JP6851515B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
基板処理装置および基板処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6851515B2 JP6851515B2 JP2020000624A JP2020000624A JP6851515B2 JP 6851515 B2 JP6851515 B2 JP 6851515B2 JP 2020000624 A JP2020000624 A JP 2020000624A JP 2020000624 A JP2020000624 A JP 2020000624A JP 6851515 B2 JP6851515 B2 JP 6851515B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solution
- tank
- silicon
- liquid
- mixed solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 133
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 346
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 318
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 225
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 225
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 224
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 160
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims description 152
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 151
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 140
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 80
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 79
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 claims description 73
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims description 61
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 29
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 claims description 14
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 12
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 8
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 claims description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 196
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 63
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 47
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 47
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 41
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 33
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 20
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 18
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 16
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 16
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 12
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- -1 silicon ions Chemical class 0.000 description 3
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017119 AlPO Inorganic materials 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910007926 ZrCl Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 150000001649 bromium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 150000003841 chloride salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- LXPCOISGJFXEJE-UHFFFAOYSA-N oxifentorex Chemical compound C=1C=CC=CC=1C[N+](C)([O-])C(C)CC1=CC=CC=C1 LXPCOISGJFXEJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- JTDPJYXDDYUJBS-UHFFFAOYSA-N quinoline-2-carbohydrazide Chemical compound C1=CC=CC2=NC(C(=O)NN)=CC=C21 JTDPJYXDDYUJBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67075—Apparatus for fluid treatment for etching for wet etching
- H01L21/67086—Apparatus for fluid treatment for etching for wet etching with the semiconductor substrates being dipped in baths or vessels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31105—Etching inorganic layers
- H01L21/31111—Etching inorganic layers by chemical means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Weting (AREA)
Description
まず、実施形態に係る基板処理システム1の構成について図1を参照して説明する。図1は、実施形態に係る基板処理システム1の構成を示す概略ブロック図である。基板処理システム1は、基板処理装置の一例である。
つづいて、実施形態に係る基板処理システム1の各種変形例について、図4〜図14を参照しながら説明する。図4は、実施形態の変形例1に係る基板処理システム1の構成を示す概略ブロック図である。なお、以下の各種変形例では、実施形態と同一の部位には同一の符号を付することにより重複する説明を省略する。
また、制御部は、混合液Mを循環路15で循環させて混合液Mを生成する際には背圧弁51を全開にし、混合液Mを送液路22に送液する際には背圧弁51を絞る。これにより、分岐部15cから送液路22、送液路22dおよび帰還路24を介して混合液Mをタンク14に戻すために必要な圧力を確保することができる。
つづいて、図15および図16を参照しながら、実施形態および変形例3に係る基板処理システム1が実行する混合処理および基板処理の詳細について説明する。図15は、実施形態に係る混合処理および基板処理の処理手順を示すフローチャートである。
2A〜2I エッチング液供給部
10、10A〜10I 混合装置
11 リン酸水溶液供給部
12 析出抑制剤供給部
14 タンク
15 循環路
15c 分岐部
16 ポンプ
17 ヒータ
22、22d 送液路
24 帰還路
25、25A〜25I シリコン溶液供給部
30 基板処理部
31、31A〜31C 処理槽
51 背圧弁
52 温度計
55 流量計
W ウェハ(基板の一例)
M 混合液
E エッチング液
Claims (8)
- 基板を浸漬して処理する処理槽と、
リン酸水溶液とシリコン酸化物の析出を抑制する添加剤とを混合して混合液を生成する混合装置と、
前記混合装置から前記処理槽に前記混合液を送る送液路と、
前記送液路および前記処理槽の少なくとも一方に接続され、前記混合装置から供給される前記混合液にシリコン含有化合物水溶液を供給するシリコン溶液供給部と、
を備え、
前記混合装置は、タンクと、前記タンクから出て前記タンクに戻る循環路とを有し、
前記送液路は、前記循環路から分岐して設けられ、
前記送液路には流量計が設けられ、前記送液路において前記流量計よりも下流側から分岐し、前記タンクに戻る帰還路をさらに備える
基板処理装置。 - 前記循環路は、前記混合液を濾過するフィルタと、前記フィルタをバイパスするバイパス流路とを有する
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記循環路において前記送液路との分岐部よりも下流側に設けられる背圧弁をさらに備える
請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 前記送液路に設けられる温度計をさらに備え、
前記流量計は、前記温度計で測定される前記混合液の温度に基づいて前記混合液の流量を補正する
請求項1〜3のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記処理槽と、前記混合装置と、前記送液路と、前記シリコン溶液供給部とを制御する制御部をさらに備え、
前記混合装置は、前記混合液を加温するヒータを有し、
前記制御部は、前記ヒータを制御して、前記混合液への前記シリコン含有化合物水溶液の供給の有無に基づいて前記混合液の温度を設定する
請求項1〜4のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 1つの前記処理槽に対して複数の前記混合装置が設けられ、
複数の前記混合装置は、1つの前記処理槽に対して排他的に前記混合液を供給する
請求項1〜5のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 複数の前記処理槽に対して複数の前記混合装置が設けられ、
前記混合液の供給が必要な前記処理槽に対して前記混合液の生成が完了した前記混合装置から順に前記混合液を供給する
請求項1〜5のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - リン酸水溶液とシリコン酸化物の析出を抑制する添加剤とを混合して混合液を生成する混合液生成工程と、
生成された前記混合液にシリコン含有化合物水溶液を供給するシリコン溶液供給工程と、
前記シリコン含有化合物水溶液が供給された前記混合液に基板を浸漬する浸漬工程と、
を含み、
前記混合液生成工程は、タンクと、前記タンクから出て前記タンクに戻る循環路とを有する混合装置で、前記混合液を前記循環路で循環させ、
前記シリコン溶液供給工程は、前記循環路から分岐して設けられる送液路から処理槽に前記混合液を送るとともに、前記送液路に設けられる流量計よりも下流側から分岐し、前記タンクに戻る帰還路から前記混合液を前記タンクに戻す
基板処理方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010160379.8A CN111696891B (zh) | 2019-03-15 | 2020-03-10 | 基片处理装置、混合方法和基片处理方法 |
US16/816,530 US11257692B2 (en) | 2019-03-15 | 2020-03-12 | Substrate processing apparatus, mixing method, and substrate processing method |
KR1020200031215A KR20200110242A (ko) | 2019-03-15 | 2020-03-13 | 기판 처리 장치, 혼합 방법 및 기판 처리 방법 |
JP2021000649A JP7361734B2 (ja) | 2019-03-15 | 2021-01-06 | 基板処理装置 |
US17/577,143 US20220139734A1 (en) | 2019-03-15 | 2022-01-17 | Substrate processing apparatus, mixing method, and substrate processing method |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019048845 | 2019-03-15 | ||
JP2019048845 | 2019-03-15 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021000649A Division JP7361734B2 (ja) | 2019-03-15 | 2021-01-06 | 基板処理装置 |
JP2021000648A Division JP7105937B2 (ja) | 2019-03-15 | 2021-01-06 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020155768A JP2020155768A (ja) | 2020-09-24 |
JP6851515B2 true JP6851515B2 (ja) | 2021-03-31 |
Family
ID=72559809
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020000624A Active JP6851515B2 (ja) | 2019-03-15 | 2020-01-07 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2021000648A Active JP7105937B2 (ja) | 2019-03-15 | 2021-01-06 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021000648A Active JP7105937B2 (ja) | 2019-03-15 | 2021-01-06 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP6851515B2 (ja) |
KR (1) | KR20200110242A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6851515B2 (ja) * | 2019-03-15 | 2021-03-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
WO2021066338A1 (ko) | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 주식회사 엘지화학 | 고흡수성 수지 및 이의 제조 방법 |
JP2023045047A (ja) * | 2021-09-21 | 2023-04-03 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3719918B2 (ja) * | 2000-09-12 | 2005-11-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP5009207B2 (ja) * | 2007-09-21 | 2012-08-22 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP4966223B2 (ja) * | 2008-02-29 | 2012-07-04 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP6320869B2 (ja) * | 2014-07-29 | 2018-05-09 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP6446003B2 (ja) * | 2015-08-27 | 2018-12-26 | 東芝メモリ株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法およびエッチング液 |
US20190112196A1 (en) * | 2016-03-30 | 2019-04-18 | Fujimi Incorporated | Cation-modified silica raw material dispersion |
JP6486879B2 (ja) * | 2016-09-26 | 2019-03-20 | 株式会社東芝 | エッチング液および基板処理方法 |
JP6815873B2 (ja) * | 2017-01-18 | 2021-01-20 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP6916633B2 (ja) * | 2017-02-24 | 2021-08-11 | 株式会社Screenホールディングス | 処理液供給装置、基板処理装置、および処理液供給方法 |
WO2018168874A1 (ja) * | 2017-03-15 | 2018-09-20 | 株式会社 東芝 | エッチング液、エッチング方法、及び電子部品の製造方法 |
JP6851515B2 (ja) * | 2019-03-15 | 2021-03-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
-
2020
- 2020-01-07 JP JP2020000624A patent/JP6851515B2/ja active Active
- 2020-03-13 KR KR1020200031215A patent/KR20200110242A/ko not_active Application Discontinuation
-
2021
- 2021-01-06 JP JP2021000648A patent/JP7105937B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020155768A (ja) | 2020-09-24 |
JP2021052214A (ja) | 2021-04-01 |
KR20200110242A (ko) | 2020-09-23 |
JP7105937B2 (ja) | 2022-07-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6851515B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR20190142305A (ko) | 웨트 에칭 장치 | |
TWI655972B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
KR20210145686A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP6776208B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2009260245A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP2021184503A (ja) | 基板処理方法、および基板処理装置 | |
JP2015088603A (ja) | エッチング方法、エッチング装置および記憶媒体 | |
JP7398969B2 (ja) | 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 | |
JP2021052215A (ja) | 基板処理装置、混合方法および基板処理方法 | |
US11724235B2 (en) | Mixing apparatus, mixing method and substrate processing system | |
JP2021190693A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2022100010A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
US20220285166A1 (en) | Substrate processing method and substrate processing apparatus | |
JP2021044593A (ja) | 混合装置、混合方法および基板処理システム | |
JP7433135B2 (ja) | 貯留装置および貯留方法 | |
JP2002075946A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2006278365A (ja) | 液処理装置及びそのプログラム並びにその記録媒体 | |
JP7460983B2 (ja) | 処理液供給システムおよび処理液供給方法 | |
JP6961058B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2023018703A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
CN111627876A (zh) | 一种散热装置 | |
JP2017199943A (ja) | エッチング方法、エッチング装置および記憶媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200518 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20200518 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20200702 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200707 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200907 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20201006 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210106 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20210106 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20210118 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20210119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210209 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210309 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6851515 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |