JP6904383B2 - 積層電子部品およびその実装構造 - Google Patents

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Description

本発明は、積層電子部品およびその実装構造に関する。
特許文献1には、積層セラミック電子部品の外部電極として、上層電極層をPdめっきまたはPd−Ni合金とし、Niめっきからなる中間電極層の端面と側面の厚みを制御する技術が開示されている。さらに、当該積層セラミック電子部品は導電性接着剤を用いた実装に適用可能である旨、開示されている。
特開2015−29050号公報
現在では、さらなる低背化および実装信頼性の向上が求められている。本発明は、積層電子部品の側面における外部電極の厚みを小さく維持しつつ、実装信頼性を向上させることを目的とする。
上記の目的を達成するために鋭意検討を行い、本発明を完成させるに至った。
本発明の積層電子部品は、
第1軸および第2軸を含む平面に実質的に平行なセラミック層と内部電極層とが第3軸の方向に沿って交互に積層されたセラミック素体と、前記セラミック素体の第1軸の方向の端面に形成された外部電極と、を有する積層電子部品であって、
前記外部電極は、前記内部電極層の少なくとも一部と電気的に接続するように前記セラミック素体の端面に直接に形成された下地電極層と、前記下地電極層の外面に形成された中間電極層と、前記中間電極層の外面に形成された上層電極層と、を有し、
前記下地電極層はCuを含み、
前記中間電極層はNiを含み、
前記上層電極層はCuより標準電極電位が高い元素を含み、
前記外部電極は、
前記セラミック素体の前記第1軸の方向の端面を覆う外部電極端面部と、
前記セラミック素体の前記第2軸および前記第3軸の方向に相互に向き合う側面の一部を覆う外部電極延長部と、を一体的に有し、
前記外部電極延長部において前記外部電極の厚みが最大となる部分を外部電極最大厚み部とし、前記外部電極最大厚み部における前記上層電極層の厚みと前記中間電極層の厚みとの合計厚みをt1とし、
前記外部電極延長部における前記下地電極層の先端から前記上層電極層の先端までの前記第1軸の方向の長さをt2として、
1.20≦t2/t1≦4.50を満たす積層電子部品である。
本発明の積層電子部品は上記の構成を有することにより、前記第2軸または前記第3軸の方向の外部電極の厚みを小さく維持しつつ、クラックを抑制し実装信頼性を向上させることができる。
本発明の積層電子部品は前記外部電極最大厚み部における下地電極の厚みをt3とし、
前記下地電極層の先端から前記下地電極層の厚みが0.5×t3となる部分までの前記第1軸の方向の長さをt4とし、
(0.5×t3)/t4=tanθとした場合に、
3°≦θ≦30°を満たしてもよい。
本発明の積層電子部品は前記外部電極最大厚み部における前記上層電極層の厚みをt5として、
0.003≦t5/t1≦0.130を満たしてもよい。
本発明の積層電子部品は前記第1軸と、前記第3軸と、を含む前記外部電極の切断面において、前記外部電極延長部にガラス相が存在してもよく、前記下地電極層と前記中間電極層との境界における前記外部電極延長部に含まれるガラス相の長さの平均をSaveとして、
1.40≦t1/Save≦4.00を満たしてもよい。
本発明の積層電子部品は前記上層電極層が、Cuより標準電極電位が高い元素として、AuおよびPdから選択される1種以上を含んでいてもよい。
また、本発明の積層電子部品の実装構造は、
積層電子部品と、前記積層電子部品が実装固定されている実装基板と、を有する積層電子部品の実装構造であって、
前記積層電子部品は第1軸および第2軸を含む平面に実質的に平行なセラミック層と内部電極層とが第3軸の方向に沿って交互に積層されたセラミック素体と、前記セラミック素体の第1軸の方向の端面に形成された外部電極と、を有し、
前記外部電極は、前記内部電極層の少なくとも一部と電気的に接続するように前記セラミック素体の端面に直接に形成された下地電極層と、前記下地電極層の外面に形成された中間電極層と、前記中間電極層の外面に形成された上層電極層と、を有し、
前記下地電極層はCuを含み、
前記中間電極層はNiを含み、
前記上層電極層はCuより標準電極電位が高い元素を含み、
前記外部電極は、
前記セラミック素体の前記第1軸の方向の端面を覆う外部電極端面部と、
前記セラミック素体の前記第2軸および前記第3軸の方向に相互に向き合う側面の一部を覆う外部電極延長部と、を一体的に有し、
前記実装基板は電気的に接続された一対のランドを含み、
前記外部電極延長部と前記一対のランドとが導電性接着剤により接合されており、
前記導電性接着剤により接合された前記外部電極延長部において前記外部電極の厚みが最大となる部分を外部電極最大厚み部とし、前記外部電極最大厚み部における前記上層電極層の厚みと前記中間電極層の厚みとの合計厚みをt1とし、
前記導電性接着剤により接合された前記外部電極延長部における前記下地電極層の先端から前記上層電極層の先端までの前記第1軸の方向の長さをt2として、
1.20≦t2/t1≦4.50を満たす積層電子部品の実装構造である。
本発明の積層電子部品の実装構造は、前記外部電極最大厚み部における下地電極の厚みをt3とし、
前記下地電極層の先端から前記下地電極層の厚みが0.5×t3となる部分までの前記第1軸の方向の長さをt4とし、
(0.5×t3)/t4=tanθとした場合に、
3°≦θ≦30°を満たしてもよい。
本発明の積層電子部品の実装構造は、前記外部電極最大厚み部における前記上層電極層の厚みをt5として、
0.003≦t5/t1≦0.130を満たしてもよい。
本発明の積層電子部品の実装構造は、前記第1軸と、前記第3軸と、を含む前記外部電極の切断面において、前記外部電極延長部にガラス相が存在し、前記下地電極層と前記中間電極層との境界における前記外部電極延長部に含まれるガラス相の長さの平均をSaveとして、
1.40≦t1/Save≦4.00を満たしてもよい。
本発明の積層電子部品の実装構造は、前記上層電極層が、Cuより標準電極電位が高い元素として、AuおよびPdから選択される1種以上を含んでもよい。
積層セラミックコンデンサの断面模式図である。 積層セラミックコンデンサの外部電極近傍の断面模式図である。 積層セラミックコンデンサの外部電極近傍の断面模式図である。 積層セラミックコンデンサの実装構造の断面模式図である。
本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサおよびその実装構造について、図面に基づき、説明する。なお、本発明の積層電子部品は積層セラミックコンデンサに限定されず、積層電子部品の実装構造は積層セラミックコンデンサの実装構造に限定されない。
図1に示すように、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1は、X軸およびY軸を含む平面に実質的に平行なセラミック層2と内部電極層3とを有し、セラミック層2と内部電極層3がZ軸の方向に沿って交互に積層されたセラミック素体10を有する。
ここで、「実質的に平行」とは、ほとんどの部分が平行であるが、多少平行でない部分を有していても良いことを意味し、セラミック層2と内部電極層3は、多少、凹凸があったり傾いていたりしてもよいという趣旨である。
セラミック素体10の形状に特に制限はない。セラミック素体10が直方体形状である場合には、X軸方向の寸法が3.2mm以下であってもよく、0.6mm以上であってもよい。Y軸方向の寸法およびZ軸方向の寸法が1.6mm以下であってもよく、0.3mm以上であってもよい。
内部電極層3は、各端部がセラミック素体10の対向する両端面10aの表面に交互に露出するように積層してある。一対の外部電極4は、セラミック素体10の両端面10aに形成され、交互に配置された内部電極層3の露出端に接続されて、コンデンサ回路を構成する。
セラミック層2の厚みには特に制限はない。一層あたり100μm以下であってもよく、30μm以下であってもよい。また、一層あたり0.5μm以上であってもよい。
セラミック層2の積層数には特に制限はない。20以上であってもよく、50以上であってもよい。
セラミック層2の材料には特に制限はない。例えば、BaTiO、CaTiO、SrTiO、CaZrO、BaZrO、SrZrO、(K1−xNa)SrNb15、BaTiNb15などの主成分からなる誘電体セラミックを用いることができる。また、上記の主成分にMn化合物、Mg化合物、Cr化合物、Co化合物、Ni化合物、希土類元素、Si化合物、Li化合物などの副成分を添加した誘電体セラミックを用いてもよい。副成分の添加量には特に制限はない。例えば誘電体セラミック全体を100質量%として70質量%以下であってもよい。
セラミック層2の材料としては、上記の誘電体セラミックの他、PZT系セラミックなどの圧電体セラミック、スピネル系セラミックなどの半導体セラミック、フェライトなどの磁性体セラミックなどのセラミックを用いてもよい。
内部電極層3の材料には特に制限はない。内部電極層3は導電材としてNi、Ni系合金、CuまたはCu系合金を有していてもよい。
内部電極層3は導電材としてNiまたはNi系合金を有することが好ましい。導電材としてNiまたはNi系合金を有する内部電極層3は、さらに、Al、Si、Li、Cr、Feから選択された1種類以上の副成分を有していてもよい。
NiまたはNi系合金を有する内部電極層3がAl、Si、Li、Cr、Feから選択される1種類以上の副成分を有することで、Niが大気中の酸素と反応してNiOになる前に、内部電極用副成分と酸素が反応し、Niの表面に副成分の酸化物からなる酸化膜を形成する。すなわち、外気中の酸素が酸化膜を通過しないとNiと反応できなくなる。したがって、内部電極層3に含まれるNiが酸化され難くなる。その結果、Niを有する内部電極層の酸化による連続性の劣化が生じにくくなるとともに、導電性の劣化が生じにくくなる。
図2、図3に示すように、本実施形態の外部電極4は、セラミック素体10のX軸方向に相互に向き合う一対の端面10aに形成される外部電極端面部と、セラミック素体10のY軸方向およびZ軸方向に相互に向き合う各側面10bのX軸方向の両端部を覆う外部電極延長部と、を一体的に有する。ただし、外部電極延長部は、必ずしも全ての側面10bに形成される必要はなく、少なくとも一つの側面10bに形成されていればよい。なお、図3の直線nは、一方の外部電極における外部電極端面部と外部電極延長部との境界である。
図2では、一つの外部電極端面部および外部電極延長部を含む部分について示してあるが、他の外部電極端面部および外部電極延長部を含む部分においても、同様の構成を有していてもよい。
本実施形態の外部電極4は、内部電極層3の少なくとも一部と電気的に接続するようにセラミック素体10の端面10aに直接に形成された下地電極層4aと、下地電極層4aの外面に形成された少なくとも1層以上の中間電極層4bと、中間電極層4bの外面に形成された上層電極層4cと、を有する。
なお、セラミック素体10の側面10bには下地電極層4aが直接に形成されなくてもよい。例えば、セラミック素体10の側面にガラス膜などの保護膜を形成し、保護膜に下地電極層4aが形成されていてもよい。この場合には、外部電極4の密着性を向上させやすくなる。
下地電極層4aは、少なくともCuを含む。さらに、ガラスを含んでいてもよい。下地金属層4aに含まれるCu以外の金属としては、例えば、Ni,Pdなどが挙げられる。ガラスの種類には特に制限はない。例えばZnO,SiO,TiO,Bから選択される1種以上を含むガラスなどが挙げられる。また、下地電極層4aにおけるCuの含有量については特に制限はない。例えば、下地電極層4a全体を100質量%として65質量%以上である。
中間電極層4bは、単層からなっていてもよく、2層以上からなっていてもよい。中間電極層4bの少なくとも一つの層はNiを含む。Niを含む層は、好ましくは、Niめっきによって形成されるNiめっき層である。Niを含む層には、P、B等の元素が含まれていてもよい。Niを含む層におけるNiの含有量については特に制限はない。例えば、Niを含む層全体を100質量%として85質量%以上である。
また、中間電極層4bがNiめっき層を含む場合には、下地電極層4aの表面の凹凸部分やガラスの偏析部分などのめっき付きが比較的悪い部分をNiめっき層で覆うことができる。さらに、中間電極層4bの表面は下地電極層4aの表面よりも平滑にすることができる。その結果、上層電極層4cのつき回りをよくすることが可能となる。さらに、上層電極層4cをめっきにて形成する場合には、外部電極4をめっき浴に浸漬させても下地電極層4aに含まれる金属のめっき浴への溶け込みを抑制することができる。
中間電極層4bが2層以上からなっている場合において、Niを含む層以外の層の材質には特に制限はない。例えば、Pdを含む層やPtを含む層などであってもよい。
上層電極層4cは、Cuよりも標準電極電位が高い元素を含む。このことにより、特に導電性フィラーとしてAgを含む導電性接着剤を用いて実装基板に実装する場合において外部電極4がガルバニック腐食することを抑制できる。その結果、セラミックコンデンサ1の実装信頼性が向上する。上層電極層4c全体を100質量%として、Cuよりも標準電極電位が高い元素の含有割合が合計で70質量%以上であってもよい。Cuよりも標準電極電位が高い元素は、AuおよびPdから選択される1種以上の元素であってもよい。上層電極層4cは、例えばPdめっき層、Auめっき層、Au−Pd−Ni合金膜、またはAu−Pd合金膜であってもよい。なお、上層電極層4cにCuより標準電極電位より高い元素が含まれない場合には、外部電極4、特に上層電極層4cがガルバニック腐食しやすくなる。
本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1の外部電極4の外部電極延長部において外部電極4の厚みが最大となる部分、すなわち図1において点P1を通過するZ軸方向に平行な直線mで表す部分を外部電極最大厚み部とする。そして、外部電極最大厚み部における上層電極層4cの厚みと中間電極層4bの厚みとの合計厚みをt1とする。外部電極延長部における下地電極層4aの先端(点P2)から上層電極層4cの先端(点P3)までのX軸方向の長さをt2とする。
本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1は、1.20≦t2/t1≦4.50を満たす。
本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1は、1.20≦t2/t1≦4.50を満たすことにより、実装時に導電性接着剤と外部電極4との間で発生する銅害を抑制することができる。銅害を抑制することができるために、外部電極4のY軸方向および/またはZ軸方向の寸法を小さく維持しつつ実装信頼性を向上させることができる。
セラミック素体10と外部電極4との界面は、密着性が低い。その結果、下地電極層4aから銅イオンが導電性接着剤へ拡散し、銅イオンにより導電性接着剤に含まれる樹脂成分の劣化が進行する。そして、導電性接着剤の強度が劣化し、外部電極4と導電性接着剤との間の固着強度が低下する。これが銅害である。外部電極延長部、特に外部電極延長部の先端近傍における中間電極層4bおよび上層電極層4cの厚みを大きくすることで、実装時に下地電極層4aから導電性接着剤までの距離を大きくすることができる。さらに、外部電極4と導電性接着剤との密着面積を増加させることができる。よって、外部電極延長部の先端近傍における中間電極層4bおよび上層電極層4cを厚くすることで導電性接着剤の強度の劣化を抑制し、固着強度の低下を抑制することができる。すなわち、実装信頼性を向上させることができる。
外部電極延長部の先端近傍における中間電極層4bおよび上層電極層4cを厚くし、t2を大きくするとともに、外部電極最大厚み部における上層電極層4cの厚みと中間電極層4bの厚みとの合計厚みであるt1を同時に大きくしても実装信頼性を向上させることができる。しかし、外部電極4のY軸方向および/またはZ軸方向の寸法が大きくなってしまう。t2/t1を1.20以上とすることで、外部電極4のY軸方向および/またはZ軸方向の寸法を小さくしつつ上記の中間電極層4bおよび上層電極層4cを厚くすることによる効果を得ることができる。t2/t1を1.30以上としてもよい。なお、t2/t1が4.50よりも大きい場合にはセラミック素体10の側面のうち外部電極4が接している部分にクラックが発生しやすくなる。
セラミック素体10が小型になるほど、耐熱衝撃性が向上し、実装信頼性が向上する傾向にある。セラミック素体10が小型になるほど熱衝撃に対して外部電極4がはがれにくくなるためである。したがって、t1およびt2には上限および下限、特に下限は存在しない。例えば、1.0μm≦t1≦13.0μmを満たしていてもよく、2.0μm≦t1≦13.0μmを満たしていてもよい。1.2μm≦t2≦58.5μmを満たしていてもよく、3.0μm≦t2≦34.7μmを満たしていてもよい。なお、t1が13.0μmよりも大きい場合には、セラミック素体10の側面のうち外部電極4が接している部分にクラックが発生しやすくなる。
また外部電極延長部のY軸方向および/またはZ軸方向の外部電極最大厚み部における下地電極層4aの厚みをt3とし、前記下地電極層4aの先端(P2)から下地電極層4aの厚みが(0.5×t3)となる部分までのX軸方向の長さをt4とし、(0.5×t3)/t4=tanθとする。すなわち、θは図2のX軸と線分P2P4とのなす角である。このときに、3°≦θ≦30°を満たしていてもよい。特にθ≦30°を満たすことで、t2/t1≧1.20を満たしやすくなる。なお、θ<3°とすることは技術的に困難である。また、上記のZ軸方向をY軸方向に置き換えても同様である。
また、外部電極延長部のY軸方向および/またはZ軸方向の外部電極最大厚み部における上層電極層4cの厚みをt5として、0.003≦t5/t1≦0.130を満たしていてもよい。すなわち、中間電極層4bと比較して、上層電極層4cは薄い方が好ましい。上層電極層はCuよりも標準電極電位が高い元素を含むが、Cuよりも標準電極電位が高い元素は、AuやPdなど、高価な元素である場合が多い。したがって、t5/t1≦0.130を満たす場合には、セラミックコンデンサ1の実装信頼性を向上させる効果を得ながらコストを削減することが可能となる。さらに、t5/t1≧0.003を満たすことで上層電極層4cが十分な厚みとなり、ピンホールの発生を防ぐことができる。そして、腐食やピンホールを起点とするクラックを抑制でき、実装信頼性を向上させることができる。
さらに、上記の通り、下地電極層4aはガラスを含んでいてもよい。下地電極層4aがガラスを含む場合には、図3に示すように、X軸およびZ軸を含む外部電極4aの切断面において下地電極層4aと中間電極層4bとの境界に複数のガラス相が存在する。ここで、図3に示すようにガラス相30と前記境界との交点を31a、31bとして、31aから31bまでの距離をSとする。下地電極層4aと中間電極層4bとの境界に存在する複数のガラス相30においてそれぞれのSを測定し、平均をSaveとして、1.40≦t1/Save≦4.00を満たしてもよく、1.80≦t1/Save≦3.08を満たしてもよい。
t1/Save≧1.40を満たすことで、上層電極層4cおよび中間電極層4bの合計厚みt1が十分に大きくなり、ピンホールの発生を防ぐことができる。そして、腐食やピンホールを起点とするクラックを抑制でき、実装信頼性を向上させることができる。t1/Save≧1.80を満たす場合にはさらに上記の効果が大きくなる。さらに、t1/Save≦4.00を満たすことで、応力の増大を抑制することができるとともに、外部電極4の寸法を小型化することが容易になる。t1/Save≦3.08を満たす場合にはさらに上記の効果が大きくなる。また、X軸およびY軸を含む外部電極4aの切断面においても同様である。
aveを算出する際には、少なくとも20個のガラス相30においてSを測定し、平均する。Sが1μm未満であるガラス相はSaveの算出において考慮しない。また、図3に示すように、外部電極端面部と外部電極延長部との境界である直線nを通過するガラス相30はSaveの算出において考慮してもよい。
t1〜t5およびSaveの測定方法については特に制限はない。例えば、積層セラミックコンデンサ1をXY平面またはXZ平面で切断した断面について、光学顕微鏡、SEM、デジタルマイクロスコープ等を用いて適宜倍率を調整して観察し、測定すればよい。
外部電極端面部における下地電極層4a、中間電極層4b、および、上層電極層4cの厚みには特に制限はない。例えば、下地電極層4aの厚みは5.0〜80.0μmとすればよい。中間電極層4bの厚みは1.0〜12.0μmとすればよい。上層電極層4cの厚みは0.01〜2.0μmとすればよい。
図4に示すように、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1の実装構造101は、上記の積層セラミックコンデンサ1と、積層セラミックコンデンサ1が実装固定される実装基板41とを有する。
実装基板41は電気的に接続された一対のランド43を有する。そして、上記のt2/t1等の特徴を有する外部電極延長部と一対のランド43とが導電性接着剤45により接合されている。導電性接着剤による接合方法は、例えばPbを含むハンダを用いる接合方法と比較して環境負荷が小さい点で好ましい。導電性接着剤45の種類には特に制限はない。例えばエポキシ系熱硬化性樹脂などの熱硬化性樹脂に金属フィラーなどの導電性微粒子を添加した導電性接着剤が用いられる。公知の導電性接着剤を用いてもよい。なお、金属フィラーの種類には特に制限はない。例えばAg、Auなどが挙げられる。
実装基板41および一対のランド43の種類および材質には特に制限はなく、導電性接着剤45により上記の積層セラミックコンデンサ1が実装できればよい。一対のランドを有する公知の実装基板を用いてもよい。
上記の通り、t2/t1が1.20以上4.50以下であることにより、銅害による導電性接着剤45の樹脂成分の劣化が進行しにくくなり、実装信頼性が向上しやすくなる。
次に、図1に示す積層セラミックコンデンサ1の製造方法の一例を説明する。
図1に示す積層セラミックコンデンサ1を製造するために、まず、セラミック素体10を構成するためのセラミック材料を含むセラミックグリーンシートを準備する。
セラミック材料の種類には特に制限はない。例えば、BaTiO、CaTiO、SrTiO、CaZrO、BaZrO、SrZrO、(K1−xNa)SrNb15、BaTiNb15などを主成分として含むセラミック材料を用いることができる。なお、「主成分として含む」とは、セラミック材料全体を100質量%として70質量%以上含むことを指す。
また、セラミック材料は上記の主成分以外にも副成分を含んでいてもよい。副成分の種類には特に制限はない。例えばMn化合物、Mg化合物、Cr化合物、Co化合物、Ni化合物、希土類元素の化合物、Si化合物、Li化合物、V化合物、Ta化合物などを含んでいてもよい。
次に、セラミックグリーンシート上に、導電性ペーストを塗布して、内部電極層3に対応する導電パターンを形成する。導電性ペーストは少なくとも導電性微粒子を含む。さらに公知のバインダおよび/または公知の溶剤を適宜含んでいてもよい。導電性微粒子の材質は、目的とする内部電極層3の材質に応じて適宜選択する。例えば、Ni、Ni系合金、CuまたはCu系合金が挙げられる。また、導電性微粒子は、P等の各種微量成分を含んでいても良い。P等の各種微量成分の含有量は、導電性微粒子全体を100質量%として0.1質量%程度以下であってもよい。導電性微粒子の粒径には特に制限はない。例えば0.05〜0.5μmである。
導電性ペーストを塗布する方法には特に制限はない。例えば、スクリーン印刷法などの各種印刷法により塗布することができる。
導電パターンが形成されていない複数のセラミックグリーシート、導電パターンが形成されたセラミックグリーンシート、および導電パターンが形成されていない複数のセラミックグリーンシートをこの順で積層し、積層方向にプレスすることにより、マザー積層体を作製する。
マザー積層体上の仮想のカットラインに沿ってマザー積層体をカットすることにより、複数のグリーンのセラミック素体を作製する。なお、マザー積層体のカッティング方法には特に制限はない。例えば、ダイシングや押切りによる方法が挙げられる。さらに、カッティングにより得られたグリーンのセラミック素体に対してバレル研磨などを施し、グリーンのセラミック素体の稜線部や角部を丸めてもよい。
グリーンのセラミック素体を焼成することにより、セラミック素体10が得られる。焼成時の焼成温度には特に制限はなく、セラミック材料および導電性ペーストの材料に応じて適宜選択すればよい。例えば、1100℃〜1400℃としてもよい。
焼成後のセラミック素体10の両端面10aからセラミック素体10の各側面10bにかかるように端子ペーストを塗布し、乾燥し、焼き付けることにより、下地電極層4aを形成する。また、上記の工程中に適宜、ブロットにより端子ペーストを吸い取ってもよい。端子ペーストの材質は、目的とする下地電極層4aの材質に応じて適宜選択する。すなわち、端子ペーストは少なくともCuを含む。さらに、ガラスフリットを含んでいてもよい。ガラスフリットのサイズには特に制限はなく、目的とするSaveの値に応じて適宜選択してよい。端子ペーストは、さらに公知の樹脂および/または公知の溶剤を適宜含んでいてもよい。端子ペーストを塗布する方法には特に制限はない。例えば、ディッピング、印刷工法などの方法が挙げられる。
ここで、端子ペースト自体のレオロジーを利用することで、θを適宜制御することができる。また、端子ペーストに含まれる溶剤や樹脂の粘性、塗布から乾燥までの時間、ブロットによる端子ペーストの吸収量を制御することでも、θを適宜制御することができる。
金属ペーストの焼付け温度には特に制限はない。例えば、700〜900℃であってもよい。
次に、下地電極層4a上に、中間電極層4bを形成する。中間電極層4bの形成方法には特に制限はない。例えば、バレルめっき、スパッタなどの方法が挙げられる。バレルめっきにより中間電極層を形成する場合において、電解めっきによりバレルめっきを行ってもよく、無電解めっきによりバレルめっきを行ってもよい。また、中間電極層4bが2層以上からなる場合には、中間電極層4bの形成を2回以上、繰り返せばよい。
以下、電解めっきによるバレルめっきによって中間電極層4bを形成する方法を説明する。
下地電極層4aを形成したセラミック素体10および金属メディアをバレル容器に充填する。この際に、セラミック素体10および金属メディアの合計体積がバレル容器の容量の10〜50%になるようにしてもよい。また、セラミック素体10および金属メディアの総量に対するセラミック素体10の配合量が5〜70%となるようにしてもよい。さらに、バレル容器を5〜20rpmで回転させてもよい。
また、下地電極層4aの形成時にθを小さくし、具体的には3°≦θ≦30°に制御することで、めっき時の電流が下地電極層4aの延長部の先端(P2)近傍に集中しやすくなる。その結果、t1と比較してt2を長くしやすくなり、1.20≦t2/t1≦4.50としやすくなる。さらに、めっき液に含まれる緩衝剤(例えばホウ酸)の量や通電条件等を制御することでもめっき時の電流が下地電極層4aの延長部の先端近傍に集中しやすくなる。具体的には、めっき液に含まれる緩衝剤の量が少なく、通電時の電流値が高いほどめっき時の電流が下地電極層4aの延長部の先端近傍に集中しやすくなる。
次に、中間電極層4b上に、上層電極層4cを形成することにより、積層セラミックコンデンサ1を作成する。 上層電極層43の形成方法には特に制限はない。例えば、バレルめっき、スパッタなどの方法が挙げられる。バレルめっきにより中間電極層を形成する場合において、電解めっきによりバレルめっきを行ってもよく、無電解めっきによりバレルめっきを行ってもよい。
図4に示す積層セラミックコンデンサ1の実装構造については、導電性接着剤を用いる周知の方法により製造することができる。
導電性接着剤により接合される外部電極延長部においてt2/t1が1.20以上であることにより、図4のZ軸方向の寸法を小さくしつつ、導電性接着剤と外部電極4との間で発生する銅害を抑制することができる。銅害を抑制することができるために実装信頼性を向上させることができる。
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。例えば、本発明に係る積層電子部品を多層基板に埋め込むことで多層基板に実装する実施形態が挙げられる。
以下、本発明の実施例を挙げ、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。
積層セラミックコンデンサ用のセラミック素体として、CaZrOを主成分とするセラミック層と、Niを含む内部電極層とを有するセラミック素体を準備した。この際に、互いにチップサイズの異なる3種類のセラミック素体を準備した。具体的には、(X軸方向の長さ)×(Y軸方向の長さ)×(Z軸方向の長さ)が、1.6mm×0.8mm×0.8mm、0.6mm×0.3mm×0.3mm、3.2mm×1.6mm×1.6mmの3種類の直方体形状のセラミック素体を準備した。表1、表3に記載のコンデンサ試料のチップサイズは全て1.6mm×0.8mm×0.8mmである。表2には各コンデンサ試料のチップサイズを示した。
焼成後のセラミック素体の両端面からセラミック素体の全側面の一部にCuおよびガラスフリットを含む金属ペーストを塗布した。金属ペーストの塗布はディッピングにより行った。金属ペーストの塗布後に乾燥し、焼き付けることで、下地電極層を形成した。金属ペーストの焼き付け温度は、700℃〜900℃とした。金属ペーストに含まれるガラスフリットのサイズは、表1、表3に示す試料ではSaveが3.0μmとなるようにした。表2に示す試料ではSaveが表2に示す値となるようにした。
各試料のt3、t4およびθは、端子ペースト自体のレオロジーを利用して制御した。具体的には、金属ペーストの粘性、ディッピング後に乾燥させるまでの時間、ブロットによる下地電極層の吸収により制御した。金属ペーストの粘性は、金属ペーストに含まれる溶剤および樹脂の種類および含有量を制御することで制御した。
次に、試料No.10b、10cを除く各試料では、緩衝剤としてホウ酸を含むワット浴を用いるバレルめっきにより、中間電極層としてNiめっき層を形成した。なお、メディアサイズはφ1.0mmとした。
中間電極層形成時のバレルめっきの電流値およびめっき時間を制御することでt2/t1が表1〜表3に記載された値になるように制御した。例えば、表1の試料No.5は表1の試料No.3と比較して電流値を1.8倍とし、めっき時間を0.5倍とした試料である。また、表1の試料No.6は表1の試料No.7と比較して電流値を1.8倍とし、めっき時間を0.5倍とした試料である。
試料No.10、11、12では、電解めっき用Pd浴を用いるバレルめっきにより、上記のNiめっき層の上に、中間電極層としてPdめっき層を形成した。なお、試料No.10〜12では、最大厚み部におけるNiめっき層の厚みが7.5μm、Pdめっき層の厚みが0.15μmとなるようにした。なお、メディアサイズはφ1.0mmとし、めっき時間は10〜20分とした。
試料No.10aでは、電解めっきにより、上記のNiめっき層の上に、中間電極層としてPtめっき層を形成した。試料No.10aでは、最大厚み部におけるNiめっき層の厚みが7.5μm、Pdめっき層の厚みが0.15μmとなるようにした。なお、メディアサイズはφ1.0mmとし、めっき時間は10〜20分とした。
試料No.10bでは、下地電極層の上に中間電極層としてPdめっき層を形成し、次いでPdめっき層の上に中間電極層としてNiめっき層を形成した。試料No.10cでは、下地電極層の上に中間電極層としてPtめっき層を形成し、次いでPtめっき層の上に中間電極層としてNiめっき層を形成した。最大厚み部におけるPdめっき層およびPtめっき層の厚みが0.15μm、Niめっき層の厚みが7.5μmとなるようにした。メディアサイズは他の実施例におけるNiめっき、Pdめっき、Ptめっき時のメディアサイズと同様とした。
次に、試料No.1〜12、20〜34では、電解めっきにより上層電極層としてAuめっき層を形成した。試料No.13〜19では、電解めっき用Pd浴を用いるバレルめっきにより、上層電極層としてPdめっき層を形成した。試料No.41では、電解めっきにより、上層電極層としてAu−Pd−Ni合金めっき層を形成した。試料No.42では、電解めっきにより、上層電極層としてAu−Pd合金めっき層を形成した。試料No.43では、電解めっきにより、上層電極層としてPtめっき層を形成した。試料No.44では、電解めっきにより、上層電極層としてSnめっき層を形成した。また、t5が表1〜表3に示す値となるようにした。メディアサイズはφ1.0mmとした。めっき時間は8〜25分とした。
次に、各コンデンサ試料を、実装基板上に実装固定した。実装基板はアルミナからなり、Cuを含む一対のランドを含む。具体的には、各コンデンサ試料の外部電極延長部と一対のランドとを導電性接着剤を用いて接合させた。導電性接着剤は、エポキシ系銀導電性接着剤を用いた。一対のランド上に導電性接着剤を塗布し、導電性接着剤上に外部電極延長部を設置し、150℃で60分加熱することで、各コンデンサ試料を実装固定した。
以下、本実施例におけるt1〜t5、θ、Saveの測定方法について説明する。表1〜表3の各コンデンサ試料について、図1〜図4のY軸方向に沿って、Z−X面に平行に、コンデンサ試料のY軸方向中央部まで断面研磨した。
次に、断面における片側の外部電極の外部電極延長部のうち、実装面側における外部電極延長部について、デジタルマイクロスコープ(倍率2000倍)およびSEM(倍率5000倍)を用いて観察し、t1〜t5、θ、Saveを算出した。各試料におけるt1〜t5、θ、Saveを表1〜表3に示す。なお、Saveについては、下地電極層と中間電極層との境界における外部電極延長部に含まれるガラス相のうち境界における長さが1μm未満であるガラスを除外した上で、少なくとも20個のガラス相について境界における長さを測定し、平均した。
<クラック不良>
上記の光学顕微鏡によりクラックの有無を観察した。20個中何個のコンデンサ試料がクラックを有するかについて、表1〜表3に示す。なお、クラックを有するコンデンサ試料の割合が20個中0個である場合を良好とした。
<(t1+t3)増加率>
外部電極最大厚み部における厚みは(t1+t3)で表される。ここで、チップサイズが1.6mm×0.8mm×0.8mmである試料No.1〜26において、試料No.7の(t1+t3)を基準とした場合におけるt1+t3の増加率を表1、表2に示す。(t1+t3)の増加率が5.0%未満である場合を良好とした。(t1+t3)が5.0%以上である場合には、外部電極が厚くなり過ぎ、小型化に支障を来たす。
<熱衝撃サイクル試験>
20個のコンデンサ試料を実装基板に実装固定した状態で熱衝撃サイクル試験を行った。気槽−55℃での30分保持および気槽150℃での30分保持の繰り返しを2000サイクル実施し、その後、85℃、85%RHで50Vの電圧を200時間かけた。なお、上記のクラック不良が20個中1個以上である場合については熱衝撃サイクル試験を行わなかった。
熱衝撃サイクル試験の実施後に、コンデンサ試料を基板実装面に対して垂直に、かつコンデンサ試料のY軸方向に沿って、Z−X面に平行に、コンデンサ試料のY軸方向中央部まで断面研磨した。そして、研磨面において導電性接着剤と外部電極(上層電極層)との間に剥離が生じているか否かを観察し、剥離が生じているコンデンサ試料の割合を算出した。なお、観察は金属顕微鏡を用いて100〜500倍の倍率で行った。結果を表1〜表3に示す。剥離が生じているコンデンサ試料の割合が20%以下である場合を良好とし、0%である場合をさらに良好とした。なお、熱衝撃サイクル試験の結果が良好である場合には、実装信頼性も良好である。
Figure 0006904383
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表1の試料No.2a、1〜4、7は主に端子ペースト乾燥条件および端子ペースト粘度を変化させることで、t3を15.0μmに維持しつつ、t2/t1、t4およびθを変化させた実施例および比較例である。なお、θを3°未満とすることは困難であった。所定の範囲内で各パラメータを変化させた試料No.2a、1〜4は、実装前のコンデンサ試料にクラックが発生せず、熱衝撃サイクル試験の結果も良好であった。これに対し、t2/t1が小さくなりすぎた試料No.7は、熱衝撃サイクル試験の結果が良好ではなかった。
表1の試料No.5、5aは試料No.3から中間層めっき条件を変化させることでt2を変化させた実施例である。所定の範囲内で各パラメータを変化させた試料No.5では実装前のコンデンサ試料にクラックが発生せず、熱衝撃サイクル試験の結果も良好であった。これに対し、t2/t1が大きすぎた試料No.5aは実装前のコンデンサ試料にクラックが発生した。
表1の試料No.6は試料No.7から中間層めっき条件を変化させることでt2を変化させた実施例である。t2/t1等のパラメータが所定の範囲内である試料No.6は実装前のコンデンサ試料にクラックが発生せず、熱衝撃サイクル試験の結果も良好であった。
表1の試料No.8、9は主に端子ペースト乾燥条件および端子ペースト粘度を変化させることで試料No.7からt1およびt2をさらに大きくし、t4を小さくしてθを大きくした比較例である。試料No.8はt1が大きくなり中間電極層および上層電極層が厚くなったために実装前のコンデンサ試料にクラックが発生せず、熱衝撃サイクル試験の結果も良好であった。しかし、(t1+t3)が大きくなり過ぎ小型化に支障を来たす。試料No.9は試料No.8よりもさらにt1が大きくなり中間電極層および上層電極層が厚くなったため、実装前のコンデンサ試料にクラックが発生した。
表1の試料No.10、11、12は中間電極層をNiめっき層とPdめっき層との2層構造とし、Pdめっき層の厚さの分だけ上層電極層であるAuめっき層の厚さを薄くした実施例および比較例である。所定の範囲内で各パラメータを変化させた試料No.10、11は実装前のコンデンサ試料にクラックが発生せず、熱衝撃サイクル試験の結果も良好であった。これに対し、t2/t1が小さくなりすぎた試料No.12は、熱衝撃サイクル試験の結果が良好ではなかった。
表1の試料No.10aは試料No.10からPdめっき層をPtめっき層に変更した実施例である。試料No.10bは試料No.10からPdめっき層とNiめっき層との順番を入れ替えた実施例である。試料No.10cは試料No.10aからPtめっき層とNiめっき層との順番を入れ替えた実施例である。いずれの実施例も実装前のコンデンサ試料にクラックが発生せず、熱衝撃サイクル試験の結果も良好であった。
表1の試料No.13〜19は、表1の試料No.1〜4および7〜9のそれぞれについて、上層電極層をPdめっき層に変更した実施例および比較例である。表1の試料No.1〜4について上層電極層を変更した試料No.13〜16は、試料No.1〜4と同様に良好な結果となった。これに対し、表1の試料No.7〜9について上層電極層をPdめっき層に変更した試料No.17〜19は、試料No.7〜9と同様に良好な結果となった。ただし、上層電極層がAuめっき層である実験例と、上層電極層がPdめっき層である実験例と、を比較すると、上層電極層がAuめっき層である方が熱衝撃サイクル試験の結果が良好になりやすい。
表2の試料No.20a、20〜22は、上層電極層であるAuめっき層の厚さを表1の試料No.3から変化させた実施例である。Auめっき層の厚さを変化させても所定の範囲内で各パラメータを変化させた試料No.20a、20〜22は実装前のコンデンサ試料にクラックが発生せず、熱衝撃サイクル試験の結果も良好であった。ただし、試料No.22は、上層電極層が薄いために熱衝撃サイクル試験によりピンホールが発生し、腐食およびピンホールを起点としたクラックが見られた。
表2の試料No.23a、25a、23〜26は、ガラスフリットのサイズを変化させてSaveを変化させた実施例である。1.40≦t1/Save≦4.00を満たす試料No.25a、23〜25は、t1/Save>4.00を満たす試料No.23aおよびt1/Save<1.40を満たす試料No.26と比較して、熱衝撃サイクル試験の結果が良好であった。試料No.23aはガラス相のサイズに対するt1が大きいため、応力が増大し、熱衝撃サイクル試験の結果が試料No.25a、23〜25と比較して良好ではなかった。試料No.26はガラス相のサイズに対するt1が小さいため、熱衝撃サイクル試験によりピンホールが発生し、腐食およびピンホールを起点としたクラックが見られた。
表2の試料No.27〜30は、チップサイズを0.6mm×0.3mm×0.3mmとし、さらにNiめっき時間を変化させることでt1、t2を変化させた実施例である。1.40≦t1/Save≦4.00を満たす試料No.28〜30は、t1/Save<1.40を満たす試料No.27と比較して、熱衝撃サイクル試験の結果が良好であった。試料No.27はガラス相のサイズに対するt1が小さいため、熱衝撃サイクル試験によりピンホールが発生し、腐食およびピンホールを起点としたクラックが見られた。
表2の試料No.31〜34は、チップサイズを3.2mm×1.6mm×1.6mmとし、さらにNiめっき時間を変化させることでt1、t2を変化させた実施例である。1.40≦t1/Save≦4.00を満たす試料No.32〜34は、t1/Save<1.40を満たす試料No.31と比較して、熱衝撃サイクル試験の結果が良好であった。試料No.31はガラス相のサイズに対するt1が小さいため、熱衝撃サイクル試験によりピンホールが発生し、腐食およびピンホールを起点としたクラックが見られた。
表3の試料No.41〜44は、試料No.2aについて、上層電極層の種類を変化させた実施例および比較例である。上層電極層がCuより標準電極電位が高い元素を含む試料No.41〜43は実装前のコンデンサ試料にクラックが発生せず、熱衝撃サイクル試験の結果も良好であった。これに対し、上層電極層がCuより標準電極電位が高い元素を含まない試料No.44では、ガルバニック腐食しやすく、熱衝撃サイクル試験後の剥離率の悪化が見られた。
1・・・積層セラミックコンデンサ
2・・・セラミック層
3・・・内部電極層
4・・・外部電極
4a・・・下地電極層
4b・・・中間電極層
4c・・・上層電極層
10・・・セラミック素体
10a・・・(セラミック素体の)端面
10b・・・(セラミック素体の)側面
30・・・ガラス相
31a、31b・・・ガラス相と境界との交点
41・・・実装基板
43・・・ランド
45・・・導電性接着剤
101・・・積層セラミックコンデンサの実装構造

Claims (8)

  1. 第1軸および第2軸を含む平面に実質的に平行なセラミック層と内部電極層とが第3軸の方向に沿って交互に積層されたセラミック素体と、前記セラミック素体の第1軸の方向の端面に形成された外部電極と、を有する積層電子部品であって、
    前記外部電極は、前記内部電極層の少なくとも一部と電気的に接続するように前記セラミック素体の端面に直接に形成された下地電極層と、前記下地電極層の外面に形成された中間電極層と、前記中間電極層の外面に形成された上層電極層と、を有し、
    前記下地電極層はCuを含み、
    前記中間電極層はNiを含み、
    前記上層電極層はCuより標準電極電位が高い元素を含み、
    前記外部電極は、
    前記セラミック素体の前記第1軸の方向の端面を覆う外部電極端面部と、
    前記セラミック素体の前記第2軸および前記第3軸の方向に相互に向き合う側面の一部を覆う外部電極延長部と、を一体的に有し、
    前記外部電極延長部において前記外部電極の厚みが最大となる部分を外部電極最大厚み部とし、前記外部電極最大厚み部における前記上層電極層の厚みと前記中間電極層の厚みとの合計厚みをt1とし、
    前記外部電極延長部における前記下地電極層の先端から前記上層電極層の先端までの前記第1軸の方向の長さをt2として、
    1.20≦t2/t1≦4.50を満たし、
    前記第1軸と、前記第3軸と、を含む前記外部電極の切断面において、前記外部電極延長部にガラス相が存在し、前記下地電極層と前記中間電極層との境界における前記外部電極延長部に含まれるガラス相の長さの平均をS ave として、
    1.40≦t1/S ave ≦4.00を満たす積層電子部品。
  2. 前記外部電極最大厚み部における下地電極の厚みをt3とし、
    前記下地電極層の先端から前記下地電極層の厚みが0.5×t3となる部分までの前記第1軸の方向の長さをt4とし、
    (0.5×t3)/t4=tanθとした場合に、
    3°≦θ≦30°を満たす請求項1に記載の積層電子部品。
  3. 前記外部電極最大厚み部における前記上層電極層の厚みをt5として、
    0.003≦t5/t1≦0.130を満たす請求項1または2に記載の積層電子部品。
  4. 前記上層電極層が、Cuより標準電極電位が高い元素として、AuおよびPdから選択される1種以上を含む請求項1〜のいずれかに記載の積層電子部品。
  5. 積層電子部品と、前記積層電子部品が実装固定されている実装基板と、を有する積層電子部品の実装構造であって、
    前記積層電子部品は第1軸および第2軸を含む平面に実質的に平行なセラミック層と内部電極層とが第3軸の方向に沿って交互に積層されたセラミック素体と、前記セラミック素体の第1軸の方向の端面に形成された外部電極と、を有し、
    前記外部電極は、前記内部電極層の少なくとも一部と電気的に接続するように前記セラミック素体の端面に直接に形成された下地電極層と、前記下地電極層の外面に形成された中間電極層と、前記中間電極層の外面に形成された上層電極層と、を有し、
    前記下地電極層はCuを含み、
    前記中間電極層はNiを含み、
    前記上層電極層はCuより標準電極電位が高い元素を含み、
    前記外部電極は、
    前記セラミック素体の前記第1軸の方向の端面を覆う外部電極端面部と、
    前記セラミック素体の前記第2軸および前記第3軸の方向に相互に向き合う側面の一部を覆う外部電極延長部と、を一体的に有し、
    前記実装基板は電気的に接続された一対のランドを含み、
    前記外部電極延長部と前記一対のランドとが導電性接着剤により接合されており、
    前記導電性接着剤により接合された前記外部電極延長部において前記外部電極の厚みが最大となる部分を外部電極最大厚み部とし、前記外部電極最大厚み部における前記上層電極層の厚みと前記中間電極層の厚みとの合計厚みをt1とし、
    前記導電性接着剤により接合された前記外部電極延長部における前記下地電極層の先端から前記上層電極層の先端までの前記第1軸の方向の長さをt2として、
    1.20≦t2/t1≦4.50を満たし、
    前記第1軸と、前記第3軸と、を含む前記外部電極の切断面において、前記外部電極延長部にガラス相が存在し、前記下地電極層と前記中間電極層との境界における前記外部電極延長部に含まれるガラス相の長さの平均をS ave として、
    1.40≦t1/S ave ≦4.00を満たす積層電子部品の実装構造。
  6. 前記外部電極最大厚み部における下地電極の厚みをt3とし、
    前記下地電極層の先端から前記下地電極層の厚みが0.5×t3となる部分までの前記第1軸の方向の長さをt4とし、
    (0.5×t3)/t4=tanθとした場合に、
    3°≦θ≦30°を満たす請求項に記載の積層電子部品の実装構造。
  7. 前記外部電極最大厚み部における前記上層電極層の厚みをt5として、
    0.003≦t5/t1≦0.130を満たす請求項5または6に記載の積層電子部品の実装構造。
  8. 前記上層電極層が、Cuより標準電極電位が高い元素として、AuおよびPdから選択される1種以上を含む請求項5〜7のいずれかに記載の積層電子部品の実装構造。
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