JP6959474B1 - めっき装置及び気泡除去方法 - Google Patents
めっき装置及び気泡除去方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6959474B1 JP6959474B1 JP2021145546A JP2021145546A JP6959474B1 JP 6959474 B1 JP6959474 B1 JP 6959474B1 JP 2021145546 A JP2021145546 A JP 2021145546A JP 2021145546 A JP2021145546 A JP 2021145546A JP 6959474 B1 JP6959474 B1 JP 6959474B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- plating
- convex portion
- dummy substrate
- resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/001—Apparatus specially adapted for electrolytic coating of wafers, e.g. semiconductors or solar cells
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
- C25D21/04—Removal of gases or vapours ; Gas or pressure control
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/06—Suspending or supporting devices for articles to be coated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
- C25D21/10—Agitating of electrolytes; Moving of racks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
- C25D21/12—Process control or regulation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D5/00—Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
- C25D5/04—Electroplating with moving electrodes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係るめっき装置は、めっき液を貯留するとともに多孔質の抵抗体が内部に配置されためっき槽と、前記抵抗体よりも上方に配置されて、ダミー基板を保持する基板ホルダと、前記基板ホルダを回転させる回転機構と、前記基板ホルダを昇降させる昇降機構と、を備え、前記ダミー基板の下面には、当該下面から下方に突出した少なくとも一つの凸部が設けられ、前記基板ホルダは、前記ダミー基板の下面の外周縁よりも下方に突出したリングを有し、前記凸部の下面は、前記リングの下面よりも下方に位置し、前記昇降機構が前記基板ホルダを下降させて前記ダミー基板の前記凸部を前記抵抗体よりも上方に位置させた状態で且つ前記凸部を前記めっき槽のめっき液に浸漬させた状態で、前記回転機構が前記基板ホルダを回転させるように構成されている。
上記の態様1において、前記凸部が前記リングと接触しないように、前記凸部と前記リ
ングとの間に空間が設けられていてもよい。
上記の態様1又は2において、前記ダミー基板の下面からの前記凸部の突出高さは、1mm以上100mm以下の範囲から選択された値であってもよい。
上記の態様1〜3のいずれか1態様において、前記凸部は、前記ダミー基板の下面の径方向に延在していてもよい。
上記の態様4において、前記凸部は、前記凸部の少なくとも一部に、前記ダミー基板の周方向に湾曲した湾曲部を有していてもよい。
上記の態様1〜3のいずれか1態様において、前記凸部は、前記ダミー基板の下面の中心から前記ダミー基板の下面の外周縁に向けて前記ダミー基板の下面の径方向に延在した第1部位と、前記第1部位における前記外周縁の側の端部に接続し、且つ、前記第1部位に対して傾斜した第2部位と、を有していてもよい。
上記の態様1〜3のいずれか1態様において、前記ダミー基板の前記下面を複数の仮想同心円で分割した場合に、複数の仮想同心円によって分割された各々の領域に、前記凸部が少なくとも一つずつ配置されていてもよい。
上記の態様1〜7のいずれか1態様において、前記基板ホルダは、基板にめっき処理を施すめっき処理時においては前記基板を保持し、前記抵抗体に滞留した気泡を除去する気泡除去時においては前記ダミー基板を保持するように構成され、前記昇降機構は、前記気泡除去時において、前記基板ホルダを前記めっき処理時の場合よりも上方に位置させてもよい。
上記の態様1〜8のいずれか1態様において、前記昇降機構は、前記ダミー基板の前記凸部を前記めっき槽のめっき液に浸漬させる際に、前記ダミー基板の下面のうち前記凸部が設けられていない部分も前記めっき槽のめっき液に浸漬させてもよい。
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る気泡除去方法は、めっき液を貯留するとともに多孔質の抵抗体が内部に配置されためっき槽の前記抵抗体に滞留した気泡を除去する気泡除去方法であって、下方に突出した少なくとも一つの凸部が設けられた下面を有するダミー基板を、基板ホルダに保持させること、前記ダミー基板を保持した前記基板ホルダを下降させて、前記凸部が前記抵抗体よりも上方に位置した状態で前記凸部を前記めっき槽のめっき液に浸漬させること、及び、前記ダミー基板の前記凸部が前記抵抗体よりも上方に位置した状態で且つ前記凸部が前記めっき槽のめっき液に浸漬された状態で前記基板ホルダを回転させること、を含み、前記基板ホルダは、前記ダミー基板の下面の外周縁よりも下方に突出したリングを有し、前記凸部の下面は、前記リングの下面よりも下方に位置している。
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の実施形態や実施形態の変形例では、同一又は対応する構成について、同一の符号を付して説明を適宜省略する場合がある。また、図面は、構成要素の特徴の理解を容易にするために模式的に図示されており、各構成要素の寸法比率等は実際のものと同じであるとは限らない。また、いくつかの図面には、参考用として、X−Y−Zの直交座標が図示されている。この直交座標のうち、Z方向は上方に相当し、−Z方向は下方(重力が作用する方向)に相当する。
0、洗浄モジュール500、スピンリンスドライヤ600、搬送装置700、及び、制御モジュール800を備える。
200へ搬送する。プリウェットモジュール200は、基板にプリウェット処理を施す。搬送装置700は、プリウェット処理が施された基板をプリソークモジュール300へ搬送する。プリソークモジュール300は、基板にプリソーク処理を施す。搬送装置700は、プリソーク処理が施された基板をめっきモジュール400へ搬送する。めっきモジュール400は、基板にめっき処理を施す。
構である。昇降機構50としては、直動式のアクチュエータ等の公知の昇降機構を用いることができる。
、ダミー基板Wfxの下面Wfaの径方向に延在している。
、基板ホルダ30が回転して凸部60が回転した場合に、この凸部60によって、めっき槽10のめっき液Psの液面が波打つことを抑制することができる。これにより、めっき槽10のめっき液Psの液はねが生じることを抑制することができる。
なお、上述した実施形態の気泡除去時において、ダミー基板Wfxの下面Wfaのうち、凸部60が設けられていない部分もめっき液Psに浸漬されているが、この構成に限定されるものではない。図8は、実施形態の変形例1に係るめっき装置1000Aの気泡除去時における凸部60の周辺構成の一部(A3部分)を拡大して示す模式的断面図である。図8に示すように、気泡除去時において、ダミー基板Wfxの下面Wfaのうち、凸部60が設けられていない部分はめっき液Psに浸漬されずに、凸部60のみがめっき液Psに浸漬されてもよい。
図9は、実施形態の変形例2に係るめっき装置1000Bのダミー基板Wfxの模式的下面図である。本変形例に係る凸部60Bは、下面Wfaの中心Ceから径方向で一方の側に向かってのみ延在している(すなわち、径方向で他方の側には延在していない)。換言すると、凸部60Bは、ダミー基板Wfxの下面Wfaの半径方向にのみ延在している。本変形例においても、前述した実施形態に係るめっき装置1000と同様の作用効果を奏することができる。
図10は、実施形態の変形例3に係るめっき装置1000Cのダミー基板Wfxの模式的下面図である。本変形例に係るダミー基板Wfxは、複数の凸部を備えている。この複数の凸部の個数は特に限定されるものではなく、2つでもよく、3つでもよく、4つ以上でもよい。本変形例では、一例として、複数の凸部は2つである。具体的には、本変形例に係る複数の凸部は、凸部60C−1及び凸部60C−2である。
図11は、実施形態の変形例4に係るめっき装置1000Dのダミー基板Wfxの模式的下面図である。本変形例に係るダミー基板Wfxの凸部60Dは、少なくとも一部に、ダミー基板Wfxの周方向に湾曲した湾曲部を有する点において、図6の凸部60と異なっている。具体的には、本変形例に係る凸部60Dは、湾曲部61a及び湾曲部61bを有している。
図12は、実施形態の変形例5に係るめっき装置1000Eのダミー基板Wfxの模式的下面図である。本変形例に係るダミー基板Wfxの凸部60Eは、第1部位62と、第2部位(第2部位63a及び第2部位63b)とを備えている。第1部位62は、ダミー基板Wfxの下面Wfaの中心Ceからダミー基板Wfxの外周縁に向けて、下面Wfaの径方向に延在した部位である。具体的には、本実施形態に係る第1部位62は、中心Ceからダミー基板Wfxの外周縁に向けて、下面Wfaの径方向で一方の側及び他方の側にそれぞれ延在している。
図13は、実施形態の変形例6に係るめっき装置1000Fのダミー基板Wfxの模式的下面図である。本変形例に係るダミー基板Wfxは、複数の凸部を有している。具体的には、本変形例に係る複数の凸部は、凸部60F−1、凸部60F−2、凸部60F−3、凸部60F−4、凸部60F−5である。
図14は、実施形態の変形例7に係るめっき装置1000Gのダミー基板Wfxの模式的下面図である。本変形例に係るダミー基板Wfxは、オリエンテーションフラットORF及びノッチNTをさらに備えている点で、図6に例示する実施形態に係るダミー基板Wfxと異なっている。
上述した実施形態や変形例1〜7において、ダミー基板Wfxを用いて気泡を除去した
後に、抵抗体12の下面に沿って超音波を発信させて、この超音波に基づいて、抵抗体12の下面に気泡が存在しているか否かを確認してもよい(以下、この工程を「気泡確認工程」と称する)。具体的には、前述した図7のステップS12を実行した後であって、ステップS13を実行する前に、この気泡確認工程を実行してもよい。本変形例に係るめっき装置1000Hの構成は以下のとおりである。
11 アノード
12 抵抗体
30 基板ホルダ
31 リング
40 回転機構
50 昇降機構
60 凸部
70 空間
1000 めっき装置
Wf 基板
Wfx ダミー基板
Ps めっき液
Bu 気泡
UL 超音波
Claims (13)
- めっき液を貯留するとともに多孔質の抵抗体が内部に配置されためっき槽と、
前記抵抗体よりも上方に配置されて、ダミー基板を保持する基板ホルダと、
前記基板ホルダを回転させる回転機構と、
前記基板ホルダを昇降させる昇降機構と、を備え、
前記ダミー基板の下面には、当該下面から下方に突出した少なくとも一つの凸部が設けられ、
前記基板ホルダは、前記ダミー基板の下面の外周縁よりも下方に突出したリングを有し、
前記昇降機構が前記基板ホルダを下降させて前記ダミー基板の前記凸部を前記抵抗体よりも上方に位置させた状態で且つ前記凸部を前記めっき槽のめっき液に浸漬させた状態で、前記回転機構が前記基板ホルダを回転させるように構成された、めっき装置。 - 前記凸部が前記リングと接触しないように、前記凸部と前記リングとの間に空間が設けられている、請求項1に記載のめっき装置。
- 前記ダミー基板の下面からの前記凸部の突出高さは、1mm以上100mm以下の範囲から選択された値である、請求項1又は2に記載のめっき装置。
- 前記凸部は、前記ダミー基板の下面の径方向に延在している、請求項1〜3のいずれか1項に記載のめっき装置。
- 前記凸部は、前記凸部の少なくとも一部に、前記ダミー基板の周方向に湾曲した湾曲部を有する、請求項4に記載のめっき装置。
- 前記凸部は、前記ダミー基板の下面の中心から前記ダミー基板の下面の外周縁に向けて前記ダミー基板の下面の径方向に延在した第1部位と、前記第1部位における前記外周縁の側の端部に接続し、且つ、前記第1部位に対して傾斜した第2部位と、を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載のめっき装置。
- 前記ダミー基板の前記下面を複数の仮想同心円で分割した場合に、複数の仮想同心円によって分割された各々の領域に、前記凸部が少なくとも一つずつ配置されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載のめっき装置。
- 前記基板ホルダは、基板にめっき処理を施すめっき処理時においては前記基板を保持し、前記抵抗体に滞留した気泡を除去する気泡除去時においては前記ダミー基板を保持するように構成され、
前記昇降機構は、前記気泡除去時において、前記基板ホルダを前記めっき処理時の場合よりも上方に位置させる、請求項1〜7のいずれか1項に記載のめっき装置。 - 前記昇降機構は、前記ダミー基板の前記凸部を前記めっき槽のめっき液に浸漬させる際に、前記ダミー基板の下面のうち前記凸部が設けられていない部分も前記めっき槽のめっき液に浸漬させる、請求項1〜8のいずれか1項に記載のめっき装置。
- 所定の載置場所に載置された前記ダミー基板を、前記抵抗体に滞留した気泡を除去する気泡除去時に、前記基板ホルダに搬送する搬送機構をさらに備え、
前記基板ホルダは、基板にめっき処理を施すめっき処理時においては前記基板を保持し、前記気泡除去時においては、前記搬送機構によって搬送された前記ダミー基板を保持するように構成される、請求項1に記載のめっき装置。 - 前記回転機構は、前記基板ホルダに保持された前記ダミー基板が前記抵抗体の上面に対して平行に回転するように、前記基板ホルダを回転させる、請求項1に記載のめっき装置。
- 前記凸部と前記リングとの間の水平方向の距離は、0mmよりも大きく1mm以下の範囲から選択された値である、請求項2に記載のめっき装置。
- めっき液を貯留するとともに多孔質の抵抗体が内部に配置されためっき槽の前記抵抗体に滞留した気泡を除去する気泡除去方法であって、
下方に突出した少なくとも一つの凸部が設けられた下面を有するダミー基板を、基板ホルダに保持させること、
前記ダミー基板を保持した前記基板ホルダを下降させて、前記凸部が前記抵抗体よりも上方に位置した状態で前記凸部を前記めっき槽のめっき液に浸漬させること、及び、
前記ダミー基板の前記凸部が前記抵抗体よりも上方に位置した状態で且つ前記凸部が前記めっき槽のめっき液に浸漬された状態で前記基板ホルダを回転させること、を含む、気泡除去方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021145546A JP6959474B1 (ja) | 2021-03-10 | 2021-09-07 | めっき装置及び気泡除去方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021538049A JP6944091B1 (ja) | 2021-03-10 | 2021-03-10 | めっき装置及び気泡除去方法 |
PCT/JP2021/009474 WO2022190242A1 (ja) | 2021-03-10 | 2021-03-10 | めっき装置及び気泡除去方法 |
JP2021145546A JP6959474B1 (ja) | 2021-03-10 | 2021-09-07 | めっき装置及び気泡除去方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021538049A Division JP6944091B1 (ja) | 2021-03-10 | 2021-03-10 | めっき装置及び気泡除去方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6959474B1 true JP6959474B1 (ja) | 2021-11-02 |
JP2022140239A JP2022140239A (ja) | 2022-09-26 |
Family
ID=77915109
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021538049A Active JP6944091B1 (ja) | 2021-03-10 | 2021-03-10 | めっき装置及び気泡除去方法 |
JP2021145546A Active JP6959474B1 (ja) | 2021-03-10 | 2021-09-07 | めっき装置及び気泡除去方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021538049A Active JP6944091B1 (ja) | 2021-03-10 | 2021-03-10 | めっき装置及び気泡除去方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11993861B2 (ja) |
JP (2) | JP6944091B1 (ja) |
KR (1) | KR102407356B1 (ja) |
CN (1) | CN115380133A (ja) |
WO (1) | WO2022190242A1 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5144568A (ja) * | 1974-10-16 | 1976-04-16 | Nippon Telegraph & Telephone | Denkaikaseiso |
JPH06128791A (ja) * | 1992-10-19 | 1994-05-10 | Kida Seiko Kk | 表面被覆処理方法及び表面被覆処理装置 |
JPH11229192A (ja) * | 1998-02-17 | 1999-08-24 | Canon Inc | 電析装置 |
JP2006265738A (ja) * | 2006-05-25 | 2006-10-05 | Ebara Corp | めっき装置 |
JP2013112842A (ja) * | 2011-11-28 | 2013-06-10 | Yamaichi Electronics Co Ltd | 電気めっき装置およびめっき方法 |
JP6899041B1 (ja) * | 2020-12-21 | 2021-07-07 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置及びめっき液の撹拌方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004363422A (ja) | 2003-06-06 | 2004-12-24 | Ebara Corp | めっき方法 |
JP2008019496A (ja) | 2006-07-14 | 2008-01-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電解めっき装置および電解めっき方法 |
KR101268661B1 (ko) * | 2011-12-15 | 2013-05-29 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 도금 장치 |
US9758897B2 (en) * | 2015-01-27 | 2017-09-12 | Applied Materials, Inc. | Electroplating apparatus with notch adapted contact ring seal and thief electrode |
US10655240B2 (en) | 2018-05-01 | 2020-05-19 | Lam Research Corporation | Removing bubbles from plating cells |
-
2021
- 2021-03-10 JP JP2021538049A patent/JP6944091B1/ja active Active
- 2021-03-10 WO PCT/JP2021/009474 patent/WO2022190242A1/ja active Application Filing
- 2021-03-10 CN CN202180004264.2A patent/CN115380133A/zh active Pending
- 2021-03-10 US US17/627,576 patent/US11993861B2/en active Active
- 2021-03-10 KR KR1020217040946A patent/KR102407356B1/ko active IP Right Grant
- 2021-09-07 JP JP2021145546A patent/JP6959474B1/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5144568A (ja) * | 1974-10-16 | 1976-04-16 | Nippon Telegraph & Telephone | Denkaikaseiso |
JPH06128791A (ja) * | 1992-10-19 | 1994-05-10 | Kida Seiko Kk | 表面被覆処理方法及び表面被覆処理装置 |
JPH11229192A (ja) * | 1998-02-17 | 1999-08-24 | Canon Inc | 電析装置 |
JP2006265738A (ja) * | 2006-05-25 | 2006-10-05 | Ebara Corp | めっき装置 |
JP2013112842A (ja) * | 2011-11-28 | 2013-06-10 | Yamaichi Electronics Co Ltd | 電気めっき装置およびめっき方法 |
JP6899041B1 (ja) * | 2020-12-21 | 2021-07-07 | 株式会社荏原製作所 | めっき装置及びめっき液の撹拌方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022140239A (ja) | 2022-09-26 |
JPWO2022190242A1 (ja) | 2022-09-15 |
US20230151508A1 (en) | 2023-05-18 |
WO2022190242A1 (ja) | 2022-09-15 |
KR102407356B1 (ko) | 2022-06-13 |
CN115380133A (zh) | 2022-11-22 |
US11993861B2 (en) | 2024-05-28 |
JP6944091B1 (ja) | 2021-10-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7069442B1 (ja) | めっき方法及びめっき装置 | |
JP6937972B1 (ja) | めっき装置及びめっき装置の気泡除去方法 | |
JP6899041B1 (ja) | めっき装置及びめっき液の撹拌方法 | |
JP6959474B1 (ja) | めっき装置及び気泡除去方法 | |
JP7079388B1 (ja) | めっき方法及びめっき装置 | |
JP6936422B1 (ja) | めっき装置及び基板の膜厚測定方法 | |
JP6999069B1 (ja) | めっき装置及びめっき装置のコンタクト部材洗浄方法 | |
TW202235139A (zh) | 鍍覆裝置及氣泡去除方法 | |
TWI768749B (zh) | 鍍覆裝置及鍍覆裝置之氣泡去除方法 | |
JP2022059253A (ja) | めっき装置及びめっき方法 | |
JP7354484B1 (ja) | めっき装置及びめっき方法 | |
TWI831609B (zh) | 鍍覆方法及鍍覆裝置 | |
TW202244333A (zh) | 鍍覆裝置及鍍覆方法 | |
TWI837780B (zh) | 鍍覆裝置及鍍覆方法 | |
JP2022127862A (ja) | めっき装置及びめっき液の液面調整方法 | |
JP2022059561A (ja) | めっき装置 | |
TW202409358A (zh) | 鍍覆裝置及鍍覆方法 | |
TW202227675A (zh) | 鍍覆裝置及鍍覆液之攪拌方法 | |
TW202323600A (zh) | 鍍覆方法及鍍覆裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210907 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20210907 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211001 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211007 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6959474 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |