CN105659177B - 压力式流量控制装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种压力式流量控制装置，在使用压力式流量控制装置的流体流量控制中，能够实现大幅度缩短流量切换时的下降响应时间，提高下降响应特性。本发明构成包括以下部件的压力式流量控制装置：设置有将流体入口和流体出口之间连通的流体通路和将流体通路和排气出口之间连通的排气通路的主体；固定于主体的流体入口侧并对流体通路的上游侧进行开闭的压力控制用控制阀；检测其下游侧的流体通路内压的压力传感器；设置在比所述排气通路的分支部位靠下游的流体通路内的流孔；和对所述排气通路进行开闭的排气控制用控制阀，并且在利用该压力式流量控制装置进行流体流量的变更时，通过使压力控制用控制阀和排气控制用控制阀动作，对压力控制用控制阀和流孔之间的流体通路空间内进行强制排气，从而提高流量变更时的下降响应速度。
Description
技术领域
本发明涉及压力式流量控制装置的改良，具体涉及一种通过提高响应性，来实现大幅度提高半导体制造装置用等的原料气体供应装置的运行性能的压力式流量控制装置。
背景技术
以往以来，在半导体制造装置用等的原料气体供给装置中，对供应气体的流量控制广泛利用热式流量控制装置或压力式流量控制装置。特别是，后者的压力式流量控制装置FCS，如图6所示，包括以下部件等：控制阀CV和温度检测器T、压力检测器P、流孔(节流孔)OL、由温度校正·流量运算电路CDa、比较电路CDb、输入输出电路CDc和输出电路CDd等构成的运算控制部CD，且具备即使一次侧供给压力变动很大时也可以进行稳定的流量控制的优异流量特性。
即，在图6的压力式流量控制装置FCS中，将来自压力检测器P和温度检测器T的检测值输入至温度校正·流量运算电路CDa，在此进行检测压力的温度校正和流量运算，流量运算值Qt输入至比较电路CDb。此外，与设定流量对应的输入信号Qs从端子In输入，经由输入输出电路CDc，输入至比较电路CDb，在此与来自上述温度校正·流量运算电路CDa的流量运算值Qt进行比较。当比较的结果为设定流量输入信号Qs比流量运算值Qt小时，控制信号Pd被输出至控制阀CV的驱动部。由此，控制阀CV以被向关闭方向驱动，直至设定流量输入信号Qs和运算流量值Qt之差(Qs-Qt)变为零的方式被向闭阀方向驱动。
在该压力式流量控制装置FCS中，当流孔OL的下游侧压力P2和上游侧压力P1之间保持P1/P2≥约2的所谓临界膨胀条件时，流通于流孔OL的气体流量Q为Q＝KP1(其中K为常数)，再者，当不满足临界膨胀条件时，流通于流孔OL的气体流量Q为Q＝KP2 m(P1-P2)n(其中K、m、n为常数)。
因此，通过控制压力P1能够高精度地控制流量Q，而且，即使控制阀CV的上游侧气体Go的压力变化很大时，也能够发挥出控制流量值几乎不变的优异特性。
以Q＝KP1(其中K为常数)作为计算上述气体流量Q的方式的压力式流量控制装置，一般被称之为FCS-N型，再者，以Q＝KP2 m(P1-P2)n(其中K、m、n为常数)作为计算气体流量Q的方式的压力式流量控制装置，一般被称之为FCS-WR型。
进一步地，在这种压力式流量控制装置中，除此之外，还存在有将以下流孔机构作为上述FCS-N型的流孔使用的被称为FCS-SN型的压力式流量控制装置和以相同流孔机构作为上述FCS-WR型的流孔使用的被称为FCS-SWR型的压力式流量控制装置，其中，上述流孔机构形成为：将多个流孔OL并列状连接，利用切换阀使气体在至少一个流孔中流通，例如，将两个流孔并列状连接，在一个流孔的入口侧设置切换阀，通过对该切换阀进行开或者闭，能够变更流量控制范围。
此外，由于上述FCS-N型、FCS-SN型、FCS-WR型和FCS-SWR型的各压力式流量控制装置本身的结构和工作原理已为公知的技术，故在这里省略对其的详细说明(日本国专利特开平8-338546号、日本国专利特开2003-195948号等)。
再者，如图7所示，在上述压力式流量控制装置FCS中，存在：如(a)的结构的以临界条件下的气体流体作为对象的压力式流量控制装置FCS(以下，称为FCS-N型，日本国专利特开平8-338546号等)，(b)的以临界条件下和非临界条件下的两种气体流体作为对象的FCS-WR型(日本国专利特开2003-195948号等)，(c)的以临界条件下的气体流体作为对象的流量切换型的FCS-S型(日本国专利特开2006-330851号等)，和(d)的以临界条件下和非临界条件下的两种气体流体作为对象的流量切换型的FCS-SWR型(日本国专利申请2010-512916号等)。
此外，在图7中，P1、P2为压力传感器，CV为控制阀，OL为流孔，OL1为小口径流孔，OL2为大口径流孔，ORV为流孔切换阀。
然而，在这种压力式流量控制装置FCS中，因使用微小孔径的流孔OL而导致气体的置换性变差，在关闭压力式流量控制装置FCS的控制阀CV并打开输出侧的情况下，排出控制阀CV和流孔OL之间的空间部的气体需要花费很多的时间，存在所谓气体的下降响应性极差的问题。
图8为表示以往的压力式流量控制装置FCS-N型的连续阶段时的下降响应特性的一个示例的图，存在如下的现状：在打开流孔OL的下游侧的气动阀(图示省略)经由压力式流量控制装置供给规定流量的气体中，气体供给呈阶梯状下降的情况下，与大流量用的压力式流量控制装置的情况(折线A)比较，在小流量用的压力式流量控制装置的情况下(折线B)，下降至规定的流量需要1.5秒以上的时间。
更具体地，FCS-N型和FCS-WR型的情况，在流孔OL1的下游侧压力为100Torr时，流量从100％下降到1％和从100％下降到4％分别需要约1秒以上，但从半导体制造装置(例如，蚀刻机)的方面考虑，要求在1秒以下的时间内实现流量从100％下降到1％。
再者，FCS-S型和FCS-SWR型的情况，在流孔OL的下游侧压力为100Torr时，流量从100％下降到10％和从100％下降到0.16％分别需要约1.2秒以上，但从半导体制造装置(例如，蚀刻机)的方面考虑，要求在1.2秒以下的时间内实现流量从100％下降到10％。
一方面，为了提高上述压力式流量控制装置的下降响应特性，正尽可能地减小控制阀CV和流孔OL之间的气体通路的内部容积。
图9表示其一个示例，为使用内部容积极小型的主体2的压力式流量控制装置，该压力式流量控制装置使控制阀CV的流体的流向与通常的控制阀CV逆向，通过构成为使气体通过隔膜阀体20的外周缘部和阀座2a的间隙流入，并且使气体从阀座2a的中央流出的构造而减少气体流路的内部容积。
然而，即使图9的使用内部容积极小型的主体2的压力式流量控制装置，也很难实现通过减少气体流路的内部容积来大幅度提高下降响应特性，如图10所示，存在现状：在额定流量少至10SCCM的情况下，在N2气体的情况下从100％下降到0％需要约1秒以上的时间，在气体种类为C4F8(流量系数＝0.352260)的情况下，需要3秒程度的时间。
再者，在图10中，C表示流量10SCCM的情况的下降特性，D表示流量20SCCM的下降特性，E表示流量160SCCM的情况的下降特性。
此外，在以往的压力式流量控制装置中，例如，在通过切换阀等将与流孔下游侧连接的气体供给管路临时关闭的期间，在关闭控制阀CV并中断流量控制的情况下，存在因来自控制阀CV的原料气体的微小泄露而造成流体通路内压变高，其结果，存在担忧：在开始再度流量控制时，由于流体通路内压变高，在上升时的流量控制中由于所谓过冲使得响应性降低。
如上所述，即使在使用内部容积极小型的主体的压力式流量控制装置中，也很难充分提高压力式流量控制装置的下降响应性特性，在以往的压力式流量控制装置中，依然存在额定流量小的情况的下降响应特性差的问题。
在先专利文献
专利文献
专利文献1：日本国专利特开平8-338546号
专利文献2：日本国专利特开平10-55218号
专利文献3：日本国专利特开2003-195948号
专利文献4：日本国专利特开2006-330851号
专利文献5：日本国专利申请2010-512916号
发明内容
本发明是要解决以往的压力式流量控制装置中的如上所述的问题，即解决以下等问题：(I)流量控制的下降响应性低；(II)通过主体的容积极小化来提高响应性存在极限，不能充分实现响应性的提高；(III)根据C4F8等的气体种类，仅通过主体的内部容积极小化很难提高响应性，发明的主要目的在于提供一种压力式流量控制装置，当控制流量下降时，通过对在控制阀CV和流孔OL之间的流体通路空间内的残留气体进行强制排气，从而能够在不引起流量控制精度和流量控制范围的变化的情况下飞跃性地提高压力式流量控制装置的响应性。
首先，本发明的发明人等为了研讨通过对在控制阀CV和流孔OL之间的流体通路的残留气体进行强制排气所获得的下降特性的改善，使用如图11所示的利用真空排气的压力式流量控制装置的响应特性测定装置，进行了各种下降特性的测定。
再者，在图11中，RG为压力调整器，P0为供给压力传感器，Cva、CVb为控制阀，P1a、P1b为压力传感器，UPC1、UPC2为压力控制器，VL2、VL3为抽真空管路，由上述UPC1和流孔OL构成压力式流量控制装置(FCS-N型)。此外，设定压力调节控制器UPC1和流孔OL之间的空间部VL1的容积为6.0CC。
即，在采用由压力控制器UPC1和流孔OL构成的压力式流量控制装置(FCS-N型)进行供给气体的流量控制的同时，利用压力调整器UPC2调整排气功能(控制压力的下降时间)。然后，向两压力调整器UPC1、UPC2同时输入规定的设定压力，利用压力传感器P1a、P1b测定两压力控制器UPC1、UPC2的控制压力的阶段响应特性。
图12为表示利用上述图11的响应特性试验装置得到的下降特性的测定结果的图，(a)表示进行仅通过压力调整器UPC1的控制阀CVa使流量从100％流量依次减少至80％流量、60％流量、40％流量、20％流量的压力控制(流量控制)的情况。线F1为对压力调整器UPC1的控制压力输入信号的电压波形，线F2为压力调整器UPC1的控制压力输出信号的电压波形。
从图12的(a)也可明确得知到，实现对控制压力输出信号的电压波形的下降需要1秒以上的时间。
与此相对，图12(b)为表示通过使压力调整器UPC2同时动作来对内部空间VL1内进行真空排气的情况的图，判明下降响应时间能够缩短至0.5秒以下。其中，对压力调整器UPC1的气体(N2)供给压力为300kPa abs，流孔OL为额定流量260SCCM。此外，真空排气压为10-5Torr。
图13为表示利用上述图12的响应特性测定装置得到的上升特性的测定结果的图，(a)为表示仅通过压力调整器UPC1的控制阀CVa使流量从0％流量依次增加至20％流量、40％流量、60％流量、80％流量、100％流量的压力控制(流量控制)的情况的图，线F1为对压力调整器UPC1的控制压力输入信号的电压波形，线F2为压力调整器UPC1的控制压力输出信号的电压波形。
与此相对，图13(b)为表示使压力调整器UPC2同时动作的情况的上升响应特性的图。从与图13(a)的对比可明确得知，由于上升响应时不需要从压力调整器UPC2进行真空排气而不进行动作，所以图13(b)的上升时的响应时间与图13(a)的情况大致相同，能够确认上升响应时间为0.5秒以下。其中，对压力调整器UPC1的气体(N2)供给压力为300kPa abs，流孔OL为额定流量260SCCM用的流孔。此外，真空排气压为10-5Torr。
图14为表示利用上述图11的响应特性测定装置进行下降特性测定时的各控制阀CVa、CVb的驱动用压电元件(图示省略)的输入电压的变动状态的图。(a)为表示仅通过压力调整器UPC1的控制阀CVa使流量从100％流量依次减少至80％流量、60％流量的压力控制(流量控制)的情况的压电元件驱动电压的图。其中，线F1为对压力调整器UPC1的控制压力输入信号的电压波形，线F2为压力调整器UPC1的控制压力输出信号的电压波形。
再者，(b)为表示对气体供给用的控制阀CVa的压电驱动元件的输入电压波形F10的图，(c)为表示排气用的控制阀CVb的压电驱动元件的输入电压波形F20的图。
其中，输入至各压电驱动元件的输入电压波形F10、F20以实际的1/30倍表示。
本发明涉及的压力式流量控制装置，是根据使用上述响应特性试验装置得到的各试验结果而创作出来的，其特征在于，具备：主体，上述主体设置有将流体入口和流体出口之间连通的流体通路和从该流体通路分支并将该流体流路和排气出口之间连通的排气通路；压力控制用控制阀，上述压力控制用控制阀固定于该主体的流体入口侧，对上述流体通路的上游侧进行开闭；压力传感器，上述压力传感器检测该压力控制用控制阀的下游侧的流体通路内压；流孔，上述流孔设置在比上述排气通路的分支部位靠下游的流体通路内；和排气控制用控制阀，上述排气控制用控制阀对上述排气通路进行开闭。
上述压力式流量控制装置也可以为：具备检测流孔下游侧的流体通路内压的压力传感器的结构的FCS-WR型压力式流量控制装置。
上述压力式流量控制装置也可以为：将多个流孔并列状连接，利用切换阀使流体在至少一个流孔中流通的结构的FCS-SN型压力式流量控制装置。
上述压力式流量控制装置也可以为：将多个流孔并列状连接，利用切换阀使流体在至少一个流孔中流通的同时，具备检测流孔下游侧的流体通路内压的压力传感器的结构的FCS-SWS型压力式流量控制装置。
上述压力控制用控制阀和排气控制用控制阀也可以为压电元件驱动型的金属隔膜式控制阀。
也可以为通过对上述排气控制用控制阀的压电驱动元件的输入电压的调整而控制下降响应时间的结构。
上述排气控制用控制阀，也可以为空气压驱动阀或电磁驱动阀，另外，也可以为利用连接于排气出口的真空泵对排气通路内进行强制排气的结构。
在本发明涉及的压力式流量控制装置中，由于具备：设置有流体通路和排气通路的主体；固定于主体的对流体通路的上游侧进行开闭的压力控制用控制阀；检测其下游侧的流体通路内压的压力传感器；设置在比排气通路的分支部位靠下游的流体通路内的流孔；和对排气通路进行开闭的排气控制用控制阀，在利用该压力式流量控制装置进行流体流量的变更时，通过使压力控制用控制阀和排气控制用控制阀动作，对压力控制用控制阀和流孔之间的流体通路空间内进行强制排气，控制流量的变动时的控制响应性变高，不仅能够大幅缩短流量控制的下降时间，而且能够容易地调整其下降时间，再者，还能够实现压力式流量控制装置的所谓气体置换性的提高和由此得到的设备的产能利用率的提高及半导体制品的品质提高等。
此外，能够任意选定压力式流量控制装置的主体的宽度尺寸，例如，可以配合以往的压力式流量控制装置的宽度尺寸92mm，其结果，对以往设备的改修也能够容易地适用该压力式流量控制装置。
进一步地，通过封闭(移除并堵塞)真空排气管，也可以作为通常的压力式流量控制装置适用。
附图说明
图1为表示本发明涉及的压力式流量控制装置的基本结构的纵截面图。
图2为表示适用本发明涉及的压力式流量控制装置的气体供给箱的结构的系统图。
图3为表示本实施方式涉及的压力式流量控制装置的连续阶段时的下降响应特性的曲线图。
图4为表示增加设定流量时，输入至压力控制用控制阀6和排气控制用控制阀7的压电驱动元件的输入电压的变动状态，及压力传感器P1的输出(压力)的曲线图。
图5为表示减少设定流量时，输入至压力控制用控制阀6和排气控制用控制阀7的压电驱动元件的输入电压的变动状态，及压力传感器P1的输出(压力)的曲线图。
图6为以往的压力式流量控制装置(FCS-N型)的基本结构图。
图7为表示以往的各种形式的压力式流量控制装置的概略结构图，(a)为FCS-N型，b)为压力式流量控制装置(FCS-WR型)，(c)为FCS-SN型，(d)为FCS-SWR型。
图8为表示以往的压力式流量控制装置(FCS-N型)的连续阶段时的下降响应特性的一个示例的曲线图。
图9为使用内部容积极小型的主体的压力式流量控制装置(FCS-N型、FCS-WR型)的阀机构部的概要图。
图10为表示图9的压力式流量控制装置(FCS-N型)的从100％至0％之间的流量的下降特性曲线的曲线图。
图11为设置有真空排气管的压力式流量控制装置的响应特性测定装置的系统结构图。
图12为利用图11的响应特性测定装置得到的下降响应特性的测定结果的曲线图，(a)为表示仅通过供给侧的控制阀下降的情况的曲线图，(b)为表示利用供给侧和真空排气侧的两控制阀而下降的情况的曲线图。
图13为利用图11的响应特性测定装置测定的上升响应特性的测定结果的曲线图，(a)为表示仅通过供给侧的控制阀上升的情况的曲线图，(b)为表示利用供给侧和真空排气侧的两控制阀而上升的情况的曲线图。
图14为表示利用图11的响应特性测定装置进行的下降特性测定时的各控制阀CVa、CVb的驱动用压电元件(图示省略)的输入电压的变动状态的曲线图，(a)为表示真空排气管不工作时的压力控制器UPC1的控制压力输入和输出信号的电压的曲线图，(b)为表示真空排气管工作时的压力调整器UPC1的控制阀CVa的压电元件驱动电压的曲线图，(c)为表示真空排气管工作时的压力调整器UPC2的控制阀CVb的压电元件驱动电压的曲线图。
符号说明
1 压力式流量控制装置
2 主体
2a 阀座
3 入口侧块体
4 主体块体
5 出口侧块体
6 压力控制用控制阀
6a 压电驱动元件
7 排气控制用控制阀
7a 压电驱动元件
9 流体入口
10a 流体通路
10b 排气通路
10c 泄漏检查用通路
11 流体出口
12 排气出口
13 垫片
14 面板控制板
15 壳体
16 连接用连接器
17 圆筒体
18 弹性体
19 阀体压件
20 阀体
21 气体供给口
22 供给侧切换阀
23 出口侧开闭阀
24 出口侧开闭阀
26 混合气体供给管路
27 真空排气管
28 真空泵
29 工艺室
P1 压力传感器
P2 压力传感器
OL 流孔
G1～G3 实际气体
具体实施方式
以下，基于附图说明本发明的实施方式。
图1为表示本发明的压力式流量控制装置1的基本结构的纵截面图，图2为表示适用本发明涉及的压力式流量控制装置的气体供给箱的结构的系统图。
压力式流量控制装置1由主体2、压力控制用控制阀6、排气控制用控制阀7、压力传感器P1、P2及流孔OL等构成，在图2的实施方式中为使用了1个流孔OL的FCS-WR型的压力式流量控制装置。
再者，在图1中，2a为阀座，3为入口侧块体，4为主体块体，5为出口侧块体，9为流体入口，10a为流体通路，10b为排气通路，10c为泄漏检查用通路，11为流体出口，12为排气出口，13为垫片，14为控制用的面板控制板，15为壳体，16为连接用连接器。
上述主体2为用固定螺栓(图示省略)将入口侧块体3、主体块体4和出口侧块体5相互安装一体化形成的部件，压力控制用控制阀6、排气控制用控制阀7和压力传感器P1、P2等分别被旋紧固定在阀主体2上。另外，使压力传感器P2避免与排气通路10a的交叉而连通在流体通路10a上。
上述压力控制用控制阀6为使用以公知的金属制隔膜作为阀体20的压电驱动元件6a的开闭阀，由于对压电驱动元件6a通电其会伸长，通过将圆筒体17向上方推上去来对抗弹性体18的弹力，从而利用金属隔膜阀体20的弹性力实现阀体压件19向上方移动，阀体20从阀座2a离座而开阀。另外，通过变动对压电驱动元件6a的施加电压来调节阀开度。
再者，关于排气控制用控制阀7的动作，也与压力控制用控制阀6的动作一样，也能够通过调节压电驱动元件7a的伸长量来实施阀开度控制。
此外，作为排气控制用控制阀7，也可以使用公知的空气压驱动式或电磁驱动式的开闭阀，代替上述压电驱动式金属隔膜型开闭阀。
图2为表示适用本发明涉及的压力式流量控制装置的气体供给箱的结构的系统图，为将3种实际气体G1～G3和N2气体分别单独、或者以规定的比例混合适合的气体种类，供给至工艺室(处理腔室)29的方式。而且，经由排气控制用控制阀7(图示省略)，FCS-N的内部空间气体通过排气管27的出口侧开闭阀24由真空泵28强制排气(真空排气)这一点与上述相同。
再者，在图2中，21为气体供给口，22为供给侧切换阀，23为出口侧切换阀，26为混合气体供给管路。
参照图1，在通常的连续流量控制中，使用压力控制用控制阀6对由流体入口9流入的气体进行压力控制，通过流孔OL由流体出口11供给至规定的部位。此外，在减少控制流量的过程中，例如从100％流量下降至50％流量时，从控制板14分别向压力控制用控制阀6输入向50％流量切换的切换控制信号，以及向排气控制用控制阀7输入阀打开信号，打开排气控制用控制阀7。由此，通过排气控制用控制阀7对压力控制用控制阀6和流孔OL之间的气体进行强制排气，从而缩短下降响应时间。
而且，毋庸置疑，可以通过调整排气控制用控制阀7的阀开度来控制下降时间。
图3为表示本实施方式涉及的压力式流量控制装置1的连续阶段时的下降响应特性的图，为在与上述图8的情况相同的条件下测定的结果的图。
将线A和线B，对比上述图8和图3可明确得知，在本实施方式涉及的压力式流量控制装置1中，下降时间能够缩短为0.5秒以下。
此外，通过调整排气控制用控制阀7的阀开度，不仅能够容易地控制下降时间本身，而且，即使是不同的流量范围下动作中的压力式流量控制装置，也能够同步进行此类多个压力式流量控制装置的下降。
再者，图4为表示在增加设定流量的情况下，输入至压力控制用控制阀6和排气控制用控制阀7的压电驱动元件的输入电压的变动状态，及压力传感器P1的输出(压力)的图，判明不论在哪种情况下，上升时间均变为0.5秒以下，对于流量从20％增加到50％和从50％增加到80％，也都能够在0.5秒以下的上升时间内实现应对。
此外，与图4的情况相反，图5为表示在流量从80％减少(下降)到50％和从50％减少(下降)到20％的情况下的，输入至压力控制用控制阀6和排气控制用排气阀7的压电驱动元件的输入电压的变动状态，及压力传感器P1的输出(压力)的图，不论在哪种情况下，下降时间都变为0.5秒以下。
再者，在上述图1的实施方式中，基于图7的(b)所示的FCS-N型的压力式流量控制装置进行了说明，但毋庸置疑，作为压力式流量控制装置也可以为FCS-N型、FCS-S型、FCS-SWR型，图7所示的以往的各种型式的压力式流量控制装置的任意一种装置都可以使用在本发明的实施中。
此外，由于压力式流量控制装置的动作原理和结构已为公知的技术，故在此省略对其的详细说明。
即，在本发明涉及的压力式流量控制装置1中，通过设置具备排气控制用控制阀7的真空排气管27，能够在大幅度缩短流量控制的下降时间的同时，很容易地进行下降时间的调整，从而提高压力式流量控制装置的所谓气体置换性。
此外，任意选定压力式流量控制装置1的主体2的宽度尺寸，例如，可以配合以往的压力式流量控制装置的宽度尺寸92mm，其结果，通过对以往设备的改修可以使用该压力式流量控制装置1。
更进一步地，通过封闭(blind)真空排气管，也可以作为通常的压力式流量控制装置适用。但是，依旧残留以下问题点：有时需要真空排气管27，或者由于强制排气增加实际气体排气，不容易适用于既设的气体供给箱等。
产业上的可利用
本发明不仅能够适用于半导体制造装置用的气体供给设备或气体供给装置，而且也能够适用在化学产业或食品产业等的所有的气体供给设备的流体控制装置中。
Claims (8)
1.一种压力式流量控制装置，其特征在于，其具备：
主体，所述主体设置有将流体入口和流体出口之间连通的流体通路和从该流体流路分支而将该流体通路和排气出口之间连通的排气通路；
压力控制用控制阀，所述压力控制用控制阀设置于比所述排气通路的分支部位靠上游的流体通路；
流孔，所述流孔设置在比所述排气通路的分支部位靠下游的流体通路内；
压力传感器，所述压力传感器检测所述压力控制用控制阀的下游侧和所述流孔的上游侧的流体通路内压；和
排气控制用控制阀，所述排气控制用控制阀对所述排气通路进行开闭，
通过所述排气通路对所述压力控制用控制阀和所述流孔之间的流体通路内的气体进行排气。
2.根据权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述压力式流量控制装置还具备检测流孔下游侧的流体通路内压的压力传感器。
3.根据权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述压力式流量控制装置为将多个流孔并列状连接，利用切换阀使流体在至少一个流孔中流通的结构。
4.根据权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述压力式流量控制装置为：多个流孔并列状连接，利用切换阀使流体在至少一个流孔中流通的同时，具备检测流孔下游侧的流体通路内压的压力传感器。
5.根据权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述压力控制用控制阀和所述排气控制用控制阀为压电元件驱动型的金属隔膜式控制阀。
6.根据权利要求5所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述压力式流量控制装置为通过对所述排气控制用控制阀的压电驱动元件的输入电压的调整而控制下降响应时间的结构。
7.根据权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述排气控制用控制阀为空气压驱动阀或电磁驱动阀。
8.根据权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，所述压力式流量控制装置为利用连接于排气出口的真空泵对排气通路内进行强制排气的结构。
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