JP6785221B2 - 半導体発光素子 - Google Patents
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Description
[1−1.構造]
まず、本開示の実施形態1に係る半導体発光素子の構造について、図1A、図1B及び図1Cを用いて説明する。
続いて、本実施形態の半導体発光素子110の動作及び効果について図2A、図2B及び図3を用いて説明する。
続いて、本実施形態に係る半導体発光素子110の製造方法を、図4を用いて説明する。
[2−1.構造]
次に、実施形態2に係る半導体発光素子の構造について、図5を用いて、実施形態1との違いを中心に説明する。
続いて、本実施形態の半導体発光素子210の効果について説明する。
[3−1.構造]
続いて、実施形態3に係る半導体発光素子の構造について、図6を用いて、実施形態2との違いを中心に説明する。
以上、本開示に係る半導体発光素子について、各実施形態に基づいて説明したが、本開示は上記各実施形態に限定されない。
111 基板
112 n型クラッド層(第1のクラッド層)
112a 第1のn型半導体層(第1の半導体層)
112b 第2のn型半導体層(第2の半導体層)
113 n側ガイド層(第1のガイド層)
114、314 活性層
115 p側ガイド層(第2のガイド層)
116、216、316 p型クラッド層(第2のクラッド層)
116M p型クラッド膜
117、317 p型コンタクト層
117M p型コンタクト膜
121、321 電流ブロック層
122 p電極
123、323 n電極
125、225 高濃度ドープ層
216a、316a 第1のp型半導体層(第3の半導体層)
216b、316b 第2のp型半導体層(第4の半導体層)
322a 第1のp電極
322b 第2のp電極
Claims (10)
- 基板と、
前記基板の上方に配置された第1導電型の第1のクラッド層と、
前記第1のクラッド層の上方に配置された前記第1導電型の第1のガイド層と、
前記第1のガイド層の上方に配置された活性層と、
前記活性層の上方に配置された第2のガイド層と、
前記第2のガイド層の上方に配置された、前記第1導電型とは異なる第2導電型の第2のクラッド層とを備え、
前記第1のクラッド層と前記第1のガイド層との間に配置され、前記第1導電型のドーパント濃度が、前記第1のクラッド層の平均のドーパント濃度よりも高い、第1の高濃度ドープ層を有し、
前記第1の高濃度ドープ層のドーパント濃度は、1×1020cm−3以上、1×1022cm−3以下であり、
前記第1の高濃度ドープ層の厚さは、0.5nm以上、1.5nm以下であり、
前記第1のクラッド層は、第1の半導体層と、第2の半導体層とを含む多層膜からなり、前記第1の半導体層の屈折率は、前記第2の半導体層の屈折率と異なる
半導体発光素子。 - 前記第1の半導体層は、AlxInyGa1−x−yN(0<x≦1、0≦y≦1、x+y≦1)を含む
請求項1に記載の半導体発光素子。 - 前記第2の半導体層は、InzGa1−zN(0≦z≦1)を含む
請求項1又は2に記載の半導体発光素子。 - 前記第2の半導体層は、前記第1導電型のドーパントがドープされている
請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体発光素子。 - 前記第1の半導体層は、アンドープである
請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体発光素子。 - 前記第1のクラッド層のドーパント濃度が、前記第1のガイド層側から、前記基板側に向かうにつれて、低くなっている
請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体発光素子。 - 前記第2のクラッド層と前記第2のガイド層との間に配置され、前記第2導電型のドーパント濃度が、前記第2のクラッド層の平均のドーパント濃度よりも高い、第2の高濃度ドープ層をさらに備える
請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体発光素子。 - 前記第2のクラッド層は、第3の半導体層と、第4の半導体層とを含む多層膜からなり、前記第3の半導体層の屈折率は、前記第4の半導体層の屈折率と異なる
請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体発光素子。 - 前記第1のクラッド層、前記第1のガイド層、前記活性層、前記第2のガイド層、及び、前記第2のクラッド層は、いずれも窒化物半導体から構成される
請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体発光素子。 - 前記第1導電型は、n型である
請求項1〜9のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
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