KR101652469B1 - 다중 가스 제공 방법 및 다중 가스 제공 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 의하면, 다중 가스 제공 방법은, 하나 이상의 가스가 공급되는 메인 공급 라인으로부터 분기되어 상기 가스를 제공하는 복수의 분기라인들에 각각 제어밸브들 및 유량계들을 설치하고, 상기 유량계 및 상기 제어밸브에 각각 연결된 제어기를 통해 상기 가스의 공급량을 조절하여 상기 가스를 제공하되, 상기 제어기는 각 분기라인을 기준으로 부분요구량에 대한 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 비율을 기준으로 각각의 상기 제어밸브를 제어하는 제1 제어방식을 가지며, 상기 제1 제어방식은 상기 부분요구량에 대한 상기 측정된 유량의 비율이 기설정된 범위 이외인 경우 상기 제어밸브의 개도를 조절하고, 상기 제어밸브의 개도조절단위는 상기 측정된 유량과 상기 부분요구량의 차이에 따라 증감한다.

Description

다중 가스 제공 방법 및 다중 가스 제공 장치{METHOD FOR MULTI-SUPPLYING GAS AND APPARATUS FOR MULTI-SUPPLYING GAS}
본 발명은 다중 가스 제공 방법 및 다중 가스 제공 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 제어밸브 및 유량계를 이용하여 분기라인을 통한 가스를 제공하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
최근, 반도체 제조에 이용되는 실리콘 웨이퍼가 대형화되는 경향이며, 이로 인해 반도체 제조 장치에 있어서도 챔버로의 처리용 가스의 공급을 복수의 분기라인을 통해 행함과 아울러, 각 분기라인 간의 가스 유량비를 비교적 세밀하게 제어하는 것이 요구된다.
한국특허공개공보 2008-0108149호(2008.12.11.)
본 발명의 목적은 분기라인을 통해 공급되는 가스를 정확하게 제어할 수 있는 다중 가스 제공 방법 및 다중 가스 제공 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부한 도면으로부터 보다 명확해질 것이다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 다중 가스 제공 방법은, 하나 이상의 가스가 공급되는 메인 공급 라인으로부터 분기되어 상기 가스를 제공하는 복수의 분기라인들에 각각 제어밸브들 및 유량계들을 설치하고, 상기 유량계 및 상기 제어밸브에 각각 연결된 제어기를 통해 상기 가스의 공급량을 조절하여 상기 가스를 제공하되, 상기 제어기는 각 분기라인을 기준으로 부분요구량에 대한 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 비율을 기준으로 각각의 상기 제어밸브를 제어하는 제1 제어방식을 가지며, 상기 제1 제어방식은 상기 부분요구량에 대한 상기 측정된 유량의 비율이 기설정된 범위 이외인 경우 상기 제어밸브의 개도를 조절하고, 상기 제어밸브의 개도조절단위는 상기 측정된 유량과 상기 부분요구량의 차이에 따라 증감한다.
상기 제1 제어방식은, 상기 제어밸브가 완전개방상태인 경우 상기 제어밸브의 개도조절단위는 제1 조절단위이며, 상기 제어밸브가 완전폐쇄상태인 경우 상기 제어밸브의 개도조절단위는 제2 조절단위이되, 상기 제1 및 제2 조절단위는 상기 제어밸브가 완전개방상태와 완전폐쇄상태의 사이에서 상기 제어밸브의 개도조절단위보다 크고, 상기 제1 조절단위는 상기 제2 조절단위 보다 클 수 있다.
상기 제어기는, 각 분기라인을 기준으로 상기 유량계를 통해 측정된 유량이 상기 부분요구량 보다 기설정된 수치 이상인 경우 상기 제어밸브의 개도를 제3 조절단위를 기준으로 감소시키고, 상기 유량계를 통해 측정된 유량이 상기 부분요구량 보다 기설정된 수치 미만인 경우 상기 제어밸브의 개도를 제3 조절단위를 기준으로 증가시키는 제2 제어방식을 가질 수 있다.
상기 제어기는 상기 제2 제어방식이 기설정된 시간 이상 지속되는 상태에서, 상기 유량계를 통해 측정된 유량이 기설정된 범위 이내인 경우 상기 제어밸브의 개도를 고정하고, 상기 유량계를 통해 측정된 유량이 기설정된 범위 이외인 경우 상기 제2 제어방식으로 회귀하는 제3 제어방식을 가질 수 있다.
상기 제어기는 상기 제2 제어방식이 기설정된 시간 이상 지속되는 상태에서, 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 총합인 전체 제공량이 기설정된 범위 이내인 경우 상기 제어밸브의 개도를 고정하고, 상기 전체 제공량이 기설정된 범위 이외인 경우 상기 제2 제어방식으로 회귀하는 제3 제어방식을 가질 수 있다.
상기 제어기는 각각의 상기 제어밸브를 완전개방상태로 조정한 후 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 총합인 전체 제공량을 연산하고, 상기 전체제공량이 상기 부분요구량의 총합인 전체요구량 보다 기설정된 수치 이하인 경우 상기 메인 공급 라인에 연결된 하나 이상의 보조 공급 라인 상에 설치되어 상기 가스의 유량을 조절하는 유량 조절계의 개도를 증가시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 다중 가스 제공 장치는, 하나 이상의 가스가 공급되는 메인 공급 라인; 상기 메인 공급라인으로부터 분기되며, 상기 메인 공급 라인으로부터 공급된 상기 가스를 제공하는 복수의 분기라인들; 상기 분기라인 상에 각각 설치되는 복수의 제어밸브들; 상기 분기라인 상에 각각 설치되어 상기 제어밸브의 후단에 위치하며, 상기 분기라인을 통해 제공되는 상기 가스의 유량을 측정하는 복수의 유량계들; 그리고 상기 유량계 및 제어밸브에 각각 연결되며, 상기 제어밸브를 구동하는 제어기를 포함하되, 상기 제어기는, 상기 분기라인을 기준으로 부분요구량에 대한 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 비율을 기준으로 각각의 상기 제어밸브를 제어하는 제1 제어방식을 가지며, 상기 제1 제어방식은 상기 부분요구량에 대한 상기 측정된 유량의 비율이 기설정된 범위 이외인 경우 상기 제어밸브의 개도를 조절하며, 상기 제어밸브의 개도조절단위는 상기 측정된 유량과 상기 부분요구량의 차이에 따라 증감한다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 분기라인을 통해 공급되는 가스를 정확하게 제어할 수 있다. 또한, 별도의 FRC 없이 유량계와 제어밸브를 통해 가스 유량비를 정확하게 제어할 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 가스 제공 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2에 도시한 제어기의 초기 제어방식을 나타내는 흐름도이다.
도 4 및 도 5는 도 2에 도시한 제어기의 제1 제어방식을 나타내는 흐름도이다.
도 6은 도 2에 도시한 제어기의 제2 제어방식을 나타내는 흐름도이다.
도 7은 도 2에 도시한 제어기의 제3 제어방식을 나타내는 흐름도이다.
도 8은 도 1에 도시한 다중 가스 제공 장치를 통해 각 분기라인의 유량을 제어하는 과정을 나타내는 그래프이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부된 도 1 및 도 8을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예들은 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 가스 제공 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 다중 가스 제공 장치는 메인 공급 라인(M) 및 분기라인(①②..ⓝ)을 포함한다. 메인 공급 라인(M)의 전단은 복수의 보조 공급 라인에 연결되며, 메인 공급 라인(M)의 후단은 복수의 분기라인(①②..ⓝ)에 연결된다. 각각의 보조 공급 라인은 서로 다른 가스가 흐를 수 있으며, 각 보조 공급 라인을 통해 메인 공급 라인(M)으로 공급된 가스는 믹서 내에서 충분히 혼합된 후 각 분기라인(①②..ⓝ)으로 공급된다. MFC(유량 조절계)는 각 보조 공급 라인에 설치되어 각 보조 공급 라인을 통해 믹서에 공급되는 가스의 유량을 조절한다.
분기라인(①②..)은 메인 공급 라인(M)으로부터 분기되며, 도 1에 도시한 바와 같이, n개의 분기라인으로 이루어질 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이, 믹서를 통해 혼합된 가스는 분기라인(①②..ⓝ)으로 유입되며, 분기라인(①②..ⓝ)을 통해 원하는 곳에 공급될 수 있다.
각 분기라인 상에는 제어밸브와 유량계(예를 들어, MFM;mass flow meter)가 설치되며, 제어밸브 및 유량계는 제어기에 각각 연결된다. 유량계는 각 분기라인을 통해 배출되는(또는 공급되는) 가스의 유량을 측정할 수 있으며, 측정된 값은 제어기로 전달된다. 제어기는 유량계로부터 전달된 측정값에 따라 제어밸브의 개도를 조절하며, 이를 통해 각 분기라인을 통해 배출되는 가스의 유량을 조절할 수 있다. 제어기는 PLC 제어기일 수 있으며, PID 방식으로 제어밸브를 제어할 수 있다.
종래, 메인 공급 라인을 통해 공급되는 가스는 분배기(FRC)를 통해 분기라인으로 분배되었으나, 분배기는 4채널에 한정되어 5채널 이상의 분기라인에 사용할 수 없는 한계가 있다. 그러나, 위 제어밸브-유량계 방식은 제어기를 통해 모든 채널을 통합하여 분배(FRC) 기능을 구현할 수 있다. 이하 도 3 내지 도 7을 통해 설명하면 아래와 같다.
도 3은 도 2에 도시한 제어기의 초기 제어방식을 나타내는 흐름도이다. 먼저 도 3에 도시한 바와 같이, 제어밸브를 구동하여 각 분기라인(또는 채널)을 초기 위치로 개방(예를 들어, 완전 개방)한 후, 제어밸브의 후단에 위치한 유량계를 통해 측정된 분기라인의 유량을 합산하여 전체 제공량을 연산한다. 이후, 각 분기라인(①②..ⓝ)을 통해 공급되어야 할 부분요구량의 총합인 전체 요구량을 연산하며, 전체 제공량과 전체 요구량을 비교하여 전체 제공량이 전체 요구량보다 기설정된 수치 이하인 경우, MFC(유량조절계)의 개도를 증가시켜 전체 제공량을 증가시킴으로써 전체 제공량과 전체 요구량을 근사한 수준으로 조절할 수 있다.
예를 들어, 기설정된 수치는 0.001%일 수 있으며, 다시 말해, 전체 제공량이 전체 요구량보다 작고 그 차이(전체 요구량-전체 제공량)가 전체 요구량의 0.001% 이상일 경우 MFC(유량조절계)의 개도를 증가시킬 수 있으며, 보조 공급 라인을 통해 메인 공급 라인(M)에 공급되는 가스의 전체 유량을 증가시키고, 앞서 설명한 전체 제공량과 전체 요구량을 근사한 수준으로 조절할 수 있다.
도 4 및 도 5는 도 2에 도시한 제어기의 제1 제어방식을 나타내는 흐름도이다. 앞서, 전체 제공량이 전체 요구량보다 기설정된 수치를 초과할 경우, 도 4 및 도 5에 도시한 제1 제어방식이 적용될 수 있다. 먼저, 제어밸브가 완전개방되어 있는 경우 제어밸브의 개도를 50%로 설정하고, 제어밸브가 완전폐쇄되어 있는 경우 제어밸브의 개도를 3%로 설정한다. 이때, 50%와 3%는 예시적인 수치이므로, 필요에 따라 다른 수치가 적용될 수 있으며, 완전개방되어 있을 때 제어밸브의 설정개도(예를 들어, 50%)는 완전폐쇄되어 있을 때 제어밸브의 설정개도(예를 들어, 3%) 보다 클 수 있다.
이후, 제어밸브가 완전개방도 아니고 완전폐쇄도 아닌 상태에 있는 경우, 제어기는 각 분기라인 별로 부분요구량에 대한 측정된 유량의 비율에 따라 제어밸브를 제어한다. 구체적으로 살펴보면, 부분요구량은 각 분기라인을 통해 공급되어야 할 가스의 유량을 의미하며, 측정된 유량은 각 분기라인에 설치된 유량계를 통해 감지된 유량으로 실제 각 분기라인으로부터 배출되는 유량을 의미한다. 제어기는 위 비율이 기설정된 범위(예를 들어, 99.5% 초과 100.5% 이하) 이외인 경우, 제어밸브의 개도를 조절하여 측정된 유량을 부분요구량에 근사한 수준으로 조정할 수 있으며, 개도조절단위는 위 비율이 낮을수록(또는 측정된 유량과 부분요구량의 차이가 클수록) 큰 수치일 수 있다. 이를 통해 측정된 유량(또는 배출되는 유량)을 부분요구량에 근사한 수준으로 조정하는 데 소요되는 시간을 최소화할 수 있다.
예를 들어, 도 5에 도시한 바와 같이, 위 비율이 50% 이하인 경우 제어밸브의 개도를 1% 단위를 기준으로 조절하고, 위 비율이 50% 초과 80% 이하인 경우 제어밸브의 개도를 0.1% 단위를 기준으로 조절하며, 위 비율이 80% 초과 95% 이하인 경우 제어밸브의 개도를 0.03% 단위를 기준으로 조절하고, 위 비율이 95% 초과 99.5% 이하인 경우 제어밸브의 개도를 0.006% 단위를 기준으로 조절할 수 있다. 이때, 개도조절단위의 최대값(예를 들어, 1%)은 제어밸브가 완전폐쇄되어 있을 때 제어밸브의 설정개도(예를 들어, 3%) 보다 작을 수 있다. 이와 같은 과정을 거쳐, 위 비율이 기설정된 범위(예를 들어, 99.5% 초과 100.5% 이하) 이내인 경우, 후술하는 제2 제어방식이 적용될 수 있다.
도 6은 도 2에 도시한 제어기의 제2 제어방식을 나타내는 흐름도이다. 앞서 설명한 제1 제어방식이 비율을 기준으로 제어하는 비례제어(proportional control)에 해당한다면, 제2 제어방식은 편차를 기준으로 제어하는 적분제어(integral control)에 해당한다.
각 분기라인을 기준으로, 배출되는 유량이 부분요구량 보다 기설정된 수치(예를 들어, 1.5sccm) 이상인 경우, 제어밸브의 개도를 0.003% 단위를 기준으로 감소시켜 배출되는 유량을 감소시키며, 배출되는 유량이 부분요구량 보다 기설정된 수치(예를 들어, 1.5sccm) 미만인 경우, 제어밸브의 개도를 0.003% 단위를 기준으로 증가시켜 배출되는 유량을 증가시킨다. 이와 같은 과정을 일정 시간(예를 들어, 5분) 동안 지속하여 제어가 안정화 상태에 진입하면 각 분기라인을 통해 배출되는 유량이 안정적으로 유지될 수 있다. 즉, 제어밸브의 개도를 0.003% 단위를 기준으로 증감하는 위 과정이 5분 이상 지속되면, 후술하는 제3 제어방식이 적용될 수 있다.
도 7은 도 2에 도시한 제어기의 제3 제어방식을 나타내는 흐름도이다. 먼저, 각 분기라인에 대하여 측정된 유량이 기설정된 범위 이내인 경우(즉, 배출되는 유량이 안정화되어 변동폭이 크지 않은 경우), 제어밸브의 개도를 고정할 수 있다. 또한, 각 분기라인에 대하여 측정된 유량의 총합인 전체 제공량이 기설정된 범위 이내인 경우(즉, 전체 제공량이 안정화되어 변동폭이 크지 않은 경우), 제어밸브의 개도를 고정할 수 있다. 그러나, 측정된 유량이 기설정된 범위 이외인 경우이거나, 전체 제공량이 기설정된 범위 이외인 경우, 앞서 설명한 제2 제어방식이 적용될 수 있다.
도 8은 도 1에 도시한 다중 가스 제공 장치를 통해 각 분기라인의 유량을 제어하는 과정을 나타내는 그래프이다. 도 8을 살펴보면, 최초 15채널(ch)(또는 분기라인)이 동일한 양만큼(또는 완전) 개방되며, 일정 시간이 경과한 후 가스 공급이 안정화되면 각 분기라인 내에 동일한 유량이 측정된다(15ch 동일 제어),
이후, 앞서 설명한 바와 같이, 전체 제공량과 전체 요구량을 비교하여 전체 제공량이 전체 요구량보다 기설정된 수치 이하인 경우, 보조 공급 라인에 설치된 MFC(유량조절계)의 개도를 증가시켜 전체 제공량을 증가시킨다. 즉, MFM을 통해 측정한 유량의 총합인 전체 제공량이 증가하는 구간이 나타난다.
이후, 제어기는 부분요구량에 따라 각 분기라인(또는 채널)에 설치된 제어밸브를 구동하며, 각 제어밸브의 개도를 조절한다. 앞서 설명한 바와 같이, 제1 내지 제3 제어방식이 적용되는 과정에서 유량이 증가 또는 감소하는 경사 구간이 나타나며, 이후, 제어가 안정화 상태에 진입하면 각 분기라인을 통해 배출되는 유량이 안정적으로 유지되는 안정화 구간이 나타난다. 즉, 도 8은 동일한 유량이 측정되는 구간, 전체 제공량이 증가하는 구간, 경사 구간 및 안정화 구간을 차례로 나타내고 있다.
구체적으로, 도 8에 표시한 바와 같이, 전체 제공량은 20,000sccm에서 20,700sccm으로 증가한 것을 알 수 있으며, 채널2는 200, 채널5는 50, 채널7은 50, 채널10은 100, 채널13은 300씩 증가하여, 전체 700sccm이 증가한 것을 확인할 수 있다.
즉, 상술한 바에 의하면, 별도의 분배기(FRC) 없이, 제어밸브와 유량계를 통해 분배기와 동일한 기능을 수행할 수 있으며, 전체 유량이 증감하는 경우에도 충분히 제어가 가능한 장점이 있다.
본 발명을 바람직한 실시예들을 통하여 상세하게 설명하였으나, 이와 다른 형태의 실시예들도 가능하다. 그러므로, 이하에 기재된 청구항들의 기술적 사상과 범위는 바람직한 실시예들에 한정되지 않는다.
M : 메인 공급라인
①②ⓝ : 분기라인

Claims (9)

  1. 하나 이상의 가스가 공급되는 메인 공급 라인으로부터 분기되어 상기 가스를 제공하는 복수의 분기라인들에 각각 제어밸브들 및 유량계들을 설치하고,
    상기 유량계 및 상기 제어밸브에 각각 연결된 제어기를 통해 상기 가스의 공급량을 조절하여 상기 가스를 제공하되,
    상기 제어기는 각 분기라인을 기준으로 부분요구량에 대한 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 비율을 기준으로 각각의 상기 제어밸브를 제어하는 제1 제어방식을 가지며,
    상기 제1 제어방식은 상기 부분요구량에 대한 상기 측정된 유량의 비율이 기설정된 범위 이외인 경우 상기 제어밸브의 개도를 조절하고, 상기 제어밸브의 개도조절단위는 상기 측정된 유량과 상기 부분요구량의 차이에 따라 증감하며,
    상기 제1 제어방식은,
    상기 제어밸브가 완전개방상태인 경우 상기 제어밸브의 개도조절단위는 제1 조절단위이며,
    상기 제어밸브가 완전폐쇄상태인 경우 상기 제어밸브의 개도조절단위는 제2 조절단위이되,
    상기 제1 및 제2 조절단위는 상기 제어밸브가 완전개방상태와 완전폐쇄상태의 사이에서 상기 제어밸브의 개도조절단위보다 크고,
    상기 제1 조절단위는 상기 제2 조절단위 보다 큰, 다중 가스 제공 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제어기는,
    각 분기라인을 기준으로 상기 유량계를 통해 측정된 유량이 상기 부분요구량 보다 기설정된 수치 이상인 경우 상기 제어밸브의 개도를 제3 조절단위를 기준으로 감소시키고,
    상기 유량계를 통해 측정된 유량이 상기 부분요구량 보다 기설정된 수치 미만인 경우 상기 제어밸브의 개도를 제3 조절단위를 기준으로 증가시키는 제2 제어방식을 가지는, 다중 가스 제공 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 제2 제어방식이 기설정된 시간 이상 지속되는 상태에서, 상기 유량계를 통해 측정된 유량이 기설정된 범위 이내인 경우 상기 제어밸브의 개도를 고정하고, 상기 유량계를 통해 측정된 유량이 기설정된 범위 이외인 경우 상기 제2 제어방식으로 회귀하는 제3 제어방식을 가지는, 다중 가스 제공 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 제2 제어방식이 기설정된 시간 이상 지속되는 상태에서, 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 총합인 전체 제공량이 기설정된 범위 이내인 경우 상기 제어밸브의 개도를 고정하고, 상기 전체 제공량이 기설정된 범위 이외인 경우 상기 제2 제어방식으로 회귀하는 제3 제어방식을 가지는, 다중 가스 제공 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제어기는 각각의 상기 제어밸브를 완전개방상태로 조정한 후 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 총합인 전체 제공량을 연산하고, 상기 전체 제공량이 상기 부분요구량의 총합인 전체요구량 보다 기설정된 수치 이하인 경우 상기 메인 공급 라인에 연결된 하나 이상의 보조 공급 라인 상에 설치되어 상기 가스의 유량을 조절하는 유량 조절계의 개도를 증가시키는, 다중 가스 제공 방법.
  7. 하나 이상의 가스가 공급되는 메인 공급 라인;
    상기 메인 공급라인으로부터 분기되며, 상기 메인 공급 라인으로부터 공급된 상기 가스를 제공하는 복수의 분기라인들;
    상기 분기라인 상에 각각 설치되는 복수의 제어밸브들;
    상기 분기라인 상에 각각 설치되어 상기 제어밸브의 후단에 위치하며, 상기 분기라인을 통해 제공되는 상기 가스의 유량을 측정하는 복수의 유량계들; 및
    상기 유량계 및 제어밸브에 각각 연결되며, 상기 제어밸브를 구동하는 제어기를 포함하되,
    상기 제어기는,
    상기 분기라인을 기준으로 부분요구량에 대한 상기 유량계를 통해 측정된 유량의 비율을 기준으로 각각의 상기 제어밸브를 제어하는 제1 제어방식을 가지며,
    상기 제1 제어방식은 상기 부분요구량에 대한 상기 측정된 유량의 비율이 기설정된 범위 이외인 경우 상기 제어밸브의 개도를 조절하고, 상기 제어밸브의 개도조절단위는 상기 측정된 유량과 상기 부분요구량의 차이에 따라 증감하며,
    상기 제어밸브가 완전개방상태인 경우 상기 제어밸브의 개도조절단위는 제1 조절단위이며,
    상기 제어밸브가 완전폐쇄상태인 경우 상기 제어밸브의 개도조절단위는 제2 조절단위이되,
    상기 제1 및 제2 조절단위는 상기 제어밸브가 완전개방상태와 완전폐쇄상태의 사이에서 상기 제어밸브의 개도조절단위보다 크고,
    상기 제1 조절단위는 상기 제2 조절단위 보다 큰, 다중 가스 제공 장치.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제어기는,
    각 분기라인을 기준으로 상기 유량계를 통해 측정된 유량이 상기 부분요구량 보다 기설정된 수치 이상인 경우 상기 제어밸브의 개도를 제3 조절단위를 기준으로 감소시키고,
    상기 유량계를 통해 측정된 유량이 상기 부분요구량 보다 기설정된 수치 미만인 경우 상기 제어밸브의 개도를 제3 조절단위를 기준으로 증가시키는 제2 제어방식을 가지는, 다중 가스 제공 장치.
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