JP6899041B1 - めっき装置及びめっき液の撹拌方法 - Google Patents
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Abstract
Description
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係るめっき装置は、めっき液を貯留するとともに、内部にアノードが配置されためっき槽と、前記アノードよりも上方に配置されて、カソードとしての基板を保持する基板ホルダと、前記基板ホルダを回転させる回転機構と、前記基板ホルダに配置されて、前記基板ホルダが回転した場合に前記基板ホルダとともに回転するホルダーカバーと、を備え、前記ホルダーカバーは、前記めっき液に浸漬されるとともに前記基板の被めっき面よりも下方に位置する下面を有し、前記ホルダーカバーの前記下面には、前記ホルダーカバーの回転方向に対して交差する方向に延在する少なくとも一つのカバー溝が設けられている。
上記態様1において、前記ホルダーカバーは、下面視で、リング形状を有していてもよい。
上記態様1又は2は、前記めっき槽の前記内部における前記基板よりも下方且つ前記アノードよりも上方の箇所に配置されて、前記基板よりも下方側から前記基板に向けて流動する前記めっき液に乱流を発生させる乱流発生部材をさらに備えていてもよい。
上記態様3において、前記乱流発生部材は、前記乱流発生部材の下端と前記乱流発生部材の上端とを連通して、前記基板に向かう前記めっき液が流動する内部流路を有し、前記内部流路は、前記乱流発生部材の下面視で、アルキメデスの螺旋形状を有していてもよい。
上記態様4において、前記内部流路には、前記内部流路を流動する前記めっき液に乱流を発生させる突起が設けられていてもよい。
上記態様4又は5において、前記乱流発生部材は、前記基板にめっき処理を施すめっき処理時に、前記乱流発生部材の前記上端が、前記基板の前記被めっき面との間に隙間を有しつつ前記ホルダーカバーの前記下面よりも上方に位置するように構成されていてもよい。
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係るめっき液の撹拌方法は、上記態様1〜6のいずれか1態様に係るめっき装置の前記めっき液の撹拌方法であって、前記基板にめっき処理を施すめっき処理時に、前記ホルダーカバーの前記下面が前記めっき液に浸漬された状態で前記回転機構によって前記基板ホルダを回転させることを含む。
ホルダーカバー50の構成は、前述した図5等で説明した構成に限定されるものではない。以下、ホルダーカバー50の変形例について説明する。図8(A)は、実施形態の変形例1に係るホルダーカバー50Aの模式的下面図である。本変形例に係るホルダーカバー50Aは、下面視で、カバー溝51Aの溝壁部52Aが円弧状になっている点において、図5に示すホルダーカバー50と異なっている。本変形例においても、前述した実施形態に係るホルダーカバー50と同様の作用効果を奏することができる。
図8(B)は、実施形態の変形例2に係るホルダーカバー50Bの模式的下面図である。本変形例に係るホルダーカバー50Bは、カバー溝51Aがホルダーカバー50Bの下面50aの一部分にのみ設けられている点において、図8(A)に示すホルダーカバー50Aと異なっている。具体的には、本変形例に係るカバー溝51Aは、一例として、ホルダーカバー50Bの下面視でホルダーカバー50Bの中心線L1を挟んだ一方の側にのみ設けられている。本変形例においても、前述した変形例1に係るホルダーカバー50Aと同様の作用効果を奏することができる。
上述した実施形態において、乱流発生部材60の断面形状は、図4等で例示した構成に限定されるものではない。以下、乱流発生部材60の変形例について説明する。
図9(B)は、実施形態の変形例4に係る乱流発生部材60Bの模式的断面図である。本変形例に係る乱流発生部材60Bは、流路壁部60dにおける突起62と上端60bとの間の部分、及び、突起62と下端60aとの間の部分が曲面形状を有する点において、主として、図9(A)に示す乱流発生部材60Aと異なっている。また、乱流発生部材60Bは、上端60b及び下端60aが尖った形状を有する点においても、図9(A)に示す乱流発生部材60Aと異なっている。
図10(A)は、実施形態の変形例5に係る乱流発生部材60Cの模式的断面図である。本変形例に係る乱流発生部材60Cは、流路壁部60dに突起62が設けられておらず、流路壁部60dが上下方向に延在する平面になっている点と、流路壁部60cにおける突起62と上端60bとの間の部分、及び、突起62と下端60aとの間の部分が傾斜面になっている点とにおいて、主として、図9(B)に示す乱流発生部材60Bと異なっている。
図10(B)は、実施形態の変形例6に係る乱流発生部材60Dの模式的断面図である。本変形例に係る乱流発生部材60Dは、流路壁部60dにおける突起62と上端60bとの間の部分、及び、突起62と下端60aとの間の部分が曲面形状を有する点において、主として、図9(A)に示す乱流発生部材60Aと異なっている。本変形例においても、変形例3に係る乱流発生部材60Aと同様の作用効果を奏することができる。
図11(A)は、実施形態の変形例7に係る乱流発生部材60Eの模式的断面図である。本変形例に係る乱流発生部材60Eは、突起62が流路壁部60cにおける上下方向の中央部に設けられている点と、流路壁部60cにおける突起62と上端60bとの間の部分、及び、突起62と下端60aとの間の部分に、それぞれ段差63が設けられている点と、において、主として、図4に示す乱流発生部材60と異なっている。本変形例においても、流路壁部60cの突起62によって、乱流を効果的に発生させることができる。
図11(B)は、実施形態の変形例8に係る乱流発生部材60Fの模式的断面図である。本変形例に係る乱流発生部材60Fは、流路壁部60cの突起62が、流路壁部60dの上下方向の中央部に設けられている点と、この突起62の基端部(流路壁部60cとの境界部)が曲面64になっている点とにおいて、主として、図4に示す乱流発生部材60と異なっている。本変形例においても、乱流発生部材60と同様の作用効果を奏することができる。
図12は、実施形態の変形例9に係る乱流発生部材60Gの模式的断面図である。本変形例に係る乱流発生部材60Gは、流路壁部60cに突起62を備えておらず、この結果、流路壁部60cが平坦な平面になっている点において、図4に示す乱流発生部材60と異なっている。本変形例においても、図7で説明したように、乱流発生部材60Gの上端60bによって、乱流を発生させることができる。
11 アノード
18 抵抗体
30 基板ホルダ
40 回転機構
50 ホルダーカバー
50a 下面
51 カバー溝
60 乱流発生部材
60a 下端
60b 上端
61 内部流路
60c,60d 流路壁部
62 突起
80 隙間
Wf 基板
Wfa 被めっき面
Ps めっき液
Claims (7)
- めっき液を貯留するとともに、内部にアノードが配置されためっき槽と、
前記アノードよりも上方に配置されて、カソードとしての基板を保持する基板ホルダと、
前記基板ホルダを回転させる回転機構と、
前記基板ホルダに配置されて、前記基板ホルダが回転した場合に前記基板ホルダとともに回転するホルダーカバーと、を備え、
前記ホルダーカバーは、前記めっき液に浸漬されるとともに前記基板の被めっき面よりも下方に位置する下面を有し、
前記ホルダーカバーの前記下面には、前記ホルダーカバーの回転方向に対して交差する方向に延在する少なくとも一つのカバー溝が設けられている、めっき装置。 - 前記ホルダーカバーは、下面視で、リング形状を有する、請求項1に記載のめっき装置。
- 前記めっき槽の前記内部における前記基板よりも下方且つ前記アノードよりも上方の箇所に配置されて、前記基板よりも下方側から前記基板に向けて流動する前記めっき液に乱流を発生させる乱流発生部材をさらに備える、請求項1又は2に記載のめっき装置。
- 前記乱流発生部材は、前記乱流発生部材の下端と前記乱流発生部材の上端とを連通して、前記基板に向かう前記めっき液が流動する内部流路を有し、
前記内部流路は、前記乱流発生部材の下面視で、アルキメデスの螺旋形状を有している、請求項3に記載のめっき装置。 - 前記内部流路には、前記内部流路を流動する前記めっき液に乱流を発生させる突起が設けられている、請求項4に記載のめっき装置。
- 前記乱流発生部材は、前記基板にめっき処理を施すめっき処理時に、前記乱流発生部材の前記上端が、前記基板の前記被めっき面との間に隙間を有しつつ前記ホルダーカバーの前記下面よりも上方に位置するように構成されている、請求項4又は5に記載のめっき装置。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載のめっき装置の前記めっき液の撹拌方法であって、
前記基板にめっき処理を施すめっき処理時に、前記ホルダーカバーの前記下面が前記めっき液に浸漬された状態で前記回転機構によって前記基板ホルダを回転させることを含む、めっき液の撹拌方法。
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