記載の半導体光デバイス。
[B01]《表示装置》
[A01]乃至[A14]のいずれか1項に記載の発光素子を備えている表示装置。
Claims (14)
- 第1化合物半導体層、化合物半導体から成る活性層、及び、第2化合物半導体層が積層されて成り、光を出射する第1端面、及び、第1端面と対向する第2端面を有するリッジストライプ構造部、並びに、
リッジストライプ構造部の両側に位置するリッジストライプ隣接部の少なくとも一方に、第2端面側において隣接し、且つ、リッジストライプ構造部と離間して設けられた電流規制領域、
を備えており、
第1化合物半導体層の底面から電流規制領域の底面までの距離をH1、第1化合物半導体層の底面から電流規制領域を除くリッジストライプ隣接部の頂面までの距離をH2、第1化合物半導体層の厚さをT1、活性層の厚さをT3、第2化合物半導体層の厚さをT2としたとき、
H1≦T1
T1+T3≦H2≦T1+T3+T2
を満足する半導体光デバイス。 - リッジストライプ構造部の長さをL0、電流規制領域の長さをL1としたとき、
0.1≦L1/L0<1.0
を満足する請求項1に記載の半導体光デバイス。 - 電流規制領域の第1端面側の端部から第2端面までの距離をDS1、リッジストライプ構造部の長さをL0としたとき、
DS1/L0<1.0
を満足する請求項1に記載の半導体光デバイス。 - 電流規制領域は、リッジストライプ構造部からの漏れ電流の流れを阻止する請求項1に記載の半導体光デバイス。
- 第1化合物半導体層、化合物半導体から成る活性層、及び、第2化合物半導体層が積層されて成り、光を出射する第1端面、及び、第1端面と対向する第2端面を有するリッジストライプ構造部、並びに、
リッジストライプ構造部の両側に位置するリッジストライプ隣接部の少なくとも一方に、第2端面側において隣接し、且つ、リッジストライプ構造部と離間して設けられた電流規制領域、
を備えており、
電流規制領域は、リッジストライプ構造部からの漏れ電流の流れを阻止する半導体光デバイス。 - リッジストライプ構造部の長さをL0、電流規制領域の長さをL1としたとき、
0.1≦L1/L0<1.0
を満足する請求項5に記載の半導体光デバイス。 - 電流規制領域の第1端面側の端部から第2端面までの距離をDS1、リッジストライプ構造部の長さをL0としたとき、
DS1/L0<1.0
を満足する請求項5に記載の半導体光デバイス。 - 電流規制領域は、第1化合物半導体層に形成された凹部から成る請求項1又は請求項5に記載の半導体光デバイス。
- 凹部には絶縁材料が埋め込まれている請求項8に記載の半導体光デバイス。
- 電流規制領域は、イオン注入が施された化合物半導体の層から成る請求項1又は請求項5に記載の半導体光デバイス。
- 電流規制領域は、絶縁層から構成されている請求項1又は請求項5に記載の半導体光デバイス。
- 電流規制領域は、電流規制領域を経由した第2化合物半導体層から第1化合物半導体層への電流の流れを阻止する化合物半導体層の積層構造から構成されている請求項1又は請求項5に記載の半導体光デバイス。
- スーパールミネッセントダイオード、半導体レーザ素子、又は、半導体光増幅器を構成する請求項1又は請求項5に記載の半導体光デバイス。
- 請求項1乃至請求項13のいずれか1項に記載の発光素子を備えている表示装置。
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