JP6911531B2 - 貫通電極基板、貫通電極基板を用いた半導体装置、および貫通電極基板の製造方法 - Google Patents
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Description
貫通孔103の内壁には、第1金属層105が設けられてもよく、その場合において被覆層111に加えて被覆層113を設けてもよい。図4は第1金属層105と被覆層111とを有する場合であり、図5は第1金属層105と被覆層111と被覆層113とを有する場合である。
また、図面ではテーパ形状を図示しているが、必ずしも斜面を有しなければならないものではない。たとえば、貫通孔が斜面を有しないのであれば、被覆層は第1面101aと第2面101bの両側に設けられる必要がある。
図6〜図11を参照して、本実施形態の貫通電極基板101の製造方法の一例について説明する。
図8において貫通孔103を設けた基板を表す。貫通孔103にそのまま充填物たる樹脂(たとえば、熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂)を充填し、硬化させると、樹脂と貫通孔との間に隙間ができ、樹脂が抜け落ちる現象があることを本開示者らが発見した。
図10及び11では、被覆層111と被覆層113とは略同一形状で形成しているが、たとえば、被覆層111は開口部直径が小さいので被覆層113に比して小さく形成されてもよい。また、被覆層の形状は任意であり、形状は、半球状、半楕円体等の形状であってもよい。
貫通孔103において、壁面に第1金属層105を設けてもよい(図4及び5)。この第1金属層105は、たとえばスパッタリング法により形成される。第1金属層105と貫通孔壁面とはコンフォーマルな形状である。第1金属層105形成後、第1金属層105を覆うように、さらに第2金属層を形成してもよい。第2金属層は、たとえばスパッタリング法により形成される。第2金属層と第1金属層105及び貫通孔壁面とはコンフォーマルな形状であってもよい。
図12では、充填物を流体状の樹脂等を用いて形成する場合を念頭に置いているものである。フィルム150を下部に配置し、貫通孔103の下部を閉じることで、カップのような形状を形成し、この貫通孔103部分に、流体状の樹脂を流し込む。ここで、フィルムとして感光性フィルムタイプ樹脂を用いると、フィルムの一部を感光させて残して被覆層とすることができる。また、図面では、フィルム150は孔径の小さい側に設けて、孔径の大きい側から樹脂を流し込んでいるが、そうではなく、フィルム150を孔径の大きい側に設け、孔径の小さい側から樹脂を流し込むこともできる。
さらに変形例として、フィルム150と土手160とを形成し、この貫通孔、フィルム150、土手160にて囲われる部分に、流体状の流体状の樹脂を流し込む。ここで、フィルムとして感光性フィルムタイプ樹脂を用いると、フィルムの一部を感光させて残して被覆層とすることができる。図面では、フィルム150は孔径の小さい側に設けて、孔径の大きい側から樹脂を流し込んでいるものの、フィルムは孔径の大きい側に設けてもよく、その場合、孔径の小さい側から樹脂を流し込むこともできる。
貫通孔 103
充填物 109
被覆物 111、113
フィルム 150
土手 160
Claims (11)
- 第1面、前記第1面とは反対側の第2面、並びに前記第1面及び前記第2面を貫通する貫通孔が設けられた基板であって、
前記貫通孔の内壁、前記第1面、及び前記第2面に設けられた金属層と、
前記貫通孔の内部に配置された非導電性材料と、
前記第1面側には前記第1面における前記貫通孔の孔径よりも大きな径を有し前記金属層及び前記非導電性材料と接する第1被覆層と、
前記第2面側には前記第2面における前記貫通孔の孔径よりも大きな径を有し前記金属層及び前記非導電性材料と接する第2被覆層と、を有し、
前記第1面における前記貫通孔の孔径は、前記第2面における前記貫通孔の孔径と異なり、
前記第1面に設けられた前記金属層は、前記第1被覆層の外縁よりも外側に延びており、
前記第2面に設けられた前記金属層は、前記第2被覆層の外縁よりも外側に延びている、
貫通電極基板。 - 前記非導電性材料と前記第1被覆層及び前記第2被覆層とが同一組成である、請求項1に記載の貫通電極基板。
- 前記第1面における前記貫通孔の孔径は、前記第2面における前記貫通孔の孔径よりも大きい、請求項1に記載の貫通電極基板。
- 前記非導電性材料が光硬化性樹脂又は熱硬化性樹脂を含む充填物である、請求項1に記載の貫通電極基板。
- 前記貫通孔のアスペクト比が1〜20である、請求項1に記載の貫通電極基板。
- 前記金属層及び前記非導電性材料の前記第1面側の表面に設けられた配線層をさらに含む、請求項1に記載の貫通電極基板。
- 前記金属層及び前記非導電性材料の前記第1面側の表面に設けられた絶縁層をさらに含む、請求項1に記載の貫通電極基板。
- 請求項1乃至7のいずれか一に記載の貫通電極基板と、
前記基板の前記金属層に接続されたLSI基板と、
前記基板の前記金属層に接続された半導体チップと、
を有する、半導体装置。 - 第1面、前記第1面とは反対側の第2面、並びに前記第1面及び前記第2面を貫通する貫通孔が設けられた基板であって、前記貫通孔には第1の物が充填され、前記第1面における貫通孔の孔径は前記第2面における貫通孔の孔径よりも大きく、前記第2面側には前記第2面における貫通孔の孔径よりも大きな径を有し前記第1の物と接する被覆層を備える貫通電極基板の製造方法であって、
前記第1面側から貫通孔を形成し、
前記第1面及び第2面の両側から貫通孔に第1の物を充填し、
前記第2面側には前記第2面における貫通孔の孔径よりも大きな径を有し前記第1の物と接する被覆層を前記第1の物を形成する際に露光によって形成する、
貫通電極基板の製造方法。 - 前記基板の前記第1面側又は第2面側のいずれか一方の面に感光性フィルムを密着させ貫通孔に流体状の第1の物を流し込むことを含む、
請求項9に記載の貫通電極基板の製造方法。 - さらに前記基板の前記第1面側又は第2面側のいずれか一方に土手を形成して貫通孔に流体状の第1の物を流し込むことを含む、
請求項9に記載の貫通電極基板の製造方法。
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