JP2977766B2 - リーク弁 - Google Patents
リーク弁Info
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- JP2977766B2 JP2977766B2 JP8198558A JP19855896A JP2977766B2 JP 2977766 B2 JP2977766 B2 JP 2977766B2 JP 8198558 A JP8198558 A JP 8198558A JP 19855896 A JP19855896 A JP 19855896A JP 2977766 B2 JP2977766 B2 JP 2977766B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超高純度気体、液
体等の流体を使用する半導体製造装置、液晶製造装置等
の配管ラインに使用されるリーク弁に関する。
体等の流体を使用する半導体製造装置、液晶製造装置等
の配管ラインに使用されるリーク弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の上記用途のリーク弁は、ダイヤフ
ラムが押えピースにより弁座シートに押圧密着されるダ
イヤフラム弁に於いて、弁座シートが流体流入通路の出
口開口周縁部にかしめられている型式のものにあって
は、図８の（ａ）に示すように弁箱１の或る部分に流体
流入通路２の途中から流体流出通路３の途中に通ずるリ
ーク用細径穴２０を明けたり、この細径穴２０に図８の
（ｂ）に示すようにキャピラリーチューブ２１を付ける
ものがある。さらには、図８の（ｃ）に示すように弁箱
１の或る部分に穴２２の明いたブロック２３を嵌め込ん
で、流体流入通路２の途中を流体流出通路３側に通じる
ようにしているものもある。
ラムが押えピースにより弁座シートに押圧密着されるダ
イヤフラム弁に於いて、弁座シートが流体流入通路の出
口開口周縁部にかしめられている型式のものにあって
は、図８の（ａ）に示すように弁箱１の或る部分に流体
流入通路２の途中から流体流出通路３の途中に通ずるリ
ーク用細径穴２０を明けたり、この細径穴２０に図８の
（ｂ）に示すようにキャピラリーチューブ２１を付ける
ものがある。さらには、図８の（ｃ）に示すように弁箱
１の或る部分に穴２２の明いたブロック２３を嵌め込ん
で、流体流入通路２の途中を流体流出通路３側に通じる
ようにしているものもある。
【０００３】また、弁座シートがリプレーサブルシート
型式では、図９の（ａ）に示すように弁座シート９のダ
イヤフラム接触部にリーク溝２４を設けたり、図９の
（ｂ）に示すように弁座シート９の下部にリーク穴２５
を明けたりしているものがある。
型式では、図９の（ａ）に示すように弁座シート９のダ
イヤフラム接触部にリーク溝２４を設けたり、図９の
（ｂ）に示すように弁座シート９の下部にリーク穴２５
を明けたりしているものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】然し乍ら、これら従来
のリーク弁は、弁座シートの膨潤によりリーク流量が変
化したり、弁座シートの流体によるむしれ、摩耗等によ
りリーク流量が変化したり、ダイヤフラム押し圧力によ
る弁座シートのリーク溝、リーク穴の変形によりリーク
流量が変化したりするという問題があった。また、夫々
リーク流通路の製作が面倒であった。
のリーク弁は、弁座シートの膨潤によりリーク流量が変
化したり、弁座シートの流体によるむしれ、摩耗等によ
りリーク流量が変化したり、ダイヤフラム押し圧力によ
る弁座シートのリーク溝、リーク穴の変形によりリーク
流量が変化したりするという問題があった。また、夫々
リーク流通路の製作が面倒であった。
【０００５】そこで本発明は、弁座シートの膨潤、流体
によるむしれ、摩耗、ダイヤフラムの押圧による変形が
あってもリーク流量の変化の無いリーク流通路を有し、
且つそのリーク流通路の製作性が優れた構造のリーク弁
を提供しようとするものである。
によるむしれ、摩耗、ダイヤフラムの押圧による変形が
あってもリーク流量の変化の無いリーク流通路を有し、
且つそのリーク流通路の製作性が優れた構造のリーク弁
を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明のリーク弁は、ダイヤフラムが押えピースによ
り弁座シートに押圧密着されるダイヤフラム弁に於い
て、流体流入通路の弁室底面の出口開口縁に、外周下端
に鍔を一体に有するシートカラーを設け、このシートカ
ラーの外周に、該シートカラーよりも背の高い前記弁座
シートを嵌合保持し、この弁座シートの外周の段部に、
周方向に流体流出通路に通ずる流体流通穴が設けられた
シートリングの内周を嵌着し、且つシートリングの外周
を弁室の内周に嵌着し、前記シートカラーと弁室底面と
の間に又はシートカラー自体に、流体流入通路側より流
体流出通路へリーク流通路を形成したことを特徴とする
ものである。
の本発明のリーク弁は、ダイヤフラムが押えピースによ
り弁座シートに押圧密着されるダイヤフラム弁に於い
て、流体流入通路の弁室底面の出口開口縁に、外周下端
に鍔を一体に有するシートカラーを設け、このシートカ
ラーの外周に、該シートカラーよりも背の高い前記弁座
シートを嵌合保持し、この弁座シートの外周の段部に、
周方向に流体流出通路に通ずる流体流通穴が設けられた
シートリングの内周を嵌着し、且つシートリングの外周
を弁室の内周に嵌着し、前記シートカラーと弁室底面と
の間に又はシートカラー自体に、流体流入通路側より流
体流出通路へリーク流通路を形成したことを特徴とする
ものである。
【０００７】上記リーク弁に於いて、シートカラーと弁
室底面との間に形成したリーク流通路は、シートカラー
の底面に加工した溝である場合と、弁室底面に加工した
溝である場合とがある。これらの溝の断面形状は、球面
形、Ｖ形、角形のいずれでもよい。また、これらの溝
は、シートカラーの鍔の周方向に迂回してリーク流通路
の長さが適宜に設定される。
室底面との間に形成したリーク流通路は、シートカラー
の底面に加工した溝である場合と、弁室底面に加工した
溝である場合とがある。これらの溝の断面形状は、球面
形、Ｖ形、角形のいずれでもよい。また、これらの溝
は、シートカラーの鍔の周方向に迂回してリーク流通路
の長さが適宜に設定される。
【０００８】上記リーク弁に於いて、シートカラー自体
に形成した流通路は、シートカラーの鍔の部分で穿設し
た穴であっても良い。
に形成した流通路は、シートカラーの鍔の部分で穿設し
た穴であっても良い。
【０００９】上記のように構成された本発明のリーク弁
は、押さえピースによりダイヤフラムが弁座シートに押
圧密着されて、流体流入通路の出口が閉ざされた時でも
流体流入通路の流体は、リーク流通路を通って流体流出
通路側へと流れる。リーク流通路は、シートカラーと弁
室底面との間に、又はシートカラー自体に形成されてい
るので、弁座シートの膨潤、流体によるむしれ、摩耗
等、ダイヤフラム押し圧力による弁座シートの変形があ
っても、リーク流通路でリーク流量の変化は無く、安定
している。また、リーク流通路が上述の如くシートカラ
ーと弁室底面の間に、又はシートカラー自体に形成され
ているので、リーク流通路はシートカラーの底面又は弁
室底面に溝を加工するか、シートカラーに穴を明けるだ
けで簡単に製作できる。
は、押さえピースによりダイヤフラムが弁座シートに押
圧密着されて、流体流入通路の出口が閉ざされた時でも
流体流入通路の流体は、リーク流通路を通って流体流出
通路側へと流れる。リーク流通路は、シートカラーと弁
室底面との間に、又はシートカラー自体に形成されてい
るので、弁座シートの膨潤、流体によるむしれ、摩耗
等、ダイヤフラム押し圧力による弁座シートの変形があ
っても、リーク流通路でリーク流量の変化は無く、安定
している。また、リーク流通路が上述の如くシートカラ
ーと弁室底面の間に、又はシートカラー自体に形成され
ているので、リーク流通路はシートカラーの底面又は弁
室底面に溝を加工するか、シートカラーに穴を明けるだ
けで簡単に製作できる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明のリーク弁の実施の形態を
図によって説明すると、図１に於いて、１は弁箱、２は
流体流入通路、３は流体流出通路である。弁箱１の弁室
４の底面５における流体流入通路２の出口開口縁６に、
外周下端に鍔7を有するシートカラー8を設け、このシー
トカラー８の外周に、該シートカラー８よりも背の高い
弁座シート９を嵌合保持し、この弁座シート９の外周の
段部１０に、周方向に前記流体流出通路３に通ずる流体
流通穴１１が図２に示すように複数個等間隔に設けられ
たシートリング１２の内周を嵌着し、且つシートリング
１２の外周を弁室４の内周に嵌着する。１３は弁座シー
ト９に押圧密着するダイヤフラムで、該ダイヤフラム１
３はその外周縁を前記シートリング１２の外周部上面の
突起１２ａにダイヤフラム押え１４を介して弁室４への
ボンネット１５の螺合により締め付け固定し、中央部を
図示せぬ駆動部の押えピース１６により弁座シート９に
押圧密着するようにする。前記シートカラー８と弁室４
の底面５との間には、流体流入通路２側より流体流出通
路３側へリーク流通路１７を形成する。このリーク流通
路１７は、シートカラー８の底面に加工した溝１７ａ
で、その溝１７ａの断面形状は図３の（ａ）に示すよう
に球面形であるが、リーク流量、加工性を考慮して図３
の（ｂ）及び（ｃ）に示すようにＶ形、角形であっても
よい。
図によって説明すると、図１に於いて、１は弁箱、２は
流体流入通路、３は流体流出通路である。弁箱１の弁室
４の底面５における流体流入通路２の出口開口縁６に、
外周下端に鍔7を有するシートカラー8を設け、このシー
トカラー８の外周に、該シートカラー８よりも背の高い
弁座シート９を嵌合保持し、この弁座シート９の外周の
段部１０に、周方向に前記流体流出通路３に通ずる流体
流通穴１１が図２に示すように複数個等間隔に設けられ
たシートリング１２の内周を嵌着し、且つシートリング
１２の外周を弁室４の内周に嵌着する。１３は弁座シー
ト９に押圧密着するダイヤフラムで、該ダイヤフラム１
３はその外周縁を前記シートリング１２の外周部上面の
突起１２ａにダイヤフラム押え１４を介して弁室４への
ボンネット１５の螺合により締め付け固定し、中央部を
図示せぬ駆動部の押えピース１６により弁座シート９に
押圧密着するようにする。前記シートカラー８と弁室４
の底面５との間には、流体流入通路２側より流体流出通
路３側へリーク流通路１７を形成する。このリーク流通
路１７は、シートカラー８の底面に加工した溝１７ａ
で、その溝１７ａの断面形状は図３の（ａ）に示すよう
に球面形であるが、リーク流量、加工性を考慮して図３
の（ｂ）及び（ｃ）に示すようにＶ形、角形であっても
よい。
【００１１】上記の実施形態のリーク弁に於けるリーク
流通路１７は、シートカラー８の底面に加工した溝１７
ａであるが、他の実施形態のリーク弁に於けるリーク流
通路１７は、図４に示すように弁室４の底面５に加工し
た溝１７ｂで、その溝１７ｂの断面形状は図３のａに示
すように球面形であるが、リーク流量、加工性を考慮し
て図３の（ｂ）及び（ｃ）に示すようにＶ形、角形であ
ってもよい。
流通路１７は、シートカラー８の底面に加工した溝１７
ａであるが、他の実施形態のリーク弁に於けるリーク流
通路１７は、図４に示すように弁室４の底面５に加工し
た溝１７ｂで、その溝１７ｂの断面形状は図３のａに示
すように球面形であるが、リーク流量、加工性を考慮し
て図３の（ｂ）及び（ｃ）に示すようにＶ形、角形であ
ってもよい。
【００１２】上記各実施形態のリーク弁に於けるリーク
流通路１７は、シートカラー８の鍔７の周方向に図５の
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に夫々示されるように迂回して
リーク流通路１７の長さが、所定のリーク流量が得られ
るように適宜設定される。この図５の（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）はリーク流通路１７を形成する溝１７ａをシート
カラー８の底面に加工した場合であるが、リーク流通路
１７を形成する溝１７ｂを弁室４の底面に加工した場合
は図６の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示されるようにな
る。
流通路１７は、シートカラー８の鍔７の周方向に図５の
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に夫々示されるように迂回して
リーク流通路１７の長さが、所定のリーク流量が得られ
るように適宜設定される。この図５の（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）はリーク流通路１７を形成する溝１７ａをシート
カラー８の底面に加工した場合であるが、リーク流通路
１７を形成する溝１７ｂを弁室４の底面に加工した場合
は図６の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示されるようにな
る。
【００１３】図７に示すさらに他の実施形態のリーク弁
は、リーク流通路１７をシートカラー８自体に形成した
もので、そのリーク流通路１７はシートカラー８の鍔７
の部分で穿設した穴１７ｃである。その他は図１と同一
構成である。
は、リーク流通路１７をシートカラー８自体に形成した
もので、そのリーク流通路１７はシートカラー８の鍔７
の部分で穿設した穴１７ｃである。その他は図１と同一
構成である。
【００１４】以上のように構成された各実施形態のリー
ク弁は、押えピース１６によりダイヤフラム１３が弁座
シート９に押圧密着されて、流体流入通路２の出口が閉
ざされた時でも、流体流入通路２の流体は、リーク流通
路１７を通って流体流出通路３側へ流れる。リーク流通
路１７は、シートカラー８と弁室４の底面との間や、シ
ートカラー８自体に形成されているので、弁座シート９
の膨潤、流体によるむしれ、摩耗等、ダイヤフラム押し
圧力による弁座シート９の変形があっても、ダイヤフラ
ム１３が弁座シート９に押圧密着されている限り、リー
ク流通路１７ではリーク流量の変化はなく、リーク流量
は安定している。また、各リーク弁に於いて、リーク流
通路１７を溝により形成したものにあっては、溝の断面
形状、長さを適宜変えることにより、リーク流量を目標
値に合わせることが可能である。
ク弁は、押えピース１６によりダイヤフラム１３が弁座
シート９に押圧密着されて、流体流入通路２の出口が閉
ざされた時でも、流体流入通路２の流体は、リーク流通
路１７を通って流体流出通路３側へ流れる。リーク流通
路１７は、シートカラー８と弁室４の底面との間や、シ
ートカラー８自体に形成されているので、弁座シート９
の膨潤、流体によるむしれ、摩耗等、ダイヤフラム押し
圧力による弁座シート９の変形があっても、ダイヤフラ
ム１３が弁座シート９に押圧密着されている限り、リー
ク流通路１７ではリーク流量の変化はなく、リーク流量
は安定している。また、各リーク弁に於いて、リーク流
通路１７を溝により形成したものにあっては、溝の断面
形状、長さを適宜変えることにより、リーク流量を目標
値に合わせることが可能である。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明で判るように本発明のリーク
弁によれば、弁座シートの膨潤、流体によるむしれ、摩
耗等、ダイヤフラム押し圧力による弁座シートの変形が
あっても、ダイヤフラムが弁座シートに押圧密着されて
いる限りリーク流通路ではリーク流量の変化が無く、安
定する。また、リーク流通路を溝により形成したもので
は、溝の断面形状、長さを適宜変えることことにより、
リーク流量を所望の値にすることができる。さらに、リ
ーク流通路は、シートカラーの底面と弁室底面のいずれ
かに溝加工するか、シートカラーに穴明け加工すること
により形成することができるので、部品点数の増加がな
く、簡単に製作できる。
弁によれば、弁座シートの膨潤、流体によるむしれ、摩
耗等、ダイヤフラム押し圧力による弁座シートの変形が
あっても、ダイヤフラムが弁座シートに押圧密着されて
いる限りリーク流通路ではリーク流量の変化が無く、安
定する。また、リーク流通路を溝により形成したもので
は、溝の断面形状、長さを適宜変えることことにより、
リーク流量を所望の値にすることができる。さらに、リ
ーク流通路は、シートカラーの底面と弁室底面のいずれ
かに溝加工するか、シートカラーに穴明け加工すること
により形成することができるので、部品点数の増加がな
く、簡単に製作できる。
【図１】本発明のリーク弁の実施形態の１つを示す要部
断面図である。
断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線横断平面図である。
【図３】図１のリーク弁に於けるリーク流通路を形成す
るシートカラー底面の溝の断面形状を示すもので、
（ａ）は球面形、（ｂ）はＶ形、（ｃ）は角形である。
るシートカラー底面の溝の断面形状を示すもので、
（ａ）は球面形、（ｂ）はＶ形、（ｃ）は角形である。
【図４】本発明のリーク弁の実施形態の他の１つを示す
要部断面図である。
要部断面図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はシートカラーの底面
に設けられる溝の長さの設定例を示す図である。
に設けられる溝の長さの設定例を示す図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は弁室の底面にに設け
られる溝の長さの設定例を示す図である。
られる溝の長さの設定例を示す図である。
【図７】本発明のリーク弁の実施形態のさらに他の１つ
を示す要部断面図である。
を示す要部断面図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は夫々従来の弁座シー
トかしめ型式のリーク弁を示す要部断面図である。
トかしめ型式のリーク弁を示す要部断面図である。
【図９】（ａ）、（ｂ）は夫々従来の弁座シートがリプ
レーサブルシート型式のリーク弁を示す要部断面図であ
る。
レーサブルシート型式のリーク弁を示す要部断面図であ
る。
１ 弁箱 ２ 流体流入通路 ３ 流体流出通路 ４ 弁室 ５ 弁室の底面 ６ 出口開口縁 ７ 鍔 ８ シートカラー ９ 弁座シート １０ 段部 １１ 流体流通穴 １２ シートリング １３ ダイヤフラム １６ 押えピース １７ リーク流通路 １７ａ シートカラーの底面の溝 １７ｂ 弁室の底面の溝 １７ｃ シートカラーの鍔の部分の穴
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０５Ｄ 7/01 Ｇ０５Ｄ 7/01 Ｚ // Ｆ１６Ｋ 1/36 Ｆ１６Ｋ 1/36 Ｄ
Claims (6)
- 【請求項１】 ダイヤフラムが押えピースにより弁座シ
ートに押圧密着されるダイヤフラム弁に於いて、流体流
入通路の弁室底面の出口開口縁に、外周下端に鍔を一体
に有するシートカラーを設け、このシートカラーの外周
に、該シートカラーよりも背の高い前記弁座シートを嵌
合保持し、この弁座シートの外周の段部に、周方向に流
体流出通路に通ずる流体流通穴が設けられたシートリン
グの内周を嵌着し、且つシートリングの外周を弁室の内
周に嵌着し、前記シートカラーと弁室底面との間に又は
シートカラー自体に、流体流入通路側より流体流出通路
へリーク流通路を形成したことを特徴とするリーク弁。 - 【請求項２】 シートカラーと弁室底面との間に形成し
たリーク流通路が、シートカラーの底面に加工した溝で
あることを特徴とする請求項１記載のリーク弁。 - 【請求項３】 シートカラーと弁室底面との間に形成し
たリーク流通路が、弁室底面に加工した溝であることを
特徴とする請求項１記載のリーク弁。 - 【請求項４】 溝の断面形状が球面形、Ｖ形、角形のい
ずれかであることを特徴とする請求項２又は３記載のリ
ーク弁。 - 【請求項５】 溝がシートカラーの鍔の周方向に迂回し
てリーク流通路の長さが設定されていることを特徴とす
る請求項２ないし４のいずれかに記載のリーク弁。 - 【請求項６】 シートカラー自体に形成したリーク流通
路が、シートカラーの鍔の部分で穿設した穴であること
を特徴とする請求項１記載のリーク弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8198558A JP2977766B2 (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | リーク弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8198558A JP2977766B2 (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | リーク弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1026240A JPH1026240A (ja) | 1998-01-27 |
| JP2977766B2 true JP2977766B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=16393185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8198558A Expired - Lifetime JP2977766B2 (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | リーク弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2977766B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005054729A1 (ja) * | 2003-12-08 | 2005-06-16 | Fujikin Incorporated | 流体制御器 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4700234B2 (ja) * | 2001-07-31 | 2011-06-15 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁 |
| JP2005188672A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Neriki:Kk | バルブ装置 |
| JP4630632B2 (ja) * | 2004-11-02 | 2011-02-09 | オルガノ株式会社 | 蒸気用ダイヤフラム弁およびそれを用いた蒸気滅菌システムと方法 |
| JP5140400B2 (ja) * | 2007-12-04 | 2013-02-06 | 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン | 弁構造 |
| JP2010144765A (ja) * | 2008-12-16 | 2010-07-01 | Hamlet Motoyama Japan:Kk | ダイヤフラム弁 |
| JP5296012B2 (ja) * | 2010-06-09 | 2013-09-25 | 愛三工業株式会社 | 排気流路バルブ |
| JP5802532B2 (ja) * | 2011-12-05 | 2015-10-28 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁およびダイヤフラム弁用シートホルダユニット |
| CN109477586B (zh) * | 2016-07-29 | 2020-01-14 | 株式会社富士金 | 流孔内置阀以及压力式流量控制装置 |
-
1996
- 1996-07-10 JP JP8198558A patent/JP2977766B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005054729A1 (ja) * | 2003-12-08 | 2005-06-16 | Fujikin Incorporated | 流体制御器 |
| US7175157B2 (en) | 2003-12-08 | 2007-02-13 | Fujikin Incorporated | Fluid controller |
| CN100380031C (zh) * | 2003-12-08 | 2008-04-09 | 株式会社富士金 | 流体控制器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1026240A (ja) | 1998-01-27 |
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