KR101028213B1 - 유량 비율 제어 장치 - Google Patents

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가부시키가이샤 호리바 에스텍
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Abstract

유량 비율 제어 장치에 있어서, 복수 종류의 기기를 필요로 하지 않고, 부품 종류수의 저감을 도모할 수 있고, 저비용화가 가능한 것을 제공하는 것을 목적으로 하고, 동일한 차압식 유량 제어 장치 MFC1, MFC2와, 상기 유량 제어 장치 MFC1, MFC2에 지령을 부여하여 이를 제어하는 제어 처리 기구 C를 구비한 것으로서, 메인 유로 ML의 종단으로부터 분기된 분기 유로 BL1, BL2 상에, 상기 유량 제어 장치 MFC1, MFC2를 서로 역방향으로 설치해 놓고, 1개의 분기 유로 BL1 상에 설치된 유량 제어 장치 MFC1에 대해서는, 검지 압력이 미리 정해진 목표 압력으로 되도록 동작시키는 한편, 다른 분기 유로 BL2 상에 설치된 유량 제어 장치 MFC2에 대해서는, 측정 유량의 총량과 미리 설정한 유량 비율로부터 당해 유량 제어 장치 MFC2로 흘릴 목표 유량을 설정하고, 그 목표 유량으로 되도록 당해 유량 제어 장치 MFC2를 동작시키도록 하였다.

Description

유량 비율 제어 장치{FLOW RATE RATIO CONTROLLING APPARATUS}
본 발명은 반도체 제조 프로세스에 이용되는 원료 가스 등을 원하는 비율로 분류(分流)하는 유량 비율 제어 장치 등에 관한 것이다.
요즘, 반도체 제조 프로세스 분야에서는 웨이퍼의 대형화에 수반하여, 그 웨이퍼를 수용하는 프로세스 챔버(chamber)도 대형화되고 있다. 그런데 반도체 웨이퍼에 성막(成膜)하는 경우, 그 성막을 위한 원료 가스는 농도가 균일한 것이 바람직하지만, 이와 같이 대형화된 프로세스 챔버에 1개소로부터만 원료 가스를 도입하면, 농도 분포에 편향이 생기는 경우가 있다.
그래서, 최근에는 프로세스 챔버에 복수의 가스 도입구를 설치하고, 각 도입구로부터 챔버 내에서의 가스 농도가 균일하게 되도록 질량 유량비가 제어된 원료 가스를 보내도록 하고 있다. 이때에 원료 가스를 원하는 비율로 분류하는 장치로서 유량 비율 제어 장치가 이용된다.
종래, 이런 종류의 유량 비율 제어 장치로서 각 배관 내에서의 압력으로 분배하는 방식이 일반적이지만, 직접 질량 유량의 비율을 제어하고 있는 것은 아니기 때문에 실제의 질량 유량의 비율은 불분명하다.
그래서, 특허 문헌 1에 나타내듯이 질량 유량을 측정하여 비율 제어하는 것도 발안되어 있다. 도 5는 이런 종류의 유량 비율 제어 장치에 있어서의 특히 2분류 타입(type)의 일례를 나타내고 있다. 이 도 5에 있어서 부호 RXM은 가스가 유입되는 메인(main) 유로이다. 이 메인 유로 RXM에는 압력 센서(4X)가 설치되어 있고, 그 종단은 2개로 분기(分岐)되어 있다. 분기된 각 분기 유로(RX1, RX2) 상에는 유량계(21X, 22X)와 제어 밸브(31X, 32X)가 각각 직렬로 설치되어 있다. 그리고 밸브 제어부(5X)가 각 유량계(21X, 22X)로부터 출력되는 유량 데이터 및 압력 센서로부터 출력되는 압력 데이터를 모니터함과 아울러, 이들 각 데이터의 값에 기초하여 제어 밸브(31X, 32X)를 컨트롤(control)하고, 각 분기 유로(RX1, RX2)를 흐르는 가스의 질량 유량의 총 유량에 대한 비율(유량 비율이라 함)이 부여된 설정 비율로 되도록 제어한다. 구체적으로 이 밸브 제어부(5X)는, 먼저 상기 압력 데이터의 값(실측 압력이라고도 함)이 미리 정해진 일정한 목표 압력으로 되도록 일방의 분기 유로(RX1)의 제어 밸브(31X)를 피드백 제어한다. 그리고 실측 압력이 목표 압력의 근방 혹은 그 이상으로 제어되어 있는 조건하에 있어서, 유량 데이터의 값(실측 유량이라고도 함)의 총 유량에 대한 비율이 상기 설정 비율로 되도록 타방의 제어 밸브(32X)를 피드백(feedback) 제어한다.
특허 문헌 1 : 일본 특개 2005-38239호 공보
그렇지만, 이와 같은 장치에서는 유량 제어 장치와 압력 제어 장치라고 하는 2종류의 기기가 필요하게 된다.
본 발명은 이러한 불편을 감안하여 이루어진 것으로서, 이런 종류의 유량 비율 제어 장치에 있어서, 복수 종류의 기기를 필요로 하는 일이 없고, 부품 종류수의 저감을 도모할 수가 있어 저비용화가 가능한 것을 제공하는 것을 소기의 과제로 한 것이다.
이러한 과제를 해결하기 위해서 본 발명은 다음과 같은 수단을 강구한 것이다.
즉, 본 발명의 유량 비율 제어 장치는, 유체가 유통(流通)하는 내부 유로 상에, 당해 내부 유로를 흐르는 유체 유량을 제어하는 유량 제어 밸브, 제1 압력 센서, 유체 저항 및 제2 압력 센서를 이 순으로 직렬로 배설(配設)해 놓고, 각 압력 센서로 검지된 검지 압력에 기초하여 상기 유체 유량을 측정 가능하게 구성한 차압식 유량 제어 장치와, 상기 유량 제어 장치에 지령을 부여하여 이를 제어하는 제어 처리 기구를 구비한 것으로서, 메인 유로의 종단으로부터 분기시킨 복수의 분기 유로 상에 상기 유량 제어 장치를 각각 설치해 놓고, 하나의 분기 유로 상에 설치한 유량 제어 장치에 대해서는, 제2 압력 센서가 상류측으로 되도록 배치함과 아울러, 그 제2 압력 센서로 검지된 검지 압력이 미리 정한 목표 압력으로 되도록 당해 유량 제어 장치를 동작시키는 한편, 다른 분기 유로 상에 설치한 유량 제어 장치에 대해서는 유량 제어 밸브가 상류측으로 되도록 배치함과 아울러, 모든 유량 제어 장치로부터 출력되는 측정 유량의 총량과 미리 설정한 유량 비율로부터 다른 분기 유로 상에 설치한 유량 제어 장치로 흘려야 할 목표 유량을 상기 제어 처리 기구에 산출시켜 그 목표 유량으로 되도록 당해 유량 제어 장치를 동작시키는 것을 특징으로 한다.
이러한 것이라면, 하나의 분기 유로와 다른 유로에 같은 종류의 유량 제어 장치를 이용하면서, 하나의 분기 유로에서는 미리 정한 목표 압력으로 되도록 당해 유량 제어 장치를 동작시키는 한편, 다른 분기 유로에서는 목표 유량으로 되도록 당해 유량 제어 장치를 동작시킴으로써, 각 분기 유로를 흐르는 유체의 질량 유량 비율을 제어할 수가 있다.
또한, 같은 종류의 유량 제어 장치밖에 이용하고 있지 않기 때문에 유량 비율 제어 장치를 구성하는 기기의 종류를 저감할 수가 있어 비용 저감을 도모할 수가 있다.
또, 차압식의 유량 제어 장치만을 이용하고 있으므로, 이 유량 비율 제어 장치에 유출입하는 유체의 압력 변화가 큰 경우에도, 열식의 질량 유량계를 이용한 경우에 비해, 각 분기 유로를 흐르는 유체의 질량 유량 비율을 항상 높은 정밀도로 제어할 수 있다. 또 차압식의 유량 제어 장치만을 이용하고 있기 때문에, 입구측 및 출구측이 부압(負壓)인 경우에도 질량 유량 비율을 역시 높은 정밀도로 제어할 수 있다.
같은 종류의 유량 제어 장치만을 이용함으로써, 부품 종류수를 저감하면서 높은 정밀도로 각 분기 유로를 흐르는 유체의 질량 유량 비율을 제어할 수 있는 유량 비율 제어 장치의 다른 태양으로서는, 유체가 유통하는 내부 유로 상에 초단(初段) 압력 센서, 당해 내부 유로를 흐르는 유체 유량을 제어하는 유량 제어 밸브, 제1 압력 센서, 유체 저항 및 제2 압력 센서를 이 순으로 직렬로 배설해 놓고, 상기 제1, 제2 압력 센서로 검지된 검지 압력에 기초하여 유체 유량을 측정 가능하게 구성한 차압식 유량 제어 장치와, 상기 유량 제어 장치에 지령을 부여하여 이를 제어하는 제어 처리 기구를 구비한 것으로서, 메인 유로의 종단으로부터 분기시킨 복수의 분기 유로 상에 상기 유량 제어 장치를 각각 설치해 놓고, 하나의 분기 유로 상에 설치한 유량 제어 장치에 대해서는, 초단 압력 센서로 검지된 검지 압력이 미리 정한 목표 압력으로 되도록 당해 유량 제어 장치를 동작시키는 한편, 다른 분기 유로 상에 설치한 유량 제어 장치에 대해서는, 모든 유량 제어 장치로부터 출력되는 측정 유량의 총량과 미리 설정한 유량 비율로부터, 다른 분기 유로 상에 설치한 유량 제어 장치로 흘려야 할 목표 유량을 상기 제어 처리 기구에 산출시켜 그 목표 유량으로 되도록 당해 유량 제어 장치를 동작시키는 것을 들 수 있다.
이와 같이 구성한 본 발명에 의하면, 같은 종류의 기기만을 이용함으로써 부품 종류수를 저감하고 비용 저감을 도모하면서도, 각 분기 유로를 흐르는 유체의 질량 유량 비율을 높은 정밀도로 제어할 수가 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 있어서의 유량 비율 제어 장치를 나타내는 모식적 전체도이다.
도 2는 제1 실시 형태에 있어서의 유량 제어 장치의 내부 구조를 나타내는 모식도이다.
도 3은 본 발명의 제２ 실시 형태에 있어서의 유량 비율 제어 장치를 나타내는 모식적 전체도이다.
도 4는 제２ 실시 형태에 있어서의 유량 제어 장치의 내부 구조를 나타내는 모식도이다.
도 5는 종래의 유량 비율 제어 장치를 나타내는 모식적 전체도이다.
이하, 본 발명의 제1 실시 형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 실시 형태에 관한 유량 비율 제어 장치(100)를 나타내는 모식적 개략도이다. 이 유량 비율 제어 장치(100)는, 예를 들면 반도체 제조용의 원료 가스를 소정 비율로 분류하여 반도체 프로세스 챔버에 공급하는 것이고, 도시하지 않은 반도체 제조 시스템의 일부를 구성한다. 그러나 이것은 메인 유로 ML의 종단으로부터 분기시킨 2개의 분기 유로 BL1, BL2 상에 동일한 유량 제어 장치인 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2를 각각 설치하고, 이들 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2를 제어하기 위한 제어 처리 기구 C를 구비한 것이다.
상기 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2는, 도 2에 나타내듯이, 그 내부 유로 L1(L2)를 흐르는 유체 유량을 제어하는 유량 제어 밸브 V1(V2)과, 제1 압력 센서 P11(P12)과, 유체 저항 R1(R2)과, 제2 압력 센서 P21(P22)를 이 순으로 직렬로 배치한 것이다. 통상의 사용 방법에서는 상기 유체 저항 R1(R2)의 전후에서 발생하는 차압을 제1 압력 센서 P11(P12)과 제2 압력 센서 P21(P22)에 의해 검지하고, 그 유체 저항 R1(R2)을 통과하는 유체의 질량 유량을 산출하여 상기 유량 제어 밸브 V1(V2)의 제어에 이용하도록 구성되어 있다.
다른 한쪽의 분기 유로 BL1에는, 도 1에 나타내듯이, 상기 매스플로우 컨트롤러 MFC1를 통상의 사용 방법과는 역방향으로 되도록 제2 압력 센서 P21가 상류측으로 되도록 배치되어 있고, 또 다른 한쪽의 분기 유로 BL2에는 상기 매스플로우 컨트롤러 MFC2를 통상의 사용 방법과 같은 방향으로 되도록 상기 유량 제어 밸브 V2가 상류가 되도록 배치되어 있다.
상기 제어 처리 기구 C는 적어도 하드웨어 구성으로서는, CPU, 메모리, 각종 드라이버 회로 등을 구비한 것이고, 상기 메모리에 기억시킨 프로그램에 따라서 상기 CPU나 주변기기가 공동(共同)함으로써 다양한 기능을 발휘한다.
다음에, 이 유량 비율 제어 장치의 동작에 대해서 설명한다. 이하 설명의 편의상 2개의 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2를 제1 매스플로우 컨트롤러 MFC1, 제2 매스플로우 컨트롤러 MFC2로 나누어 기술하지만, 각각은 완전히 같은 매스플로우 컨트롤러이다.
상기 제어 처리 기구 C는 제2 압력 센서 P21가 상류측으로 되도록 배치한 제1 매스플로우 컨트롤러 MFC1에 대해서, 이 제2 압력 센서 P21에 의해 검지하는 압력과 상기 메모리에 격납되어 있는 목표 압력과의 편차를 이용하여, 이 제1 매스플로우 컨트롤러 MFC1의 유량 제어 밸브 V1를 피드백 제어한다. 아울러, 상기 제어 처리 기구 C는 제2 압력 센서 P21와 제1 압력 센서 P11에 의해 검지되는 상기 유체 저항 R1에서 발생하는 압력차로부터, 이 제1 매스플로우 컨트롤러 MFC1의 내부 유로 L1를 흐르는 질량 유량을 산출한다.
상기 제어 처리 기구 C는 유량 제어 밸브 V2가 상류측으로 되도록 배치한 제2 매스플로우 컨트롤러 MFC2에 대해서, 제1 압력 센서 P12와 제2 압력 센서 P22에 의해 검지되는 상기 유체 저항 R2에서 발생하는 압력차로부터, 이 제2 매스플로우 컨트롤러 MFC2의 내부를 흐르는 질량 유량을 산출한다. 그리고 각 분기 유로 BL1, BL2를 흐르는 유체의 질량 유량과 상기 메모리에 격납되어 있는 각 분기 유로 BL1, BL2의 목표 유량 비율로부터, 이 제2 매스플로우 컨트롤러 MFC2로 흘려야 할 목표 질량 유량을 상기 제어 처리 기구 C는 산출한다. 상기 제어 처리 기구 C는 제2 매스플로우 컨트롤러 MFC2의 내부 유로 L2를 흐르는 질량 유량과 목표 질량 유량의 편차를 이용하여, 제2 매스플로우 컨트롤러 MFC2의 유량 제어 밸브 V2를 피드백 제어한다.
이러한 것이라면, 완전히 같은 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2만을 이용하여 유량 비율 제어 장치(100)를 구성할 수가 있고, 부품 종류수를 저감함으로써 비용 저감을 도모하면서도 높은 정밀도로 유량 비율을 제어할 수가 있다.
또한, 완전히 같은 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2의 1개를 통상과는 역방향으로 장착할 뿐이라는 매우 간단한 장착 방법의 변경을 실시하는 것만으로 유량 비율을 제어할 수가 있다.
또한, 차압식(差壓式)의 질량 유량 측정만을 실시하고 있으므로 열식(熱式)의 측정 방법을 이용한 경우와 비교하면, 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2에 유입되는 유체의 압력 변화가 큰 경우에도 항상 정밀도 좋게 유량 비율을 제어할 수가 있다.
다음에 본 발명의 제2 실시 형태에 대해서 도 3을 참조하면서 설명한다. 제1 실시 형태에 대응하는 부재에는 같은 부호를 붙이는 것으로 한다.
이 실시 형태에서의 유량 제어 장치인 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2는 도 4에 나타내듯이, 내부 유로 L1(L2) 상에 초단 압력 센서 P01(P02), 당해 내부 유로 L1(L2)를 흐르는 유체 유량을 제어하는 유량 제어 밸브 V1(V2), 제1 압력 센서 P11(P12), 유체 저항 R1(R2) 및 제2 압력선을 이 순으로 직렬로 배열한 것이다.
제２ 실시 형태의 유량 비율 제어 장치(100)는, 도 3에 나타내듯이, 메인 유로 ML의 종단으로부터 분기시킨 2개의 분기 유로 BL1, BL2 상에 초단 압력 센서 P01, P02를 상류로 하여 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2를 각각 설치하고, 이들 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2를 제어하기 위한 제어 처리 기구 C를 구비한 것이다.
다음에 동작에 대해서 설명한다. 여기에서도, 설명의 편의상 2개의 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2를 제1 매스플로우 컨트롤러 MFC1, 제2 매스플로우 컨트롤러 MFC2로 나누어 기술하지만, 각각은 완전히 같은 매스플로우 컨트롤러이다.
상기 제어 처리 기구 C는 제1 매스플로우 컨트롤러 MFC1에 대해서, 초단 압력 센서(P01)에 의해 검지하는 압력과 상기 메모리에 격납되어 있는 목표 압력과의 편차를 이용하여, 이 제1 매스플로우 컨트롤러 MFC1의 유량 제어 밸브 V1를 피드백 제어한다. 아울러, 상기 제어 처리 기구 C는 제1 압력 센서 P11와 제2 압력 센서 P21에 의해 검지되는 상기 유체 저항 R1에서 발생하는 압력차로부터, 이 제1 매스플로우 컨트롤러 MFC1의 내부 유로 L1를 흐르는 질량 유량을 산출한다.
상기 제어 처리 기구 C는 제2 매스플로우 컨트롤러 MFC2에 대해서, 제1 압력 센서 P12와 제2 압력 센서 P22에 의해 검지되는 상기 유체 저항 R2에서 발생하는 압력차로부터, 이 제2 매스플로우 컨트롤러 MFC2의 내부 유로 L2를 흐르는 질량 유량을 산출한다. 그리고 각 분기 유로 BL1, BL2를 흐르는 유체의 질량 유량과 상기 메모리에 격납되어 있는 각 분기 유로 BL1, BL2의 목표 유량 비율로부터, 이 제2 매스플로우 컨트롤러 MFC2로 흘려야 할 목표 유량을 상기 제어 처리 기구 C는 산출한다. 상기 제어 처리 기구 C는 제2 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2의 내부를 흐르는 질량 유량과 목표 유량의 편차를 이용하여 제2 매스플로우 컨트롤러 MFC2의 유량 제어 밸브 V2를 피드백 제어한다.
이러한 것이어도, 부품의 종류수를 저감함으로써 비용 저감을 도모하면서, 각 분기 유로 BL1, BL2의 질량 유량 비율을 높은 정밀도로 제어할 수가 있다. 또한 이 제2 실시 형태의 경우는 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2의 방향 변경이라는 번거로움조차 생략할 수가 있어 모든 유로에 같은 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2를 설치하는 것만으로도 좋다.
또, 차압식의 질량 유량 측정만을 실시하고 있으므로, 매스플로우 컨트롤러 MFC1, MFC2의 전후에 있어서의 압력 변화가 큰 경우에도 항상 정밀도 좋게 유량 비율을 제어할 수가 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니다.
예를 들면, 본 실시 형태에서는 분기 유로의 수는 2개였지만, 또한 복수의 분기 유로가 설치되어 있어도 상관없다. 이 경우, 각 분기 유로에 설치되어 있는 유량 제어 장치인 매스플로우 컨트롤러 중 1개가 압력을 기준으로서 제어하는 것이면 좋다.
상기 실시 형태에서는 제어 처리 기구는 각 유량 제어 장치에 설치되는 것이고, 각각의 제어 처리 기구가 협업(協業)하여 유량 비율을 제어하는 것이어도 상관없다.
또한, 본 발명은 반도체 제조 프로세스뿐만 아니라, 그 외의 가스에 적용 가능하고 기체 이외의 액체에도 적용하여 상기 실시 형태와 같은 작용 효과를 나타낼 수 있는 것이다.
그 외, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변형이 가능하다.
본 발명에 의해 유량 비율 제어 장치에 있어서 같은 종류의 기기만을 이용함으로써, 부품 종류수를 저감하고, 비용 저감을 도모하면서도 각 분기 유로를 흐르는 유체의 질량 유량 비율을 높은 정밀도로 제어하는 것이 가능하게 된다.
100 유량 비율 제어 장치
L1, L2 내부 유로
V1, V2 유량 제어 밸브
P11, P12 제1 압력 센서
R1, R2 유체 저항
P21, P22 제2 압력 센서
MFC1, MFC2 유량 제어 장치
C 제어 처리 기구
ML 메인(main) 유로
BL1, BL2 분기(分岐) 유로
P01, P02 초단(初段) 압력 센서

Claims (2)

  1. 유체가 유통하는 내부 유로 상에, 당해 내부 유로를 흐르는 유체 유량을 제어하는 유량 제어 밸브, 제1 압력 센서, 유체 저항 및 제2 압력 센서를 이 순서로 직렬로 배설해 놓고, 각 압력 센서로 검지된 검지 압력에 기초하여 상기 유체 유량을 측정 가능하게 구성한 차압식 유량 제어 장치와, 상기 유량 제어 장치에 지령을 부여하여 이를 제어하는 제어 처리 기구를 구비한 것으로서,
    메인 유로의 종단으로부터 분기시킨 복수의 분기 유로 상에 상기 유량 제어 장치를 각각 설치해 놓고,
    상기 복수의 분기 유로 중, 하나의 분기 유로 상에 설치한 유량 제어 장치에 대해서는, 제2 압력 센서, 유체 저항, 제1 압력 센서, 유량 제어 밸브의 순서로 배치함과 아울러, 그 제2 압력 센서로 검지된 검지 압력이 미리 정한 목표 압력으로 되도록 당해 유량 제어 장치를 동작시키는 한편,
    다른 분기 유로 상에 설치한 유량 제어 장치에 대해서는, 유량 제어 밸브, 제1 압력 센서, 유체 저항, 제2 압력 센서의 순서로 배치함과 아울러, 모든 유량 제어 장치로부터 출력되는 측정 유량의 총량과 미리 설정한 유량 비율로부터 다른 분기 유로 상에 설치한 유량 제어 장치로 흘려야 할 목표 유량을 상기 제어 처리 기구에 산출시키고, 그 목표 유량으로 되도록 당해 유량 제어 장치를 동작시키도록 한 것을 특징으로 하는 유량 비율 제어 장치.
  2. 유체가 유통하는 내부 유로 상에, 초단 압력 센서, 당해 내부 유로를 흐르는 유체 유량을 제어하는 유량 제어 밸브, 제1 압력 센서, 유체 저항 및 제2 압력 센서를 이 순서로 직렬로 배설해 놓고, 상기 제1, 제2 압력 센서로 검지된 검지 압력에 기초하여 유체 유량을 측정 가능하게 구성한 차압식 유량 제어 장치와, 상기 유량 제어 장치에 지령을 부여하여 이를 제어하는 제어 처리 기구를 구비한 것으로서,
    메인 유로의 종단으로부터 분기시킨 복수의 분기 유로 상에 상기 유량 제어 장치를 각각 설치해 놓고,
    상기 복수의 분기 유로 중, 하나의 분기 유로 상에 설치한 유량 제어 장치에 대해서는, 초단 압력 센서로 검지된 검지 압력이 미리 정한 목표 압력으로 되도록 당해 유량 제어 장치를 동작시키는 한편,
    다른 분기 유로 상에 설치한 유량 제어 장치에 대해서는, 모든 유량 제어 장치로부터 출력되는 측정 유량의 총량과 미리 설정한 유량 비율로부터 다른 분기 유로 상에 설치한 유량 제어 장치로 흘려야 할 목표 유량을 상기 제어 처리 기구에 산출시키고, 그 목표 유량으로 되도록 당해 유량 제어 장치를 동작시키도록 한 것을 특징으로 하는 유량 비율 제어 장치.
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