JP6413356B2 - 流量制御機構およびこれを備えた流体軸受装置 - Google Patents
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Description
10 流量制御機構
20 弁筺
21 第1の弁筺体
22 嵌合凹部
41 第2の弁筺体
42 嵌合凸部
60 ダイアフラム
70 吐出室
71 背圧室
Claims (7)
- ポンプから圧送される流体の流量を制御する流量制御機構であって、
前記流量制御機構は、
弁筺と、
前記弁筺の内部室を吐出室と背圧室とに区画するダイアフラムと、を備え、
前記弁筺は、
前記内部室の容積を変化するように相対移動可能な第1の弁筺体と第2の弁筺体とからなり、
前記第1の弁筐体は、
前記吐出室の底面から前記ダイアフラムに向かって突出して、突出端面に前記ダイアフラムとの間に設定された隙間を隔てる弁座面が形成された突出部と、
前記突出部の中心部に貫通状に形成されて前記弁座面に開口する前記流体の流出口と、
を有し、
前記ポンプから前記吐出室に流入した前記流体は、前記ダイアフラムと前記弁座面とによって形成される可変絞り流路を通過して前記流出口に流れ、
前記可変絞り流路前の前記吐出室の圧力を流入孔を介して前記背圧室に導き、
前記ダイアフラムの変形に対応して前記第1の弁筺体と前記第2の弁筺体が相対移動することにより前記背圧室の容積変動を抑制する
ことを特徴とする流量制御機構。 - 請求項1に記載の流量制御機構であって、
前記第1の弁筺体は嵌合凹部を有し、
前記第2の弁筺体は、前記嵌合凹部に相対的に移動可能に嵌合される嵌合凸部を有し、
前記嵌合凹部の底面と前記嵌合凸部の端面との間に前記ダイアフラムが配設され、前記ダイアフラムの変形に対応して前記第1の弁筺体と前記第2の弁筺体とが相対移動する
ことを特徴とする流量制御機構。 - 請求項2に記載の流量制御機構であって、
前記嵌合凹部と前記嵌合凸部とは、横断面円形で嵌合している
ことを特徴とする流量制御機構。 - 請求項2又は3に記載の流量制御機構であって、
前記第1の弁筺体と前記第2の弁筺体とは、設定された隙間をもって締結され、
前記隙間に相当する分だけ前記第1の弁筺体と前記第2の弁筺体とが相対移動可能であることを特徴とする流量制御機構。 - 請求項4に記載の流量制御機構であって、
前記第1の弁筺体と前記第2の弁筺体との間の隙間には、粘弾性を有する弾性体が配設されている
ことを特徴とする流量制御機構。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の流量制御機構であって、
前記第1の弁筺体と前記第2の弁筺体との許容される相対的な移動による前記背圧室の容積の最大変化量は、前記ダイアフラムの変形により生じる容積変化量よりも大きく設定されている
ことを特徴とする流量制御機構。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の流量制御機構によって流量が制御された流体を流体軸受のポケットに供給することを特徴とする流体軸受装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014115541A JP6413356B2 (ja) | 2014-06-04 | 2014-06-04 | 流量制御機構およびこれを備えた流体軸受装置 |
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JP2014115541A JP6413356B2 (ja) | 2014-06-04 | 2014-06-04 | 流量制御機構およびこれを備えた流体軸受装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2015230021A JP2015230021A (ja) | 2015-12-21 |
JP6413356B2 true JP6413356B2 (ja) | 2018-10-31 |
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ID=54886915
Family Applications (1)
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JP2014115541A Active JP6413356B2 (ja) | 2014-06-04 | 2014-06-04 | 流量制御機構およびこれを備えた流体軸受装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6413356B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116044903B (zh) * | 2023-01-16 | 2023-08-25 | 山东大学 | 一种集成压电节流器的高频响可控静压轴承 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5522523U (ja) * | 1978-07-29 | 1980-02-13 | ||
JPS62117301U (ja) * | 1985-07-31 | 1987-07-25 | ||
JPS62133001U (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-21 | ||
ATE171535T1 (de) * | 1994-04-26 | 1998-10-15 | Luethin Heinz | Vorrichtung zum reduzieren von druckpulsationen in hydraulikleitungen |
JP2000352468A (ja) * | 1999-06-14 | 2000-12-19 | Asahi Organic Chem Ind Co Ltd | 自動弁 |
JP5870500B2 (ja) * | 2010-10-28 | 2016-03-01 | 株式会社ジェイテクト | 静圧流体軸受装置 |
WO2012178132A1 (en) * | 2011-06-24 | 2012-12-27 | Equilibar, Llc | Back pressure regulator with floating seal support |
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JP2015230021A (ja) | 2015-12-21 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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