JP6923939B2

JP6923939B2 - 流量制御装置

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Publication number: JP6923939B2
Application number: JP2018503086A
Authority: JP
Inventors: 暢平井; 和之森崎; 薫平田; 西野　功二; 功二西野; 池田　信一; 信一池田
Original assignee: Fujikin Inc
Current assignee: Fujikin Inc
Priority date: 2016-02-29
Filing date: 2017-02-23
Publication date: 2021-08-25
Anticipated expiration: 2037-02-23
Also published as: US10641407B2; TW201741634A; CN108780332B; KR20180063261A; CN108780332A; KR102056140B1; TWI642909B; WO2017150331A1; US20190085988A1; JPWO2017150331A1

Description

本発明は、流量制御装置に関する。

従来、図１１に示すように、ガス入口２ａとガス出口２ｂとを連通する流路２が形成された本体ブロック３と、流路２に介在された絞り部ＯＲと、絞り部ＯＲの上流部で流路２に介在された制御弁４と、制御弁４と絞り部ＯＲとの間で流路２内の圧力を検出する第１圧力検出器５ａと、第１圧力検出器５ａの検出値に基づいて所定流量となるように制御弁４を制御するコントローラ６と、を備える流量制御装置（圧力式流量制御装置とも呼ばれる。）が知られている（特許文献１等）。

この制御は、絞り部ＯＲの上流圧力（Ｐ_１）と下流圧力（Ｐ_２）との間に（Ｐ_１／Ｐ_２）≧約２の所謂臨界膨張条件が保持されていると、オリフィス等の絞り部ＯＲを流通するガスＧの流量（Ｑ）がＱ＝ＫＰ_１（Ｋは定数）の関係となる原理を利用する。

この原理に基づき、第１圧力検出器５ａで検出される上流圧力（Ｐ_１）が所定圧力となるように、制御弁４を高精度でフィードバック制御することにより、絞り部ＯＲを通過する流量（Ｑ）を高精度で所定流量に制御することができる。制御弁４には、高精度で制御可能な圧電駆動式制御弁やソレノイドバルブ等が用いられる。

非臨界膨張条件下では、流量Ｑｃ＝Ｋ_２Ｐ_２ ^ｍ（Ｐ_１−Ｐ_２）^ｎ（Ｋ_２は流体の種類と流体温度に依存する比例係数、指数ｍ、ｎは実際の流量から導出された値）の関係が成立する。絞り部ＯＲの下流側に別途設けた第２圧力検出器（図示せず。）によって下流圧力（Ｐ_２）が検出される。非臨界膨張条件下では、非臨界膨張条件下で成立する前記関係式を用いて、絞り部ＯＲ上流側の第１圧力検出器５ａの出力と絞り部ＯＲ下流側の前記第２圧力検出器の出力とから演算により流量を求めることができ、流量制御装置は、求めた流量が設定流量と同じになるように制御弁の開閉度を制御する（特許文献２等）。

しかしながら、この種の流量制御装置の上流に配置される圧力調整弁（図示せず。）等の影響により、流路２を流れるガスＧの圧力が周期的に振動し、第１圧力検出器５ａの検出圧力にハンチング（脈動）を生じることがある。検出圧力のハンチングは、流量の制御を不安定にする。

従来、このようなハンチングを抑えるために、ソフト的な対応策と、機械的な対応策が知られている。ソフト的な対応策は、例えば、流量制御装置のコントローラの演算に用いられる係数を変更してハンチングを押えるように最適制御する（例えば特許文献３等）。しかしながら、ソフト的な対応策は変更する係数の最適値を導出することが容易でない。

機械的な対応策として、例えば、金属メッシュプレートやオリフィスプレート等の整流作用を有する整流板を流路内に介在させてガスを整流する技術、或いは流路の途中に流路断面積を拡大するチャンバを形成することにより圧力変動を吸収する技術が知られている（例えば特許文献４〜６等）。

特開２００３−１２０８３２号公報特開２０１０−２１８５７１号公報特開２０１５−１５８７５５号公報特開２００５−２４０８０号公報特開２０１１−８０８２２号公報特開平８−１３５８８１号公報

流路の途中にチャンバを構成する技術は、従来から知られているが、いずれも既設の配管の途中に設けられる構造であり、それによって配管輸送中に発生する流体の圧力変動を抑えることを前提としている。また、配管の途中に設ける構造であるため、通常はチャンバの入口と出口とが同一軸線上に構成される。そのため、圧力変動を伴う流体がチャンバ内に入ると、流量が少ない場合は、チャンバに入った流体がチャンバ全体に拡散するため、圧力変動を抑えることが出来るが、大流量の流体がチャンバに入る場合、チャンバに拡散する前にチャンバ出口に到達してしまうため、流体の圧力変動の全てを抑えることが出来ない。大流量の流体の圧力変動でも抑制できるよう、チャンバの大きさを広げることも考えられるが、近年、半導体製造装置は小型化が進められているため、流量制御装置内に大きな容量を確保することが難しい。また、流量制御装置の上流側にチャンバを設けることで、上流からの流体に含まれる圧力変動を抑えることはできるが、流量制御装置内にある制御弁等も流体に圧力変動を発生させる要因の１つになるため、流量制御装置の外部にチャンバを設けるだけでは不十分である。

また、制御弁４と絞り部ＯＲとの間の圧力振動を抑えるために、整流板を取り付けることが考えられる。しかし、図１１の流路２に金属メッシュ等の整流板を介在させると圧力損失が増す。これは、整流板を構成するメッシュなどにより、流路の断面積が小さくなることで、流体に抵抗を与えることになり、圧力損失が発生するという問題が生じる。

また、メンテナンス時に金属メッシュ等の整流板を取り換える場合、ガス出口２ｂに接続されている配管等のパーツ（図示せず）や、オリフィスプレート等で形成される絞り部ＯＲ等を取外し、分解しなければならず、手間がかかる。また、組立時に、流路内に薄板の整流板を挿入し装着する際、整流板が流路内で傾くなどして挿入しにくい場合もある。

そこで、本発明は、大流量で且つ装置の小型化の要請に応じつつ流路内のハンチングを抑制し得る流量制御装置を提供することを主たる目的とする。本発明は更に、メンテナンス性及び組立性を向上し得る流量制御装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明に係る流量制御装置の第１の態様は、制御弁と、前記制御弁の下流側に設けられた第１流路と、第２流路と、前記第１流路と前記第２流路との間に設けられた拡張室と、を有し、前記第２流路は、前記第１流路の延長上と異なる位置に設けられている。

また、本発明に係る流量制御装置の第２の態様は、制御弁と、前記制御弁の下流側に設けられた第１流路と、第２流路と、前記第１流路と前記第２流路との間に設けられた拡張室と、前記拡張室内に配設された整流板と、を有する。

また、本発明に係る流量制御装置の第３の態様では、前記第１の態様又は前記第２の態様において、前記第２流路に絞り部が設けられる。

また、本発明に係る流量制御装置の第４の態様では、前記第３の態様において、前記制御弁と前記絞り部との間に第１圧力検出器が設けられる。

本発明に係る流量制御装置の第５の態様では、前記第４の態様において、前記第１圧力検出器が、前記第２流路上で絞り部より上流に設けられる。

本発明に係る流量制御装置の第６の態様では、前記第５の態様において、前記絞り部下流側で前記第２流路内の圧力を検出するための第２圧力検出器を更に有する。

本発明に係る流量制御装置の第７の態様では、前記第１の態様又は前記第２の態様において、前記第１流路及び前記第２流路が形成された本体ブロックを更に設けられ、前記拡張室が、前記本体ブロックに形成された本体凹部と、前記本体ブロックに形成された前記本体凹部を閉鎖するよう前記本体ブロックに取り付けられた蓋体によって形成される。

本発明に係る流量制御装置の第８の態様では、前記第７の態様において、前記蓋体は、前記拡張室の容積を増加するための蓋体凹部が形成される。

本発明に係る流量制御装置の第９の態様では、前記第８の態様において、前記本体ブロックと前記蓋体とは、メタルシーリングガスケットを介して接合される。

本発明に係る流量制御装置の第１０の態様では、前記第９の態様において、前記本体凹部の周囲に前記蓋体を収容するための座繰り部が形成される。

本発明に係る流量制御装置の第１１の態様では、前記第１０の態様において、前記蓋体は、前記蓋体を前記本体ブロックに固定するボルトのための座繰り穴が前記蓋体凹部の周囲に形成される。

本発明に係る流量制御装置の第１２の態様では、前記第１の態様において、前記拡張室内には、整流板が配設される。

本発明に係る流量制御装置の第１３の態様では、前記第２の態様又は前記第１２の態様において、前記拡張室に前記第１流路が開口する上流側開口と前記拡張室に前記第２流路が開口する下流側開口との間であって前記上流側開口から所定間隙を介して前記整流板を保持する整流板保持体が、前記拡張室内に設けられる。

本発明に係る流量制御装置の第１４の態様では、前記第１３の態様において、前記整流板保持体が管状体の周壁に開口部を有し、前記開口部が前記拡張室の下流側開口に臨むように配設される。

本発明に係る流量制御装置の第１５の態様では、前記第１３の態様において、前記第１流路及び前記第２流路が形成された本体ブロックを更に有し、前記拡張室が、前記本体ブロックに形成された本体凹部と、前記本体ブロックに形成された前記本体凹部を閉鎖するよう前記本体ブロックに取り付けられた蓋体によって形成され、前記整流板保持体が前記蓋体に固定される。

本発明に係る流量制御装置の第１６の態様では、前記第１３の態様において、前記整流板が、前記整流板保持体に溶接されて固定される。

本発明に係る流量制御装置の第１７の態様では、前記第２の態様又は前記１２の態様において、前記整流板が、金属メッシュで形成され得る。

本発明によれば、流量制御装置内で圧力振動を発生させる制御弁の下流側に拡張室を配置することにより、流量制御装置の上流側および前記制御弁で発生した圧力振動をまとめて低減させることができる。

また、前記第１流路を通じて前記拡張室に流入した流体は前記構成の第２流路を通じて前記拡張室から流出することにより、前記拡張室に流入した流体は、流入方向と同方向に流出することがないので、大流量であっても拡張室で拡散した後に拡張室から流出することとなり、拡張室による圧力変動抑制効果を確保できる。

また、前記拡張室の容積を増加するための蓋体凹部を蓋体に形成することにより、蓋体の剛性を高めて前記本体凹部を閉鎖する際のシール性能を確保しつつ、拡張室の容積を増加させることができる。

さらに、前記本体凹部の周囲に形成した座繰り部に、前記蓋体凹部を形成した前記蓋体を収容することにより、蓋体の剛性を高めてシール性能を確保しつつ拡張室の容積を増加させるとともに、本体ブロックから蓋体がはみ出す寸法を抑え、流量制御装置の寸法増加を抑えることができる。

さらに、拡張室に整流板を配置することにより、整流板の面積を広げて圧力損失の増加を防ぎつつ、圧力振動を低減させることができる。

また、拡張室を本体ブロックに形成された本体凹部と該本体凹部を閉鎖する蓋体とによって形成するとともに、拡張室内に収容した整流板保持体により整流板を所定位置に保持する構成により、本体ブロックから蓋体を取り外すことで、整流板を本体ブロックから取り外すことができる。そのため、ガス出口に接続された配管パーツや絞り部等を取り外さなくても、整流板の交換、目詰まりの除去等のメンテナンスが容易にできる。また、薄い整流板を組み込む際にも、整流板保持体上に載せた状態で本体凹部に挿入することができ、組み立てやすい。

図１は、本発明に係る流量制御装置の第１実施形態を示す要部縦断正面図である。図２は、本発明に係る流量制御装置の第２実施形態を示す要部縦断正面図である。図３は、本発明に係る流量制御装置の第３実施形態を示す要部縦断正面図である。図４は、図３の流量制御装置の内部構成要素の一部を分解して示す斜視図である。図５は、本発明に係る流量制御装置の第４実施形態を示す要部縦断正面図である。図６は、図５の流量制御装置の内部構成要素の一部を示す斜視図である。本発明に係る流量制御装置の構成要素である整流板の一実施形態を示す平面図である。図８は、比較例の流量出力をモニターしたグラフである。図９は、本発明に係る流量制御装置の実施例１の流量出力をモニターしたグラフである。図１０は、本発明に係る流量制御装置の実施例２の流量出力をモニターしたグラフである。図１１は、従来の流量制御装置を示す部分縦断正面図である。

本発明の実施形態について、以下に図１〜図１０を参照して説明する。なお、従来技術を含め、全図及び全実施形態を通じ、同一又は類似の構成部分には同符号を付した。

先ず、本発明に係る流量制御装置の第１実施形態について、図１を参照して説明する。

第１実施形態の流量制御装置１は、ガス入口２ａ、ガス出口２ｂ、ガス入口２ａに連通する入口側流路２ｃ、入口側流路２ｃに接続された第１流路２ｄ、及びガス出口２ｂに連通する第２流路２ｅを有する本体ブロック３と、本体ブロック３に固定されるとともに入口側流路２ｃと第１流路２ｄとの間に介在され入口側流路２ｃ及び第１流路２ｄに接続された制御弁４と、制御弁４の下流で第２流路２ｅに介在された絞り部ＯＲと、制御弁４と絞り部ＯＲとの間の圧力を検出する第１圧力検出器５ａと、第１圧力検出器５ａの検出値に基づいて所定流量となるように制御弁４を制御するコントローラ６と、第１流路２ｄと第２流路２ｅとの間で本体ブロック３の内部に形成され、制御弁４と第１圧力検出器５ａとの間の流路断面積を拡張する拡張室７と、を備えている。

拡張室７は、制御弁４から延びる第１流路２ｄが開口する上流側開口７ａと、第２流路２ｅが開口する下流側開口７ｂとを有する。第２流路２ｅは、第１流路２ｄの延長上とは異なる位置に設けられている。「第１流路２ｄの延長上」の理解容易のため、第１流路２ｄを仮想的に延長した場合の仮想線ＶＬを一点鎖線で示している。そのため、第２流路２ｅと第１流路２ｄとは、拡張室７を挟んで、同一軸線上にない。従って、下流側開口７ｂは、拡張室７を挟んで上流側開口７ａと対向しない位置に形成されている。

上記のように流量制御装置内で圧力振動を発生させる制御弁４より下流に拡張室７を配置することにより、圧力式流体制御装置１よりも上流側および制御弁４で発生した圧力振動をまとめて低減させることができる。

また、上流側開口７ａを通じて拡張室７に流入した流体が、第１流路２ｄの延長上とは異なる位置に設けられた下流側開口７ｂから流出する構成としたことにより、拡張室７に流入した流体は、拡張室７からストレートに抜け出ることができないので、大流量であっても拡張室７内で拡散した後に拡張室７から流出することとなり、拡張室７による圧力変動抑制効果を確保し得る。

本体ブロック３はステンレス鋼等で形成されている。図示例の制御弁４は、第１流路２ｄに形成された弁座９に当離座する金属ダイヤフラム弁体１０と、金属ダイヤフラム弁体１０を押圧する弁棒１１と、弁棒１１を駆動させる駆動部１２とを有している。駆動部１２は、ソレノイド、圧電素子、油圧、或いは空気圧等を駆動源とすることができる。図１は、駆動部１２が駆動状態にあって弁棒１１によって金属ダイヤフラム弁体１０が押され、金属ダイヤフラム弁体１０が弁座９に当座し、第１流路２ｄを閉じている状態を示している。駆動部１２が非駆動状態になると、内蔵されたバネ等（図示せず。）により弁棒１１が図の上方へ持ち上げられ、金属ダイヤフラム弁体１０が自己弾性力により原形復帰して弁座９から離座し、第１流路２ｄが開通する。

蓋体１３の内側に蓋体凹部１３ａが形成されている。蓋体凹部１３ａにより拡張室７の容積が更に拡大される。蓋体１３は、本体ブロック３の本体凹部３ｂ周囲に形成された座繰り部３ｂ１に収容されている。

蓋体１３には、座繰り穴１３ｂが形成されている。この座繰り穴１３ｂにボルト１４を通し、ボルト１４を本体ブロック３に形成された雌螺子孔に螺締することにより、蓋体１３が本体ブロック３に固定されている。ボルト１４は、六角穴付きボルトとすることができる。蓋体１３と本体ブロック３との間には、メタルシーリングガスケット１５が介在されている。

この種の流量制御装置は小型化が求められており、上記のように蓋体１３に蓋体凹部１３ａを形成して拡張室７の一部とすることにより、より広い拡張室７を確保しつつも、本体ブロック３の寸法増加を抑えることができる。また、蓋体１３は、メタルシーリングガスケット１５による高いシール性能を確保するため、一定の厚みを確保して剛性を高める必要があるが、蓋体凹部１３ａを形成していない部分で所望の厚みを確保することができる。また、蓋体１３に座繰り穴１３ｂを形成してボルト１４のヘッドを埋没させることで、寸法拡大を抑えることができる。

図２は、本発明に係る流量制御装置の第２実施形態を示している。第２実施形態の流量制御装置１は、絞り部ＯＲの下流側で第２流路２ｅ内の圧力を検出するための第２圧力検出器５ｂを備える点が上記第１実施形態と主として異なる。第２圧力検出器５ｂを設けることにより、非臨界膨張条件下においても流量を制御することが可能となる。なお、図２に示された本体ブロック３は、３つのブロック要素を連結して構成されており、ケーシング２０が本体ブロック３に固定されている。

次に、本発明に係る流量制御装置の第３実施形態について、図３及び図４を参照して説明する。

第３実施形態の流量制御装置は、拡張室７内に、整流板８、整流板８を保持する整流板保持体１８、スペーサリング１６、及びガスケットリング１７が配設されている点が上記第１実施形態と異なる。

整流板８は、細孔による流動抵抗を利用してガス流速分布（偏流）の均一化及び乱れの減衰を図ることができる板状部材であり、金属メッシュ、多孔板、ハニカム構造体等により形成することができる。

整流板８は、ステンレス製のスペーサリング１６と、樹脂製のガスケットリング１７とにより挟まれている。スペーサリング１６とガスケットリング１７とに挟まれた整流板８は、整流板保持体１８によって、下流側開口７ｂより上方位置であって上流側開口７ａの下方に所定間隙Ｘを介して保持されている。ガスケットリング１７は、ＰＣＴＦＥ（ポリクロロトリフルオロエチレン）で形成されているが、他のガスケット材料でもよい。図示例ではスペーサリング１６を設けているが、本体凹部３ｂの底面に段差を形成することによりスペーサリング１６に代えることもできる。

整流板保持体１８は、管状体の周壁に開口部１８ａ（図４）が形成されている。拡張室７と拡張室７の下流の第２流路２ｅとが連通するように、開口部１８ａが拡張室７の下流側開口７ｂに臨むように配設されている。開口部１８ａは、拡張室７下流側の第２流路２ｅの流路断面積と同じかそれより広い開口面積を有することができる。

整流板保持体１８と蓋板１３との間に、環状のガスケット１９が介在されている。ガスケット１９に形成された環状凹部１９ａに、整流板保持体１８の下端部が嵌入されている。

また、整流板８は、厚みを０．１〜０．５ｍｍとすることが好ましい。整流板８の厚みが０．５ｍｍを越えると、圧力損失が大きくなり、圧力振動が所要範囲を超えるからである。

上記第３実施形態の流量制御装置によれば、拡張室７に整流板８を配置したことにより、圧力損失の増加を防ぎつつ、圧力振動を低減させることができる。また、蓋体１３に立設した整流板保持体１８により整流板８を所定位置に保持する構成により、整流板８を本体ブロック３の底から取り外すことができる。そのため、ガス出口２ｂに接続された配管パーツや絞り部ＯＲ等を取り外さなくても、整流板８の交換、目詰まりの除去等のメンテナンスが容易にできる。また、薄い整流板８を組み込む際にも、整流板保持体１８上に載せて本体凹部３ｂに下方から挿入することもでき、組み立てやすい。

次に本発明に係る流量制御装置の第４実施形態について、図５及び図６を参照して説明する。第４実施形態では、整流板保持体１８が、蓋体１３に、溶接、一体成形、又は他の手段により固定されている。整流板保持体１８は、円筒の周面に開口部１８ａを切り欠き形成した形状を有している。

また、整流板８は、整流板保持体１８の上面に、溶接によって固定されている。図示例の整流板８は、線経０．０４ｍｍのステンレスワイヤを平織りにして２３０メッシュにした金属メッシュであり、空隙率は約４０％である。第４実施形態のその他の構成は、上記第３実施形態と同様である。

第４実施形態の流量制御装置は、整流板８を交換する場合は蓋体１３及び整流板保持体１８も同時に交換することになるが、交換時の作業性が向上し、組立時の作業性も向上する。また、全てを金属製パーツとすることができ、プロセスガスへのコンタミネーションが混入しにくい。

上記第１〜第４実施形態においては蓋体１３を本体ブロック３の底面に設ける例を示したが、蓋体１３は本体ブロック３の側面に設けるように構成することも可能である。

以下、実施例及び比較例を挙げて、本発明を更に具体的に説明する。但し、本発明は、各例によって、限定されるものではない。

実施例１は、図１に示す構成の流量制御装置を用いた。実施例２は、図３に示す流量制御装置を用いた。実施例２の整流板として、図７に示す形状の、孔径１ｍｍ、孔数３７個、ピッチ２ｍｍ、厚さ０．５ｍｍ、開口率２２．７％のステンレス製の整流板を使用した。実施例１、２において、制御弁４の弁座９から絞り部ＯＲ迄の流路の内容積は約５ｃｃであった。

比較例は、図１１に示す圧力式流量製制御装置を用いた。比較例において、制御弁４の弁座９から絞り部ＯＲ迄の流路の内容積は０．６ｃｃであった。

実施例、比較例ともに、絞り部ＯＲは、オリフィス径１．５２ｍｍ、厚さ１．０ｍｍのオリフィスプレートを使用した。

実施例１、実施例２、及び比較例について、下流側を真空引きし、制御弁４を開いた状態で、供給圧をゲージ圧力５００ｋＰａで、設定流量をフルスケール（１００％）流量レンジの５０リットル／分で窒素ガスを流し、第１圧力検出器５ａの検出圧力をモニターし、圧力振動を５秒間計測した。

図８は、比較例の、設定入力（FCS-IN）に対する流量出力（FCS-OUT）をモニターしたグラフである。図９は、実施例１の、設定流量の設定入力（FCS-IN）に対する流量出力（FCS-OUT）をモニターしたグラフである。図１０は、実施例２の、設定流量の設定入力（FCS-IN）に対する流量出力（FCS-OUT）をモニターしたグラフである。

流量制御装置は、第１圧力検出器５ａの検出圧力に基づいて流量を演算しており、演算した流量を出力することができる。また、検出圧力の圧力振動は、検出圧力に基づいて演算された流量にハンチングとして現れる。図８〜図１０のグラフから、其々の流量において、圧力振動に起因する流量出力ハンチングに対する、拡張室及び整流板による減衰効果が認められる。

１流量制御装置
２ａガス入口
２ｂガス出口
２ｃ入口側流路
２ｄ第１流路
２ｅ第２流路
３本体ブロック
３ｂ本体凹部
３ｂ１座繰り部
４制御弁
５ａ第１圧力検出器
５ｂ第２圧力検出器
６コントローラ
７拡張室
７ａ上流側開口
７ｂ下流側開口
８整流板
１３蓋体
１３ａ蓋体凹部
１３ｂ座繰り穴
ＯＲ絞り部

Claims

制御弁と、
前記制御弁の下流側に設けられた第１流路と、
第２流路と、
前記第１流路と前記第２流路との間に設けられた拡張室と、
前記第１流路及び前記第２流路が形成された本体ブロックと、を有し、
前記第２流路は、前記第１流路の延長上と異なる位置に設けられており、
前記拡張室は、前記本体ブロックに形成された本体凹部と、前記本体凹部を閉鎖するよう前記本体ブロックに取り付けられた蓋体によって形成されている、流量制御装置。
制御弁と、
前記制御弁の下流側に設けられた第１流路と、
第２流路と、
前記第１流路と前記第２流路との間に設けられた拡張室と、
前記拡張室内に配設された整流板と、
前記第１流路及び前記第２流路が形成された本体ブロックと、を有し、
前記拡張室は、前記本体ブロックに形成された本体凹部と、前記本体凹部を閉鎖するよう前記本体ブロックに取り付けられた蓋体によって形成されている、流量制御装置。
前記第２流路に絞り部が設けられている、請求項１又は２に記載の流量制御装置。
前記制御弁と前記絞り部との間に第１圧力検出器が設けられている、請求項３に記載の流量制御装置。
前記第１圧力検出器が、前記第２流路上で絞り部より上流に設けられている、請求項４に記載の流量制御装置。
前記絞り部下流側で前記第２流路内の圧力を検出するための第２圧力検出器を更に有する、請求項５に記載の流量制御装置。
前記蓋体は、前記拡張室の容積を増加するための蓋体凹部が形成されている、請求項１又は２に記載の流量制御装置。
前記本体ブロックと前記蓋体とがメタルシーリングガスケットを介して接合されている、請求項７に記載の流量制御装置。
前記本体凹部の周囲に前記蓋体を収容するための座繰り部が形成されている、請求項８に記載の流量制御装置。
前記蓋体は、前記蓋体を前記本体ブロックに固定するボルトのための座繰り穴が前記蓋体凹部の周囲に形成されている、請求項９に記載の流量制御装置。
前記拡張室内に整流板が配設されている、請求項1に記載の流量制御装置。
前記拡張室に前記第１流路が開口する上流側開口と前記拡張室に前記第２流路が開口する下流側開口との間であって前記上流側開口から所定間隙を介して前記整流板を保持する整流板保持体が、前記拡張室内に設けられる、請求項２又は１１に記載の流量制御装置。
前記整流板保持体は管状体の周壁に開口部を有し、前記開口部が前記拡張室の前記下流側開口に臨むように配設されている、請求項１２に記載の流量制御装置。
前記整流板保持体は前記蓋体に固定されている、請求項１２に記載の流量制御装置。
前記整流板が前記整流板保持体に溶接されて固定されていることを特徴とする請求項１２に記載の流量制御装置。
前記整流板が金属メッシュで形成されている、請求項２又は１１に記載の流量制御装置。