JP3280119B2 - ダイヤフラム弁 - Google Patents
ダイヤフラム弁Info
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- JP3280119B2 JP3280119B2 JP13193993A JP13193993A JP3280119B2 JP 3280119 B2 JP3280119 B2 JP 3280119B2 JP 13193993 A JP13193993 A JP 13193993A JP 13193993 A JP13193993 A JP 13193993A JP 3280119 B2 JP3280119 B2 JP 3280119B2
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- Japan
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- valve
- diaphragm
- seat ring
- ring
- seat
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/16—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ダイヤフラムを弁座に
離接させることにより、流体通路を開閉しうるように構
成されたダイヤフラム弁に関するものである。
離接させることにより、流体通路を開閉しうるように構
成されたダイヤフラム弁に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種ダイヤフラム弁としては、
弁本体に、弁室及び弁操作室を形成すると共に、弁室を
介して連通する流体通路つまり弁室の内壁面に開口する
流入通路と流出通路とを形成し、弁室と弁操作室との間
を遮蔽するダイヤフラムを、弁操作室に設けたダイヤフ
ラム操作機構により、弁室の内壁面に流入通路口の周縁
部に沿って形成した環状の弁座に離接させることによ
り、流入通路との周縁部に形成した弁座に離接させるこ
とにより、流体通路を開閉しうるように構成されたもの
がよく知られている。
弁本体に、弁室及び弁操作室を形成すると共に、弁室を
介して連通する流体通路つまり弁室の内壁面に開口する
流入通路と流出通路とを形成し、弁室と弁操作室との間
を遮蔽するダイヤフラムを、弁操作室に設けたダイヤフ
ラム操作機構により、弁室の内壁面に流入通路口の周縁
部に沿って形成した環状の弁座に離接させることによ
り、流入通路との周縁部に形成した弁座に離接させるこ
とにより、流体通路を開閉しうるように構成されたもの
がよく知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、かかる構造の
ものでは、弁座が流入通路口の開口面つまり弁室の内壁
面に直接設けられているため、作業ミス，操作ミス等に
より弁座が損傷した場合における補修等のメンテナンス
が極めて困難であった。
ものでは、弁座が流入通路口の開口面つまり弁室の内壁
面に直接設けられているため、作業ミス，操作ミス等に
より弁座が損傷した場合における補修等のメンテナンス
が極めて困難であった。
【０００４】本発明は、かかる点に鑑みて、弁座を交換
可能なシートリングに形成しておくことにより、そのメ
ンテンナンスを容易に行いうるダイヤフラム弁を提供す
ることを目的とするものである。
可能なシートリングに形成しておくことにより、そのメ
ンテンナンスを容易に行いうるダイヤフラム弁を提供す
ることを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この課題を解決した本発
明のダイヤフラム弁は、底壁面に流入通路口及び流出通
路口を開口した弁室とダイヤフラム操作体を配設した弁
操作室との間を遮蔽するダイヤフラムと、中心孔である
弁孔を流入通路口に合致させた状態で弁室に嵌装された
金属製の可撓性シートリングと、弁操作室に設けられて
おり、ダイヤフラムの周縁部をシートリングの周縁部に
押圧するダイヤフラム保持体と、を具備するものであ
る。而して、シートリングには前記流出通路口に連通す
る連通孔が穿設されている。また、シートリングの表面
には、弁孔の周縁部に沿って、前記ダイヤフラム操作体
によりダイヤフラムが離接される環状の弁座が突設され
ている。さらに、シートリングの裏面には、前記底壁面
における流入通路口の周縁部分に接触する環状のシール
部が弁孔の周縁部に沿って突設されていると共に、ダイ
ヤフラム保持体による押圧力により弁室の底壁面に接触
せしめられる環状のリング接触部がシートリングの周縁
部に沿って突設されている。而して、シール部の前記リ
ング裏面からの突出量はリング接触部より若干大きく設
定されていて、ダイヤフラム保持体の押圧力によりリン
グ接触部が前記底壁面に押し付けられることによって、
シートリングが金属部分であるシール部を支点として撓
み、シール部が前記流入通路口の周縁部分により強く圧
接されるように構成されている。
明のダイヤフラム弁は、底壁面に流入通路口及び流出通
路口を開口した弁室とダイヤフラム操作体を配設した弁
操作室との間を遮蔽するダイヤフラムと、中心孔である
弁孔を流入通路口に合致させた状態で弁室に嵌装された
金属製の可撓性シートリングと、弁操作室に設けられて
おり、ダイヤフラムの周縁部をシートリングの周縁部に
押圧するダイヤフラム保持体と、を具備するものであ
る。而して、シートリングには前記流出通路口に連通す
る連通孔が穿設されている。また、シートリングの表面
には、弁孔の周縁部に沿って、前記ダイヤフラム操作体
によりダイヤフラムが離接される環状の弁座が突設され
ている。さらに、シートリングの裏面には、前記底壁面
における流入通路口の周縁部分に接触する環状のシール
部が弁孔の周縁部に沿って突設されていると共に、ダイ
ヤフラム保持体による押圧力により弁室の底壁面に接触
せしめられる環状のリング接触部がシートリングの周縁
部に沿って突設されている。而して、シール部の前記リ
ング裏面からの突出量はリング接触部より若干大きく設
定されていて、ダイヤフラム保持体の押圧力によりリン
グ接触部が前記底壁面に押し付けられることによって、
シートリングが金属部分であるシール部を支点として撓
み、シール部が前記流入通路口の周縁部分により強く圧
接されるように構成されている。
【０００６】
【作用】ダイヤフラム保持体の押圧力により、シートリ
ングは弁室の底壁面に押し付けられ、流入通路口の周縁
部分に接触するシール部により、流入通路口と弁孔とが
シールされた状態で連通することになる。したがって、
弁操作体によりダイヤフラムを弁座に押圧接触させて、
弁孔を閉塞すると、流入通路から流出通路への流体流動
が阻止される。
ングは弁室の底壁面に押し付けられ、流入通路口の周縁
部分に接触するシール部により、流入通路口と弁孔とが
シールされた状態で連通することになる。したがって、
弁操作体によりダイヤフラムを弁座に押圧接触させて、
弁孔を閉塞すると、流入通路から流出通路への流体流動
が阻止される。
【０００７】このとき、シール部のリング裏面からの突
出量がリング接触部より若干大きく設定されていること
から、ダイヤフラム保持体の押圧力によりリング接触部
を弁室の底壁面に押し付けると、シートリングが金属部
分であるシール部を支点として撓むため、シール部が底
壁面における流入通路口の周縁部分により強く圧接され
ることになる。すなわち、シール部の底壁面への接触面
圧がより高くなり、流入通路口と弁孔との間のシール力
が極めて高くなる。したがって、流出通路から弁室に背
圧が作用する場合にも、シール部と底壁面との間から流
体が漏洩するといったいわゆる裏洩れを生じる心配がな
い。
出量がリング接触部より若干大きく設定されていること
から、ダイヤフラム保持体の押圧力によりリング接触部
を弁室の底壁面に押し付けると、シートリングが金属部
分であるシール部を支点として撓むため、シール部が底
壁面における流入通路口の周縁部分により強く圧接され
ることになる。すなわち、シール部の底壁面への接触面
圧がより高くなり、流入通路口と弁孔との間のシール力
が極めて高くなる。したがって、流出通路から弁室に背
圧が作用する場合にも、シール部と底壁面との間から流
体が漏洩するといったいわゆる裏洩れを生じる心配がな
い。
【０００８】また、ダイヤフラムを弁座から離間させる
と、流入通路口と流出通路口とが弁孔及び連通孔を介し
て連通され、流入通路から流出通路への流体流動が許容
される。
と、流入通路口と流出通路口とが弁孔及び連通孔を介し
て連通され、流入通路から流出通路への流体流動が許容
される。
【０００９】このように、弁座を独立部材であるシート
リングに形成したことによっては、弁機能上、何らの問
題も生じない。しかも、独立部材たるシートリングは、
容易に交換できるものであるから、冒頭で述べた従来の
ダイヤフラム弁に比してメンテナンス性を大幅に向上さ
せ得る。
リングに形成したことによっては、弁機能上、何らの問
題も生じない。しかも、独立部材たるシートリングは、
容易に交換できるものであるから、冒頭で述べた従来の
ダイヤフラム弁に比してメンテナンス性を大幅に向上さ
せ得る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の構成を図１〜図４に示す実施
例に基づいて具体的に説明する。
例に基づいて具体的に説明する。
【００１１】図１に示すダイヤフラム弁において、１は
弁本体、２は弁本体１に形成された横断面円形の弁室、
３は弁本体１に形成された弁操作室、４は弁操作室３に
進退自在に配設されたダイヤフラム操作体たるステム、
５は弁操作室３に配設されたダイヤフラム保持体、６は
弁室２と弁操作室３との間を遮断する円形のダイヤフラ
ム、７は弁室２に嵌装されたシートリングである。
弁本体、２は弁本体１に形成された横断面円形の弁室、
３は弁本体１に形成された弁操作室、４は弁操作室３に
進退自在に配設されたダイヤフラム操作体たるステム、
５は弁操作室３に配設されたダイヤフラム保持体、６は
弁室２と弁操作室３との間を遮断する円形のダイヤフラ
ム、７は弁室２に嵌装されたシートリングである。
【００１２】弁本体１には、図１に示す如く、弁室２を
介して連通する流体通路８，９が形成されている。すな
わち、流入通路８及び流出通路９は弁室２の底壁面２ａ
に開口８ａ，９ａされており、特に、流入通路口８ａは
底壁面２ａの中心部位に開口されている。
介して連通する流体通路８，９が形成されている。すな
わち、流入通路８及び流出通路９は弁室２の底壁面２ａ
に開口８ａ，９ａされており、特に、流入通路口８ａは
底壁面２ａの中心部位に開口されている。
【００１３】ダイヤフラム保持体５は、図１に示す如
く、ダイヤフラム６の周縁部をシートリング７へと押圧
するものであり、その押圧力は弁本体１に螺着されたナ
ット部材（図示せず）を締め付けることによって付与さ
れる。
く、ダイヤフラム６の周縁部をシートリング７へと押圧
するものであり、その押圧力は弁本体１に螺着されたナ
ット部材（図示せず）を締め付けることによって付与さ
れる。
【００１４】シートリング７は、図１〜図４に示す如
く、外径寸法を弁室２の内径寸法に略一致させた金属製
の円環状体に構成されており、軸線方向厚さを比較的薄
くすることによって、或る程度の可撓性を有するものと
してある。シートリング７の中心孔たる弁孔１０は流入
通路口８ａに合致されている。また、シートリング７に
は、流出通路口９ａに連通する４個の連通孔１１…が穿
設されている。
く、外径寸法を弁室２の内径寸法に略一致させた金属製
の円環状体に構成されており、軸線方向厚さを比較的薄
くすることによって、或る程度の可撓性を有するものと
してある。シートリング７の中心孔たる弁孔１０は流入
通路口８ａに合致されている。また、シートリング７に
は、流出通路口９ａに連通する４個の連通孔１１…が穿
設されている。
【００１５】また、シートリング７の表面７ａには、環
状の弁座１２が弁孔１０の周縁部に沿って突設されてい
ると共に、環状のダイヤフラム保持部１３がシートリン
グ７の周縁部に沿って突設されている。ダイヤフラム保
持部１３は、ダイヤフラム保持体５による押圧力によ
り、これとの間でダイヤフラム６の周縁部を挟圧保持す
る。
状の弁座１２が弁孔１０の周縁部に沿って突設されてい
ると共に、環状のダイヤフラム保持部１３がシートリン
グ７の周縁部に沿って突設されている。ダイヤフラム保
持部１３は、ダイヤフラム保持体５による押圧力によ
り、これとの間でダイヤフラム６の周縁部を挟圧保持す
る。
【００１６】ところで、この実施例では、弁座１２を合
成樹脂材で構成して、リング表面７ａに形成した環状溝
１４に埋込保持させてあり、弁座１２の表面積を可及的
に小さくすべく図っている。この弁座１２には、ダイヤ
フラム６の中央部分がステム４の進退操作によって離接
されるようになっており、この離接操作により流体通路
８，９が開閉される。すなわち、ダイヤフラム６の弁座
１２への接着により弁孔１０を閉塞すると、流入通路８
から流出通路９への流体流動が阻止される（図２）。ま
た、ダイヤフラム６を弁座１２から離間させると、流入
通路８と流出通路９とが弁孔１０及び連通孔１１…を介
して連通され、流入通路８から流出通路９への流体流動
が許容される（図１）。
成樹脂材で構成して、リング表面７ａに形成した環状溝
１４に埋込保持させてあり、弁座１２の表面積を可及的
に小さくすべく図っている。この弁座１２には、ダイヤ
フラム６の中央部分がステム４の進退操作によって離接
されるようになっており、この離接操作により流体通路
８，９が開閉される。すなわち、ダイヤフラム６の弁座
１２への接着により弁孔１０を閉塞すると、流入通路８
から流出通路９への流体流動が阻止される（図２）。ま
た、ダイヤフラム６を弁座１２から離間させると、流入
通路８と流出通路９とが弁孔１０及び連通孔１１…を介
して連通され、流入通路８から流出通路９への流体流動
が許容される（図１）。
【００１７】また、シートリング７の裏面７ｂには、環
状のシール部１５が弁孔１０の周縁部に沿って突設され
ていると共に、環状のリング接触部１６がシートリング
７の周縁部に沿って突設されている。なお、リング表面
７ａには、上記した如く、合成樹脂材製の弁座１２が埋
込保持されているが、リング裏面７ｂには、図１に示す
如く、このような合成樹脂材製の部材は設けられておら
ず、シール部１５は完全な金属部分をなしている。而し
て、このシール部１５のリング裏面７ｂからの突出量
は、図４に示す如く、リング接触部１６より若干量ｈ
（通常、０．０５ｍｍ程度）大きく設定されている。し
たがって、ダイヤフラム保持体５の押圧力によりリング
接触部１６を弁室２の底壁面２ａに押し付けると、シー
トリング７が金属部分であるシール部１５を支点として
撓むため、シール部１５が底壁面２ａにおける流入通路
口８ａの周縁部分により強く圧接されることになる。す
なわち、シール部１５の底壁面２ａへの接触面圧が高く
なり、図２に示す閉弁状態において、流出通路９からの
背圧によってシール部１５と底壁面２ａとの間から流体
が漏洩するといったいわゆる裏洩れを生じる心配がな
い。
状のシール部１５が弁孔１０の周縁部に沿って突設され
ていると共に、環状のリング接触部１６がシートリング
７の周縁部に沿って突設されている。なお、リング表面
７ａには、上記した如く、合成樹脂材製の弁座１２が埋
込保持されているが、リング裏面７ｂには、図１に示す
如く、このような合成樹脂材製の部材は設けられておら
ず、シール部１５は完全な金属部分をなしている。而し
て、このシール部１５のリング裏面７ｂからの突出量
は、図４に示す如く、リング接触部１６より若干量ｈ
（通常、０．０５ｍｍ程度）大きく設定されている。し
たがって、ダイヤフラム保持体５の押圧力によりリング
接触部１６を弁室２の底壁面２ａに押し付けると、シー
トリング７が金属部分であるシール部１５を支点として
撓むため、シール部１５が底壁面２ａにおける流入通路
口８ａの周縁部分により強く圧接されることになる。す
なわち、シール部１５の底壁面２ａへの接触面圧が高く
なり、図２に示す閉弁状態において、流出通路９からの
背圧によってシール部１５と底壁面２ａとの間から流体
が漏洩するといったいわゆる裏洩れを生じる心配がな
い。
【００１８】以上のように構成されたダイヤフラム弁に
あっては、弁座構成部材たるシートリング７を交換自在
な独立部材としたから、冒頭で述べた従来のダイヤフラ
ム弁に比してメンテナンス性を大幅に向上させ得る。し
かも、シートリング７を独立部材としたにも拘わらず、
シール部１５と底壁面２ａとの間のシール性を上記した
如く強力に確保できるようにしたから、裏洩れといった
不都合を生じることがない。
あっては、弁座構成部材たるシートリング７を交換自在
な独立部材としたから、冒頭で述べた従来のダイヤフラ
ム弁に比してメンテナンス性を大幅に向上させ得る。し
かも、シートリング７を独立部材としたにも拘わらず、
シール部１５と底壁面２ａとの間のシール性を上記した
如く強力に確保できるようにしたから、裏洩れといった
不都合を生じることがない。
【００１９】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲におい
て適宜に改良・変更することができる。
のではなく、本発明の基本原理を逸脱しない範囲におい
て適宜に改良・変更することができる。
【００２０】例えば、上記実施例では、リング接触部１
６をシートリング７に一体形成したが、このリング接触
部１６は上記弁座１２と同様に合成樹脂材を埋め込み保
持させることによって構成するようにしてもよい。勿
論、かかる合成樹脂材を埋め込み保持させる構成は、シ
ール部１５については適用されず、シール部１５は、如
何なる場合にも、シートリング７に一体形成された金属
部分をなす。
６をシートリング７に一体形成したが、このリング接触
部１６は上記弁座１２と同様に合成樹脂材を埋め込み保
持させることによって構成するようにしてもよい。勿
論、かかる合成樹脂材を埋め込み保持させる構成は、シ
ール部１５については適用されず、シール部１５は、如
何なる場合にも、シートリング７に一体形成された金属
部分をなす。
【００２１】また、図５に示す如く、弁座１２を含む各
部を総てシートリング７により一体形成された金属部分
となすようにしてもよい。
部を総てシートリング７により一体形成された金属部分
となすようにしてもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のダイヤフラム弁は、弁座を独立した交換可能なシート
リングに形成するようにしたものであるから、従来のも
のに比して、メンテナンス性が大幅に向上し、弁自体の
寿命を大幅に向上させ得るものである。しかも、シート
リングを独立部材としたにも拘わらず、シール部の流入
通路口周縁部分への接触面圧を高めて、いわゆる裏洩れ
といった不都合を生じることがなく、所定の弁機能を充
分に発揮し得るものであり、その実用的価値極めて大な
るものである。
のダイヤフラム弁は、弁座を独立した交換可能なシート
リングに形成するようにしたものであるから、従来のも
のに比して、メンテナンス性が大幅に向上し、弁自体の
寿命を大幅に向上させ得るものである。しかも、シート
リングを独立部材としたにも拘わらず、シール部の流入
通路口周縁部分への接触面圧を高めて、いわゆる裏洩れ
といった不都合を生じることがなく、所定の弁機能を充
分に発揮し得るものであり、その実用的価値極めて大な
るものである。
【図１】本発明に係るダイヤフラム弁の一実施例を示す
開弁状態の断面図である。
開弁状態の断面図である。
【図２】同閉弁状態の断面図である。
【図３】図１のIII−III線断面図である。
【図４】図１の要部（シートリング）を取り出して示す
拡大詳細図である。
拡大詳細図である。
【図５】変形例を示す図４相当の断面図である。
２…弁室、２ａ…弁室の底壁面、３…弁操作室、４…ス
テム（ダイヤフラム操作体）、５…ダイヤフラム保持
体、６…ダイヤフラム、７…シートリング、７ａ…シー
トリングの表面、７ｂ…シートリングの裏面、８ａ…流
入通路口、９ａ…流出通路口、１０…弁孔、１１…連通
孔、１２…弁座、１３…ダイヤフラム保持部、１５…シ
ール部、１６…リング接触部。
テム（ダイヤフラム操作体）、５…ダイヤフラム保持
体、６…ダイヤフラム、７…シートリング、７ａ…シー
トリングの表面、７ｂ…シートリングの裏面、８ａ…流
入通路口、９ａ…流出通路口、１０…弁孔、１１…連通
孔、１２…弁座、１３…ダイヤフラム保持部、１５…シ
ール部、１６…リング接触部。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−194269（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−193747（ＪＰ，Ａ) 実開 昭57−186754（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−27268（ＪＰ，Ｕ) 特許83114（ＪＰ，Ｃ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16K 7/12 - 7/17
Claims (1)
- 【請求項１】 底壁面に流入通路口及び流出通路口を開
口した弁室とダイヤフラム操作体を配設した弁操作室と
の間を遮蔽するダイヤフラムと、中心孔である弁孔を流
入通路口に合致させた状態で弁室に嵌装された金属製の
可撓性シートリングと、弁操作室に設けられており、ダ
イヤフラムの周縁部をシートリングの周縁部に押圧する
ダイヤフラム保持体と、を具備し、シートリングには前
記流出通路口に連通する連通孔が穿設されており、シー
トリングの表面には、弁孔の周縁部に沿って、前記ダイ
ヤフラム操作体によりダイヤフラムが離接される環状の
弁座が突設されており、シートリングの裏面には、前記
底壁面における流入通路口の周縁部分に接触する環状の
シール部が弁孔の周縁部に沿って突設されていると共
に、ダイヤフラム保持体による押圧力により弁室の底壁
面に接触せしめられる環状のリング接触部がシートリン
グの周縁部に沿って突設されており、シール部の前記リ
ング裏面からの突出量はリング接触部より若干大きく設
定されていて、ダイヤフラム保持体の押圧力によりリン
グ接触部が前記底壁面に押し付けられることによって、
シートリングが金属部分であるシール部を支点として撓
み、シール部が前記流入通路口の周縁部分により強く圧
接されるように構成されていることを特徴とするダイヤ
フラム弁。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13193993A JP3280119B2 (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | ダイヤフラム弁 |
| KR1019940011352A KR0153229B1 (ko) | 1993-06-02 | 1994-05-25 | 다이어프램 밸브 |
| US08/250,609 US5485984A (en) | 1993-06-02 | 1994-05-27 | Diaphragm valve |
| CA002124781A CA2124781C (en) | 1993-06-02 | 1994-05-31 | Diaphragm valve |
| DE69409575T DE69409575T2 (de) | 1993-06-02 | 1994-06-02 | Membranventil |
| SG1996001075A SG45185A1 (en) | 1993-06-02 | 1994-06-02 | Diaphragm valve |
| EP94303959A EP0627583B1 (en) | 1993-06-02 | 1994-06-02 | Diaphragm valve |
| TW085204746U TW298282U (en) | 1993-06-02 | 1994-07-26 | Diaphragm valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13193993A JP3280119B2 (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | ダイヤフラム弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06341560A JPH06341560A (ja) | 1994-12-13 |
| JP3280119B2 true JP3280119B2 (ja) | 2002-04-30 |
Family
ID=15069746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13193993A Expired - Fee Related JP3280119B2 (ja) | 1993-06-02 | 1993-06-02 | ダイヤフラム弁 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5485984A (ja) |
| EP (1) | EP0627583B1 (ja) |
| JP (1) | JP3280119B2 (ja) |
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| SG (1) | SG45185A1 (ja) |
| TW (1) | TW298282U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014095383A (ja) * | 2007-03-24 | 2014-05-22 | Afa Polytek Bv | ダイアフラムを有する液体ディスペンサデバイスおよび該バルブの組み立て方法 |
Families Citing this family (43)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5851004A (en) * | 1996-10-16 | 1998-12-22 | Parker-Hannifin Corporation | High pressure actuated metal seated diaphragm valve |
| US5730423A (en) * | 1996-10-16 | 1998-03-24 | Parker-Hannifin Corporation | All metal diaphragm valve |
| EP0941435B1 (en) * | 1997-02-03 | 2003-05-21 | Swagelok Company | Diaphragm valve |
| FR2759760B1 (fr) | 1997-02-17 | 1999-05-21 | Asm France Sa | Vanne a membrane |
| FR2762891B1 (fr) * | 1997-05-02 | 1999-07-30 | Transfluid Sa | Vanne a membrane |
| JP3586075B2 (ja) * | 1997-08-15 | 2004-11-10 | 忠弘 大見 | 圧力式流量制御装置 |
| US5909747A (en) * | 1998-04-03 | 1999-06-08 | American Meter Company | Radial flow diaphragm valve |
| JP3522535B2 (ja) * | 1998-05-29 | 2004-04-26 | 忠弘 大見 | 圧力式流量制御装置を備えたガス供給設備 |
| JP4700234B2 (ja) * | 2001-07-31 | 2011-06-15 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁 |
| US6431229B1 (en) * | 2001-08-24 | 2002-08-13 | Air Products And Chemicals, Inc. | Solventless purgeable diaphragm valved manifold for low vapor pressure chemicals |
| US20030042459A1 (en) * | 2001-08-29 | 2003-03-06 | Gregoire Roger J. | Unitary diaphragm and seat assembly |
| TW572164U (en) * | 2002-12-06 | 2004-01-11 | Ind Tech Res Inst | Diaphragm valve |
| US7430833B2 (en) * | 2003-03-28 | 2008-10-07 | Pn Ii, Inc. | Universal rake-ridge cap |
| US20070045587A1 (en) * | 2003-04-14 | 2007-03-01 | Terrence Kolenc | Diaphragm valve seat |
| JP4211516B2 (ja) * | 2003-07-28 | 2009-01-21 | セイコーエプソン株式会社 | 流路弁及び同流路弁を備えた液体噴射装置 |
| US6988513B2 (en) * | 2003-10-27 | 2006-01-24 | Delaney Machinerie Inc. | Proportional valve |
| JP2005188672A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Neriki:Kk | バルブ装置 |
| US6997440B2 (en) * | 2004-03-29 | 2006-02-14 | Tescom Corporation | Packless valve apparatus |
| US7686280B2 (en) * | 2005-12-28 | 2010-03-30 | Circor Instrumentation Technologies, Inc. | Removable valve seat member for diaphragm valve |
| US8414535B2 (en) * | 2007-04-12 | 2013-04-09 | Sterling Investments Lc | Miniature pump device and method |
| JP5140400B2 (ja) * | 2007-12-04 | 2013-02-06 | 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン | 弁構造 |
| WO2010048414A2 (en) * | 2008-10-22 | 2010-04-29 | Sterling Investments Lc | Miniature pump device with an anti-free flow valve |
| JP2010144765A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Hamlet Motoyama Japan:Kk | ダイヤフラム弁 |
| US8844901B2 (en) * | 2009-03-27 | 2014-09-30 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Flow control valve |
| US8245727B2 (en) | 2009-06-26 | 2012-08-21 | Pamela Mooney, legal representative | Flow control valve and method of use |
| JP5153898B2 (ja) * | 2010-04-28 | 2013-02-27 | セントラル硝子株式会社 | ハロゲンガス又はハロゲン化合物ガスの充填容器用バルブ |
| WO2012178132A1 (en) | 2011-06-24 | 2012-12-27 | Equilibar, Llc | Back pressure regulator with floating seal support |
| JP5802532B2 (ja) | 2011-12-05 | 2015-10-28 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット |
| JP2013119877A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Fujikin Inc | ダイヤフラム弁 |
| US9863542B2 (en) * | 2013-02-01 | 2018-01-09 | Swagelok Company | Diaphragm valve with welded diaphragm seat carrier |
| US20150014558A1 (en) * | 2013-07-09 | 2015-01-15 | Deka Products Limited Partnership | Valve Apparatus and System |
| JP6564593B2 (ja) * | 2015-03-25 | 2019-08-21 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁 |
| WO2017150331A1 (ja) * | 2016-02-29 | 2017-09-08 | 株式会社フジキン | 流量制御装置 |
| KR101708756B1 (ko) | 2016-09-21 | 2017-02-21 | 태광후지킨 주식회사 | 잠금형 다이어프램 밸브 |
| US10774938B2 (en) * | 2017-11-09 | 2020-09-15 | Swagelok Company | Diaphragm valve with metal seat |
| JP7257056B2 (ja) * | 2018-04-06 | 2023-04-13 | 株式会社フジキン | バルブ装置および流体制御装置、流体制御方法、半導体製造装置及び半導体製造方法 |
| KR102453794B1 (ko) * | 2018-07-24 | 2022-10-12 | 가부시키가이샤 후지킨 | 밸브 장치, 유체 제어 장치, 유체 제어 방법, 반도체 제조 장치 및 반도체 제조 방법 |
| JP7237370B2 (ja) | 2018-07-31 | 2023-03-13 | 株式会社フジキン | バルブ装置 |
| CN112930454A (zh) * | 2018-10-26 | 2021-06-08 | 株式会社富士金 | 阀装置和气体供给系统 |
| CN109326759B (zh) * | 2018-10-30 | 2022-03-18 | 广州小鹏汽车科技有限公司 | 压力调节装置及电池系统 |
| JP2020165476A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社フジキン | ダイヤフラムバルブ |
| US20230175598A1 (en) * | 2020-03-26 | 2023-06-08 | Fujikin Incorporated | Valve device |
| KR102311898B1 (ko) | 2020-05-12 | 2021-10-13 | 주식회사 아스플로 | 잠금 기능을 갖는 밸브 및 잠금 기능을 갖는 밸브의 작동방법 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB320778A (en) * | 1928-10-26 | 1929-10-24 | Philip Keith Saunders | Improvements in and means for operating diaphragm valves |
| US2856148A (en) * | 1952-02-08 | 1958-10-14 | Vickers Electrical Co Ltd | Valve assembly |
| GB1462176A (en) * | 1973-07-27 | 1977-01-19 | Fordham Pressings Ltd | Valves |
| DE3444865A1 (de) * | 1984-12-08 | 1986-06-12 | Regel + Meßtechnik GmbH Regler- und Anlagenbau für Gas-Druckregelung, 3500 Kassel | Druckmittelbetaetigtes membranventil |
| JPS63115970A (ja) * | 1986-10-31 | 1988-05-20 | Motoyama Seisakusho:Kk | ダイヤフラム弁 |
| US4741510A (en) * | 1987-09-04 | 1988-05-03 | Baumann Hans D | Flow control valve |
| US4846215A (en) * | 1988-06-07 | 1989-07-11 | Marathon Oil Company | Back pressure regulator |
| JPH03115970A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-16 | Ngk Insulators Ltd | ボールの自動超音波探傷検査装置 |
| JPH03153974A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-07-01 | Moon Star Co | バルブシール部にシールリングを嵌合する方法 |
| JPH086828B2 (ja) * | 1991-08-09 | 1996-01-29 | 株式会社ベンカン | メタルダイヤフラム弁 |
| JP2927582B2 (ja) * | 1991-08-26 | 1999-07-28 | 清原 まさ子 | 制御器 |
| US5295662A (en) * | 1991-08-26 | 1994-03-22 | Masako Kiyohara | Fluid flow-controller with improved diaphragm |
| US5215286A (en) * | 1992-05-26 | 1993-06-01 | Nupro Company | High pressure diaphragm valve |
-
1993
- 1993-06-02 JP JP13193993A patent/JP3280119B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-05-25 KR KR1019940011352A patent/KR0153229B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-05-27 US US08/250,609 patent/US5485984A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-05-31 CA CA002124781A patent/CA2124781C/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-06-02 SG SG1996001075A patent/SG45185A1/en unknown
- 1994-06-02 EP EP94303959A patent/EP0627583B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-06-02 DE DE69409575T patent/DE69409575T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-07-26 TW TW085204746U patent/TW298282U/zh unknown
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014095383A (ja) * | 2007-03-24 | 2014-05-22 | Afa Polytek Bv | ダイアフラムを有する液体ディスペンサデバイスおよび該バルブの組み立て方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0627583A3 (en) | 1995-03-22 |
| KR0153229B1 (ko) | 1999-02-18 |
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| EP0627583B1 (en) | 1998-04-15 |
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